www.mientayvn.

com
Hãy đến http://www.mientayvn.com/Danh_sach_thanh_vien.html để nhận tên truy cập và mật khẩu.

Bỏ qua nội dung
Nh?p t? khóa…

Tìm ki?m

Tìm kiếm nâng cao

Trang chủ ‹ Lí ‹ Cao học quang điện tử ‹ Vật lí màng mỏng

Chỉnh kích thước phông chữ

Xem bản in

  

Trợ giúp Đăng ký Đăng nhập

Hiện tƣợng nhiệt sắc
Gửi bài trả lời
Tìm ki?m trong ch? đ?

Tìm ki?m

1 bài viết • Trang 1 trên 1

Hiện tượng nhiệt sắc
gửi bởi admin » T.Sáu Tháng 3 02, 2012 9:01 am

DỊCH TIẾNG ANH CHUYÊN NGHÀNH KỸ THUẬT CHÍNH XÁC NHẤT VÀ NHANH NHẤT: http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html XEM TÀI LIỆU VỚI ĐỊNH DẠNG ĐẸP VÀ ĐẦY ĐỦ HÌNH ẢNH THEO LINK SAU: https://docs.google.com/file/d/0Bw5sTGnTS7NhVW14MG1NbWJTVFNiRmpPWXNHdjdYdw/edit Tên tập tin trong google document: N_Nhiet_sac.doc BẠN CHỈ ĐƢỢC PHÉP XEM TÀI LIỆU. MUỐN TẢI TÀI LIỆU, BẠN PHẢI GỬI TÀI LIỆU CỦA BẠN CHO CHÚNG TÔI QUA ĐỊA CHỈ GMAIL:quangphituyen@gmail.com. MỖI MB TÀI LIỆU BẠN GỬI CHO CHÚNG TÔI ỨNG

VỚI MỘT NGÀY SỬ DỤNG TOÀN BÔ NGUỒN TÀI NGUYÊN CỦA CHÚNG TÔI. VÍ DỤ: BẠN GỬI CHO CHÚNG TÔI 5 MB TÀI LIỆU, BẠN SẼ ĐƢỢC SỬ DỤNG TOÀN BỘ NGUỒN TÀI NGUYÊN CỦA CHÚNG TÔI TRONG 5 NGÀY. THỜI GIAN TRẢ LỜI MAIL: NGAY TỨC KHẮC TRONG MAIL, BẠN PHẢI GHI RÕ TÊN CÁC TÀI LIỆU BẠN CẦN TẢI VÀ MÔ TẢ ĐẦY ĐỦ VỀ CÁC TÀI LIỆU MÀ BẠN GỬI CHO CHÚNG TÔI. CÁC TÀI LIỆU SAU ĐÂY ĐƢỢC YÊU THÍCH: Luận văn tốt nghiệp đại học, cao học, luận án tiến sĩ. Tài liệu dịch từ các tài liệu nƣớc ngoài, ghi rõ nguồn của tài liệu gốc Tài liệu giảng dạy cho sinh viên, trình độ tác giả phải từ thạc sĩ trở lên .v.v……… Các seminar, tiểu luận của sinh viên, học viên, nghiên cứu sinh CHÚ Ý: HÃY GỬI TÀI LIỆU CÙNG MÔ TẢ VỀ TÀI LIỆU QUA GMAIL: quangphituyen@gmail.com CÁC THẮC MẮC VỀ CÁC VẤN ĐỀ KHÁC XIN GỬI QUA MAIL: thanhlam1910_2006@yahoo.com NẾU BẠN GỬI THƢ KHÔNG THEO ĐÚNG HƢỚNG DẪN BÊN TRÊN, TÊN TRUY CẬP VÀ MẬT KHẨU CỦA BẠN CÓ THỂ BỊ KHÓA. PHẦN CHỮ TRONG TÀI LIỆU NÀY Trƣờng Đại học Khoa Học Tự Nhiên Tp Hồ Chí Minh Khoa Vật lý Bộ môn Vật lý Ứng dụng    PHƢƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM CHUYÊN NGÀNH

Đề tài: NHIỆT SẮC (Thermochromism) GV: TS. Lê Trấn HVCH: Phạm Minh Thông

Tp. Hồ Chí Minh 4/11/2011 LỜI CÁO BẠCH

Và càng lúc càng có thêm nhiều bí ẩn của thiên nhiên (trong đó có cả con ngƣời) đƣợc hé mở. hi vọng các Cao nhân gần xa chỉ bảo để bài viết này đƣợc hay hơn và hoàn thiện hơn … 4/11/2011 Ngƣời viết NỘI DUNG BÀI VIẾT Lời cáo bạch I. Khái niệm và phân loại nhiệt sắc II. phép màu “Nhiệt sắc” đã đƣợc con ngƣời phát hiện. và những ứng dụng của nó vẫn không ngừng đƣợc tìm thấy và đƣa vào thực tiễn cho đến ngày sau … Trong bài viết này. Trong bối cảnh ấy. khi khoa học càng phát triển.Ngày nay. Khảo sát sơ lƣợc màng VO2 . vốn từ tiếng anh và văn phong cũng chƣa trau chuốt. Nên ở đây. nhƣng vì sự hạn chế về kiến thức chuyên nghành. Cơ chế nhiệt sắc III. thì con ngƣời lại càng khám phá thêm đƣợc rất nhiều điều thú vị về thiên nhiên và về chính bản thân mình. nên trong quá trình biên tập lại khó tránh những sai sót. Những ứng dụng từ những điều diệu kì ấy đã đem lại không biết bao nhiêu là “phép màu” đối với nền văn minh hiện đại ngày nay. Tôi chỉ trình xin bày 1 phần rất nhỏ nhặt và rất cơ bản của phép màu ấy … Tuy nguồn tƣ liệu về vấn đề cũng “hơi” nhiều.

Tƣơng ứng với mỗi loại kích thích thì nó sẽ những tên gọi khác nhau tƣơng ứng. Khi xét về sự thay đổi về nhiệt độ. Ứng Dụng I. vật liệu “nhiệt sắc” là những vật liệu có thể thay đổi màu khi nhiệt độ thay đổi (tức là khi có nhiệt độ tác động lên vật liệu. Nhƣ là  Vật liệu thay đổi màu do kích thích của ánh sáng = > gọi là vật liệu “quang sắc” (Photochromic)  Vật liệu thay đổi màu do sự thay đổi nhiệt độ = > gọi là vật liệu “nhiệt sắc” (Thermochromic)  Vật liệu thay đổi màu do áp điện trƣờng vào = > gọi là vật liệu “điện sắc” (Electrochromic) …. Và có thể nói rằng tính chất quang của vật liệu nhiệt sắc phụ thuộc vào sự thay đổi của nhiệt độ. khi hạ nhiệt độ xuống. Phƣơng pháp tổng hợp màng oxit nhiệt sắc V. Phân tích kết quả tạo màng VO2 VI. sẽ làm chúng thay đổi độ truyền qua . Đó là  Nếu Tvật liệu < TC <=> vật liệu trong suốt đối với cả ánh sáng trong vùng hồng ngoại và khả kiến  Nếu Tvật liệu > TC <=> vật liệu trong suốt trong vùng khả kiến. Nhƣ vậy. nhƣng phản xạ hầu hết bức xạ hông ngoại Vật liệu “nhiệt sắc” thay đổi màu khi nhiệt độ của nó đạt đến nhiệt độ chuyển tiếp TC (đặc trƣng cho từng vật liệu nhiệt sắc). thì tính chất quang điện của chúng lại đƣợc thiết lập (nghĩa là quá trình thay đổi nhiệt quang này mang tính chất thuận nghịch). thì có 2 loại vật liệu nhiệt sắc • Vật liệu nhiệt sắc liên tục: (tức màu thay đổi trong 1 khoảng nhiệt độ liên tục) hiên tƣợng này . phản xạ hay hấp thụ) Tuy nhiên. đến đây ta sẽ có có 1 điều thú vị. Mỗi vật liệu có nhiệt chuyển pha TC xác định.IV. KHÁI NIỆM VỀ NHIỆT SẮC: Vật liệu “ Chromeogenic” là những vật liệu có khả năng thay đổi những thuộc tính quang của nó (tức thay đổi màu của chúng) khi có kích thích ngoài tác động vào .

nhƣng khi nhiệt độ của vật liệu chuyển tiếp vƣợt qua nhiệt độ chuyển tiếp thì độ truyền qua giảm mạnh và hệ số phản xạ tăng nhanh (thể hiện tinh chất của kim loại) . bời vì mỗi sự thay đổi trong cấu trúc tinh thể đều có thể hình thành 1 vùng cấm (band gap). CƠ CHẾ NHIỆT SẮC ĐỐI VỚI MÀNG MỎNG NHIỆT SẮC TRẠNG THÁI RẮN: 1. Bản chất của quá trình chuyển tiếp này không thể giải thích hoàn toàn bằng lý thuyết điện tử không tƣơng tác. Cơ chế Chuyển tiếp bán dẫn – kim loại: Mọi vật liệu (kim loại – bán dẫn – chất cách điện) đều có giản đồ vùng năng lƣợng tƣơng ứng Không phải mọi chuyển tiếp bán dẫn . các điện tử ở vùng hóa trị nhận đƣợc năng lƣợng nhiệt . Khi nhiệt độ tăng lên thì độ rộng vùng cấm giữa vùng dẫn và vùng hóa trị giảm 1 cách tuyến tính( và có 1 vài điện tử bị kích thích nhiệt sẻ nhảy từ vùng hóa trị sang vùng dẫn). bán dẫn … Và họ cũng khám phá ra rằng: chúng ta có thể dùng lý thuyết vùng năng lƣợng để giải thích hầu hết những sự chuyển tiếp ấy của vật liệu ấy. Họ nhận ra rằng: 1 sự biến dạng của mạng tinh thể tại nhiệt độ chuyển tiếp có thể gây ra1 khe năng lƣợng ( energy gap) giữa trạng thái điện tử trống và trạng thái điện tử bị chiếm.thƣờng liên quan đến sự thay đổi hóa học xảy ra trong hệ • Vật liệu nhiệt sắc “không liên tục” (tức màu thay đổi đột ngột tại nhiệt độ đặc trƣng). thì có mấy loại sau: • Oxit kim loại chuyển tiếp nhiệt sắc • Tinh thể lỏng (liquid crystal) • Conjugated oligomer • Chất nhuộm leuco (leuco dyes) II. Hiện tƣợng này thƣờng là do 2 nguyên nhân sau  Hoặc là do sự chuyển tiếp pha  Hoặc là do phản ứng đồng phân hóa học Khi xét thành phần tạo lên vật liệu nhiệt sắc. Từ đó dẫn đến sự biến mất của sai hỏng kia.kim loại đều là kết quả tƣơng tác giữa các điện tử với nhau.kim loại 2. Khi đó vật liệu thể hiện tính kim loại (do đó mà bán dẩn lúc đầu. Mô tả “sơ lƣợc” cơ chế của hiện tƣợng nhiệt sắc (đối với màng oxit kim loại chuyển tiếp): Thật ra. Vào năm 1967-1968. cơ chế chuyển tiếp bán dẫn – kim loại cũng chính là nội dung chính của cơ chế trong hiện tƣợng nhiệt sắc rồi đấy vậy!!! • Lúc đầu vật liệu nhiệt sắc có tính bán dẫn • Sau đó khi có kích thich nhiệt vào vật liệu. Adler và Brooks phát hiện ra oxit kim loại chuyển tiếp có thể là những chất cách điện. Dù lúc đầu là chất bán dẫn. giờ đã có thể phản xạ đƣợc) = > Đấy là nội dung “khái quát” của cơ chế chuyển tiếp bán dẫn . và vùng cấm bị biến mất(tức là vùng hóa trị nằm chồng 1 phần lên vùng dẫn).

= > Do đó .V6O13 …) . Đến 1 lúc nào đó. Ti3O5. cho nên o có màu xuất hiện Phản ứng này có thể bị gián đoạn bởi các ảnh hƣởng bên ngoài nhƣ: • Tiếp xúc ánh sáng cực tím . đối với màng oxit vô cơ thì không phải nào màng nào cũng có thể có hiện tƣợng nhiệt sắc. thì số lƣợng điện tử từ vùng hó trị nhảy lên vùng dẫn giảm dần (và đến 1 lúc nào đó vùng cấm xuất hiện).tƣơng ứng với mỗi bƣớc sóng truyền qua sẽ có 1 màu (đó chinh là lý do tại sao vật liệu nhiệt sắc chuyển màu khi vƣợt quá nhiệt tới hạn) • Tƣơng tự. Đó là những màng nhƣ màng oxit của vanadium (VO2. Phần nói thêm (cơ chế nhiệt sắc đối với thành phần hữu cơ) Cụ thể ở đây ta sẽ khảo sát cơ chế nhiệt sắc của thuốc nhuộm Leuco (đƣợc dùng để làm mực in. mà màu trong vùng khả kiến xuất hiện • Khi nhiệt độ tác động vào vật liệu cao hơn nhiệt độ nóng chảy của dung môi.. Và nhƣ chúng ta thấy. Nhiệt độ kích thích càng tăng thì dao động điện tử càng mạnh. màng Titan oixt theo công thức TinO2n+1 (nhƣ Ti2O3. dung môi và thuốc huộm màu tƣơng tác với nhau = > Do tƣơng tác điện tử. hoặc làm màng phủ) Thành phần chính của loại nhiệt sắc này gồm có 3 thành phần • Dung môi (solvent) • Thuốc nhuộm màu (colorant) • Axit hữu cơ (organic axit) Và nó có cơ chế nhƣ sau: • Khi nhiệt độ tác động vào vật liệu nhỏ hơn nhiệt nóng chảy của dung môi. càng lúc càng nhiều điện tử bức sang vùng dẫn (tƣơng ứng với vùng cấm dần dần sẽ bị thu hẹp lại). mà chỉ những màng oxit của kim loại chuyển tiếp thì mới có hiện tƣợng này. Và cứ thế. rồi cuối cùng trở về với trạng thái bán dẫn ban đầu (tức ánh sáng truyền đến vật liệu không còn bị phản xạ nữa). …) và những màng oxit có pha tạp chất của chúng … 3. dung môi và thuốc nhuộm không tƣơng tác đƣợc với nhau = > o có tƣơng tác điện tử. khi vật liệu nhiệt sắc đƣợc làm lạnh đi.kích thích sẽ dao động. V2O3. và khi đủ năng lƣợng thì điện tử sẽ bức ra khỏi vùng hóa trị và nhảy lên vùng dẫn. hiện tƣợng nóng lên hay lạnh đi của vật liệu lại không hoàn toàn giống nhau ( nguyên nhân là do sự trễ nhiệt của vật liệu. Tuy nhiên.V2O5. Khi đó vật liệu chuyển thảnh vật liệu mang tính kim loại. cụ thể là khi nhiệt độ vật liệu nhiệt sắclớn hơn nhiệt độ tới hạn TC của vật liệu thì có khá nhiều điện tử nhảy sang vùng dẫn đến nỗi vùng cấm biến mất (tức là khi đó vùng hóa trị sẽ overlap vùng dẫn). = > Đó là mô tả “sơ lƣợc” cơ chế của hiện tƣợng nhiệt sắc. ánh sáng truyền đến vật liệu thì sẽ không đƣợc truyền qua nữa mà sẽ phần nhiều sẽ bị phản xạ lại (do có tính kim loại) . Nhƣ Bạn thấy: hiện tƣợng nhiệt sắc ở màng oxit kim loại chuyển tiếp có tính thuận nghịch.

Khi đó. thực nghiệm và lý thuyết (từ 1950s). những kim loại đƣợc đặc trƣng bởi điện trở suất nhỏ (từ 10-2 đến 10-3Ωcm) tại nhiệt độ phòng. Trong khi đó. nhƣng chúng lại có những tính chất điện tƣơng tự nhau (nhƣ là chuyển tiếp bán dẫn-điện tử thì tƣơng tự năng lƣơng kích hoạt và độ dẫn điện). Nghiên cứu những tính chất của vabadium oxit ngƣời ta tập trung xoay quanh sự chuyển tiếp pha giữa kim loại và chất cách điện ( sự chuyển tiếp pha ấy nhƣ là 1 hàm của nhiệt độ). Và khi nhiệt độ thay đổi qua TC. vì 3 pha của VO2 tuy thể hiện những cấu trúc mạng khác nhau . 1 vài oxit vanadium thể hiện những tính chất nhiệt sắc. thì sẽ có 1sự thay đổi cấu trúc 1 cách tƣơng ứng • Khi T > TC (tức nhiệt độ cao )  VO2 có cấu trúc mạng dạng tứ giác (hình 6) • Khi T < TC (tức nhiệt độ thấp)  VO2 có cấu trúc mạng dạng đơn tà (hình 7) Bản chất của sự chuyển tiếp bán dẫn –kim loại trong VO2 đã đƣợc khảo sát thông qua việc nghiên cứu bằng tính toán. Và oxit kim loại trở thành đối tƣợng “lý tƣởng” cho việc khảo sát trạng thái kim loại và trạng thái á kim của vật liệu. Goodenough đã đƣa ra 1 sự lý giải hữu ích bằng việc dựa vào . Khái niệm về oxit kim loại nhiệt sắc chuyển tiếp (Thermochromic transition metal oxides): Kể từ khi khám phá ra sự chuyển tiếp pha xảy ra ở nhiệt độ “tới hạn” TC. bán dẫn và chất cách điện có điện trở suất lớn hơn nhiều (từ 103 đến 1017Ωcm) tại nhiệt độ phòng. Những vật liệu nhiệt sắc này thể hiện những tính chất bất thƣờng về điện – cấu tạo và tính từ của vật liệu. 2. Năm 1968. ngƣời ta phân những oxit kim loại chuyển tiếp kết tinh sạch và hợp thúc thành kim loại hoặc bán dẫn hoặc chất cách điện (mà chúng có thể chuyển tiếp bán dẫn thành kim lọai). sẽ tăng theo hàm mũ khi nhiệt độ tăng. 1 tinh thể đơn VO2 nguyên chất có nhiệt độ chuyển tiếp bán dẫn – kim loại ở 341K (hay 68oC).• Có sự diện diện của dung môi phân cực • Nhiệt độ quá cao • Lực cắt quá mạnh (excessive shear) III. khi nghiên cứu những vật liệu này. từ đó Ông nhận thấy rằng: những phép đo điện thông thƣờng đạt đƣợc không phù hợp với những thuộc tính “nội tại” của vật liệu (đó là do nồng độ sai hỏng và tạp chất quá lớn). năm 1971. KHẢO SÁT SƠ LƢỢC MÀNG VO2: 1. Những vật liệu này đƣợc ứng dụng trong nhiều lĩnh vực công nghệ ( nhƣ chuyển mạch quang điện …). Khảo sát về màng VO2 Vanadium (IV) oxit là vật liệu nhiệt sắc trạng thái rắn đƣợc nghiên cứu nhiều nhất (vì nó có nhiều triển vọng trong ứng dụng). Theo đó. Để hiểu rõ sự chuyển tiếp này. Nhƣng cơ chế chủ yếu của sự chuyển tiếp này đến giờ vẫn là 1 điều huyền bí. Adler phát hiện 1 khó khăn trong việc nuôi đơn tinh thể sạch và hợp thức. và khi nhiệt độ tăng lên thì điện trở suất cũng tăng lên 1 cách tuyến tính. thì những oxit kim loại chuyển tiếp trở thành những vật liệu nhiệt sắc “trạng thái rắn” đƣợc nghiên cứu nhiều nhất (trong đó TC là nhiệt độ mà ta quan sát thấy những tính chất quang và điện của vật liệu bị thay đổi đột ngột).

ngƣời ta sử dụng pha tạp (doping) vào trong màng để giảm nhiệt độ chuyển tiếp của VO2 xuống. độ dẫn điện tăng 1 cách đáng kể. Ngƣời ta cũng nhận thấy rằng: sự biến mất của band gap là do phonon quang học. từ đó dẫn đến thay đổi cấu trúc pha. Sau đó ngƣơì ta thấy xuất hiện 2 nhiệt độ chuyển tiếp khác nhau. TC là kết quả của sự biến dạng phản sắc điện và T`C là kết quả từ sự biến dạng cùa tinh thể. và không có thay đổi gì ở vùng khả kiến. Do đó sự sắp xếp nguyên tử của mạng rutile ở nhiệt độ cao đƣợc xem nhƣ là nguyên nhân xuất hiện pha kim loại của VO2. Hiện tƣợng phụ thuộc này là tính tinh thể của màng. vì nhiệt độ này vẫn quá cao ở nhiệt độ 68oC để sử dụng hiệu quả với nhiệt độ môi trƣờng xung quanh . nhƣng lại phản xạ ở vùng hồng ngoại.V4+ trong pha tứ diện trở thành cực kì bền vững. Hiệu ứng của pha tạp: Thông thƣờng. Khi vƣợt qua nhiệt độ chuyển tiếp. mà là do entropy của mode dao động mạng. bởi • Dƣới nhiệt độ TC này = > vật liệu trở nên trong suốt đối với vùng hồng ngoại và khả kiến của phổ điện từ • Trên nhiệt độ TC này = > ngƣời ta thấy tính chất hoàn toàn khác. Nhƣng tạp chat có thể làm tăng hoặc làm giảm nhiệt độ tới hạn TC (tùy thuộc vào 1 vài yếu tố) 3. = > ở đây nhiệt độ tới hạn TC cũng rất là ý nghĩa. chỉ đến khi làm lạnh thì có sự sắp xếp trong cấu trúc vùng năng lƣợng (dẫn đến thành pha đơn tà). điều này cũng chƣa đƣợc tốt. Độ dày của màng ảnh hƣởng hình thái của màng . Tuy màng mỏng Vanadium (IV) oxit đã đƣợc nghiên ứu một cách rộng rãi (vì nhiệt đô tới hạn của nó rất gần với nhiệt độ phòng). cũng nhƣ phụ thuộc vào bậc ứng suất dƣ (residual stress) do kỹ thuật lắng đọng gây ra.những quỹ đạo phân tử và giản đồ vùng năng lƣợng Goodenough cho rằng sự chuyển tiếp kim loại – bán dẫn là kết quả chuyển tiếp cua phản sắc điện (antiferroelectric) trong vanadium (IV) oxit). độ dày của màng cũng ảnh hƣởng đến hệ số truyền qua (khi màng càng dày. trong khi đó. vật liệu trở thành có tính kim loại và vẫn trong suốt đối với vùng khả kiến. Goodenough kết luận rằng: thành phần phản sắc điện của pha đơn tà ờ nhiệt độ thấp ( trong VO2) là lực dẫn động của biến dạng.Bởi sự gia tăng độ mấp mô của màng tăng do độ dày màng tăng thì dẫn đến nhiệt độ chuyển tiếp tăng. độ truyền qua của pha kim loại lớn hơn độ truyền qua của bán dẫn (ở vùng hồng ngoại). hệ số truyền qua càng giảm) Ví dụ: khi màng mỏng hơn 100nm. TÍnh chất quang và điện của màng VO2 hầu nhƣ phụ thuộc vào sự hợp thức và vi cấu trúc của màng. Tuy nhiên. độ truyền qua của pha bán dẫn trội hơn pha kim loại. Ngoài ra. Ngoài ra. Dẫn đến tăng hệ số phản xạ ở vùng hồng ngoại. các màng oxit nhiệt sắc kim loại chuển tiếp có nhiệt độ tới hạn quá cao để áp dụng . nếu màng dày hơn 100nm. = > Điều này đƣợc ứng dụng trong việc chế tạo của sổ thông minh. nhiệt độ chuyển tiếp T¬C không bị chi phối bởi kích thích nhiệt của điiện tử . trong đó sự ghép cặp của V4+. Để giải quyết vấn đề này.

có nhiều phƣơng pháp khác nhau trong việc lắng đọng màng mỏng nhiệt sắc đã đƣợc sử dụng vào thực tiễn (đặc biệt là đối với màng mỏng VO2). việc pha tạp này chỉ làm giảm nhiệt độ chuển tiếp khoàng 27oC. Tuy nhiên. hoặ c là do ion tungsten có kích thƣớc lớn hơn kích thƣớc của vanadium. sự thay đổi nhiệt độ chuyển tiếp chỉ xảy ra rõ rang khi mà nồng độ tạp chất đƣợc pha vào trong cấu trúc tinh thể đủ lớn.thực tiễn ở nhiệt độ thƣờng. Tƣơng tự. Ta có thể giải thích : đó là do sự chèn điện tử bổ sung vào vùng –d của vanadium. Ví dụ: Pha tạp với những ion kim loai hóa trị cao đủ nhiều (nhƣ tungsten (VI) và niobium (V) thì có thể làm giảm nhiệt độ chuyển tiếp xấp xĩ gần bằng nhiệt độ phòng (25o C). Đồng thời. và dễ thực hiện nên dễ dàng triển khai ở quy mô công nghiệp. các yếu tố (nhƣ điện tích của hạt tải và mật độ hạt tải điện) của tạp chất cũng có thể làm ảnh hƣởng đến nhiệt độ chuyển tiếp. V. . 5. ta cũng có rất nhiều chất pha tạp hữu ích khác nhƣ: • Fluorine có thể giảm nhiệt độ chuyển tiếp xuống 20oC (trong đó nguyên tử Fluorine thay thế những nguyên tử Oxy trong quá trình pha tạp với 1. Việc giảm nhiệt độ này là do sự thay thế mỗi ion vanadium (IV) bằng 1 ion tungsten (VI) bằng cơ chế chuyển điện tích.%). Ngoài ra. NHỮNG PHƢƠNG PHÁP TẠO MÀNG Hiện nay. đây là phƣơng pháp rẻ tiền. Cho nên ngƣời ta pha tạp vào để làm tăng hoặc giảm nhiệt độ tới hạn:  Nếu pha tạp nhũng nguyên tử có kích thƣớc lớn hơn ion vanadium  làm giảm nhiệt độ chuyển tiếp TC  Nếu pha tạp nhũng nguyên tử có kích thƣớc nhỏ hơn ion vanadium  làm tăng nhiệt độ chuyển tiếp TC Tuy nhiên. Lắng đọng hơi vật lý (PVD): Ở đây.2atom%fluorine) • Vàng có thể đƣợc dung pha tạp và làm giảm nhiệt độ chuyển tiếp Sự pha tạp đồng thời tungsten và fluorine vào trong màng VO2 (bằng phƣơng pháp PVD) có thể làm tăng độ truyền qua trong vùng khả kiến nhiều hơn so với chỉ pha tạp 1 mình tungsten . ta có thể sử dụng các phƣơng pháp phún xạ nhƣ sau:  phún xạ DC  phún xạ RF  phún xạ Magnetron  phún xạ phản ứng  phún xạ chùm ion Phƣơng pháp phún xạ có 1 vài ƣu điểm sau:  Dễ dàng chế tạo các màng đa lớp nhờ tạo ra nhiều bia riêng biệt. trong khi đó pha tạp những ion hóa trị thấp (nhƣ aluminium (III) hoặc chromium (III)) thì lại làm tăng nhiệt độ chuyển tiếp Ngƣời ta thấy rằng: tungsten (IV) là chất pha tạp hữu ích vì đã giúp giảm nhiệt độ chuyển tiếp của VO2 (cụ thể là 25oC per atom.1.

có độ dày chính xác hơn  Dễ thục hiện doping bằng cách thay thế target trong buồng chân không Ngoài ra. đa năng và hiệu quả về giá cả Tuy nhiên nó cũng có nhƣợc điểm nhƣ: Kích thƣớc mẫu giới hạn = > khó khăn trong việc kiểm soát về độ dày và độ đồng đều của màng tạo thành.4.  Màng tạo ra có độ mấp mô bề mặt thấp và có hợp thức gần với của bia. Lắng đọng hơi hóa học (CVD): . vừa phù hợp cho việc lắng đọng 1 khu vực bề mặt lớn (làm giảm nhẹ sự pha tạp chất kim loại vào va nhiệt độ của quá trinh tổng hợp tƣơng đối thấp) Tuy nhiên màng đƣợc tạo bằng phƣơng pháp này có độ đậm đặc (density) thấp hơn so với những màng đƣợc lắng đọng bằng các phƣơng pháp PVD khác. Độ bám dính của màng trên đế rất cao do các nguyên tử đến lắng đọng trên màng có động năng khá cao. Lắng đọng bằng xung laser: Đây cũng là 1 dạng khác của phƣơng pháp lắng đọng hơi vật lý. và nó có sơ đồ nhƣ sau: Phƣơng pháp này cũng có những ƣu điểm nhƣ sau:  Giữ đƣợc hợp thức của bia trong những màng đã đƣợc lắng đọng  Vì nguồn laser đƣợc đặt bên ngoài buồng phản ứng. vì vậy nó dễ bị hƣ gãy Tiền chất (precursor) thƣờng đƣợc dùng nhất để chế tạo màng VO2 (bằng phƣơng pháp này) đó là vanadyl tri(iso-propoxide) và vanayyl tri(tert-amyloxide) 5. nó cũng có 1 vài nhƣợc điểm sau  Độ bám dính của màng tƣơng đối thấp  Chi phí thiết bị còn cao  Chế độ tạo màng chậm 5. nên dễ điều chỉnh thiết bị  Tốc độ hình thành những lớp epytaxy và độ hợp mạng cao xảy ra ở nhiệt độ đế thấp  Đây là 1 phƣơng pháp lắng đọng sạch. cũng nhƣ kiểm soát sự bắn phá của tạp chất lên màng (nên gây ra những sai hỏng trên bề mặt do shock nhiệt) = > phƣơng pháp khắc phục: • Sử dụng thiết bị lọc hạt cơ học (mechanical particle filter) • Sử dụng bia mật độ cao (high – density target) và có bề mặt nhẵn (hoặc mài nhẵn bia trƣớc khi lắng đọng) • Sử dụng cơ chế mật độ năng lƣợng thấp hơn hoặ cơ chế lắng đọng chậm hơn 5.2.3. Tổng hợp Sol-gel Sản xuất màng mỏng thông qua phƣơng pháp sol-gel đã đƣợc ứng dụng rộng rãi trong việc lắng đọng màng nhiệt sắc VO2 . Con đƣờng tổng hợp này cung cấp một phƣơng pháp vừa tƣơng đối rẻ.

Và vì không còn thấy đỉnh phỏ nào nữa.Phƣơng pháp lắng đọng hơi hóa học là 1 phƣơng pháp lắng đọng hơi đƣợc sử dụng rộng rãi trong công nghiệp.87 (ứng với mặt nhiễu xạ (011) ) => chứng tỏ lúc này đã xuất hiện VO2 • Màng lắng đọng tại nhiệt độ đế350oC có 2 đỉnh tại góc 27.. bằng phƣơng pháp nhiễu xạ tia X ta sẽ khảo sát sự ảnh hƣởng của nhiệt độ đế đến độ kết tinh của màng VO2 (đƣợc tạo băng phƣơng pháp PLD) Trƣớc hết. Ƣu điểm của phƣơng pháp này đó là:  Có khả năng tạo vật liệ có độ tinh khiết và đậm đặc cao  Màng đồng đều đƣợc tạo có độ bám dính tuyệt vời  Cơ chế lắng đọng màng có thể đƣợc điều chỉnh  Hoạt động tại nhiệt độ thấp  Có thể đƣợc sản xuất lại Phƣơng pháp CVD thƣờng đƣợc dùng để sản xuất ra màng VO2 là phƣơng pháp lắng đọng hơi hóa học hữu cơ – kim loại (Organometallic Chemical Vapour Deposition) Phƣơng pháp CVD này có 2 loại  Phƣơng pháp lắng đọng hơi hóa học ở áp suất khí quyển  Phƣơng pháp lắng đọng hơi hóa học có thêm bình sol khí V. chúng ta sẽ phân tích kết quả tạo màng VO2 bằng phƣơng pháp PLD và Phún xạ Magnetron. cho nên màng VO2 lắng đọng ở 350oC có tính định . Vì vậy. sự mở rộng của đỉnh phổ và cƣờng độ phổ phụ thuộc vào kích thƣớc hạt và mức độ kết tinh cua màng. PHÂN TÍCH KẾT QUẢ TẠO MÀNG VO2 : Ở đây. Và tất cả màng đƣợc lắng đọng trong nhiệt độ từ 350 – 450oC đều đã đƣợc kết tinh. Tính chất của màng lắng đọng sẽ đƣợc xác định bằng những kỹ thuật khác nhau: • Dùng nhiễu xạ tia X (XRD) = > xác định cấu trúc màng tạo thành • Dùng kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) = > xác định bề mặt màng • Dùng phổ UV-VIS = > xác định tính chất quang của màng 1.91o(ứng với mặt(011) và mặt(022) .87o và 57. màng VO2 đƣợc tạo thành chỉ có pha” bán dẫn” của cấu trúc đơn tà VO2 (ngoài ra không cón pha nào khác nữa. trong đó các mặt mạng nhiễu xạ mà ta chụp tƣơng ứng với các góc 2theta trong bảng sau Thông thƣờng. Màng VO2 đƣợc tạo theo phƣơng pháp lắng đọng bằng xung laser (PLD) a) Cấu trúc màng: Ở đây. ta có phổ XRD của màng VO2 đƣợc lắng đọng tại những nhiệtđộ đế khác nhau Từ hình trên ta thấy. từ ảnh nhiễu xạ ta có vài kết luận sau: • Tất cả các màng đều có peak đầu tiên tại góc 27.

Và ta cũng có phổ nhiễu xạ tia X nhƣ sau .hƣớng cao với mặt tinh thể (011). Ngƣời ta thƣờng dùng công thức Debye Schere để tính kích thƣớc trung bình < ϕ> của hạt: Trong đó FWHM là độ rộng đỉnh phổ θ là góc nhiễu xạ Bragg = > áp dụng công thức trên để khảo sát kích thƣớc hạt cho đỉnh phỏ (011) theo3 nhiệt độ của đế = > ta thấy. ta cũng làm những bƣớc phần nhƣ trên . Màng VO2 đƣợc tạo theo phƣơng pháp phún xạ magenetron Tƣơng tự.75 và64. thì ta thu đƣợc ảnh: Rồi dùng phần mềm Nanoscope để tìm giá trị độ mấp mô bề mặt Rn thì ta có đƣợc bảng gia trị sau Kết quả này cho ta thấy Ra tại nhiệt độ 3500C và 4000C không giống nhau và và nó tăng đột ngột tại450oC c) Tính chất nhiệt sắc của màng đƣợc tạo thành: Ở đây chúng ta sẽ dùng phổ UV – VIS để khảo sát sự thay đổi tính chất nhiệt sắc của màng lắng đọng tại những nhiệt độ đế khác nhau (trong đó quang phổ kế UV-VIS là 1 thiết bị đƣợc dùng để đo cƣờng độ ánh sang truyền qua mẫu).: đối với VO2 (ở cả 3 trƣờng hợp nhiệt độ đế) thì ở vùng hông ngoại(IR) có 1sự tƣơng phản rõ nét giữa độ truyên qua của pha bán dẫn ở nhiệt độ thấp (25OC) va2d9o65 truyền qua của pha kim loại ở nhiệt độ cao (100OC).90 (tƣơng ứng với mặt (002) và (013)) = > Sự xuất hiện này chỉ ra sự suy giảm của sự định hƣớng hạt VO2 ( deterioration of Vo2 grains orientation). phổ XRD của màng tại 450oC còn có them vài đỉnh phổ không xác định = > điều này chứng tỏ sự xuất hiện pha thứ 2 cùa oxit này. thì ta sẽ có hình nhƣ sau: Từ hình vẽ ta thấy. Ngoài ra chúng còn xuất hiện them 2 đỉnh phoo63 mới tại góc 2theta =39. Và ta thấy độ tƣơng phản ấy giảm khi nhiệt độ của đế tăng. khi nhiệt độ đế càng tăng thì kích thƣớc hạt tạo thành cũng tăng theo = > Vậy độ kết tinh phụ thuộc vào nhiệt độ đế b) Bề mặt màng tạo thành Ta khảo sát độ mấp mô của màng bằng kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) tại 3 nhiệt độ đế nhƣ trên. thì ta sẽ có những kết quả sau: a) Cấu trúc màng: Ở đây ta cũng sẽ vẫn dùng nhiễu xạ tia X để xác định ảnh hƣởng của nhiệt độ lế lên sự kết tinh của màng mỏng VO¬2. • Hơn nữa. 2. Chúng ta quan sát thấy mặt (011) xuất hiện “kết cấu mở rộng” ( broad structure) = > điều này chứng tỏ sự xuất hiện cấu trúc vô định • Màng lắng đọng (với nhiệt độ đế tại 400oC va450oC ) có dạng phổ XRD tƣơng tự nhau.

: đối với VO2 (ở cả 3 trƣờng hợp nhiệt độ đế) thì ở vùng hồng ngoại(IR) có 1sự tƣơng phản rõ nét giữa độ truyền qua của pha bán dẫn ở nhiệt độ thấp (25OC) và độ truyền qua của pha kim loại ở nhiệt độ cao (100OC). Tuy nhiên. Ngoài ra ngƣời ta còn có thể xac định đƣợc độ dày của màng VO2 bằng phƣơng pháp tán xạ ngƣợc Rutherford và tính chất điện của màng bằng phƣơng pháp bốn mũi dò (four point Probe) (nhƣng ở đây không trình bày).Schere để khảo sát kích thƣớc hạt cho đỉnh phỏ (011) theo 3 nhiệt độ của đế thì ta đƣợc giản đồ sau = > và ta thấy độ kết tinh của màng cũng phụ thuộc vào nhiệt độ đế.Và với góc nhiễu xạ theta tƣơng ứng: Rồi áp dụng công thức Debye. b) Bề mặt của màng tạo thành: Ta khảo sát độ mấp mô của màng bằng kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) tại 3 nhiệt độ đế nhƣ trên. ta có 1 vài nhận xét nhƣ sau: • Nhiệt độ của đế đều ảnh hƣởng đến kết quả lắng đọng màng (của cả hai phƣơng pháp).(kết quả XRD của cả 2 phƣơng pháp cho ta thấy rõ đƣợc điều này) • Độ mấp mô của màng đƣợc tạo thành (từ cả 2 phƣơng pháp) đều tăng khi nhiệt độ đế tăng = > Dẫn đến việc tăng kích thƣớc hạt đƣợc tạo thành • Màng đƣợc tổng hợp bằng phƣơng pháp PLD có độ truyền qua giảm khi nhiệt độ đế tăng. trong khi đó. Nên ta có them 2 nhận xét nữa mà ở đây ta xem nhƣ là chấp nhận • Độ dày của màng đƣợc tạo thành (từ cả 2 phƣơng pháp) hầu nhƣ không đổi khi nhiệt độ đế tăng (bởi . thì ta thu đƣợc ảnh: Rồi dùng phần mềm Nanoscope để tìm giá trị độ mấp mô bề mặt Rn thì ta có đƣợc bảng gia trị sau Kết quả này cho ta thấy Ra tại nhiệt độ 4500C và 5000C không giống nhau và và nó tăng đột ngột tại 550oC . Đánh giá chung đối với kết quả màng tạo đƣợc từ 2 phƣơng pháp Ở đây. c) Tính chất nhiệt sắc của màng đƣợc tạo thành: Ở đây chúng ta sẽ dùng phổ UV – VIS để khảo sát sự thay đổi tính chất nhiệt sắc của màng lắng đọng tại những nhiệt độ đế khác nhau (trong đó quang phổ kế UV-VIS là 1 thiết bị đƣợc dùng để đo cƣờng độ ánh sang truyền qua mẫu). màng đƣợc tạo bằng phƣơng pháp PLD thể hiện 1 sự thay đổi quyết liệt hơn. về mặt cấu trúc tinh thể. 3. trong khi màng đƣợc lắng đọng bằng phƣơng pháp ICMS thì biến thiên (fluctuation) khi nhiệt độ đế tăng. sự thay đổi củamàng đƣợc tạo bởi phƣơng pháp ICMS thì tỏ ra bình thƣờng hơn. Và ta thấy độ tƣơng phản ấy tăng khi nhiệt độ của đế tăng. thì ta sẽ có hình nhƣ sau: Từ hình vẽ ta thấy.

Trong đó tungsten (VI) là có triển vọng nhiều nhất (vì lý do ta đã kể trên). Đó là sau khi lắng đọng trên đế thủy tinh thì màng pha tạp sẽ có 1 màu nâu không đƣợc hấp dẫn cho lắm. thì phƣơng pháp PLD tạo màng dày hơn và ít cần nhiệt độ đế cao nhƣ của ICMS Kết quả của PLD Kết quả của ICMS • Khi tăng nhiệt độ đế. những kết quả này chỉ có thể ứng dụng trong những nơi có khí hậu nóng ấm. Và nếu xét ở kích thƣớc nanomét. và cũng không đủ thời gian dùng trong suốt những tháng hè) Ngoài ra màng mỏng VO2 còn đƣợc dùng trong các thiết bị • Bộ chuyển mạch điện toán • Gƣơng quang học • Thiết bị lƣu trữ dữ liệu • Cảm biến nhiệt quang (optical temperature sensor) . Tuy nhiên. Vì vậy. Màng oxit Vanadium (IV) pha tạp hạt nano vàng và màng V2O5 còn có thể đƣợc dùng dùng làm bộ chuyển đổi quang học .. ỨNG DỤNG: Vật liệu nhiệt sắc có thể đƣợc dùng để phủ lên lớp cửa sổ thộng minh Trong đó màng VO2 có triển vọng nhiều nhất (vì nó có nhiệt độ tới hạn TC =68oC ¬rất gần nhiệt độ phòng) Việc sử dụng tạp chất để làm giảm nhiệt chuyển tiếp của vật liệu nhiệt sắc đang đƣợc nghiên cứu 1 cách rộng rãi. về mặt thƣơng mại. mà còn sẽ còn tạo cho màng 1 màu xanh dƣơng hay xanh lá cây (tùy thuộc vào nồng độ hạt nano vàng pha tạp vào) Tuy nhiên.. chứ nó không phù hợp cho những nơi có khí hậu lạnh hơn (bởi đối với những nơi có khí hậu lạnh thì nhiệt độ chuyển tiếp của các lớp màng có lẽ cũng quá cao. màng đƣợc lắng đọng bằng phƣơng pháp ICMS có độ dẫn điện tốt hơn màng đƣợc tạo bằng phƣơng pháp PLD VI. ngƣời ta nghĩ đến việc pha tạp các hạt nano vàng vào. thì có 1 hạn chế khi pha tạp tungsten vào màng mỏng VO2.. Bởi vì nó không chỉ giúp giảm nhiệt chuyển tiếp của màng VO2.độ dày của màng trong mỗi phƣơng pháp tăng lên không nhiều).

2010 7:11 am Gửi bài trả lời Quay về Vật lí màng mỏng Chuyển đến: 1 bài viết • Trang 1 trên 1 V?t lí màng m?ng Chuy?n ĐANG TRỰC TUYẾN Đang xem chuyên mục này: Không có thành viên nào trực tuyến.9:30 Giờ 문서파일 미리보기 .  Trang chủ Powered by phpBB © 2000. và 1 khách.Và còn nhiều ứng dụng khác nữa … Một số hình ảnh ứng dụng của các vật liệu nhiệt sắc khác  Ứng dụng của màng nhiệt sắc tinh thể lỏng  Ứng dụng của màng nhiệt sắc thuốc nhuôm leuco (leuco dyes) admin Site Admin Bài viết: 1520 Đ ầ u t r a n g Ngày tham gia: T. 2007 phpBB Group Vietnamese translation by nedka Install phpBB web hosting  Ban điều hành • Xóa hết cookie • Múi giờ UTC . 2005. 2002.Hai Tháng 3 01.

.

.

MOCVD (metalorganic CVD).(OC2H5)3 -> (C2H5O)3-Si-O-Si-(OC2H5)3 alkoxide sol CÁC KĨ THUẬT TẠO MÀNG TỪ DUNG DỊCH SOLGEL Kĩ thuật phủ nhúng (dip coating) Kĩ thuật phủ quay (spin coating) Kĩ thuật phủ dòng chảy (flow coating) . spray pyrolysis… LỚP CHỐNG OXI HÓA HOẶC ĂN MÕN LỚP NGĂN KHUẾCH TÁN CẢM BIẾN KHÍ/LỎNG PHƢƠNG PHÁP SOLGEL Sol (solution).PE-ALD. Si3N4-> màng nhạy pH ZnO:Ga. Ni (Al/Si trong bán dẫn loại n) ZnAl3 (Al/Au) TiN. CƠ CHẾ TẠO DUNG DỊCH SOLGEL TỪ ALKOXIDE M(OR)+H2O -> M(OH) + R(OH) (thủy phân) M(OH)+M(OH)-> MOM + H20 (ngƣng tụ) M(OH)+M(OR)-> MOM +ROH (ngƣng tụ) VÍ DỤ: tạo màng SiO2 Thủy phân: (C2H5O)3-Si-OC2H5 + H2O -> (C2H5O)3-Si-OH + C2H5OH Ngƣng tụ: (C2H5O)3-Si-OH + OH-Si. Màng chống ăn mòn: Tb-Fe-Co hay Tb/Fe-Co Al-SiO2. SnO2:Sb -> nhạy hơi cồn….EPD. Gel(gelation) Đây là phƣơng pháp hóa học ƣớt tổng hợp các phần tử huyền phù dạng keo rắn (precursor:SnCl4.2H2O…) trong chất lỏng sau dó tạo thành nguyên liệu lƣỡng pha của bộ khung chất rắn.LPE LPCVD. Các alkoxide M(RO) là lựa chọn ban đầu để tạo ra dung dịch solgel với các xúc tác thích hợp. PLD (pulse laser deposotion)… Phún xạ ALD(atomic layer deposition).đƣợc chứa đầy dung môi cho đến khi xảy ra quá trình chuyển tiếp Sol-gel. PECVD.5H2O. Al2O3:Mg…… Màng ngăn khuếch tán: Ta-Si-N.. TiO2 dạng tinh thể hay vô định hình (PbTiO3/Si)…… Phún xạ TVA (thermionic vacuum arc) PE-ALD. ZnO.문서내용 미리보기 CÁC PHƢƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG HÓA HỌC HV: Trần Thị Thanh Thủy CHK18 CÁC LOẠI MÀNG HÓA Màng nhạy khí/lỏng: Al2O3. CCVD (combustion CVD)… Solgel Phún xạ CVD. SbCl3.CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG NHẠY KHÍ .Ta2O5.

Có thể phủ những vật liệu có độ dày từ 20nm đến 50micromet bằng cách chọn độ nhớt của chất lỏng sao cho phù hợp. thấu kính.1 to 85 mm/min Deposition speed Deposition system: CÁC THÔNG SỐ KĨ THUẬT CỦA MÁY :Độ dày lớp chất lỏng :Độ nhớt chất lỏng :vận tốc rút đế :khối lƣợng riêng chất lỏng : gia tốc trọng trƣờng FLOW COATING -Độ dày của màng phụ thuộc:độ nghiêng của đế..Tiết kiệm vật liệu .Kĩ thuật phun (spray coating)….Có thể thực hiện quay mẫu sau khi phủ để tăng độ dồng đều của độ dày màng mỏng. màng có độ đồng đều cao nhờ lực li tâm cân bằng với lực đo độ nhớt của dung dịch Các bƣớc tiến hành: ĐỘ DÀY LỚP PHỦ KHÔNG PHỤ THUỘC LƢỢNG DUNG DỊCH CHO LÊN ĐẾ :khối lƣợng riêng ban đầu của chất lỏng : khối lƣợng riêng : vận tốc góc của đế : độ nhớt của chất lỏng : tốc độ bay hơi của chất lỏng Capillary coating . độ nhớt chất lỏng.01 to 400 mm/min Speed of linear movement 0 to 600 mm Linear range of movement of dipper unit Drive Belt system: 100x100x10 mm (100 % immersion) Maximum size of substrate Servo controlled DC motor Dipper motor Adjustable from 1 to 9999 seconds Delay times Unlimited Deposition cycles 145 mm Arm stroke 0. KĨ THUẬT PHỦ QUAY MẪU Phƣơng pháp này sử dụng lực quay li tâm để phủ màng.1 mm/min (lấy làm đơn vị) Speed adjustment 0. High precision micro Stepp driven stepper motor Barrier motor 0. Capillary coating DIP COATING Phủ những vật liệu có mặt cong nhƣ mắt kính.tốc độ bay hơi dung dịch -Sử dụng đối với đế không bằng phẳng và phủ trên diện tích lớn .

các loại màng chống oxi hóa hoặc ăn mòn… 1 năm 6 tháng 3 năm Độ bền 1 1 1 . ƢU ĐIỂM Có khả năng sản xuất vật liệu đa thành phần một cách đơn giản và nhanh chóng nhờ điểu chỉnh dung dịch hóa học-> mở rộng phạm vi ứng dụng Điều chỉnh đƣợc kích thƣớc. hình dáng và hình thái học của các hạt nano. +Đế phải tƣơng thích. Kể từ đó nhiều vật liệu khó phủ bằng những phƣơng pháp bình thƣờng . KĨ THUẬT PHỦ CỔ ĐIỂN +Khó duy trì độ tinh khiết +Gồm nhiều bƣớc tiến hành phức tạp (hiệu suất thấp). Đối với màng nhạy khí cấu trúc xốp của màng rất đƣợc quan tâm -Sau khi xử lí nhiệt ta có thể tiến hành phủ điện cực để dễ dàng cho việc phân tích mẫu.Điều chỉnh độ dày màng bằng cách điều chỉnh tốc độ slot-tube XỬ LÍ NHIỆT CHO MÀNG -Trong quá trình tạo màng khâu xử lí nhiệt rất quan trọng vì nó ảnh hƣởng trực tiếp đến vi cấu trúc của màng.. Ta2O5. vật chất kết nối với nhau chặc chẽ hơn hình thành nên biên hạt làm ảnh hƣởng đến vi cấu trúc của màng. tốn thời gian. Kĩ thuật PLD lần đầu tiên sử dụng để phủ màng siêu dẫn YBa2Cu3O7. Máy hoạt động ở môi trƣờng không khí bình thƣờng NHƢỢC ĐIỂM Tiền chất phải hòa tan đƣợc và dễ bắt lửa Dụng cụ đắt tiền KĨ THUẬT PLD (pulse laser deposition) Phƣơng pháp PLD đƣợc chú ý trong vài năm vừa qua vì phƣơng pháp này đã phủ đƣợc thành công những hợp chất phức tạp.Phủ đƣợc nhiều lớp . +Khó tạo bề mặt phẳng Physical Vapor Deposition (PVD) +Đòi hỏi nhiệt độ và áp suất thấp +Đế chịu nhiệt cao +khó phủ màng có nhiều thành phần Chemical Vapor Deposition (CVD) NHƢỢC ĐIỂM PHƢƠNG PHÁP PHƢƠNG PHÁP CCVD ( Combustion Chemical Vapor Deposition) HÌNH ẢNH THỰC TẾ Left: One of nGimat's small pilot facilities for production of nanopowders Right: nanopowderproducing CCVC flame. +Buồng chân không phải có áp suất cao. +Chỉ có duy nhất đế có nhiệt độ cao Sol-gel +Khó phủ màng có nhiều thành phần. đặc biệt là những hợp chất gồm nhiều loại oxit khác nhau đã đƣợc phủ thành công bởi phƣơng pháp này. Phƣơng pháp này dùng để phủ những màng nhạy PH nhƣ Al2O3. Giai đoạn này có tác dụng làm bay hơi hết dung môi còn lại trong màng.

TeflonTM. fuel cells. thermal barrier. Glass. Si. YIG. Si-Ti/Pt wafers. Fe2O3. interface layers. ferroelectric materials. Maiman xây dựng máy maser (microwave amplification by stimulated emission radiation)-máy khuếch đại vi sóng bằng bức xạ cảm ứng sử dụng thanh ruby nhƣ là môi trƣờng tác dụng laser. TiAl alloy. doped-CeO2. RbOx. RuO2. Ni. Silica. Một vài nhóm nghiên cứu đã đạt đƣợc những kết quả đáng chú ý trong việc sản xuất ra những màng mỏng bằng cách sử dụng kĩ thuật này 1987 – PLD đã thành công trong việc chế tạo những màng mỏng siêu dẫn nhiệt độ Cuối thập niên 80 – PLD là một kĩ thuật khá nổi tiếng trong việc chế tạo màng mỏng và đƣợc chú ý đến rất nhiều. numerous composites of metals. BaTiO3.g. 1962 – Breech và Cross sử dụng laser ruby làm bay hơi và kích thích nguyên tử từ bề mặt chất rắn 1965 – Smith và Turner sử dụng laser ruby để phủ màng . Mn2O3. YSZ. capacitors. WO3. 1990’s – sự phát triển nhanh chóng của laser đạ kéo theo sự phát triển của kĩ thuật PLD. resistors. flat panel displays. PMT. powders Substrates Used Over 10 polymers (polyimides. electronics. NiO. Graphite. Optical fibers. PZT. 3Al2O3•2SiO2.95Ca. Spinels (e. RhOx. PbTiO3. Al2O3•MgO. NiAl2O4. . gas diffusion barriers. NafionTM. Dánh dấu sự khởi đầu của kĩ thuật PLD Đầu thập niên 80. SiO2. BST. Cr2O3. Al2O3. LaAlO3. Polycarbonate.Thời gian hƣởng ứng(phút) 56-58 53-55 54-56 Cƣờng độ(mV/pH) 2-12 2-12 2-12 Khoảng đo (pH) Ta2O5 Si3N4 Al2O3 Màng Sensor pH pH pH Loại Sensor LỊCH SỬ PHÁT TRIỂN CỦA PLD 1916 – Albert Einstein giả định quá trình phát xạ kích thích. YBa2Cu3Ox. Ti. engines. superconductors. 1960 – Theodore H. Ta2O5. V2O5. Cu. YSZ. NafionTM. NiCr. Nb2O5. NiCr2O4). PLZT. LSC. MgO. Silica Glasses. piezoelectrics.Drs. BaCeO3. LaAlO3. MgO. corrosion resistance. Pt. ITO. CuxO. 2000’s. Koinuma and Kawasaki nghiên cứu cài tiến hệ thống PLD để tạo ra những mẫu có chất lƣợng cao và giảm thời gian phủ màng Nguyên tắc hoạt động Adhesion. OPP. LaPO4. catalytic applications. PMN. PbSO4.đánh dấu sự tạo ra thiết bị phủ màng bằng laser và kĩ thuật epitaxy . ceramics and polymers Al2O3. TiO2. PNZT.05]CrO3. MoO3. [La. LSM. PET. NSM. PdO. YbBa2Cu3Ox. BaCO3. SiC. optics. Stainless and C-Steel. and wear resistance Some Applications Al. SrLaAlO4. Fiber Tows. Brass. SrRuO3. thermal control. Si3N4. epoxies). Superalloys. RF and millimeter wave components solar cells. In2O3. SrTiO3. Ag. SnO2.

Zn Others Ceramics Metals VẬT LIỆU PHỦ PLD-3000 Bia Thiết bị giữ đế .YSZ•Al2O3. ZnO (+ dopants in many cases) Ag. Ir. Cu. Pt. Au. YSZ-Ni. Ru. Ni. ZrO2. Rh.

Sign up to vote on this title
UsefulNot useful