Vat Lieu Nano GTTQ Phan IV 2010

TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI
HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY (HUT)
INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE
VIỆN
VẬT LIỆU CẤU TRÚC NANO

NANOSTRUCTURED MATERIALS
PGS. TS. Nguyễn Anh Tuấn

PGS. TS. Nguyễn Văn Hiếu
TS. Nguyễn Văn Quy
HANOI-2010
GIỚI THIỆU CHUNG
NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010
CẤU TRÚC & PHẠM VI MÔN HỌC
Mở đầu - Giới thiệu những vấn đề chung
Phần I - Vật liệu nano bán dẫn
Phần II - Vật liệu nano quang tử & quang điện tử
Phần III - Vật liệu nano từ & Spintronics
Phần IV - Các vật liệu nano khác và một số vấn

đề liên quan
MỤC ĐÍCH MÔN HỌC
Học viên nắm được:
- Các loại/dạng vật liệu điện tử nano ở đó sử dụng các tính chất phụ
thuộc kích thước/cấu trúc nano: điện tử, quang, quang-điện tử, và từ.
- Những công nghệ/kỹ thuật/phương pháp cách thức tiêu biểu để chế
tạo, xử lý, gia công, thao tác, lắp ráp các cấu trúc, các tổ chức nano, hay
để quan sát, đo lường và phân tích các đặc trưng nano.
- Bản chất vật lý của các tính chất, tính năng do cấu trúc hay kích thước
nano tạo ra.
- Những ứng dụng chính của các vật liệu điện tử nano tương ứng.
- Thấy được ý nghĩa của KH & CN nano trong khoa học và đời sống.
PHÂN CÔNG GIẢNG DẠY
GIỚI THIỆU CHUNG & TỔNG QUAN

VẬT LIỆU NANO BÁN DẪN (Phần I)

I
VẬT LIỆU NANO QUANG TỬ VÀ QUANG ĐIỆN TỬ (Phần II)

II
VẬT LIỆU NANO TỪ & SPINTRONICS (Phần III)

III
CÁC VẬT LIỆU NANO KHÁC VÀ CÁC VẤN ĐỀ LIÊN QUAN (Phần IV)
IV
NỘI DUNG CHI TIẾT
GIỚI THIỆU CHUNG
Mục đích môn học, Cấu trúc & phạm vi môn học, Sách GK và tài liệu tham khảo
TỔNG QUAN (Nguyễn Anh Tuấn)
1. Tóm lược lịch sử về KH&CN nano
2. Phân loại, giới thiệu chung về cách thức tiếp cận nghiên cứu các vật liệu nano
3. Những đặc trưng, tính chất chung phụ thuộc kích thước
4. Một số vấn đề chung về công nghệ chế tạo vật liệu nano
5. Các công cụ cho khoa học nano (chế tạo, thao tác, lắp ráp và phân tích các cấu trúc nano)
6. Ứng dụng của công nghệ nano - Các sản phẩm từ công nghệ nano
CHƯƠNG 1: VẬT LIỆU BÁN DẪN CẤU TRÚC NANO (Nguyễn Văn Hiếu)
1.1. Giới thiệu về linh kiện bán dẫn có cấu trúc nano
1.2. Hạt nanô bán dẫn: Tính chất, tổng hợp và ứng dụng
1.3. Dây nanô bán dẫn: Tính chất, tổng hợp và ứng dụng
1.4. Cấu trúc nanô “3D” dạng màng mỏng
1.5. Các phương pháp vật lý chế tạo cấu trúc nanô
CHƯƠNG 2: VẬT LIỆU QUANG TỬ VÀ QUANG ĐIỆN TỬ CẤU TRÚC NANO
(Nguyễn Văn Quy)
2.1. Các chấm lượng tử bán dẫn
2.2. Nano silic
2.3. Các cấu trúc nano ZnS và ZnO NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010
CHƯƠNG 3: VẬT LIỆU TỪ CẤU TRÚC NANO & SPINTRONICS(Nguyễn Anh Tuấn)
3.1. Tính chất từ ở thang nano
3.2. Vật liệu từ khối có cấu trúc nano
3.3. Hạt từ nano, dot từ và các chùm nano từ
3.4. Dây từ và ống từ nano
3.5. Màng mỏng từ cấu trúc nano Spintronics
3.6. Phân tử và nguyên tử từ cô lập
3.7. Các kỹ thuật hiện đại quan sát và phân tích các đặc trưng cấu trúc từ nano
CHƯƠNG 4: CÁC VẬT LIỆU NANO KHÁC VÀ NHỮNG VẤN ĐỀ LIÊN QUAN
4.1. Các vật liệu nano carbon (Nguyễn Văn Quy)
4.2. Các vật liệu nano chức năng đặc biệt khác (Nguyễn Văn Hiếu)
4.3. Hoá học nano (Nguyễn Văn Hiếu)
4.4. Khía cạnh an toàn và những thách thức của vật liệu nano (Nguyễn Văn Hiếu)
4.5. Các cấu trúc nano trong tự nhiên (Nguyễn Anh Tuấn)
4.6. Điện tử học phân tử, nguyên tử và thông tin lượng tử (Nguyễn Anh Tuấn)
4.7. Tình trạng phát triển và tương lai của công nghệ nano (Nguyễn Anh Tuấn)
Tài liệu tham khảo
1) Nanostructured Materials and Nanotechnology, Hari Singh Nalwa, Academic

Press, US, 2002.
2) Nanostructured Materials: Selected synthesis methods, Properties and applications,

Harry L. Tuller, Kluwer Academice, US, 2004.
3) Nanostructured Fabrication and Analysis, H. Nejo, Spinger, 2006.
4) ADVANCED MAGNETIC NANOSTRUCTURES, Eds. by David Sellmyer and

Ralph Skomski; Springer Science + Business Media, Inc. 2006.
5) Nanoscience - Nanotechnologies and Nanophysics; Eds. by C. Dupas P. Houdy M.

Lahmani; Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2007.
TÀI LIỆU ĐỌC THÊM
1) Công nghệ nano - Điều khiển đến từng phân tử, nguyên tử, Vũ Đình Cự, Nguyễn Xuân
Chánh, NXB KHKT – Hà nội 2004.
2) Vật lý ứng dụng trong đời sống hiện đại, Nguyễn Xuân Chánh, NXB TRẺ – TP.HCM 2009
3) Magnetism in Ultrathin Transition Metal Films, Ulrich Gradmann, Chapter 1 in “Handbook
of Magnetic Materials”, Vol. 7 Ed. by K.H.J. Buschow, North-Holland, Elsevier Science
Publishers B.V., 1993.
4) Ultrathin Magnetic Structures I, II, III, Eds. by J.A.C. Bland and B. Heinrich, Spinger-Verlag
Berlin Heidenberg 1994.
5) Nanotechnology, Gregory Timp, Springer-Verlag New York, Inc. 1999.
6) Nanomaterials: Synthesis, properties and applications, Eds. by A.S. Edelstein and R.C.
Cammarata, Institute of Physics Publishing, Bristol and Philadelphia 1996.
7) Nanoscale characterization of surfaces and interfaces, N.J. DiNardo, in Vol. 2B “Characteri
-zation of Materials”, Part II (vol. ed. by E. Lifshin) of “Materials Science and Technology –
A Comprehensive Treatment” ed. by R.W. Cahn, P. Haasen and E.J. Kramer. Weinheim –
New York – Basel – Cambridge – Tokyo 1993.
8) Magnetic Nanostructures; Eds. by B. Akta¸s, L. Tagirov and F. Mikailov; Springer-Verlag
Berlin Heidelberg 2007.
9) Magnetic Properties of Fine Particles, Ed. by J.L. Dormann and D. Fiorani, North-Holland,
Amsterdam - London - New York – Tokyo 1992.
TỔNG QUAN
1. Định nghĩa và Tóm lược lịch sử về KH & CN nano
2. Phân loại và giới thiệu chung về cách thức tiếp cận nghiên cứu các
cấu trúc nano
4. Một số vấn đề chung về công nghệ chế tạo các vật liệu cấu trúc nano
5. Các công cụ cho khoa học nano (chế tạo, thao tác, lắp ráp và phân tích
các cấu trúc nano)
1- ĐN & Tóm lược lịch sử về KH&CN nano
ĐỊNH NGHĨA VỀ KHOA HỌC VÀ C«ng nghÖ nano
Từ “nano”
nano có nguồn gốc từ chữ Hy lạp: “nannos”, nghĩa là bé nhỏ,
thấp lùn.
¾ Theo quy ®Þnh quèc tÕ, tiÒn tè nano t−¬ng øng víi 10-9, viÕt t¾t lµ n.
ThÝ dô: nanogam viÕt t¾t lµ ng = 10-9 g, nanomet viÕt t¾t lµ nm = 10-9 m.
¾ Mét nanomÐt cã kÝch th−íc cì kho¶ng 10 nguyªn tö H, hoÆc 5 nguyªn
tö Si.
Ví dụ: Tinh thể Au - Mạng LPTM
1 nm có kích
~ 0.45 nm ~ 0.318 nm thước khoảng 3
(4.5 Ǻ) (3.18 Ǻ) nguyên tử Au
ĐỊNH NGHĨA VỀ KHOA HỌC VÀ C«ng nghÖ nano
¾ ĐN: KHnano & CNnano nghiên cứu và ứng dụng các hiện tượng,
các hệ thống, và các cấu trúc mà ở đó:
1- Ít nhất có một chiều lc (kích thước tới hạn) có kích thước vài nm.
2- Có những tính chất hoàn toàn khác, nổi trội khi l < lc
Điều kiện thứ 2 làm cho "nano" khác với "micro", "(macro)-molecular
chemistry" or "biology" (sinh học liên quan đến các cấu trúc phân tử).
Chú ý: Sub-micron không phải là 'nano' !
¾ Với công nghệ nano, kích thước chính xác của nguyên tử không quan
trọng bằng việc gắn nó với những phần nhỏ nhất của vật chất mà con
người có thể thao tác, điều khiển được.
• Vµo TK 4th sau CN: ng−êi ta ®· chÕ t¹o ®−îc mét chiÕc
cèc (Lycurgus Cup) chøa çc h¹t vµng ë d¹ng nano (gold
colloids) cã tÝnh chÊt cho ¸nh s¸ng ®á truyÒn qua vµ ph¶n
x¹ ¸nh s¸ng xanh.
• 1618: quyÓn s¸ch ®Çu tiªn vÒ nhò t−¬ng vµng (Colloidal
Gold) ®· ®−îc nhµ triÕt häc, ®ång thêi lµ b¸c sÜ, Francisci
Antonii xuÊt b¶n.
• Vµo TK 17th -18th: mét sè s¸ch vÒ nhò t−¬ng vµng tiÕp tôc ®−îc xuÊt
b¶n vµ b¶n th©n nhò t−¬ng vµng ®· ®−îc sö dông trong y häc, nhuém
mµu cho gèm vµ t¬ lôa.
• 1857: Michael Faraday ®· ®−a ra ph−¬ng ph¸p t¹o ra dung dÞch ®á thÉm
tõ nhò t−¬ng vµng b»ng çch sö dông CS2 ®Ó lµm gi¶m kt hạt AuCl4.
• 1908: Lý thuyÕt Mie vÒ d¶I plasmon bÒ mÆt cña AuNP ®· ®−îc ph¸t triÓn.
• 1970s: AuNP ®· ®−îc sö dông ®Ó d¸n nh·n miÔn dÞch häc vµ ®¸nh dÊu
sinh häc.
• 1959, Richard Feynman (1918-1988) nhà vật lý người Mỹ gốc Do Thái, giải
thưởng Nobel Vật lý năm 1965 về Điện động lực học lượng tử (QED - quantum
electrodynamics) và Sắc động lực học lượng tử (QCD - quantum chromodynamics).
Trong bài giảng ở Hội Vật lý Mỹ (American Physical Society - APS)

năm 1959: “There’s Plenty of Room at the Bottom”, R. Feynman
tiên đoán và tin tưởng về việc con người có thể tạo ra được các
linh kiện ngày càng nhỏ hơn với công năng ngày càng lớn hơn:
“... computers with wires no wider than 100 atoms, a microscope

that could view individual atoms, machines that could manipulate
atoms 1 by 1, and circuits involving quantized energy levels or the
interactions of quantized spins”.
- Máy tính có các mạch dẫn điện với độ rộng không quá 100 nguyên tử.
- Kính hiển vi có thể nhìn thấy các nguyên tử riêng rẽ.
- Những cỗ máy có thể thao tác với từng nguyên tử một.
- Các mạch điện tử sử dụng các linh kiện hoạt động trên cơ sở các mức năng lượng được
lượng tử hoá, hoặc các tương tác của các spin được lượng tử hoá.
- Kính hiển vi nhìn thấy các nguyên tử riêng rẽ - Ví dụ: Hiển vi STM, AFM
Ảnh AFM mode khong tiếp xúc của Ảnh STM của mạng nguyên tử HOPG
mạng nguyên tử Si(111) 7x7 trên đế Ảnh STM của các nguyên tử bề
(Highly Oriented Pyrolitic Graphite)
Ag(√3x √3) mặt graphite
- Có thể thao tác với từng nguyên tử một (Ảnh hiển vi ion)
6 nguyên tử 5 nguyên tử 4 nguyên tử 3 nguyên tử

Khoa học và công nghệ nano là gì ?
• Taniguchi (1974) ®−a ra thuËt ng÷ vÒ c«ng nghÖ nan« ®Çu tiªn (nano-
technology): Lµ c«ng nghÖ nh»m gia c«ng vËt liÖu chÝnh x¸c tõ 100 ®Õn
0,1 nm.
• K. Eric Drexler (1986) (Nh÷ng cç m¸y s¸ng t¹o - Engines of Creation):
§iÓm ®Æc biÖt cña c«ng nghÖ nan« lµ theo h−íng tõ nhá ®Õn to. §ã lµ
h−íng ®iÒu khiÓn l¾p ghÐp (hoÆc ®iÒu khiÓn tù l¾p ghÐp) çc nguyªn tö,
ph©n tö ®Ó t¹o ra nh÷ng cç m¸y tÝ hon cã chøc n¨ng nh− tÕ bµo cña c¬
thÓ sèng, cã thÓ sao chÐp.
• Mihail C. Roco (1999): C«ng nghÖ nan« lμ c«ng nghÖ liªn quan ®Õn vËt
liÖu vμ hÖ cã çc tÝnh chÊt chñ yÕu nh−: Ýt nhÊt lμ cã mét chiÒu kÝch cì tõ
mét ®Õn mét tr¨m nanomet, ®−îc thiÕt kÕ chÕ t¹o dùa trªn c¬ së ®iÒu
khiÓn theo nh÷ng qu¸ tr×nh lý hãa tõ cÊu tróc cì ph©n tö vμ cã thÓ tæ hîp
l¹i ®Ó t¹o ra cÊu tróc lín h¬n.
• Mét çch tæng qu¸t, KH vµ CN Nano lµ khoa häc vµ c«ng nghÖ nh»m
tiÕp cËn, t¹o ra çc vËt liÖu, linh kiÖn vµ hÖ thèng cã çc tÝnh chÊt míi,
næi tréi nhê vµo kÝch th−íc nanomÐt, ®ång thêi hiÓu ®−îc vµ ®iÒu khiÓn
®−îc çc tÝnh chÊt vµ chøc n¨ng cña chóng khi ë kÝch th−íc nanomÐt.
Nano: Khoa học Phục hưng
size
solid state physics
& engineering
nm biology
chemistry
time
now!
(Theo Peter Grutter, Physics Dept., McGill University)
Những tiến bộ cơ bản trong KH và CN đã và sẽ làm xoay chuyển 2 lần
trong một thế kỷ và dẫn đến việc tạo ra nhiều của cải vật chất.
Bắt đầu đưa công

nghệ vào
Chấp nhận và
phổ biến
Kết thúc thời kỳ
phát triển nhanh
Cách mạng công nghiệp Cách mạng thông tin
Nhiều lĩnh vực chịu ảnh hưởng của KHnano & CNnano
¾ Điện tử nano (Nanoelectronics)
¾ Vật liệu nano (Nanomaterials)
¾ Y-sinh học nano (Nanobio/nanomed)
¾ Các công cụ mới (gồm cả phần cứng và phần mềm)
Những khu vực chịu ảnh hưởng nhiều nhất

¾ Điện tử học và quang tử học (Electronics and photonics)
• Điện tử học spin (spintronics), điện tử học phân tử (molecular electronics),
máy tính lượng tử
• Vật liệu quang tử bán dẫn, các nguồn đơn photon
• Cảm biến và đầu dò/phát hiện
¾ Khoa học vật liệu (Materials Science)
• Bột siêu mịn, các loại composites
• Các vật liệu mới có độ cứng cao, siêu chống mài mòn, không thấm nước,
kháng khuẩn, chống bụi, tự làm sạch,...
• Sản xuất thân thiện môi trường, giá thành phù hợp
¾ Y-Sinh học (Bio-medical)
• Những ứng dụng mới xuất hiện (về vật liệu y-sinh, chẩn đoán, điều trị,...)
• Các công cụ nghiên cứu sinh học (đánh dấu, dụng cụ nano cho y-sinh)
• Công nghệ sinh học ứng dụng cho KH&CN nano NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010
2- Phân loại & cách thức tiếp cận nghiên cứu các cấu trúc nano
2.1. Đặc trưng chung về cấu trúc
E
Các dạng cấu trúc
'There is plenty of room at the bottom'

(Richard P. Feynman, 1959)
Dạng 3D được cấu trúc thành nano NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010
So sánh các cấu trúc/tổ chức nano và micro
Phế nang phổi Nơron thần kinh
Phấn hoa
Sợi tóc
Vi trùng
Hồng cầu
Vi khuẩn
Đường kính
chuỗi xoắn DNA
Muội khói
Fullerine, C60
Nguyên tử
Cấu trúc nano kiểu 0D: 0D

Các hạt, dot, chùm, đám kết tụ,... có kích thước nano theo cả 3 chiều KG
30 nm
Các hạt Co (d ~ 30 nm)

phân tán trong nền Ag
Hạt Fe nano: các nguyên tử Fe kết tụ Hạt coban nano: các nguyên tử Co
thành hạt có d ~ 25 nm được bao bọc kết tụ lại thành các hạt có đường
bằng lớp C dày ~ 2 nm. kính d ~ 30 nm trong nền Ag.
Cấu trúc nano kiểu 0D:

0D
Chùm hạt nano: Một chùm (cluster) gồm các đám hạt kích thước ~ 5 nm của
các phân tử NiS kết tụ lại với kích thước ~ 15-20 nm.
Cấu trúc nano kiểu 0D: 0D


1D
Các sợi, dây, chuỗi có kích thước nano theo 1 chiều KG
Sợi nano Carc bon dài tới 10 μm Sợi nano Fe 25 nm
Sợi (ống) carbon nano: các nguyên tử C Sợi sắt nano: các nguyên tử Fe mọc
xắp xếp định hướng dọc theo 1 chiều có thành sợi có đường kính d ~ 25 nm.
độ rộng d ~ 1 - 2 nm.

2D
Các màng siêu mỏng, lớp, mặt, tấm có kích thước nano theo 2 chiều KG
100 nm Co
Al2O3(3nm)/Co(1nm)/Al2O3(3nm)
Co
Một cấu trúc màng mỏng nhiều lớp (trên đế Si):

Co(100nm)/AlO(3nm)/Co(1nm)/AlO(3nm)/Co(100nm)
Graphene: các nguyên tử carbon xắp Màng siêu mỏng: các nguyên tử xắp
xếp theo đơn lớp (chỉ 1 lớp nguyên tử). xếp theo những lớp mỏng nanomét.
1
2
3 4
Cấu trúc kỳ lạ của carbon – các dạng thù hình:

1- Graphene
2- Graphite
3- Ống nano carbon (CNT)
4- Fullerene

3D
Các khối có kích thước lớn theo cả 3 chiều KG nhưng chứa các
phần tử cấu thành có kích thước nano: vật liệu nano pha, vật liệu
nano tinh thể, vật liệu chứ các hạt/chùm hạt nano, sợi nano, tấm
nano, v.v...
Hình ảnh TEM của một vật liệu khối có cấu trúc nano pha, là các nano tinh thể
(nanocrystallites) với kích thước pha nano tinh thể ~ 10 nm. NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010
2.2. Cách tiếp cận các cấu trúc nano
Tiếp cận từ dưới lên Vật liệu được tạo thành Tiếp cận từ trên xuống
Bottom-Up có cấu trúc nano Top-Down
S¾p xÕp/lắp ráp tõ çc “§Ïo gọt” tõ khèi lín xuèng

“khèi” cã kích thước nano: ®Õn cÊu tróc nano:
- Bằng c¬ häc (nghiÒn, çn, ®ïn, Ðp,
- C« ®Æc tõ bét/sol khÝ mài,…)
- Tæng hîp b»ng ph−¬ng ph¸p ho¸ - Bằng vật lý (b»ng các thuật khắc ánh
học (sol-gel, hoμn nguyªn) s¸ng, chùm tia X, chïm tia ®iÖn tö,
- L¾ng ®äng b»ng ph−¬ng ph¸p vËt chùm ion,...),
lý (bèc bay, phón x¹,...) - Bằng hoá học (ăn mòn, tẩm thực,…)
3.1. Các LOẠI HÌNH CƠ BẢN của cấu trúc nano
3.2. Đặc trung chung về tính chất VẬT LÝ
3.3. Hành vi KHỐI của cấu trúc nano
3.1. Các LOẠI HÌNH cơ bản của cấu trúc nano
Các dạng cấu trúc nano cơ bản

- Hạt, chùm (nguyên tử)
0D
- Sợi (dây), thanh, ống, cột
- Màng siêu mỏng, bề mặt
- Khối, màng dày, tấm, phiến
1D
Các loại hình cấu trúc nano cơ bản
- Quantum Dot (chấm lượng tử)
- Nanocomposite (hỗn hợp nano)
2D - Nanopolymer (chất dẻo nano)
- Nanoceramic (gốm nano)
- Nanodroplet (giọt nano)
3D - Nanofluidics (chất lỏng nano)
- Nanobiomaterial (sinh học nano)
- Quantum dot
• QDs là đám kết tụ các ng.tử/ph.tử có kích thước nhỏ ~ 1- 10 nm. QD còn được gọi là nano
tinh thể (nanocrystals, NCs), thường có cấu trúc kiểu lõi-vỏ. Trong trường hợp có cả thành
phần liên kết bên ngoài (như các phân tử hóa học hay sinh học), có thể lên tới 15-20 nm.
• Tính chất nổi bật của QD là giữa tính chất khối và tính chất của phân tử riêng rẽ.
QD CdSe/ZnS với cấu trúc lõi-vỏ có dạng hình cầu:

lõi là tinh thể bán dẫn CdSe được bao bởi lớp vỏ là
bán dẫn ZnS. Đương fkính lõi từ 2 tới 10 nm, và vỏ
dày từ 0.5 to 4 nm. (Evident Technologies Inc.).
- Quantum dot Ảnh AFM của Quantum Dot
GaAs trên bề mặt của InGaAs
Cấu trúc của một QD gồm cấu trúc lõi-vỏ (VD: InGaP-ZnS) và Quantum dot của GaAs, gồm có 465
lớp bao phủ do liên kết tự nhiê hay được tổng hợp. nguyên tử. Mầu xanh lục thể hiện mật
độ điện tử của 465NguyenAnhTuan-ITIMS
nguyên tử GaAs. - 2010
- Nanocomposite
• Một hỗn hợp nano (nanocomposite) là một loại vật liệu đa pha (multiphase) trong đó
một hay nhiều pha có ít nhất một chiều ở thang nanomét (≤ 100 nm).
• Cũng có thể hiểu nanocomposite chính là composite mang các ưu điểm của các tính
chất vật liệu khác thường khi ở thang nanomét.
Polymer/Metal Nanocomposite
Platinum
Silicon Nền polymer được lấp đầy bởi bột
nano kim loại.
Cấu trúc của một vật liệu
nanocomposite kiểu polymer/KL. NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010
- Nanocomposite
Vật liệu nanocomposite được mở rộng ra cho tất cả các hệ vật liệu dạng 1D, 2D, 3D và vô
định hình, mà được tạo ra từ các thành phần có tính chất hoàn toàn khác biệt nhau, được
trộn lẫn với nhau ở thang nanomét.
Nanocomposite PP-clay (Nanoclay)):

Nanoclay Nền polymer được trộn
Màng gelatin được trộn hạt nano đầy sợi nano polypropylene (PP) [Gilman, et al, Chemistry of
alumina (ôxýt nhôm) (nanoparticles).
nanoparticles Materials; 2000; 12; 1866-1873.]
- Nanopolymer
Nanopolymer dạng hạt
Cấu trúc polymer dạng nhánh cây (dendrimers) phân ly đơn

(monodisperse) được hình thành từ một lõi có cấu trúc kiểu đa
lớp nanopolymer hình cầu có đường kính d ~ 35-70 nm.
Các hạt nanopolymer hình cầu có đường kính d ~ 50-70 nm.

- Nanopolymer
Nanopolymer dạng sợi
(a) Ảnh SEM của các sợi nanopolymer (-C60TMB-)n (TMB = trimethylbenzene. (b) Giản đồ
nhiễu xạ điện tử diện tích chọn lọc (SAED) của một sợi nanopolymer, cho thấy bản chất vi tinh
thể của polymer này.
- Nanoceramic
3.2. Đặc trưng chung về VẬT LÝ
+ Tính chất vận chuyển (transport) thay đổi

Kích thước suy giảm ➼
+ Xuất hiện các hiệu ứng lượng tử hóa
A - ĐIỆN TỬ TRONG CÁC HỆ THẤP CHIỀU

+ Tính chất vận chuyển ➼ Các yếu tố chiều dài đặc trưng quan trọng nhất:
- Quãng đường tự do trung bình (mean free path):
path khoảng cách trung bình giữa
các va chạm của các hạt dẫn – ĐN: λ = (nσ)-1 ; σ = ne2τ/m (τ = th/gian tự do tb).
- Chiều dài phá vỡ pha (phase-breaking length):
length là giới hạn khoảng cách mà khi
vượt qua nó sự kết hợp của hàm sóng bị mất đi – Chính là khoảng cách (trung
bình) mà các điện tử khuếch tán giữa các tán xạ không đàn hồi trong một
khoảng d nào đó. – ĐN: λinel = (2dDτinel)½ (d = phạm vi xảy ra sự khuếch tán
giữa các va chạm không đàn hồi, D = hệ số khuếch tán, τinel = thời gian (trung
bình) giữa các lần va chạn không đàn hồi.
- Bước sóng Fermi (Fermi wavelength)
wavelength – ĐN: λF = 2π/kF (kF = vectơ sóng của
điện tử ở mặt Fermi).
3.2. Đặc trung chung về VẬT LÝ
+ Các hiệu ứng lượng tử
- Sự chuyển động của các hạt vi mô trong

một khoảng không gian có kích thước theo
phương chuyển động đó so sánh được với
các chiều dài đặc trưng (λ, λinel , λF) sẽ bị
lượng tử hóa. ➼ Dẫn đến sự thay đổi trong
Mật độ trạng thái của điện phổ năng lượng và trong các tính chất động
tử (DOS) phụ thuộc vào
kích thước của hệ. lực của hệ.
- Các hiệu ứng vật lý bị lượng tử hóa:
+ Trạng thái của điện tử
+ Hiện tượng chắn Coulomb
+ Các trạng thái liên kết
+ Sự vận chuyển trong cấu trúc lớp dị thể
+ Sự giam hãm/nhốt điện tử
+ Dòng điện ở thanh nano
v.v...
- ĐN: Các vật liệu cấu trúc nano khối là những khối chất rắn có các cấu trúc vi mô ở
thang nano hay một phần cấu trúc vi mô ở thang nano.
- Lịch sử: * Hiện tượng hóa cứng của các hợp kim nhôm (Alfred Wilm, 1906) Al-4%Cu
là do hình thành các chùm (cluster) ng.tử Cu có kích thước ~ 10 nm chiều dày và ~
100 nm đường kính trong nền Al.
* Hay mật độ dòng tới hạn của vật liệu siêu dẫn thương mại Nb3Sn đạt giá trị cao
khi kích thước hạt ~ 50 - 80 nm (Scanlan et al. 1975).
* Các vật liệu vi tinh thể, cho đến nano tinh thể dưới dạng khối hay băng vô định
hình (Fine-Met), 1980s, có nhiều tính chất hoá, lý được cải thiện rất gây ấn tượng,
thậm chí xuất hiện những tính chất hòan toàn mới khi kích thước hạt tinh thể kim loại
giảm xuống ~ < 1 μm (đối với vi tinh thể), và ~ < 100 nm (đối với hạt nano tinh thể).
➽ Các tính chất khối của vật liệu sẽ thay đổi hòan toàn hoặc rất nhiều khi vi cấu trúc
của chúng nằm trong thang nanomét.
- Có một số loại hành vi khối của vật liệu nano thường được đề cập đến:
* Các tính chất cơ học: tính đàn hồi, tính cứng/dẻo, v.v...
* Các tính chất từ: từ mềm, từ cứng, tính chất làm lạnh từ (từ nhiệt), các hiện
tượng từ điện trở, v.v...
* Khả năng tích trữ hydro,... NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010
Ví dụ về vật liệu khối có cấu trúc nano
Particle
Grain
Hành vi khối (hay những tiên đoán) về t/c cơ học của vật liệu nano:
- Tính chất đàn hồi (elastic):
Có môdul đàn hồi Young, E, thấp hơn đáng kể so với các vật liệu có kích thước hạt
thông thường: chỉ bằng khoảng 30-50%.
- Tính cứng (hardness) và tính bền (strength):

+ Đối với nano tinh thể của KL sạch:
Có độ cứng và độ bền rất cao: từ 2 đến 7 lần lớn hơn của nano tinh thể của
các KL sạch với kích thước hạt ~ 10 nm so với các KL có kích thước hạt > 1 μm.
+ Đối với các vật liệu ở chế độ có kích thước hạt ở thang nano:
Độ cứng giảm khi giảm kích thước hạt – có độ dốc Hall-Petch âm.
- Tính dễ kéo sợi (ductility) và tính dẻo (toughness)

Ở nhiệt độ tương đối thấp, đối với các vật liệu gốm giòn, dễ gãy vỡ; hoặc các hợp
kim liên KL có kích thước hạt ở thang nano, khi có cấu trúc nano, cơ chế biến dạng
tuân theo kiểu khuếch tán (diffusional deformation mechanisms). ➼ Các vật liệu
giòn thông thường trở nên có tính dẻo, thậm chí siêu dẻo.
- Tính dễ kéo sợi (ductility) và tính dẻo (toughness)

+ Kích thước hạt có ảnh hưởng mạnh lên tính chất mềm và dẻo của vật liệu có kích
thước hạt thông thường (> 1μm). Khi kích thước hạt trở nên tinh hơn, các vết nứt vi mô
khó lan rộng hơn, do đó làm tăng độ dẻo nứt biểu kiến.
+ Trong các VL nanocomposite, ứng suất nứt có thể thấp hơn ứng suất đàn hồi, do
đó làm giảm độ dẻo. Về độ bền, các KL nano tinh thể sạch có kích thước hạt < 30 nm
thể hiện hành vi dễ kéo dài đáng kể.
- Hành vi siêu dẻo (superplastic) – Là khả năng biến dạng kéo căng rất lớn mà không
cần xiết hay bẻ (độ dãn dài có thể lên đến từ 100 % đén > 1000 %).
Khi kích thước hạt giảm xuống, nhiệt độ giảm tại điểm xuất hiện trạng thái siêu dẻo;
trong khi tỷ suất sức căng lại tăng lên.
- Những tính chất cơ học khác thường khác của các vật liệu nanocomposite
Với kích thước hạt nhỏ xuống đến ~ 2 nm ➼ xuất hiên biến dạng trượt: VD như ở
hợp kim Fe-10%Cu với kích thước hạt trong khoảng 45 – 1.680 nm; hay trong các vật
liệu hợp kim KL vô định hình, hoặc polymer vô định hình.
4.1. Nguyên tắc chung
CÔNG NGHỆ "TỪ TRÊN XUỐNG" CÔNG NGHỆ "TỪ DƯỚI LÊN"
TOP – DOWN BOTTOM – UP
TECHNOLOGY TECHNOLOGY
CÊu tróc nano
“Đẽo gọt” từ khối lớn xuống Sắp xếp/lắp ráp từ các “khối”
đến cấu trúc nano: có kích thước nano:
- Ph−¬ng ph¸p c¬ häc (nghiÒn - C« ®Æc tõ bét/sol khÝ
bi, çn, ®ïn, Ðp, …) - Tæng hîp b»ng ph−¬ng
- Kü thuËt kh¾c (b»ng ¸nh s¸ng, ph¸p ho¸ häc (sol-gel, hoμn nguyªn,...)
chùm tia X, chïm tia ®iÖn tö, ...) - L¾ng ®äng b»ng ph−¬ng ph¸p vËt lý
- ¨n mßn ho¸ häc (tÈm thùc,…) (bèc bay, phón x¹, phun, quay phủ, ...)
4.2. Một số phương pháp chế tạo các cấu trúc nano điển hình
CÔNG NGHỆ "TỪ DƯỚI LÊN" CÔNG NGHỆ "TỪ TRÊN XUỐNG"
Sắp xếp/lắp ráp từ các “khối” “Đẽo gọt” từ khối lớn xuống
có kích thước nano: đến cấu trúc nano:
- Cô đặc từ bột/sol khí - Phương pháp cơ học (nghiền bi,

- Tổng hợp bằng phương pháp cán, đùn, ép, …)
hoá học (sol-gel, hoàn nguyên,...) - Kỹ thuật khắc (bằng ánh sáng,
- Lắng đọng bằng các kỹ thuật chùm tia X, chùm tia điện tử, ion ...)
vật lý (bốc bay, phún xạ catốt,
- Ăn mòn hoá học (tẩm thực,…)
phun, quay phủ, ...)
- Ăn mòn vật lý (in PRF)
- Mạ điện hóa,...
Dưới đây sẽ trình bày các phương pháp chế tạo màng mỏng cơ bản:
- bốc bay - phún xạ catốt - epitaxi bằng chùm phân tử (MBE)
Mét sè ph−¬ng ph¸p chÕ t¹o mμng máng – cÔNG NGHỆ "TỪ DƯỚI LÊN“ (BOTTOM – UP)
Çc ph−¬ng ph¸p sö dông
Çc ph−¬ng ph¸p sö dông kü thuËt phñ vËt lý (PVD)
kü thuËt phñ ho¸ häc (CVD)
Kü thuËt bay h¬i Kü thuËt phãng ®iÖn Ph/ph¸p ho¸ Ph/ph¸p ho¸
trong ch©n kh«ng (Evaporation) hµo quang (Glow Discharge) häc tõ pha khÝ häc tõ pha láng
Bay h¬i nhiÖt Joule Phón x¹ cat«t (DC /AC)
Bay h¬i b»ng chïm ®iÖn tö Bias sputtering (Ion plating)
(EBE)
Bay h¬i Reactive sputtering
trong Bay h¬i ph¶n øng
ch©n (Reactive evaporation) Cluster Phón x¹ magnetron
kh«ng Bay h¬i b»ng chïm beam Ion beam deposition
tia lade (Laser ablation deposition
Ion beam sputter deposition
deposition, LAD)
Reactive ion platin
Cluster beam deposition
Plasma-enhanced CVD
Plasma oxidation
Epitaxy b»ng chïm ph©n tö Plasma anodization

Epitaxy (Molecular Beam Epitaxy, Plasma polymerization
MBE) Plasma
Plasma nitridation
Plasma reduction
Microwave ECR plasma
CVD
Cathodic arc deposition
4.3. Điều khiển sự hình thành các cấu trúc nano nguyên tử/phân tử đơn lớp trên
bề mặt (SAM:
SAM self-assembly monolayers)
monolayers
Các kỹ thuật chế tạo tự lắp ráp (self-assembly) & kiến trúc theo khuôn mẫu
(pattern) các cấu trúc nano dạng đơn lớp nguyên tử/phân tử
Phương pháp Thang độ dài đặc
trưng
- In vi tiếp xúc (μCP) .............. 100 nm – cm’s
- Vi gia công cơ khí ............... 100 nm – μm’s
- Quang khắc/lift-off ............... > 1 μm
- Kiến trúc khuôn mẫu kiểu
quang hóa ............................. > 1 μm
- Quang ôxy hóa .................... > 1 μm
- Viết bằng chùm ion hội tụ .... ~ μm’s
- Viết bằng chùm e- ................ 25 – 100 nm
- Viết bằng STM .................... 15 – 50 nm
Ảnh TEM của các hạt FePt tự sắp xếp với
- Viết bút siêu nhỏ ................. ~ 10 – 100 μm khoảng cách ~ 6.5 nm
5. Các công cụ cho khoa học nano
(chế tạo, thao tác, lắp ráp và phân tích các cấu trúc nano)
5.1. Các công cụ quan sát/phân tích cấu trúc nano
5.2. Các công cụ chế tạo cấu trúc nano
5.3. Các công cụ thao tác/lắp ráp trên các đối tượng nguyên tử/phân tử
Thang nano Thang nano
Độ phân giải từ thang nano trở xuống của một số kỹ thuật nhiễu xạ và hiển vi SPM
Phân bố độ phân giải ở thang nanomét trong không gian của một số kỹ thuật hiển vi
1) Các hiển vi đầu dò quét (SPM) - Scanning Probe Microscope
Hiển vi lực nguyên tử (AFM) - Atomic Force Microscopy
Vết chùm tia

laser phản xạ
thay đổi vị trí
Nguyên lý hoạt động của AFM NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010

Cấu tạo của AFM

Một hệ kính hiển vi AFM
Ảnh AFM (topography) cho thấy mạng

nguyên tử HOPG (Highly Oriented Pyrolitic
Graphite). Kích thước ảnh: 2 nm x 2 nm.

Hiển vi xuyên ngầm quét (STM) - Scanning Tunneling Microscope
02 02
I∝Ψ S Ψ exp(−2Kd)
T
ΨS0
ΨT0
∞
J (V ) ~ ∫ D ( E − V ) D ( E )[ f ( E − V ) − f ( E )]dE
−∞
S T
Cấu tạo và nguyên lý hoạt động của STM NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010

Hiển vi xuyên ngầm quét (STM) - Scanning Tunneling Microscope
Mode dòng không đổi Mode chiều cao không đổi
Δz z = const.
I = const. ΔI
Ảnh STM phân giải đến kích thước

nguyên tử của bề mặt HOPG
(Highly Oriented Pyrolytic Graphite)
Hiển vi quang học (quét) trường gần (Near-Field Optical Microscopy)
Các tên gọi khác nhau:

- SNOM (Scanning Near-Field Optical Microscopy)
- NSOM (Near-Field Scanning Optical Microscopy)
Tấm kim loại có lỗ nhỏ

hơn bước sóng
- Ánh sáng trắng có λtrung bình ~ 0.55 μm (550 nm)
→ có độ phân giải rmin ~ 0.275 μm (275 nm).
Trường gần
- Sử dụng quang học trường gần (quang học
nano) → phá vớ giới hạn nhiễu xạ Trường xa
→ có thể phân giải đến < 50 nm

(bị hạn chế bởi kích thước lỗ aperture)
Các cấu hình của SNOM
Cấu hình sử dụng aperture phẳng
CCD
Cấu hình sử dụng aperture kiểu ống rỗng hình côn

(sợi quang với đầu tip hình côn có lỗ rỗng)
- Ví dụ về ảnh SNOM:
Ảnh topography Ảnh NSOM
2) Các hiển vi điện tử phân giải cao (HREM) - FE-SEM
Nguyên lý cấu tạo và tạo ảnh SEM
2) Các hiển vi điện tử phân giải cao (HREM) - FE-SEM
Đơn tinh thể W được

ăn mòn để tạo thành
mũi nhọn dùng làm
nguồn phát xạ trường.
Sự phát xạ của điện tử là do bị bứt ra khỏi nguyên tử
dưới tác dụng của điện trường cao.
2) Các hiển vi điện tử phân giải cao (HREM) - HRTEM
TEM Nguyên lý quang học tạo ảnh của TEM thường
Sứ cách điện λ = h/(mv)

Súng điện tử Khi điện áp gia tốc càng cao bước sóng
Kính tụ của điện tử, λ, càng ngắn:
Vật kính
Vị trí đặt mẫu
Kính phóng Quan sát
50,000 volt (50 kV) ➽ λ ~ 0.0055 nm (0.055 Å)

Ống nhòm phóng đại 1MeV ➽ λ ~ 0.00123 nm (0.0123 Å)
Tiêu chuẩn Rayleigh (Rayleigh’s Criterion) cổ điển

Màn huỳnh quang xác định khả năng phân giải lớn nhất:
Buồng chụp ảnh

rmin ~ λ/2
TEM 1 triệu vôn (MeV) với nguồn điện tử phát xạ trường (FE), có thể phân giải đến ~ 0.5 Å.
TEM 3 triệu vôn (MeV) với nguồn điện tử phát xạ trường (FE), có thể phân giải đến ~ 0.1 Å.
2) Các hiển vi điện tử phân giải cao (HREM)
So sánh nguyên lý cấu tạo và tạo ảnh trong các hiển vi OM, TEM & SEM
3) Các phương pháp nhiễu xạ
Nhiễu xạ tia X (XRD)
Nguyên lý nhiễu xạ trên mạng tinh thể
Giản đồ nhiễu xạ của đơn tinh thể
Giản đồ nhiễu xạ của đa tinh thể
Nguyên lý xác định kích thước hạt

tinh thể bằng pp Scherrer.
3) Các phương pháp nhiễu xạ Nhiễu xạ điện tử (ED)
3) Các phương pháp nhiễu xạ
Nhiễu xạ neutron (ND)
XRD ND
Sử dụng nhiễu xạ Neutron (ND) cho phép xác định

được nhiều mặt tinh thể hơn so với pp XRD - phân
tích/xác định cấu trúc tốt hơn.
Dựa trên đo cường độ tán xạ, xác định được
Kỹ thuật tán xạ Neutron góc nhỏ (SANS)
phân bố mật độ điện tích và hạt nhân các
trên tinh thể La1.83Sr0.17CuO4+δ
nguyên tử trong mẫu NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010
1) Kỹ thuật chân không
- Môi trường chân không là gì?

- Vật lý phân tử và dòng chảy của chất khí
- Các bơm chân không
- Hệ chân không
- Đo chân không
- Quá trình hình thành màng mỏng
1) Kỹ thuật chân không M«i tr−êng ch©n kh«ng
Quan hệ giữa mức độ chân không (áp
Đế lắng đọng suất P) và quãng đường tự do trung
bình của nguyên tử/phân tử (λ)
màng mỏng
Hướng gradien của trường: giảm nhiệt
P (Torr) λ
Dòng hơi vật liệu/
độ/mật độ vật chất/điện trường,...
Chùm ng. tử/ 10-1 0.5 mm

Chùm ph. tử
10-2 5 mm
Môi trường 10-3 5 cm
chân không 10-4 50 cm
Dòng hơi vật liệu/
Chùm ng. tử/ 10-5 5 m
Chùm ph. tử
10-6 50 m
10-7 500 m
Vật liệu rắn hóa
hơi, tách thành các 10-8 5 km
ng.tử/ph.tử 10-9 50 km
ph©n lo¹i Çc kho¶ng ch©n kh«ng
¾ Ch©n kh«ng thÊp:
• ¸p suÊt khÝ quyÓn ÷ 10 torr,
• Çc øng dông kh«ng c«ng nghiÖp
¾ Ch©n kh«ng trung bình:
Chân không trung bình

• 10 torr ÷ 1 x 10-3 torr
Chân không siêu cao
Chân không rất cao

• CVD, çc hÖ bèc bay trong ch©n
Chân không thấp

Chân không cao
kh«ng
¾ Ch©n kh«ng cao:
• 1 x 10-3 ÷ 1 x 10-6 torr
• Bèc bay trong ch©n kh«ng, cÊy ion,
phón x¹ cat«t
¾ Ch©n kh«ng rÊt cao:
• 1 x 10-6 ÷ 1 x 10-9 torr
1 Atmosphere
• CÊy ion, phón x¹ cat«t
¾ Ch©n kh«ng siªu cao:
• ThÊp h¬n 1 x 10-9 torr 10-18 10-15 10-12 10-9 10-6 10-3 1 103 (Torr)
• MBE (molecular beam epitaxy)
• Çc thiÕt bÞ nghiªn cøu 10-18 10-15 10-12 10-9 10-6 10-3 1 103 106 (Pa)
Çc kho¶ng ch©n kh«ng HAY ÁP SUẤT KHÁC
Chân không ngoài vũ trụ

¾ Ch©n kh«ng cực cao
(Extremely high vacuum)

Chân không rất cao
< 1×10-12 Torr (< 100 pPa)
Chân không thấp

Chân không cao
¾ Ch©n kh«ng ngoài kh«ng gian
(Outer Space) Chân không đạt
được ở trong
Từ 1×10-6 tới < 3×10-17 Torr PTN: 10-13
(100 µPa to < 3 fPa)

1 Atmosphere
¾ Ch©n kh«ng hoàn hảo

(Perfect vacuum) 10-18 10-15 10-12 10-9 10-6 10-3 1 103 (Torr)
0 Torr (0 Pa)
10-18 10-15 10-12 10-9 10-6 10-3 1 103 106 (Pa)
Çc kho¶ng ch©n kh«ng HAY ÁP SUẤT KHÁC
Áp suất tính theo Pa Áp suất tính theo mean free số phân
3
Torr path tử/cm
19
Máy hút bụi chân không gần 80 kPa 600 Torr 70 nm 10
Bơm chân không vòng chất gần 3.2 kPa 24 Torr
lỏng
Máy sấy khô đông lạnh 100 -- 10 Pa 1 -- 0.1 Torr
−3
Bơm cánh quạt 100 Pa -- 100 mPa 1 -- 10 Torr
Đèn điện nóng sáng 10 -- 1 Pa 0.1 -- 0.01 Torr
−2 −3
Phích đựng nước sôi 1 -- 0.1 Pa 10 -- 10 Torr
−6
Khoảng không gian gần gần 100 µPa 10 Torr
Trái đất
−7 −10
Đèn điện tử chân không 10 µPa -- 10 nPa 10 -- 10 Torr
−9 −11 5 9 4
Buồng MBE được bơm 100 nPa -- 1 nPa 10 -- 10 Torr 1..10 km 10 ..10
lạnh
−11
Áp suất trên Mặt trăng gần 1 nPa 10 Torr
−17
Không gian giữa các vì sao gần 1 fPa 10 Torr 1
®¬n vÞ ®o ¸p suÊt & HÖ sè chuyÓn ®æi
Ghi chú: lb = pound; bar = barometer (khí áp kÕ); kgf = kilogam lùc; psi = pounds per squaere inch
Torr psi
Pa (N/m2) Bar kgf/cm2 mmH2O inHg atm
(mmHg) (lb/in2)
1 Pa 1 1×10-5 7.501×10-3 1.02×10-5 0.1021 2.953×10-4 1.45×10-4 9.869×10-6
1 Bar 1×105 1 750.1 1.02 1.02×104 29.53 14.5 0.9869
1 Torr 133.3 1.333×10-3 1 1.359×10-3 13.61 0.03937 0.01934 1.316×10-3
1 Kgf/cm2 9.807×104 0.9807 735.5 1 1.001×104 28.96 14.22 0.9678
1 mmH2O 9.807 9.807×10-5 0.07348 9.96×10-5 1 2.89×10-3 1.42×10-3 9.68×10-4
1 inHg 3.386×103 0.03386 25.4 0.03453 345.6 1 0.4912 0.03342
1 psi 6.895×103 0.06895 51.71 0.07031 703.7 2.035 1 0.06805
1 atm 1.013×105 1.013 760 1.033 1.034×104 29.92 14.7 1
ÇC CHÕ ®é dßng chẢy cña chÊt khÝ
(phụ thuộc vào MFP)
¾ Dòng chảy nhớt (Viscous Flow): MFP tương đối ngắn.

• Đây là kiểu dòng chẩy của chất khí xuất hiện khi các phân tử khí khá gần nhau đến
mức luôn va chạm với nhau giống như chất lỏng được nén từ áp suất cao xuống áp
suất thấp hơn.
• Ứng với chế độ chân không thấp.
¾ Dòng chảy phân tử (Molecular Flow): MFP khá dài.
• Đây là kiểu dòng chẩy của chất khí xuất hiện khi hướng di chuyển của các phân tử
khí hoàn toàn ngẫu nhiên, nhưng vẫn có đôi chút va chạm giữa các phân tử khí.
• Ứng với chế độ chân không cao và siêu cao.
¾ Dòng chảy (Knudsen Flow) (MFP nằm trong khoảng chuyển tiếp giữa hai khoảng trên)
• Đây là kiểu dòng chẩy đan xen giữa kiểu chảy nhớt và chảy phân tử của chất khí (có
tính chất của cả hai kiểu chảy).
• Ứng với chế độ chân không trung bình. NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010
1) Kỹ thuật chân không HÖ ch©n kh«ng
VAr
Các thành phần cơ bản của một hệ chân không
- Buồng chân không
Buång ch©n
- Bơm chân không
- Ống dẫn, ống nối kh«ng
- Van chân không
- Dụng cụ đo chân không (đo áp suất thấp)
V4 V2
Đầu đo chân
Buồng chân không cao
không (Penning)
G3
Van xả, V4
Van bơm B¬m V3
Van chân sơ bộ, V3
không cao, khuÕch
G2 G1 Đầu đo chân
V2 không thấp t¸n
(Pirani)
Bơm kh. tán
Bơm cơ học V1
Van bơm B¬m c¬ häc

sơ bộ, V1
S¬ ®å mét hÖ ch©n kh«ng c¬ b¶n NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010

Hệ chân không
Hệ chân không
Kho¶ng ¸p suÊt lµm viÖc cña çc lo¹i b¬m ch©n kh«ng
High Vacuum Med Vacuum Rough Vacuum
Ultra-high Vacuum
10-7…..10-3 mbar 10-3…..1 mbar 1.....103 mbar
<10-7 mbar (<10-5 Pa) (10-5 …..10-1 Pa ) (10-1 …..101 Pa) 102.....105 Pa
Piston Pump
Diaphragm Pump
Liquid-Ring Pump
Sliding Vane Rotary Pump
Multiple-Vane Rotary Pump
Rotary Piston Pump

Rotary Plunger Pump
Roots Pump
Turbine Pump
Gaseous-Ring Pump
Bơm tubo phân tử (Turbomolecular Pump)
B¬m phản lùc chÊ láng (Liquid Jet Pump)
B¬m phản lùc h¬I (Vapor Jet Pump)

Bơm khuếch tán (Diffusion Pump)
Bơm phụt khuếch tán (Diffusion Ejector Pump)
B¬m thăng hoa (Sublimation Pump) Bơm hấp thụ (Absorption Pump)
Bơm phún xạ ion (Sputter-Ion Pump)

Bơm nhiệt lạnh (Cryo Pump)
10-14 10-13 10-12 10-11 10-10 10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101
P (mbar) NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010
1) Kỹ thuật chân không Các bơm cơ học thông dụng
Bơm rotor (Bơm quay dầu): Khoảng làm việc: từ áp suất khí quyển - 10-3 Torr
Bơm Roots: Khoảng làm việc của chính nó: từ áp suất khí quyển - 100 Torr; khi có bơm
cơ học khác trợ giúp: từ áp suất khí quyển - 10-4 Torr.
Bơm khuếch tán thông dụng
Oil Diffusion Pump: Khoảng làm việc: từ 10-3 tới 10-8 Torr.
Bơm turbo thông dụng
Bơm turbo phân tử:

Đầu vào nối với buồng
- Tốc độ quay: 20.000 -
chân không
30.000 vg/ph
- Tốc độ bơm: 103 lít/giây
- Khoảng chân không đạt
Rotor: là các đĩa
gồm các cánh được: 10-9 -- 10-11 Torr.
quạt được xếp
nghiêng với góc
khác nhau
Động cơ điện
Đầu ra nối với bơm cơ học

Đầu đấu điện cho
động cơ điện
Turbo-molecular Pump
Đo chân không
Hai cách đo chân không, tùy thuộc vào khoảng áp suất chất khí:
¾ Phương pháp trực tiếp (thường ở áp suất cao - chân không thấp)
• Ống Bourdon
• Áp kế tụ điện
¾ Phương pháp gián tiếp (thường ở áp suất thấp - chân không cao)
• Cặp nhiệt điện
• Đầu đo Pirani
• Đầu đo ion catốt nóng/lạnh (Hot-Cathode/Cold-Cathode Ion Gauge)
• Đầu đo rôto xoắy (Spinning Rotor Gauge)
Khoảng ¸p suÊt làm việc của çc đầu đo ch©n kh«ng
Ultra-high Vacuum High Vacuum Med Vacuum Rough Vacuum
<10-7 mbar 10-7…..10-3 mbar 10-3…..1 mbar 1.....103 mbar
( <10-5 Pa) (10-5 …..10-1 Pa) ( 10-1 …..101 Pa) (102.....105 Pa)
Áp kế mức chất lỏng (Liquid Level Manometer)
Đầu đo phần tử đàn hồi (Elastic Element Gauge)

Đầu đo nén (Compression Gauge)
Cân bằng áp suất (Pressure Balance)

Đầu đo độ nhớt (Viscosity Gauge)
Đầu đo độ dẫn nhiệt (Thermal Conductivity Gauge)
Đầu đo cặp nhiệt (Thermomolecular Gauge)
Đầu đo Penning (Penning Gauge) Đầu đo ion hoá do phóng xạ (Radioactive Ionization Gauge)
Đầu đo ion catốt lạnh Cold-cathode Magnetron Gauge

Đầu đo ion nghịch chuyển catốt lạnh (Cold-cathode Inverted Magnetron Gauge)
Đo chân không tần số cao (High-frequency Vacuum Test)
Đầu đo ion hoá catốt nóng (Hot-cathode Ionization Gauge)
Đầu đo ion hoá áp suất cao (High-pressure Ionization Gaugue)
Đầu đo Bayar-Alpert (Bayard-Alpert Gauge)
Đầu đo điều biến (Modulator Gauge)
Đầu đo nén (Suppressor Gauge)
Đầu đo tách chiết (Extractor Gauge)
Đầu đo chùm tia Bent (Bent Beam Gauge)

Đầu đo ion catốt nóng (Hot-cathode Magnetron Gauge)
10-14 10-13 10-12 10-11 10-10 10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101 102 103
P (mbar) NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010
Đầu đo cặp nhiệt: (TC Gauge)
¾ Khoảng làm việc: từ áp suất khí quển tới 1 Torr.
Đầu đo Pirani
• Khoảng làm việc: từ áp
suất khí quển tới 10-4 Torr.
Đầu đo ion catốt nóng

¾ Khoảng làm việc: từ
10-2 tới 10-10 Torr.
Đầu đo ion catôt l¹nh ¾ Khoảng làm việc: từ 10-2 tới 10-9 Torr.
Độ dẫn và tốc độ hút trong các hệ chân không
¾ Độ dẫn: là khả năng cho phép dòng phân tử chảy qua một thành phần của hệ chân không (ống
dẫn, van, buồng,...).
¾ Đơn vị : thể tích/thời gian (lit/s, foot3/min (CFM), hoặc cm3/min,...)
Độ dẫn trong các hệ được hút nối tiếp Độ dẫn trong các hệ được hút song song
1/Ctotal = 1/C1 + 1/C2 + 1/C3 + . . . Ctotal = C1 + C2 + C3 + . . .
¾ Tốc độ bơm (S = V/t): là tốc độ rút khí khỏi một hệ thống của bơm chân không (ở
đầu vào của bơm). Đơn vị: thể tích/thời gian (lit/s, foot3/min (CFM), cm3/min,...)
¾ Lượng khí tải (Q, quantity of gas): là lượng khí được vận chuyển ra khỏi hệ chân
không. Đơn vị: torr×liter
Tốc độ ở đầu vào của bơm
Tốc độ rút khí (Torr-lit/s)

Tốc độ không khí (lit/s)
¾ Tốc độ khí rút (Thoughput):
là khối lượng khí được bơm ở Tốc độ bơm
áp suất đã cho (Q=PS) trong

một đơn vị thời gian: PV/t.
Tốc độ rút khí
Đơn vị: torr×lit/s, atm×cm3/h
Sự phụ thuộc áp suất của tốc độ bơm

của một bơm khuếch tán đường kính
15.24 cm với bơm cơ học trợ giúp có Áp suất khí đầu vào (Torr)
tốc độ bơm là 20 CFM và đường cong
của tốc độ rút khí.
Sự hình thành màng mỏng từ lắng đọng nguyên tử/phân tử
¾ Çc quá trình lắng đọng mμng máng (b»ng PVD):
- T¹o ra tr¹ng th¸i h¬i, chïm nguyªn tö hay ph©n tö ph©n ly, hoặc chïm
h¹t của vËt liÖu.
- ®Þnh h−íng/phát tán dßng h¬i vËt liÖu, nguyªn tö, ph©n tö hay chïm h¹t
tới bề mặt ngưng tụ (thường sử dụng sự chênh lệch về nhiệt độ, grad.T).
- HÊp thô vµ l¾ng ®äng (ng−ng tô) thµnh mµng máng.
¾ Çc ph−¬ng ph¸p c¬ b¶n t¹o ra çc tr¹ng th¸i h¬i vËt liÖu, nguyªn tö, ph©n tö
hay chïm h¹t (b»ng PVD):
- NhiÖt (Joule, ®iÖn tö, chiÕu x¹, c¶m øng,…)
- B¾n ph¸ (b»ng çc chïm h¹t nÆng: ion, ng.tö, ph.tö, chïm h¹t, …)
- Ph¸t x¹ (nhiÖt l¹nh sö dông ®iÖn tr−êng, c¶m øng hoÆc chiÕu x¹, …) - v.v…
¾ Çc b−íc c¬ b¶n trong qu¸ trình hình thμnh mμng:
- Ng−ng tô
- KhuÕch t¸n
- MÊt m¸t (truyền) năng l−îng vµ ®Þnh vÞ (ổn định trong hố thế năng).
Các bước cơ bản trong quá trình lớn lên của màng mỏng:
1- Hấp thụ vật lý (physisorption) của nguyên tử/phân tử,
2- Khuếch tán bề mặt,
3- Hình thành các liên kết phân tử - phân tử và đế - phân tử
(hấp thụ hóa học: chemisorption),
4- Tạo mầm: kết tụ (kết tập) của các ng.tử/ph.tử đơn,
5- Hình thành cấu trúc và vi cấu trúc (vô định hình, đa tinh thể hoặc
đơn tinh thể; các sai hỏng; mức độ nhám bề mặt, v.v...),
6- Các thay đổi trong lòng của màng, như sự khuếch tán, sự phát triển
ở dạng hạt, v.v...
Hơi phân tử
Giải hấp thụ
Phản xạ
Tái hấp thụ Dòng ion đi đến

Hệ số hấp thụ vật lý
Hệ số hấp thụ hóa học
Bề mặt đế Hệ số bám dính
Nhiệt độ đế Độ dài bước nhảy

Sự hình thành màng mỏng từ lắng đọng nguyên tử/phân tử
3 cơ chế cơ bản hình thành màng mỏng

Quan sát bề mặt mọc
Quan sát quá trình hình thành màng mỏng

a) hình thành mầm
b) hình thành hạt
c) hình thành đảo
d) liên kết/kết dính các đảo
=> hình thành các kênh liên thông nhau
e) nối liền các kênh
Quan sát sự kết dính các đảo:
a) ở thời điểm bắt dầu quan sát
b) sau 0.06 giây; c) sau 0.18giây; d)
sau 0.50 giây; e) sau 1.06 giây; f) sau
6.18 giây NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010
Quan sát hướng cột mọc
Mô phỏng bằng máy tính vi cấu trúc của

màng Ni được lắng đọng ở các thời điểm
khác nhau và ở các nhiệt độ đế khác nhau,
và hình ảnh quan sát được thực tế (SEM).
2) Kỹ thuật bốc bay trong chân không
Buồng chân không
Đế mẫu
Màng mỏng rắn

lắng đọng
Vật liệu bốc bay
Điện cực
Thuyền
đốt
Nguồn DC
Tới bơm chân không
2) Kỹ thuật bốc bay trong chân không
Một số nguồn đốt bốc bay thông dụng
Dạng nồi gốm bằng carbite/borite
Dạng dây W quấn thành giỏ
Dạng dây W quấn lò xo (coil) Dạng lá W/Mo dập thành thuyền Dạng dây W quấn phủ alumina
(chế tạo, thao tác, lắp ráp và phân
Cơ tích các
chế bắn phácấu trúc
bề mặt chấtnano)
rắn tạo ra sự phún xạ
3) Kỹ thuật phún xạ catốt
Nguyên lý của kỹ thuật tạo màng mỏng bằng phún xạ catốt

Cơ chế bắn phá bia (target) & tạo ra
hiện tượng phún xạ Phối hợp trở kháng
Điện cực Catôt

Bia
Vùng tối catôt Các ion
Bøc x¹
khí trơ (Ar+)
Nguồn phát tần số cao RF

Vùng phóng
điện hào
quang
Các ng.tử bia

Vùng tối anôt
Đế lắng đọng
màng mỏng
Điện cực Anôt
Một số dạng bia (target) thông dụng.
- Dạng đĩa kim loại & hợp kim
- Dạng đĩa gốm hay bột ép áp lực cao
Các bia (target) được lắp vào cathode tạo thành nguồn
Hiện tượng phóng điện plasma
phún xạ (“súng” - gun)
Hệ thống bia lắp trên cathode
4) Kỹ thuật MBE tạo ra các cấu trúc nano
- MBE: Molecular Beam Epitaxy - sắp xếp trật tự, lần lượt, từng lớp một (epitaxy)
các ph.tử/ng.tử (có thể nhiều loại, đến từ một hay nhiều nguồn, và tạo thành
dòng/chùm), lên bề mặt phiến tinh thể (đơn) sạch, trong môi trường chân không cao
và siêu cao (~10-8 - 10-12 Torr), để tạo ra các màng mỏng đơn tinh thể. [Được phát
minh ở Bell Tel. Lab bởi J. R. Arthur và Alfred Y. Cho những năm cuối của thập kỷ 1960].
- Ưu điểm phương pháp MBE:

MBE
+ Chất lượng màng rất cao, thậm chí hoàn hảo ở mức nguyên tử (tốc độ
lắng đọng rất chậm: ~ 1000 nm/h), và siêu sạch;
+ Chiều dày rất xác định, chính xác (đến cỡ 1 lớp nguyên tử đơn);
+ Bề mặt màng rất bằng phẳng (mặt nguyên tử);
+ Tạo được các gờ, bậc dốc thẳng đứng hoàn hảo trên bề mặt màng;
+ Điều khiển được thành phần gần như tuỳ ý theo profile ➽ Do đó tạo
được thế V(z) có dạng tuỳ ý là hàm của vị trí z dọc theo phương xếp chồng của
các nguyên tử/phân tử (vuông góc với bề mặt màng).
Thời gian hình thành đơn lớp nguyên tử phụ thuộc vào áp suất
Chân không thấp

Chân không cao
Chân không siêu cao
Chân không rÊt cao
- Một hệ MBE
- Ứng dụng chính của phương pháp MBE:
+ Tạo ra các hố lượng tử (QW: quantum well);
+ Tạo ra các rào thế xuyên ngầm hoàn hảo;
+ Tạo ra các siêu mạng (superlattice) hay hợp kim số (digital alloy);
+ Tạo ra các bề mặt tiếp xúc dị cấu trúc hoàn hảo đến mức nguyên tử;
+ Tạo ra các bậc thẳng và phẳng hoàn hảo của mặt tiếp xúc;
+ Tạo ra các vi cấu trúc lượng tử khác.
- Kỹ thuật nhiễu xạ điện tử năng lượng cao phản xạ (RHEED - Reflection High
Energy Electron Diffraction) luôn song hành với kỹ thuật MBE để quan sát và điều
chỉnh quá trình lắng đọng tạo các lớp đơn tinh thể.
- Quá trình hình thành các lớp nguyên tử bằng kỹ thuật MBE
5) Kỹ thuật SPM tạo ra các cấu trúc nano
NanoQuebec
McGill University
- Tạo ra các cấu trúc xoắn lượng tử (quantum corral)
Thao tác theo kiểu xô đẩy (Pushing

mode) làm dịch chuyển nguyên tử một
cách cơ học bằng hiển vi động lực học
biên độ nhỏ (Small Amplitude Dynamic
Force Microscopy). Nguyên tử đích đã bị
chuyển đến chỗ khuyết với khoảng dịch
chuyển ~ 270 pm (10-3 nm).
Các nguyên tử bề mặt Si(111)

(S. Kawai and H. Kawakatsu, "Mechanical atom manipulation with small amplitude dynamic force microscopy",
Applied Physics Letters 89 (2006) 023113).
“Xếp giấy” nghệ thuật lá graphene bằng giọt chất lỏng nano (nanodroplet)
Materialstoday | MARCH 2010 | VOLUME 13 | NUMBER 3 | p.8/ Katerina Busuttil NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010

6) Các kỹ thuật khắc - ăn mòn nano
CÔNG NGHỆ "TỪ DƯỚI LÊN"

- Khắc bằng chùm ánh sáng (Quang khắc) - Tử ngoại xa (ExUVL)
- Khắc bằng chùm tia X (XPL)
- Khắc bằng chùm tia điện tử (EBL)
- Khắc bằng chùm tia ion phân kỳ (IPL)
- Khắc bằng chùm tia ion hội tụ (FIBL)
- Kỹ thuật photoresist (FPR)
- Kỹ thuật ăn mòn khô và ướt
- Kỹ thuật ăn mòn ion phản ứng
- Kỹ thuật lift-off
Một số sản phẩm đã có trên thị trường: L’Oréal

- Kem chống nắng (Sunscreen) - chứa các hạt nano là
ôxýt kẽm (ZnO) hoặc oxýt titan (TiO) có khả năng chống
tia cực tím (UV) gây ung thư da.
- Kính tự sạch (Self-cleaning glass) – Hay còn gọi là kính tích cực (Activ
Glass), được sử dụng nhiều trong các công trình xây dựng cao tầng. Các
hạt nano chứa bên trong thủy tinh thực hiện phản ứng quang xúc tác và
thấm nước: Hiệu ứng quang xúc tác xảy ra khi bức xạ cực tím (UV) từ ánh
sáng mặt trời chiếu lên kính, cấp năng lượng cho các hạt nano thực hiện sự
bẻ gẫy liên kết bề mặt và làm mất đi các phân tử hữu cơ nằm ở trên bề mặt
kính (là các hạt bụi). Sự thấm nước có nghĩa là khi nước tiếp xúc với kính
sẽ nhanh chóng loang ra, làm cho kính được tẩy rửa sạch bụi và chóng khô.
- Vật liệu chống xước (Scratch-resistant coatings) – Cho các hạt nano
AlSiO2 (aluminum silicate) vào trong polymer người ta đã tạo ra được một
loại vật liệu có tính chống xước (scratch-resistant polymer) dùng để phủ bảo
vệ chống bong tróc và trầy xước cho ôtô, xe máy, kính mắt, v.v...
- Vải nano - Phủ lên bề mặt sợi dệt một lớp mỏng chứa các hạt nano ZnO.
Vải được tạo ra từ loại sợi này có thể chống bức xạ tia cực tím (UV) và có
tính đẩy nước (vì vậy vải không thấm nước, chóng khô) và đẩy bụi bẩn bám
vào mặt vải (có tính chống bụi bẩn (stain-resistant), vì vậy quần áo rất sạch),
và đặc biệt vải nano có tính chống nhăn/nhàu (wrinkle-resistant fabrics).
- Băng/gạc y tế chống nhiễm trùng (Antimicrobial bandages) – Các hạt nano

Ag được đưa vào bông, băng y tế (kể cả quần áo) sẽ làm tăng mạnh tính
kháng khuẩn do các ion bạc có tác dụng khóa các tế bào hô hấp của vi
khuẩn làm chết ngạt chúng.
- Chất làm sạch và tẩy uế bể bơi (Swimming pool cleaners and disinfectants)
Một hỗn hợp, của một loại dầu dưới dạng giọt có kích thước nano trộn với
một chất xát trùng tạo ra một loại nhũ tương nano (nanoemulsion) có tính
chất sát khuẩn, tẩy trùng, tẩy uế. Các hạt dầu bám dính vào vi khuẩn làm cho
việc tẩy rửa, sát trùng hiệu quả hơn.
- Một số sản phẩm khác: Mỹ phẩm thấm sâu (deep-penetrating cosmetics).

Vợt tennis làm bằng sợi nano carbon (CNT) vừa nhẹ vừa bền hơn thép nhiều
lần. Bóng tennis 2 lõi trong đó lõi bên trong được phủ các hạt nano đất sét
(clay nanoparticles, có tác dụng như là chất bịt kín, làm cho không khí khó bị
rò rỉ ra ngoài). Màn hiển thị tinh thể lỏng (LCD: liquid crystal displays); các
linh kiện vi điện tử và nano điện tử.
Một số khả năng ứng dụng khác:
- Chế tạo thuốc và phương thức vận chuyển thuốc hoàn toàn mới
• Các hạt vàng (có thể được gắn với nhau) được
làm nóng bằng hồng ngoại từ bên ngoài cơ thể
➽ điều khiển việc nhả thuốc.
• Các hạt từ nano có thể được dùng để dẫn thuốc
bằng từ trường tới khu vực bị tổn thương.
• Kim tiêm thuốc nano.
• ...
Kim tiêm nano
Một số khả năng ứng dụng khác:
- Chuyển đổi và tích trữ năng lượng
• Chuyển đổi năng lượng cơ thành năng lượng điện & ngược lại
• Chuyển đổi năng lượng từ thành năng lượng điện & ngược lại
• Chuyển đổi năng lượng từ thành năng lượng nhiệt (từ nhiệt)
• Nhớ hình dạng
• Chuyển đổi năng lượng điện hóa
• Tích trữ hyđro
HẾT PHẦN TỔNG QUAN
TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI
INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE
VIỆN
VẬT LIỆU CÓ CẤU TRÚC NANO

NANOSTRUCTURED MATERIALS
PHẦN IV
CÁC VẬT LIỆU NANO KHÁC & CÁC VẤN ĐỀ LIÊN QUAN
OTHER NANOMATERIALS AND RELATED ISSUES
HANOI-2010
CHƯƠNG 4
CÁC VẬT LIỆU NANO KHÁC VÀ NHỮNG VẤN ĐỀ LIÊN QUAN
4.1. Các vật liệu nano carbon (Nguyễn Văn Quy)

4.2. Các vật liệu nano chức năng đặc biệt khác (Nguyễn Văn Hiếu)
4.3. Hoá học nano (Nguyễn Văn Hiếu)
4.4. Khía cạnh an toàn và những thách thức của vật liệu nano (Nguyễn Văn Hiếu)
4.5. Các cấu trúc nano trong tự nhiên (Nguyễn Anh Tuấn)
4.6. Điện tử học phân tử, nguyên tử và thông tin lượng tử (Nguyễn Anh Tuấn)
4.7. Tình trạng phát triển và tương lai của công nghệ nano (Nguyễn Anh Tuấn)
4.5. Các cấu trúc nano trong tự nhiên
Một dạng cấu trúc photonic
Cấu trúc kiểu đóng dấu trên polycarbonate

Cánh bướm có cấu trúc nano trên bề mặt - kiểu cấu trúc đóng dấu/vết
hằn/vết in có kích thước nanomét:
+ Tăng sức căng bề mặt làm chất lỏng có dạng hình cầu ➼ Không dính ướt
+ Tùy theo kích thước và khoảng cách giữa các phần tử nano bề mặt
➼ Phản xạ ánh sáng có bước sóng khác nhau ➼ Có mầu sắc sặc sỡ.
"Cỏ nano" Si với đường kính của lá
chỉ vài nanômét.
Giọt nước được hình thành ở trên đầu các ngọn "cỏ nano" có dạng hình
cầu gần như hoàn hảo (trái). Khi tác dụng một điện áp nhỏ, giọt nước
bị thấm ướt và dính xuống bề mặt lớp cỏ một chút (trái)
(Kunststoffe 94, No. 8, 2004)
Các giọt nước không bị dính ướt ở trên bề mặt

của lá khoai. Khi trôi đi sẽ kéo theo các hạt bụi
bẩn, làm cho bề mặt lá khoai trở nên rất sạch.
Lá sen tự làm sạch Cấu trúc nano bề mặt lá Cấu trúc in dấu
Lá lúa thấm ướt dị hướng Cấu trúc nano bề mặt lá Cấu trúc in dấu
Chân siêu kỵ nước Cấu trúc nano bề mặt Cấu trúc in dấu
của nhện nước của chân nhện nước
4.6. Điện tử học phân tử, nguyên tử và thông tin lượng tử
Hai hướng cơ bản được quan tâm nhiều nhất hiện nay của ngành vật lý hiện
đại là:
+ Khoa học vật liệu (Material Science)
+ Khoa học máy tính (Computer Science)
- Điện tử học phân tử/nguyên tử: Sử dụng các phân tử hay nguyên tử làm
vật liệu cho phần tử vận chuyển điện tích của các linh kiện điện tử - Ví dụ,
transitor phân tử - nhằm thực hiện việc điều khiển quá trình vận chuyển
điện tích (một cách lượng tử) qua cấu trúc của phân tử.
- Thông tin lượng tử & Máy tính lượng tử - QC:

QC
+ Sử dụng các trạng thái lượng tử của nguyên tử/phân tử, hoặc các trạng
thái spin điện tử hay hạt nhân nguyên tử để làm các bit thông tin: Qbit.
+ Một nguyên tử (ion) có thể chiếm các trạng thái lượng tử khác nhau.
2 trong số đó được sử dụng để lưu trữ thông tin số: 1 ng.tử ở trạng thái cơ
bản ứng với giá trị “0” của Qbit, trạng thái bị kích thích của ng.tử này được
dùng làm giá trị “1” của Qbit đó. ➼ Vậy chẳng có gì mới so với các máy
tính thông thường trong việc kỳ vọng có mật độ cao hơn?
4.6. Điện tử học phân tử, nguyên tử và thông tin lượng tử
- Ưu điểm chính của QC không phải liên quan tới mật độ của Qbit.
Qbit
- Sự khác nhau cơ bản ở chỗ vật lý lượng tử cho phép thực hiện sự chồng
chập các trạng thái lượng tử: Đối với một nguyên tử, có thể tạo ra vô số các
trạng thái bằng việc chồng chập chỉ từ 2 trạng thái cơ bản:
ψ0 → 〈0│ → E0
ψ1 → 〈1│ → E1
ψ0 ψ1* → 〈0│1〉→ E0, E’... E’’... En’, E1
- Việc sử dụng nguyên lý chồng chập cho phép sử dụng các trạng thái lượng
tử biểu diễn đồng thời các số khác nhau → tính tương đương (song song)
lượng tử.
4.7. Tình trạng phát triển & Tương lai của công nghệ nano
Theo Mihail Roco (the U.S. National Nanotechnology Initiative), công nghệ nano phát
triển qua 4 thế hệ (hay thời kỳ):
Thụ động
Chủ động
Các thành
phần cấu
tạo hệ
tương tác
Các tổ chức
tương tác ở
mức độ
ng.ử/ph.tử
Theo Mihail Roco of the U.S. National Molecular manufacturing được coi
Nanotechnology Initiative như là một phần của thế hệ thứ 4.
QUAN NỆM VỀ NGHIÊN CỨU & PHÁT TRIỂN CÔNG NGHỆ NANO
- Một số ít: cần phát triển các vấn đề liên quan đến đo đạc &
quan sát ở thang nanomet (1-100 nm).
- Đa số cho rằng: điều khiển và tổ chức sắp xếp lại vật chất
mới là quan trọng.
Tiên đoán về ảnh hưởng chính đến kinh tế-xã hội

của KHnano & CNnano:
Những công cụ mới: Hiện tại
Vật liệu nano: Hiện tại
Điện tử nano: 10-20 năm
Y-sinh học nano: 15-20 năm
4.7. Tình trạng phát triển và tương lai của công nghệ nano
1) Tình trạng phát triển của KH&CN nano trên TG
Các chương trình nghiên cứu về vật liệu nano trên thế giới
Có rất nhiều các ấn phẩm dạng từ điển bách

khoa về khoa học và công nghệ nano
Trends in Research on NANOPARTICLES
1400
1200
Number of publications
1000
800
600
400
200
0
95
96
97
98
99
00
01
02
03
19
19
19
19
19
20
20
20
20
Year
Số các bài báo nghiên cứu về graphene đơn
Các nghiên cứu về nano gia tăng mạnh mẽ lớp (vàng) và graphene hai lớp (xám) theo thời
gian: (1) Bắt đầu khám phá ra graphene; (2)
Hiệu ứng Hall lượng tử dị thường (QHE).
Government Expenditures on Nanotechnology Research in 1997,

Based on the WTEC Site Interviews
AMERICAS: The United States & Canada

Support for Nanotechnology Research from U.S. Federal Agencies in 1997
- Các chủ đề nghiên cứu được quan tâm ở Mỹ:

1. Các vật liệu kim loại và gốm có cấu trúc nano với các tính chất được điều khiển
2. Thao tác trên các phân tử
3. Các kỹ thuật tự sắp xếp hóa học của các cấu trúc nano “mềm”
4. Các kỹ thuật vật lý và hóa học phun, phủ tạo ra các cấu trúc nano
5. Chế tạo nano (nanofabrication) các linh kiện và sản phẩm điện tử
6. Các vật liệu có cấu trúc nano sử dụng cho các vấn đề liên quan đến năng lượng
(như các chất xúc tác, vật liệu từ mềm,...)
7. Tạo ra các cỗ máy nano
8. Tiểu hình hóa các hệ thống tàu vũ trụ
- Các chủ đề nghiên cứu được quan tâm ở Canada:

Chủ yếu là các vật liệu bán dẫn có cấu trúc nano
Một số khuynh hướng tiêu biểu trong công nghệ nano trên thế giới
Nanophotonics Nano & photovoltaics
Nanosensors and Nanolithography

nanoprobes
netvibes.com NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010

Nanowires Carbon nanotubes
Nanospheres Iron oxide nanoparticles
Nanomedicine Nanobiotechnology
Nanoparticles Nanoparticles &

& Cytotoxicity Cancer therapy
netvibes.com NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010

Nanoparticles & Nanotech risks

Ecotoxicity
Nanotech & DNA Nanosurgery
SỰ PHÁT TRIỂN CỦA CÔNG NGHỆ BÁN DẪN – CÔNG NGHỆ VI ĐIỆN TỬ
Quy luật Moore – I: Sè phÇn tö tÝch cùc tæ hîp ®−îc trªn mét
chÝp t¨ng gÊp ®«i sau mỗi kho¶ng 12-18 th¸ng.
- Dự đoán: Trong TK 21: Mật độ lưu trữ hay tích hợp tăng
gấp 3 lần sau 12 tháng. Gordon Moore
Moore’s Law: The trend in the number of transistors per chip over time Transistor count (K)
Microprocessor Year Transistors (000s) Clock Speed (Mhz) The number of transistors per chip
4004 1971 2.3 0.1 doubles every 18 months
8008 1972 3.5 0.2
8080 1974 6 2
8086 1978 29 10
80286 1982 134 12.5
Intel386TM 1985 275 16
Intel486TM 1989 1,200.00 25
Pentium® 1993 3,100.00 60
Pentium®Pro 1995 5,500.00 200
Pentium® II 1997 7,500.00 300
Pentium® III 1999 9,500.00 600
(Tài liệu nguồn: Science and Engineering Indicators – 2000, National Science Board (NSB), Washington, DC
20500, 2000 (NSB-00-1) NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010
Quy luật Moore-II: Giá thành nhà máy chế tạo chip sau 3 năm tăng gấp đôi
Giá thành IC liên tục giảm trong suốt 30 năm qua (Theo: Materials Today; Vol. 9, Iss. 6, June 2006,
pp 20-25 by S. E. Thompsona, and S. Parthasarathy.)
Quy luật Moore về kinh tế trong TK 20 Mâu thuẫn về Kinh tế

CÁI GÌ SẼ DIỄN RA TRONG THẾ KỶ 21 ?
TK 21: Công nghệ nano

Micro- Ö Các transitor trong mạch logic có
technology
kích thước nanomét:
- 2000: ~ 100 nm Ö ~ 1000 ®iÖn tö
- 2010: ~ x10 nm Ö ~ 10 ®iÖn tö
Ö Th¨ng gi¸ng thèng kª lín.
- 2020: ~x1 nm: chÊm l−îng tö (Qdot):
Ö 1 ®iÖn tö (đơn điện tử)
Ö ViÖc ®iÒu khiÓn ®iÖn tö trong các
Sự giảm của kích thước đặc trưng trong công chấm lượng tử ®−îc thùc hiÖn theo
nghệ bán dẫn micro (đường xanh), và công qui luËt của vật lý lượng tử.
nghệ bán dẫn nano (đường đỏ) biểu thị qua độ
dài của cổng transitor, trong vòng 4 thập kỷ. Quy luật vật lý bị vi phạm
(Theo: Materials Today; Vol. 9, Iss. 6, June 2006, pp 20-
25, by S. E. Thompsona, and S. Parthasarathy.) NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010
NANOELECTRONICS
CÁC LINH KIỆN ĐIỆN TỬ NANO (NANOELECTRONIC DEVICES)
CÊp nano CÊp micro

Transistor
®¬n ®iÖn tö
Çc linh kiÖn spin Linh kiÖn ph¸t
x¹ tr−êng
Laser chÊm
èng nano
l−îng tö
Nguyªn tö Transistor
Ph©n tö
Thang kÝch th−íc cña çc linh kiÖn chøc n¨ng

2) Tương lai của công nghệ nano
Thiết bị nano - phân tử
- Trong thế giới "Star Trek" (phim hành động-KH viễn tưởng) có những cỗ máy sao chép
(replicator)
replicator có thể tái tạo ra bất kỳ một thực thể vật lý nào, từ những vũ khí tối tân cho đến
tách trà nóng bốc hơi nghi ngút, dựa trên cơ sở chế tạo phân tử (molecular manufacturing).
manufacturing
Với KH và CN nano hiện nay, người ta tin rằng trong tương lai gần điều đó là hoàn toàn thực
hiện được. Khi đó bộ mặt thế giới sẽ thay đổi như thế nào? NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010
Thiết bị nano - phân tử
- Trong thực tế, hiện nay người ta đang thực hiện việc tạo ra các cỗ máy phân tử đơn giản.
Các nguyên tử và phân tử có thể được gắn chặt với nhau theo những hình dạng phức tạp
nào đó theo nguyên lý liên kết điện tích. ➽ Từ đó tạo ra các cỗ máy nano (nanomachines)
➽ Hình thành nên một dòng sản phẩm đặc biệt.
Một bánh răng nano có thể được

tạo ra (các răng được làm bằng
các phân tử benzyne đính lên bề
mặt ống CNT). Một thiết kế cho cơ cấu bánh răng nano đang làm việc
Về Molecular nanotechnology xem trong
"MOLECULAR MACHINERY AND MANUFACTURING WITH
APPLICATIONS TO COMPUTATION" by K. ERIC DREXLER
Ý tưởng tạo đầu dò Ý tưởng tạo hệ bánh răng

(tip) bằng ống nano truyền động bằng ống
Một mẫu thiết kế đơn giản về hệ truyền động cơ carbon (CNT) nano carbon (CNT)
khí nano (môtơ - nanomechanical bearing) sử
dụng các phân tử hữ cơ - Theo K.E. Drexler.
Nguyen Anh Tuan - ITIMS-2010
"Hộp giảm tốc" phân tử kiểu trục song song, gồm 15,342 nguyên tử,
là một trong số các linh kện/dụng cụ cơ học nano có kích thước lớn
nhất được mô phỏng chi tiết đến từng nguyên tử.
- Mục đích của chế tạo phân tử là thực hiện các thao tác trên từng nguyên tử riêng rẽ và
đặt chúng vào những chỗ xác định theo một khuôn mẫu đã được thiết kế từ trước nằm tạo
ra những cấu trúc thích hợp.
- Cơ chế tạo ra các máy cái lắp ráp các phân tử:
+ Phát trển các máy công cụ thao tác ở phạm vi nano (nanoscopic machine), gọi là các
máy lắp ráp (assembler), có thể lập trình để điều khiển các nguyên tử và phân tử ở
vào những nơi đã được xác định trước.
+ Có thể phải mất cả hàng triệu năm để lắp ráp tạo ra một lượng vật liệu có ý nghĩa, đủ
để tạo ra một máy lắp ráp; có thể phải cần tới hàng tỷ tỷ máy lắp ráp làm việc cùng một
lúc. Tuy nhiên, chính kỹ thuật tự sao chép trong sinh học là cơ sở để từ đó tạo ra
những máy lắp ráp thế hệ kế tiếp. Sự phát trển theo kiểu hàm mũ cho đến khi đủ để tạo
ra những thực thể vật lý nào đó.
- Hàng tỷ tỷ cỗ máy sao chép (replicator)

replicator và cỗ máy lắp ráp (assembler)
assembler sẽ lấp đầy một
KG < 1 mm3 - có thể vẫn quá nhỏ để nhìn thấy bằng mắt thường. Những cỗ máy nano này
sẽ làm việc cùng nhau và tự động tạo ra các sản phẩm là những thực thể vật lý bất kỳ
(thậm chí cả kim cương, nước và thức ăn), và cuối cùng sẽ thay thế hoàn toàn các
phương pháp thực nghiệm truyền thống. NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010
Công nghệ y-dược
Công nghệ nano có ảnh hưởng lớn nhất đến nền công nghiệp y-dược:
- Trong tương lai các nanorobot đã lập trình sẵn được đưa vào người bệnh nhân
để trực tiếp tấn công cấu trúc phân tử của các tế bào ung thư hay viruse.
viruse
- Đã có những suy đoán cho rằng các nanorobot có thể làm chậm lại quá trình lão
hoá, thậm chí đảo ngược hẳn quá trình này, làm tăng đáng kể tuổi thọ con người.
- Các nanorobot cũng có thể được lập trình để thực hiện các ca phẫu thuật không
cần gây mê (delicate surgery) - nhà/BS phẫu thật nano (nanosurgeon) - chính xác
hơn hàng nghìn lần so với những con dao mổ sắc nhất, và đặc biệt không để lại
những vết sẹo, hay làm thay đổi diện mạo cơ thể con người.
- Các nanorobot còn có thể được lập trình trước để thực hiện các phẫu thuật thẩm
mỹ (cosmetic surgery) - như sắp đặt lại các nguyên tử ở tai, mũi, mắt, hay bất kỳ
bộ phận nào trên cơ thể, từ hình dáng đến mầu sắc (nhưng sẽ gặp phải những
vấn đề về nhân đạo, an ninh, pháp luật, văn hoá,... ???).
Công nghệ môi trường
Công nghệ nano có khả năng tác động tích cực đến môi trường:
- Tạo ra các nanorobot có thể kết nối phân tử không khí (airborne) để tạo ra lớp
ozone mỏng bảo vệ bề mặt trái đất.
- Tạo ra nanorobot có thể tẩy sạch chất ẩn trong các nguồn nước, hoặc thu gom
dầu tràn.
- Việc chế tạo các vật liệu nano hay sử dụng công nghệ nano theo các phương
pháp kiểu bottom-up sẽ ít gây ô nhiễm môi trường hơn so với việc sử dụng các
phương pháp truyền thống.
- Công nghệ nano làm giảm sự phụ thuộc vào các nguồn tài nguyên không tái tạo
được (hạn chế việc đốn chặt cây, khai khoáng, khoan dầu - những cỗ máy nano
có thể tạo ra các nguồn tài nguyên này.
Ghi chú
- Nhiều chuyên gia công nghệ nano cho rằng nhiều ứng dụng trong tương lai của
công nghệ nano là không hiện thực, ít nhất là trong tương lai trước mắt.
- Nhiều chuyên gia cảnh báo rằng có nhiều ứng dụng có vẻ kỳ cục và chỉ mang
tính lý thuyết.
- Một số lo ngại rằng công nghệ nano sẽ kết thúc giống như là hiện thực ảo (virtual
reality).
reality
- Tóm lại, công nghệ nano có vẻ chỉ là sự thổi phồng nhằm duy trì, kéo dài sự quan
tâm để được tài trợ hơn là những khả năng hiện thực trong tương lai.
Việc này (việc thổi phồng) sẽ nhanh chóng suy tàn khi những hạn chế trong lĩnh
vực công nghệ nano được ông đảo cộng đồng biết đến.
Quantum dot infrared photodetector (QDIP)

Linh kiện thu ảnh hồng ngoại sử dụng QD
Ảnh hồng ngoại chụp người

ban đêm bằng QDIP
Cấu trúc của một QDIP
Ảnh hồng ngoại chụp từ một

QDIP cho thấy rõ cả các
mạch máu ở bàn tay. Nguyen Anh Tuan - ITIMS-2010
Đèn chiếu sáng bằng LED làm từ QD cho ánh sáng dịu hơn
Các đèn chiếu sáng LED sử dụng QD tạo ra ánh sáng trong phổ mặt trời dịu hơn các đèn
LED ánh sáng trắng thông tường
Transistor đơn điện tử sử dụng graphene
Cấu tạo của một Transistor đơn điện

tử sử dụng graphene (Graphene
single-electron transistors)
Ảnh AFM của các cấu trúc graphene. (a) Một dải nano rộng 85 nm và dài 500 nm. (b) Một linh
kiện đơn điện tử với các cực tiếp xúc nguồn S và máng D, và một số cực cổng trong mặt phẳng
(in-plane gates) (Ví dụ, cổng nhúng – (plunger gate, PG). (c) Một linh kiện gồm 2 transitor đơn
điện tử (SET) mắc nối tiếp. (d) Một SET với dải nano graphene sử dụng như một detector tích
hợp điện tích (charge detector, CD). Nguyen Anh Tuan - ITIMS-2010
HẾT PHẦN IV
VỀ CÁC VẬT LIỆU CẤU TRÚC NANO KHÁC
& CÁC VẤN ĐỀ LIÊN QUAN

Vat Lieu Nano GTTQ Phan IV 2010

Uploaded by

Document Information

Copyright

Available Formats

Share this document

Share or Embed Document

Sharing Options

Did you find this document useful?

Is this content inappropriate?

Copyright:

Available Formats

Vat Lieu Nano GTTQ Phan IV 2010

Uploaded by

Copyright:

Available Formats

TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI

HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY (HUT)

INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE

VẬT LIỆU CẤU TRÚC NANO

PGS. TS. Nguyễn Anh Tuấn

Mở đầu - Giới thiệu những vấn đề chung

Phần I - Vật liệu nano bán dẫn

Phần II - Vật liệu nano quang tử & quang điện tử

Phần III - Vật liệu nano từ & Spintronics

Phần IV - Các vật liệu nano khác và một số vấn

GIỚI THIỆU CHUNG & TỔNG QUAN

VẬT LIỆU NANO BÁN DẪN (Phần I)

VẬT LIỆU NANO QUANG TỬ VÀ QUANG ĐIỆN TỬ (Phần II)

VẬT LIỆU NANO TỪ & SPINTRONICS (Phần III)

1) Nanostructured Materials and Nanotechnology, Hari Singh Nalwa, Academic

2) Nanostructured Materials: Selected synthesis methods, Properties and applications,

3) Nanostructured Fabrication and Analysis, H. Nejo, Spinger, 2006.

4) ADVANCED MAGNETIC NANOSTRUCTURES, Eds. by David Sellmyer and

5) Nanoscience - Nanotechnologies and Nanophysics; Eds. by C. Dupas P. Houdy M.

Trong bài giảng ở Hội Vật lý Mỹ (American Physical Society - APS)

“... computers with wires no wider than 100 atoms, a microscope

6 nguyên tử 5 nguyên tử 4 nguyên tử 3 nguyên tử

Bắt đầu đưa công

Cách mạng công nghiệp Cách mạng thông tin

Những khu vực chịu ảnh hưởng nhiều nhất

'There is plenty of room at the bottom'

Phế nang phổi Nơron thần kinh

Cấu trúc nano kiểu 0D: 0D

Các hạt Co (d ~ 30 nm)

Cấu trúc nano kiểu 0D:

Cấu trúc nano kiểu 0D: 0D

Cấu trúc nano kiểu 1D:

Sợi nano Carc bon dài tới 10 μm Sợi nano Fe 25 nm

Cấu trúc nano kiểu 2D:

Một cấu trúc màng mỏng nhiều lớp (trên đế Si):

Cấu trúc kỳ lạ của carbon – các dạng thù hình:

Cấu trúc nano kiểu 3D:

S¾p xÕp/lắp ráp tõ c¸c “§Ïo gọt” tõ khèi lín xuèng

3.1. Các LOẠI HÌNH CƠ BẢN của cấu trúc nano

3.2. Đặc trung chung về tính chất VẬT LÝ

3.3. Hành vi KHỐI của cấu trúc nano

Các dạng cấu trúc nano cơ bản

QD CdSe/ZnS với cấu trúc lõi-vỏ có dạng hình cầu:

Nanocomposite PP-clay (Nanoclay)):

Cấu trúc polymer dạng nhánh cây (dendrimers) phân ly đơn

Các hạt nanopolymer hình cầu có đường kính d ~ 50-70 nm.

+ Tính chất vận chuyển (transport) thay đổi

A - ĐIỆN TỬ TRONG CÁC HỆ THẤP CHIỀU

- Sự chuyển động của các hạt vi mô trong

Ví dụ về vật liệu khối có cấu trúc nano

- Tính cứng (hardness) và tính bền (strength):

- Tính dễ kéo sợi (ductility) và tính dẻo (toughness)

- Tính dễ kéo sợi (ductility) và tính dẻo (toughness)

CÊu tróc nano

- Cô đặc từ bột/sol khí - Phương pháp cơ học (nghiền bi,

Epitaxy b»ng chïm ph©n tö Plasma anodization

5.1. Các công cụ quan sát/phân tích cấu trúc nano

5.2. Các công cụ chế tạo cấu trúc nano

Thang nano Thang nano

Vết chùm tia

Nguyên lý hoạt động của AFM NguyenAnhTuan-ITIMS - 2010

Cấu tạo của AFM

Một hệ kính hiển vi AFM

Ảnh AFM (topography) cho thấy mạng