Cảm biến

I. Khái niệm
Cảm biến là các phần tử nhạy cảm dùng để biến đổi các đại lượng đo lường,
kiểm tra hay điều khiển từ dạng này sang dạng khác thuận tiện hơn cho việc tác
động của các phần tử khác. Cảm biến là một thiết bị chịu tác động của đại lượng
cần đo m không có tính chất điện và cho một đặc trưng mang bản chất điện (như
điện tích, điện áp, dòng điện, trở kháng) kí hiệu là s có s = F(m). Cảm biến thường
dùng ở khâu đo lường và kiểm tra.
Các loại cảm biến được sử dụng rộng rãi trong tự động hóa các quá trình sản
xuất và điều khiển tự động các hệ thống khác nhau. Chúng có chức năng biến đổi
sự thay đổi liên tục các đại lượng đầu vào (đại lượng đo lường - kiểm tra, là các đại
lượng không điện nào đó thành sự thay đổi của các đại lượng đầu ra là đại lượng
điện, ví dụ: điện trở, điện dung, điện kháng, dòng điện, tần số, điện áp rơi, góc
pha,...
Căn cứ theo dạng đại lượng đầu vào người ta phân ra các loại cảm biến như:
cảm biến chuyển dịch thẳng, chuyển dịch góc quay, tốc độ, gia tốc, mô men quay,
nhiệt độ, áp suất, quang, bức xạ,...

II. Các thông số cơ bản của cảm biến:

∆Y
a) Độ nhạy S =
∆X

Với: ∆X : gia số đại lượng đầu vào.

∆Y : gia số đại lượng đầu ra.
Trong thực tế còn sử dụng độ nhạy tương đối: S0
Với: Y là đại lượng ra.
X là đại lượng vào.
Cảm biến có thể là tuyến tính nếu S0=const hoặc là phi tuyến nếu S0= var. Cảm
biến phi tuyến có độ nhạy phụ thuộc vào giá trị đại lượng vào (X).

b) Sai số
Sự phụ thuộc của đại lượng ra Y vào đại lượng đầu vào X gọi là đặc tính vào ra của
cảm biến. Sự sai khác giữa đặc tính vào ra thực với đặc tính chuNn (đặc tính tính
toán hay đặc tính cho trong lí lịch) được đánh giá bằng sai số.
Phân làm hai loại sai số
+ Sai số tuyệt đối ∆X = X ' − X
 X': giá trị đo được; X: giá trị thực.
∆X
+ Sai số tương đối a =
X
Các nguyên nhân ảnh hưởng tới sai số
Có nhiều nguyên nhân khách quan và chủ quan ảnh hưởng tới sai số, trong thực tế
người ta đưa ra các tiêu chuNn và các điều kiện kĩ thuật để hạn chế mức độ ảnh
hưởng này trong phạm vi cho phép.
Sai số ở giá trị định mức do yếu tố của bên ngoài gọi là sai số cơ bản. Nếu yếu tố
của bên ngoài vượt ra khỏi giới hạn định mức thì xuất hiện sai số phụ. Để giảm sai
số phụ phải giảm độ nhạy của cảm biến với yếu tố ngoài hoặc hạn chế ảnh hưởng
của chúng bằng màn chắn hay môi trường khác.

c) Các yêu cầu của cảm biến

Muốn có độ nhạy cao, sai số nhỏ, cảm biến cần có các tính chất sau:
+ Có dải thay đổi đại lượng vào cần thiết.
+ Thích ứng và thuận tiện với sơ đồ đo lường, kiểm tra.
+ Ảnh hưởng ít nhất đến đại lượng đầu vào.
+ Có quán tính nhỏ.
Hiện nay có rất nhiều loại cảm biến, chúng làm việc theo nhiều nguyên lí khác
nhau, do vậy kết cấu của cảm biến rất đa dạng và phong phú.

III. Phân loại cảm biến

Có thể phân các cảm biến làm hai nhóm chính: là cảm biến tham số (thụ động) và
cảm biến phát (chủ động hay tích cực).

* hóm phát: bao gồm các loại cảm biến sử dụng hiệu ứng cảm ứng điện từ, hiệu
ứng điện áp, hiệu ứng Holl và sự xuất hiện sức điện động của cặp nhiệt ngẫu, tế bào
quang điện.

+Hiệu ứng cảm ứng điện từ: trong một dây dẫn chuyển động trong một từ trường
không đổi sẽ xuất hiện một sức điện động tỉ lệ với từ thông cắt ngang dây trong
một đơn vị thời gian, nghĩa là tỉ lệ với tốc độ dịch chuyển của dây dẫn.
Hiệu ứng cảm ứng điện từ được ứng dụng để xác định tốc độ dịch chuyển của vật
thông qua việc đo sức điện động cảm ứng.
+Hiệu ứng quang phát xạ điện tử: là hiện tượng các điện tử được giải phóng thoát
ra khỏi vật liệu tạo thành dòng được thu lại dưới tác dụng của điện trường.
+Hiệu ứng quang điện trong chất bán dẫn: là hiện tượng khi một chuyển tiếp P-N
được chiếu sáng sẽ phát sinh ra các cặp điện tử-lỗ trống, chúng chuyển động dưới
tác dụng của điện trường chuyển tiếp làm thay đổi hiệu điện thế giữa hai đầu
chuyển tiếp.
+Hiệu ứng Holl: trong vật liệu (thường là bán dẫn) dạng tấm mỏng có dòng điện
chạy qua đặt trong từ trường B có phương tạo thành một góc với dòng điện I sẽ
xuất hiện một hiệu điện thế U theo hướng vuông góc với B và I. Hiệu ứng Holl
được ứng dụng để xác định vị trí của một vật chuyển động. Vật sẽ được ghép nối
cơ học với một thanh nam châm, ở mọi thời điểm vị trí của thanh nam châm xác
định giá trị của từ trường và góc lệch tương ứng với tấm bán dẫn mỏng làm trung
gian. Hiệu điện thế đo được giữa hai cạnh tấm bán dẫn trong trường hợp này (gián
tiếp) là hàm phụ thuộc vị trí của vật trong không gian.
Cảm biến loại này là cảm biến tích cực vì trong trường hợp này nguồn của dòng
điện I (chứ không phải đại lượng cần đo) cung cấp năng lượng liên quan đến tín
hiệu đo.
+Hiệu ứng điện áp: khi tác dụng lực cơ học lên một vật làm bằng vật liệu áp điện
(như thạch anh) sẽ gây nên biến dạng của vật đó và làm xuất hiện lượng điện tích
bằng nhau nhưng trái dấu nhau trên các mặt đối diện của vật (là hiệu ứng điện áp).
Hiệu ứng này được ứng dụng để xác định lực hoặc các đại lượng gây nên lực tác
dụng vào vật liệu áp điện (như áp suất, gia tốc,...) thông qua việc đo điện áp trên
hai bản cực tụ điện.
Ngoài ra còn cảm biến nhiệt điện, cảm biến hóa điện,...

*Cảm biến tham số (thụ động): thường được chế tạo từ những trở kháng có một
trong các thông số chủ yếu nhạy với đại lượng cần đo. Một mặt giá trị của trở
kháng phụ thuộc vào kích thước hình học của mẫu, nhưng mặt khác nó còn phụ
thuộc vào tính chất điện của vật liệu như: điện trở suất, từ thNm, hằng số điện môi.
Vì vậy giá trị của trở kháng thay đổi dưới tác dụng của đại lượng đo ảnh hưởng
riêng biệt đến tính chất hình học, tính chất điện hoặc đồng thời ảnh hưởng cả hai.
Thông số hình học hoặc kích thước của trở kháng có thể thay đổi nếu cảm biến có
phần tử chuyển động hoặc phần tử biến dạng.
+Trường hợp khi có phần tử động thì mỗi vị trí của phần tử sẽ tương ứng với một
giá trị trở kháng, đo trở kháng sẽ xác định được vị trí đối tượng. Đây là nguyên lí
nhiều cảm biến như cảm biến vị trí, cảm biến dịch chuyển.
+Trường hợp cảm biến có phần tử biến dạng, thì sự biến dạng gây nên bởi lực hoặc
các đại lượng dẫn đến lực (áp suất, gia tốc) tác dụng trực tiếp hoặc gián tiếp lên
cảm biến làm thay đổi trở kháng. Sự thay đổi trở kháng liên quan đến lực tác động
lên cấu trúc, nghĩa là tác động của đại lượng cần đo được biến đổi thành tín hiệu
điện (hiệu ứng áp trở).
Trở kháng của cảm biến thụ động và sự thay đổi của trở kháng dưới tác dụng của
đại lượng cần đo chỉ có thể xác định được khi cảm biến là một thành phần của
mạch điện. Trong thực tế tùy từng trường hợp cụ thể mà người ta chọn mạch đo
thích hợp với cảm biến. Hình minh họa dưới đây biểu diễn một mạch điện đo điện
thế trên bề mặt màng nhạy quang được lắp ráp từ nhiều phần tử.

IV. CẢM BIẾN QUANG:

Tế bào quang dẫn
Các tế bào quang dẫn là một trong những cảm biến quang có độ nhạy cao. Cơ sở
vật lí của tế bào quang dẫn là hiện tượng quang dẫn do kết quả của hiệu ứng quang
điện nội (hiện tượng giải phóng hạt tải điện trong vật liệu dưới tác dụng của ánh
sáng làm tăng độ dẫn điện của vật liệu).
a) Vật liệu để chế tạo cảm biến
Cảm biến quang thường được chế tạo bằng các chất bán dẫn đa tinh thể đồng nhất
hoặc đơn tinh thể, bán dẫn riêng hoặc bán dẫn pha tạp, ví dụ như:
+Đa tinh thể :CdS, CdSe, CdTe, PbS, PbSe, PbTe.
+Đơn tinh thể:Ge, Si tinh khiết hoặc pha tạp Au, Cu, Sb, In, SbIn, AsIn, PIn,
CdHgTe.
Vùng phổ làm việc của các vật liệu này khác nhau.
b) Các đặc trưng
+ Điện trở: giá trị điện trở tối Rc0 phụ thuộc vào dạng hình học, kích thước, nhiệt
độ và bản chất lí hóa của vật liệu quang dẫn. Điện trở Rc của cảm biến khi bị chiếu
sáng giảm rất nhanh khi độ rọi tăng lên. Sự phụ thuộc của điện trở vào thông lượng
ánh sáng không tuyến tính, tuy nhiên có thể tuyến tính hóa bằng cách sử dụng một
điện trở mắc song song với tế bào quang dẫn.
+Độ nhạy: độ dẫn của tế bào quang dẫn là tổng của độ dẫn trong tối và độ dẫn khi
chiếu sáng. Độ nhạy phổ là hàm của nhiệt độ nguồn sáng: khi nhiệt độ tăng thì độ
nhạy phổ tăng lên.
Ứng dụng của tế bào quang dẫn
Tế bào quang dẫn được ứng dụng nhiều bởi chúng có tỉ lệ chuyển đổi tĩnh và độ
nhạy cao cho phép đơn giản hóa trong việc ứng. Nhược điểm chính của tế bào
quang dẫn là:
+Hồi đáp phụ thuộc một cách không tuyến tính vào thông lượng.
+Thời gian hồi đáp lớn.
+Các đặc trưng không ổn định (già hóa).
+Độ nhạy phụ thuộc vào nhiệt độ.
+Một số loại đòi hỏi phải làm nguội.
Người ta không dùng tế bào quang dẫn để xác định chính xác thông lượng. Thông
thường chúng được sử dụng để phân biệt mức sáng khác nhau (trạng thái tối- sáng
hoặc xung ánh sáng). Thực tế thì tế bào quang dẫn thường ứng dụng trong hai
trường hợp:
+Để điều khiển rơle thì khi có thông lượng ánh sáng chiếu lên tế bào quang dẫn,
điện trở của nó giảm đáng kể đủ để cho dòng điện I chạy qua tế bào. Dòng điện này
được sử dụng trực tiếp hoặc thông qua khuếch đại để đóng mở rơle.
+Thu tín hiệu quang dùng để biến đổi xung quang thành xung điện. Sự ngắt quãng
của xung ánh sáng chiếu lên tế bào quang dẫn sẽ được phản ánh trung thực qua
xung điện của mạch đo, ứng dẫn để đo tốc độ quay của đĩa hoặc đếm vật.

V. Quang trở (Light-Dependent Resistor):

Quang trở làm việc theo hiệu ứng quang dẫn. Cho phép phát hiện ánh sáng.Trên
một thanh bán dẫn nhiều tạp chất n tiết diện A, chiều dày L, có một cửa sổ để ánh
sáng có thể chiếu xuyên qua. Bình thường khi che ánh sáng hay đặt quang trở trong
bóng tối, điện trở quang trở ở 2 đầu rất cao. Khi có ánh sáng chiếu vào, sẽ cung cấp
năng lượng để tạo điện tử tự do với mật độ tăng tỉ lệ với cường độ ánh sáng chiếu
vào cửa sổ.

Hình 1

Các vật liệu sử dụng làm quang trở:

Vật liệu đa tinh thể: CdS, CdSe, CdTe, PbS, PbSe, PbTe…
Vật liệu đơn tinh thể: Ge, Si thêm tạp chất Au, Cu, Sb, Zn…

Đặc tính quang trở:

Quang trở thường không nhạy với tất cả các mức ánh sáng. Dựa vào đáp ứng của
quang trở đối với dãy bước sóng. Đáp ứng tốt nhất trong dãy bước sóng giữa
500nm(xanh lá) và 700nm(đỏ).

Hình 2: Đáp ứng của quang trở với các bước sóng ánh sáng.

Cường độ ánh sáng Điều kiện môi trường

0.002 lux Moonless clear night sky
0.2 lux Design minimum for emergency lighting (AS2293).
0.27 - 1 lux Full moon on a clear night
3.4 lux Dark limit of civil twilight under a clear sky
50 lux Family living room
80 lux Hallway/toilet
100 lux Very dark overcast day
300 - 500 lux Sunrise or sunset on a clear day. Well-lit office area.
1,000 lux Overcast day; typical TV studio lighting
10,000–25,000 lux Full daylight (not direct sun)
32,000–130,000 lux Direct sunlight

Đáp ứng thời gian và tần số:

Thời gian đáp ứng và tần số đáp ứng phụ thuộc vào vật liệu là chủ yếu, thời gian
đáp ứng là thời gian thay đổi giá trị điện trở khi cường độ ánh sáng vào biến thiên.
Thời gian đáp ứng 0.1us đối với loại SbIn, AsIn, CdHgTe, và
0.1-100ms đối với loại PbS, PbSe, CdSe
Tần số đáp ứng và tần số thay đổi độ nhạy quang trở theo tần số biến thiên cường
độ ánh sáng. Fc=102-105Hz.

Ứng dụng tiêu biểu:

Do đặc tính phi tuyến của quang trở theo cường độ ánh sáng nên người ta thường
chỉ sử dụng quang trở trong các ứng dụng về nhận dạng một mức cường độ ánh
sáng như đo mức cường độ ánh sáng, điều khiển hay, đóng mở relay theo cường độ
ánh sáng…

VI. Cảm biến chuyển động (PIR):