C6 Luuluong

Taäp Baøi giaûng “Kyõ thuaät Caûm bieán Ño löôøng vaø Ñieàu khieån”, Ñaøo ThaùiDieäu, TS.
, ÑHCN TP.HCM, 2008.

BAØI 9: KYÕ THUAÄT CAÛM BIEÁN LÖU LÖÔÏNG CHAÁT LÖU.
CHÖÔNG 6. – CAÛM BIEÁN LÖU LÖÔÏNG, MÖÙC VAØ ÑOÄ AÅM. PHAÀN 1.
Muïc tieâu baøi naøy taäp trung vaøo nhöõng khaùi nieäâm cô baûn vaø kyõ thuaät caûm bieán
löu löôïng caùc chaát loûng vaø khí (löu chaát) (phaàn 1); caùc öùng duïng trong kyõ
thuaät ño löôøng vaø ñieàu khieån – chöông 6.
Noäi dung cô baûn maø SV phaûi naém ñöôïc ôû baøi naøy laø nhöõng vaán ñeà troïng taâm
sau:
 Khaùi nieäm ñaïi cöông veà löu löôïng chaát löu (chaát loûng vaø chaát khí), nhöõng
ñaëc ñieåm kyõ thuaät xaùc ñònh chuùng. Caùc loaïi phaàn töû caûm bieán löu löôïng
vaø maùy ño löu löôïng öùng duïng trong kyõ thuaät ño löôøng ñieàu khieån, keát
caáu, hoaït ñoäng chöùc naêng, caùc ñaëc tính kyõ thuaät, ñaëc ñieåm öùng duïng.
 Caùc vaán ñeà öùng duïng thöïc tieãn caùc phaàn töû caûm bieán trong coâng nghieäp
ñeå coù nhaän thöùc vaø kyõ naêng toång hôïp, thieát keá vaø cheá taïo heä thoáng cuï
theå trong thöïc teá moâi tröôøng öùng duïng.
 Baøi 9 taäp trung troïng taâm laø kyõ thuaät caûm bieán löu löôïng chaát loûng vaø khí
(phaàn 1) baèng caùc phaàn töû caûm bieán öùng duïng roäng raõi trong coâng nghieäp
vaø daân duïng.
Thôøi löôïng baøi giaûng laø 04 tieát/45 tieát leân lôùp theo chöông trình moân hoïc laø 03TC
(45 tieát) vaø 04 tieát töï nghieân cöùu.
KHAÙI NIEÄM CHUNG.

Ñaïi cöông veà cô löu chaát vaø löu löôïng.
Chaát löu (hay löu chaát) laø teân goïi chung chaát loûng vaø khí. Cô löu chaát laø boä phaän cuûa cô hoïc
nghieân cöùu chuyeån ñoäng cuûa caùc moâi tröôøng loûng vaø khí vaø töông taùc cuûa chuùng vôùi caùc
vaät raén coù bieân giôùi chung. Trong cô hoïc chaát löu, caáu truùc phaân töû thöïc cuûa caùc chaát loûng
vaø khí ñöôïc thay theá baèng khaùi nieäm lyù töôûng hoùa veà moät moâi tröôøng vaät chaát coù hai tính
chaát cô baûn: tính lieân tuïc vaø tính linh ñoäng (tính chaûy).
Löu löôïng laø löôïng chaát loûng hay chaát khí chaûy qua tieát dieän ngang cuûa doøng trong moät ñôn vò
thôøi gian. Löu löôïng coù theå ño baèng [kg/s] neáu tính theo khoái löôïng chaát (löu löôïng theå khoái),
hoaëc baèng [ m 3 s ] neáu tính theo theå tích (löu löôïng theå tích) cuûa löu chaát (loûng, khí hay hôi) löu
thoâng qua ñöôøng oáng daãn. Neáu tính theo theå tích thì löu löôïng Q baèng:
Q  v.S ; (6.1)
trong ñoù v laø vaän toác chaát loûng taïi tieát dieän ñang xeùt vaø S laø dieän tích tieát dieän cuûa doøng
chaûy. Neáu chaát loûng chaûy theo oáng vaø khoâng chòu neùn thì löu löôïng Q laø khoâng ñoåi ôû moïi
tieát dieän.
Löu löôïng chaát (kyù hieäu ôû ñaây laø Q, [ m 3 s ], [ m 3 h ] hay [kg/s], [taán/h]). Khoái löôïng chaát (kyù
hieäu m, ñôn vò ño laø [ m 3 ], [lít] hay {kg]) vaø theå tích chaát (kyù hieäu V, tính baèng [ m 3 ]) ôû ñaây
ñöôïc hieåu laø löôïng vaät chaát löu thoâng qua maùy ño löu löôïng (löu löôïng keá, coâng-tô) trong moät
khoaûng thôøi gian t naøo ñoù, tính baèng giaây [s] hay giôø [h].
Maùy ño löu löôïng chaát löu thoâng qua ñöôøng daãn ñöôïc goïi laø löu löôïng keá hay coâng-tô löu löôïng,
chæ thò löu löôïng trung bình chaûy trong moät khoaûng thôøi gian (töùc trò hieäu duïng hay trò trung bình
tích phaân). Maùy ño coù haèng soá coâng-tô laø qV – xaùc ñònh löôïng chaát qua maùy ño öùng vôùi moät
chöõ soá chæ thò maùy.
Soá ño cuûa caùc maùy ño löu löôïng phuï thuoäc nhieàu vaøo caùc tính chaát hoaù/lyù cuûa löu chaát ôû
traïng thaùi moâi tröôøng ño, thöôøng phaûi ñöôïc quy ñoåi veà ñieàu kieän tieâu chuaån:
nhieät ñoä ño T  C  20[  C ] ;
aùp suaát khí quyeån P=101325 [Pa]= 760 [mm thuûy ngaân];
ñoä aåm töông ñoái RH%=0[%]). (6.2)
Caùc caûm bieán löu löôïng ñöôïc öùng duïng nhieàu trong ño löôøng kieåm tra vaø ñieàu khieån, ño löu
löôïng cuûa caû chaát loûng vaø chaát khí. Coù nhieàu caùch xaùc ñònh löu löôïng doøng chaûy (löu löôïng
theå khoái mass flow, löu löôïng theå tích volume flow, löu löôïng chaûy lôùp (taàng) laminar flow, löu löôïng
chaûy roái turbulent flow). Thoâng thöôøng soá löôïng löu chaát (löu löôïng theå khoái) laø quan troïng nhaát,
vaø neáu maät ñoä chaát loûng laø khoâng ñoåi, thì pheùp ño löu löôïng theå tích laø caùch thay theá toát
nhaát cho pheùp ño löu löôïng theå khoái, noùi chung deã thöïc hieän hôn. Ngaøy nay coù khaù nhieàu coâng
ngheä vaø caùc kieåu daïng caûm bieán daønh cho muïc tieâu naøy. Moät soá coâng ngheä aùp duïng ñöôïc
cho caû caùc pheùp ño löu löôïng chaát loûng laãn cuûa chaát khí, vì nguyeân lyù hoaït ñoäng ñeàu nhö nhau
trong caû hai tröôøng hôïp. Caùc coâng ngheä khaùc chæ ñaëc tröng cho löu löôïng chaát khí hay löu löôïng
191
Taäp Baøi giaûng “Kyõ thuaät Caûm bieán Ño löôøng vaø Ñieàu khieån”, Ñaøo ThaùiDieäu, TS., ÑHCN TP.HCM, 2008.
chaát loûng maø thoâi. Trong chöông naøy ta seõ baøn thaûo moät soá kyõ thuaät thöôøng duøng nhaát ñeå
ño löu löôïng cuûa caû chaát loûng vaø chaát khí. Phaàn boå sung cho pheùp ño löu löôïng laø pheùp ño
möùc, vaø ôû moät phöông dieän naøo ñoù laø caû pheùp ño ñoä aåm. Caùc quaù trình ño löôøng naøy ñeàu
noåi baät laø khaù phöùc taïp.
6.1 CAÛM BIEÁN ÑO LÖU LÖÔÏNG.

Phöông phaùp ñieån hình xaùc ñònh löu löôïng doøng chaûy laø tröôùc tieân ño toác ñoä chaát loûng chaûy
qua moät ñöôøng oáng, moät ñoaïn oáng daãn, hoaëc caùc caáu truùc khaùc, roài nhaân vôùi dieän tích maët
caét taïi ñieåm ño.
Caùc phöông phaùp ño löu löôïng chaát khí bao goàm:
 Phong vuõ bieåu nhieät thermal anemometers,
 Heä ño aùp suaát vi sai, vaø:
 Caûm bieán chaûy xoaùy vortex shedding sensors.
Caùc phöông phaùp ño löu löôïng chaát loûng bao goàm:
 Heä ño aùp suaát vi sai,
 Caûm bieán chaûy xoaùy,
 Caûm bieán löu löôïng chuyeån dòch tích cöïc,
 Caûm bieán löu löôïng kieåu turbine,
 Caûm bieán löu löôïng kieåu töø tröôøng, vaø:
 Caûm bieán löu löôïng kieåu sieâu aâm.
Treân cô sôû caùc phöông phaùp ño naøy phoå bieán caùc loaïi maùy ño löu löôïng sau:
 Theo nguyeân lyù caûm bieán khoái löôïng theå tích:
o Caûm bieán löu löôïng theå tích chuyeån dòch tích cöïc: maùy ño löu löôïng theå tích (thöôøng
goïi coâng-tô theå tích);
o Caûm bieán löu löôïng theå khoái: maùy ño toác ñoä chuyeån dòch theå khoái löu chaát (thöôøng
goïi coâng-tô toác ñoä hay coâng-tô tuabin).
 Theo nguyeân lyù thay ñoåi ñoä giaûm aùp trong ñöôøng löu thoâng:
o Heä caûm bieán aùp suaát vi sai: löu löôïng keá kieåu bieán ñoåi aùp suaát;
o Caûm bieán chaûy xoaùy: löu löôïng keá Reynol nhoû, löu löôïng keá mao daãn.
 Theo nguyeân lyù bieán ñoåi ñieän:
o Caûm bieán löu löôïng kieåu töø tröôøng: löu löôïng keá töø -ñieän.
o Caûm bieán löu löôïng kieåu sieâu aâm: löu löôïng keá sieâu aâm.
o Caûm bieán löu löôïng theo hieäu öùng laser Doppler: löu löôïng keá LDA.
6.1.1 Phong vuõ bieåu nhieät Thermal Anemometer.

Caùc phong vuõ bieåu nhieät söû duïng nguyeân lyù: nhieät löôïng cuûa moät caûm bieán ñaõ ñöôïc nung
noùng bò doøng chaát loûng chaûy qua laáy ñi coù lieân quan vôùi vaän toác doøng chaûy ñoù. Ñieåm ñaëc
tröng trong phöông phaùp naøy laø coù söû duïng caûm bieán thöù hai, caûm bieán nhieät ñoä khoâng bò
nung noùng, ñeå buø tröø söï bieán ñoäng trong nhieät ñoä khoâng khí, do vaäy maø phöông phaùp coøn
ñöôïc goïi laø “daây noùng” “hot wire”.
Caùc caûm bieán daây noùng ñöôïc cheá taïo saün nhö moät maùy ño ñieåm ñôn daønh cho caùc muïc ñích
thöû nghieäm test, hoaëc nhieàu duïng cuï ñöôïc boá trí taïi nhieàu ñieåm laép ñaët coá ñònh. Caùc caûm
bieán naøy duøng ño caùc luoàng khí chaûy chaäm toát hôn caùc kieåu caûm bieán aùp suaát vi sai, vaø noùi
chung ñöôïc söû duïng cho caùc luoàng khí coù vaän toác töø 50 tôùi 12000 feet treân phuùt (töùc laø töø 1 
200 km/h).
Thoâng thöôøng ñeå ño chaát khí ngöôøi ta duøng caùc manometers. Hình 6.1 cho moät ví duï pheùp ño aùp
suaát thuûy ñoäng cuûa luoàng khí baèng manometer daïng oáng hình chöõ U. ÔÛ ñaây söû duïng nguyeân
lyù caûm bieán löu löôïng kieåu aùp suaát vi sai.
6.1.2 Heä caûm bieán ño aùp suaát vi sai.
Caùc coâng ngheä caûm bieán ño aùp suaát vi sai coù theå duøng cho caùc pheùp ño löu löôïng cuûa caû
luoàng chaát khí vaø doøng chaát loûng theo nguyeân lyù thay ñoåi ñoä giaûm aùp trong ñöôøng löu thoâng.
Treân thò tröôøng coù saün nhieàu kieåu daïng caûm bieán chuyeân duïng duøng ño aùp suaát vaø duøng ño
caû löu löôïng khí, cuõng nhö caùc caûm bieán aùp suaát vi sai duøng cho caùc pheùp ño chaát loûng. Caùc
192
maùy ño löu löôïng kieåu aùp suaát vi sai laø kieåu maùy ño thoâng duïng, nhaát laø caùc maùy duøng cho
chaát loûng.
Hình 6.1 – Pheùp ño aùp suaát thuûy ñoäng duøng manometer daïng oáng hình chöõ U.
Nguyeân lyù hoaït ñoäng cuûa caùc maùy ño löu löôïng kieåu aùp suaát vi sai döïa treân cô sôû aùp suaát rôi
treân maùy ño tyû leä vôùi bình phöông löu löôïng; löu löôïng doøng chaûy ñöôïc xaùc ñònh baèng caùch ño
aùp suaát vi sai roài laáy caên baäc hai trò soá ñoù. Caùc maùy ño löu löôïng kieåu aùp suaát vi sai, gioáng
nhö haàu heát caùc maùy ño löu löôïng khaùc, coù caùc phaàn töû sô caáp vaø thöù caáp. Phaàn töû sô caáp
gaây ra söï thay ñoåi trong naêng löôïng ñoäng hoïc, ñeå taïo ra aùp suaát vi sai trong ñöôøng oáng. Caáu
truùc maùy phaûi vöøa khít vôùi kích thöôùc oáng, caùc ñieàu kieän doøng chaûy, vaø caùc tính chaát cuûa
chaát loûng ñöôïc ño. Theâm vaøo ñoù, ñoä chính xaùc ño löôøng cuûa phaàn töû phaûi ñaûm baûo trong
moät phaïm vi chaáp nhaän ñöôïc. Phaàn töû thöù caáp ño aùp suaát vi sai vaø caùc tín hieäu ñaàu ra ñöôïc
chuyeån ñoåi thaønh giaù trò löu löôïng thöïc teá cuûa doøng chaûy.
Coù nhieàu caùch xaùc ñònh löu löôïng doøng chaûy (löu löôïng theå khoái mass flow, löu löôïng theå tích
volume-, löu löôïng chaûy taàng laminar-, löu löôïng chaûy roái turbulent-). Thoâng thöôøng, khoái löôïng
chaát chaûy (löu löôïng khoái) laø quan troïng nhaát, vaø neáu maät ñoä chaát loûng laø khoâng ñoåi, thì
pheùp ño löu löôïng theå tích laø thay theá toát nhaát maø laïi deã thöïc hieän hôn. Moät lôùp caùc bieán
caûm transducers ñöôïc söû duïng moät caùch phoå bieán ño tröïc tieáp löu löôïng doøng chaûy, cuõng caàn
ñeán pheùp ño aùp suaát. Hình 6.2 giôùi thieäu moät caùnh ngaên ñònh höôùng bending vane coù laép gheùp
moät daây ño bieán daïng nhuùng trong doøng chaûy ñeå ño löu löôïng.
Hình 6.2 –Caùnh höôùng coù daây ño bieán daïng duøng ño löu löôïng doøng chaûy
Ñoái vôùi caùc pheùp ño löu löôïng luoàng khí, caùc maùy ño löu löôïng kieåu aùp suaát vi sai thoâng
thöôøng bao goàm caùc oáng pitot (xem hình 6.3) vaø nhieàu kieåu daïng khaùc nhau caûm bieán aùp suaát
thuûy ñoäng velocity pressure-sensing daïng oáng tubes (xem hình 6.1 – oáng chöõ U), daïng löôùi grids, vaø
daïng maønh arrays. Taát caû caùc phaàn töû caûm bieán naøy ñeàu keát hôïp vôùi boä phaùt daãn aùp suaát
vi sai cöôøng ñoä thaáp low differential pressure transmitter ñeå taïo ra tín hieäu tyû leä vôùi caên baäc hai
cuûa toác ñoä chaát loûng.
Moät oáng pitot bao goàm hai oáng ño aùp suaát ôû hai vò trí khaùc nhau beân trong ñöôøng oáng. Moät oáng
ño aùp suaát tónh, thöôøng ñaët treân thaønh ñöôøng oáng, coøn oáng kia ño aùp suaát taùc duïng impact
pressure (aùp suaát tónh static pressure coäng vôùi aùp suaát thuûy ñoäng velocicity pressure). Löu löôïng
doøng chaûy caøng nhanh thì aùp suaát taùc duïng caøng lôùn. Caùc oáng pitot söû duïng söï khaùc bieät
giöõa aùp suaát tónh vaø aùp suaát taùc duïng ñeå tính toác ñoä doøng chaûy.
Caùc oáng pitot laø nhöõng duïng cuï reû tieàn, nhöng chuùng coù nhöôïc ñieåm laø chæ ño doøng chaûy taïi
moät ñieåm vaø caàn phaûi laép ñaët taïi ñieåm toái ña toác ñoä doøng chaûy. Nhöõng thay ñoåi trong hình
daïng vaän toác doøng chaûy coù theå gaây neân nhöõng sai soá nghieâm troïng. Chuùng cuõng coù xu
193
höôùng laøm ngheït doøng chaûy. Vieäc ñaùnh giaù trung bình caùc oáng pitot coù vaøi coång ñeå ño doøng
chaûy taïi nhieàu vò trí khaùc nhau, cho pheùp tính ñeán söï thay ñoåi hình daïng vaän toác doøng chaûy.
Hình 6.3 – OÁng Pitot.

Caùc heä ño löu löôïng doøng chaûy döïa treân cô sôû aùp suaát vi sai bao goàm caùc boä truyeàn daãn coù
khaû naêng ruùt ra caên baäc hai cuûa aùp suaát ño ñöôïc bôûi phöông tieän ñieän töû vaø cung caáp tín hieäu
tyû leä tuyeán tính vôùi toác ñoä. Caùc phöông phaùp khaùc cung caáp tín hieäu tyû leä vôùi aùp suaát ño
ñöôïc vaø phuï thuoäc vaøo heä ñieàu khieån ñeå tính toaùn caên baäc hai. Moät khi coù ñöôïc trò soá toác
ñoä, coù theå tính ñöôïc löu löôïng baèng caùch nhaân vôùi dieän tích maët caét cuûa oáng daãn.
Phaïm vi ño toác ñoä thuûy ñoäng bi haïn cheá bôûi phaïm vi vaø ñoä phaân giaûi cuûa boä truyeàn daãn
ñöôïc söû duïng. Ña soá caùc maùy ño aùp suaát vi sai ñeàu bò haïn cheá ôû toác ñoä toái thieåu côõ 400 ñeán
600 feet treân phuùt. Toác ñoä toái ña chæ bò haïn cheá bôûi ñoä beàn cuûa caûm bieán. Ñeå ño doøng nöôùc,
ñieån hình laø caùc duïng cuï ño löu löôïng kieåu aùp suaát vi sai hoaëc laø ño aùp suaát thuûy ñoäng (daïng
oáng nhuùng), hoaëc ño söï suït aùp treân moät vaùch ngaên bieát tröôùc naøo ñoù. Caùc taám ngaên coù loã
orifice plates, caùc oáng phuït gich-lô flow nozzles, caùc oáng pitot, oáng venturis laø nhöõng kieåu vaùch
ngaên thöôøng ñöôïc söû duïng.
Caùc caûm bieán löu löôïng kieåu oáng nhuùng ñöôïc cheá taïo moät caùch ñieån hình töø moät oáng daãn
coù nhieàu nhaùnh môû multiple openings chaïy suoát beà roäng doøng chaûy, ñeå cho ta trò trung bình vi sai
toác ñoä doøng qua oáng; vaø moät vaät caûn beân trong naèm giöõa caùc cöûa môû ôû phía treân vaø phía
döôùi doøng chaûy ñeå nhaän ñöôïc aùp suaát vi sai. Caùc maùy ño kieåu oáng nhuùng coù ñoä toån hao aùp
suaát beàn permanent pressure loss thaáp vaø coù theå ñaùp öùng thoûa maõn nhieàu öùng duïng thoâng
thöôøng.
Loaïi taám ngaên coù loã ñoàng taâm concentric orifice plate laø daïng ñôn giaûn nhaát vaø reû tieàn nhaát
trong soá caùc duïng cuï aùp suaát vi sai. Taám ngaên coù loã laøm doøng chaát loûng chaûy theo daïng
ñoàng taâm vaø taïo neân aùp suaát vi sai treân taám loã (xem hình 6.4). Ñieàu ñoù taïo ra aùp suaát cao trong
doøng chaûy treân vaø aùp suaát thaáp ôû doøng chaûy döôùi, tyû leä vôùi bình phöông toác ñoä doøng
chaûy. Taám ngaên coù loã thöôøng taïo ra toån hao aùp suaát toaøn phaàn lôùn hôn laø caùc phaàn töû löu
löôïng khaùc. Moät öu ñieåm cuûa duïng cuï naøy laø giaù thaønh khoâng taêng maáy vôùi kích côõ oáng.
Hình 6.4 – Taám ngaên coù loã ñoàng taâm.

Caùc oáng venturi (hình 6.5) laø duïng cuï aùp suaát vi sai lôùn nhaát vaø ñaét tieàn nhaát. Chuùng hoaït
ñoäng theo ñöôøng kính heïp daàn laïi cuûa ñöôøng oáng gradually narrowing the diameter, vaø ño söï suït
194
aùp bôûi ñoä heïp daàn aáy. Phaàn nôû ra sau ñoù cuûa duïng cuï aùp suaát vi sai seõ laøm cho aùp suaát
doøng chaûy trôû laïi gaàn nhö aùp suaát ban ñaàu cuûa noù. Cuõng nhö vôùi taám ngaên coù loã, pheùp ño
aùp suaát vi sai ñöôïc chuyeån ñoåi thaønh löu löôïng thuûy ñoäng töông öùng. Moät caùch ñieån hình, caùc
oáng venturi chæ ñöôïc söû duïng trong nhöõng öùng duïng ñoøi hoûi ñoä suït giaûm aùp suaát thaáp vaø ñoä
chính xaùc cuûa caùc soá ño cao. Chuùng thöôøng ñöôïc duøng trong caùc ñöôøng oáng coù ñöôøng kính
lôùn.
Hình 6.5 – Oáng venturi.
Caùc caûm bieán daïng oáng phuït gich-lô flow nozzles thöïc teá laø moät bieán daïng cuûa kieåu oáng
venturi, coù gich-lô môû ra laøm vaät caûn hình ellip trong doøng chaûy nozzle opening being an elliptical
restriction, nhöng khoâng coù khoaûng nôû ra ñeå buø trôû laïi aùp suaát (hình 6.6). Caùc gich-lô aùp suaát
taps ñöôïc ñònh vò ôû khoaûng ½ ñöôøng kính oáng doøng döôùi downstream vaø baèng khoaûng 1 ñöôøng
kính oáng doøng treân upstream.
Caùc oáng phuït gich-lô laø maùy ño doøng chaûy toác ñoä cao, thöôøng ñöôïc söû duïng khi coù ñoä roái
turbulence cao (soá Reynold treân 50.000), nhö trong caùc öùng duïng ño löu löôïng luoàng hôi. Ñoä suït aùp
suaát cuûa caùc oáng phuït gich-lô naèm giöõa kieåu oáng venturi vaø kieåu taám ngaên coù loã ñoàng taâm
(30 tôùi 90 phaàn traêm).
Lôïi ích cuûa caùc duïng cuï aùp suaát vi sai laø giaù thaønh thaáp, vaän haønh vaø laép ñaët ñôn giaûn, vaø
khaû naêng hoaït ñoäng ñaõ ñöôïc minh chöùng treân thöïc teá. Ñoù laø moät coâng ngheä deã hieåu. Nhöôïc
ñieåm cuûa nhöõng duïng cuï naøy laø toån hao aùp suaát beàn, coù theå bò tích tuï caën baån vaø laøm
ngheït; moät vaøi kieåu daïng coù kích côõ lôùn; vaø khoâng thích hôïp vôùi moät soá loaïi chaát loûng nhaát
ñònh.
Hình 6.6 – Caûm bieán daïng oáng phuït gich-lô.
6.1.3 Caùc caûm bieán chaûy xoaùy Vortex-Shedding.

Caùc caûm bieán löu löôïng naøy döïa treân nguyeân lyù (Von Karman) laø khi chaát loûng chaûy voøng qua
vaùch ngaên obstruction (ñoái töôïng giaû bluff object) trong luoàng chaûy, caùc xoaùy hoaëc loác cuoän
eddies or vortices thay nhau chaûy xuoáng luoàng döôùi ñoái töôïng. Taàn soá chaûy xoaùy tyû leä vôùi vaän
toác doøng chaûy. Caùc caûm bieán ñôn ñöôïc söû duïng trong caùc oáng daãn nhoû, coøn ñoái vôùi caùc
oáng daãn lôùn thì aùp duïng caùch boá trí caûm bieán thích hôïp, nhö ñoái vôùi caùc kieåu maùy khaùc ño
luoàng khí. Noùi chung, caùc caûm bieán chaûy xoaùy ñöôïc öùng duïng cho caùc doøng khí coù toác ñoä
trong phaïm vi töø 350 tôùi 6000 feet treân phuùt. Caùc maùy ño naøy thích öùng nhö nhau ñeå ño löu löôïng
thuûy ñoäng hay ño löu löôïng toaøn phaàn. Khoâng khuyeán nghò söû duïng vôùi caùc chaát loûng coù maät
ñoä cao hay daïng seät.
6.1.4 Caùc caûm bieán löu löôïng kieåu chuyeån vò tích cöïc Positive Displacement Flow Sensors.
195
Caùc duïng cuï ño löu löôïng naøy ñöôïc söû duïng khi caàn thieát phaûi coù ñoä chính xaùc cao ôû ngöôõng
döôùi ñoä nhaïy turndown (tyû soá toaøn phaïm vi ño cuûa maùy treân löu löôïng nhoû nhaát coù theå ño
ñöôïc), vaø khi ñoä toån hao aùp suaát beàn khoâng gaây ra söï tieâu thuï naêng löôïng quaù möùc. Caùc
maùy naøy hoaït ñoäng baèng caùch taùch chaát loûng thaønh caùc phaân ñoaïn ño, roài chuyeån dòch noù ñi
tieáp. Moãi phaân ñoaïn khi ñoù ñöôïc ño ñeám bôûi moät maùy ñeám registers vaø caùc maùy ñeám naøy
ñöôïc keát noái vôùi nhau. Chuùng raát coù ích ñoái vôùi caùc doøng chaát loûng seàn seät hay khi caàn ñeán
caùc maùy ño cô hoïc ñôn. Caùc kieåu thoâng duïng trong soá caùc maùy ño löu löôïng kieåu chuyeån vò bao
goàm caùc maùy daïng thuøy lobed vaø daïng baùnh raêng gear, daïng ñóa quay nutating disk, daïng caùnh
quaït quay, vaø daïng piston dao ñoäng oscillating piston. Moät caùch ñieån hình, caùc maùy ño naøy ñöôïc
cheá taïo baèng kim loaïi nhö ñoàng thau brass, ñoàng ñoû bronze, vaø theùp ñuùc, nhöng cuõng coù theå
ñöôïc caáu truùc töø chaát deûo kyõ thuaät engineered plastic, tuøy theo öùng duïng.
Bôûi trong caùc maùy ño löu löôïng kieåu chuyeån vò tích cöïc caàn ñaûm baûo dung sai kheùp kín close
tolerances giöõa caùc boä phaän chuyeån ñoäng neân caùc chaát raén lô löûng trong doøng chaûy coù theå
gaây ra vaán ñeà cô hoïc. Caùc maùy ño löu löôïng kieåu chuyeån vò tích cöïc coù saün caùc boä chæ thò löu
löôïng vaø boä toång goäp, coù theå ñoïc tröïc tieáp ñöôïc. Nhöõng duïng cuï naøy töông ñoái ñaét tieàn.
Ñeå hieåu nguyeân lyù caûm bieán khoái löôïng theå tích kieåu chuyeån vò, chuùng ta khaûo saùt moät daïng
maùy ño cô khí thoâng duïng: coâng-tô theå tích ño löu löôïng theå tích chaát loûng vaø coâng-tô khí kieåu
quay.
Coâng-tô theå tích. Nguyeân lyù: Döïa treân cô sôû ñeám tröïc tieáp löu löôïng theå tích chaát loûng löu
thoâng qua buoàng chöùa coù theå tích bieát tröôùc, ôû ñaây laø buoàng chöùa taïo neân beân trong maùy ño.
Sô ñoà nguyeân lyù caáu truùc (hình 6.7):
Hình 6.7 – Coâng-tô theå tích.
Boä phaän caáu truùc cô baûn laø buoàng chöùa ñöôïc taïo hình ñaëc bieät vaø heä baùnh raêng ovan truyeàn
ñoäng do doøng chaûy. Truïc cuûa moät trong hai baùnh raêng ñöôïc gaén vôùi cô caáu ñeám laép beân
ngoaøi.
Ñaëc ñieåm:
o Maùy ño coù ñoä chính xaùc cao (    (0,5  1,0)[%] ); toån thaát aùp suaát nhoû.
o Nhöôïc ñieåm: caàn boä loïc ñaàu vaøo, gaây oàn, phaïm vi ño giôùi haïn (0,01  250) [ m 3 /giôø].
o ÖÙng duïng chuû yeáu ño löu löôïng theå tích chaát loûng, daàu saïch vaø caùc saûn phaåm daàu.
o Phöông phaùp ño: Duøng cô caáu ñeám cô khí ñeå chæ thò hay boä bieán ñoåi soá voøng quay thaønh
tín hieäu ñieän.
Coâng-tô khí kieåu quay. Sô ñoà nguyeân lyù caáu truùc (hình 6.8).
Hình 6.8 – Coâng-tô löu löôïng theå tích khí kieåu quay.
Boä phaän caáu truùc cô baûn laø tang quay naèm beân trong voû maùy vaø heä caùnh gaït coù baùnh laên
töïa treân cô caáu cam coá ñònh. Tang quay ñöôïc gaén vôùi cô caáu ñeám beân ngoaøi.
Ñaëc ñieåm:
196
o Maùy ño coù ñoä chính xaùc 0,25; 0,5. Phaïm vi ño (100  300) [ m 3 /giôø]. Ñöôøng kính oáng daãn
(100  500) [mm].
o ÖÙng duïng ño löu löôïng theå tích chaát khí hay daàu trong ñieàu kieän coá ñònh taïi caùc nhaø
maùy loïc daàu hay trang bò treân caùc thieát bò di ñoäng.
Caùc caûm bieán löu löôïng kieåu turbine.
Caùc maùy ño kieåu turbine vaø chaân vòt propeller aùp duïng nguyeân lyù laø chaát loûng chaûy qua
turbine hay chaân vòt seõ laøm quay rotor vôùi toác ñoä tyû leä thuaän vôùi löu löôïng doøng chaûy. Caùc
xung ñieän seõ ñöôïc ñeám vaø coäng goäp. Caùc duïng cuï naøy coù saün daïng toaøn phaàn ñöôøng kính
full bore, daïng caùc phöông aùn laép raùp theo tuyeán line-mounted vaø daïng nhuùng insertion types neáu
chæ moät phaàn doøng chaûy caàn ño laø chaûy qua phaàn töû quay cuûa maùy. Caùc maùy ño löu löôïng
kieåu turbine, khi ñöôïc ñaëc tröng vaø laép ñaët moät caùch phuø hôïp, seõ cung caâp ñoä chính xaùc toát,
ñaëc bieät laø ñoái vôùi caùc chaát loûng coù maät ñoä thaáp. Caùc caûm bieán kieåu nhuùng ñöôïc söû duïng
cho nhöõng tröôøng hôïp ít nghieâm troïng hôn, tuy nhieân chuùng thöôøng deã baûo trì kieåm tra vaø söûa
chöõa hôn bôûi coù theå thaùo dôõ ra maø khoâng laøm ngöng treä ñöôøng oáng daãn chính.
Treân cô sôû nguyeân lyù caûm bieán löu löôïng löôïng kieåu turbin, chuùng ta khaûo saùt moät daïng maùy
ño cô khí thoâng duïng: coâng-tô toác ñoä hay coøn goïi laø coâng-tô turbine.
Coâng-tô toác ñoä. Nguyeân lyù: Döïa treân cô sôû ño giaùn tieáp soá löôïng theå tích chaát loûng chaûy
qua, thaønh ñôn vò löu löôïng theå tích, thoâng qua soá voøng quay n cuûa turbine maùy trong moät ñôn vò
thôøi gian (töùc laø töông öùng toác ñoä v cuûa doøng chaûy).
Löu löôïng theå tích Q cuûa doøng chaûy (bieåu thöùc (6.1)-) coù toác ñoä v chaûy qua tieát dieän S cuûa
coâng-tô laø:
Q  v.S .
Toác ñoä turbine maùy ño töông öùng giaù trò töùc thôøi cuûa toác ñoä doøng chaûy. Nhöng maùy ño ñöôïc
khaéc vaïch theo ñôn vò löu löôïng theå tích cuûa doøng chaûy, bôûi soá voøng quay n cuûa turbine tyû leä
vôùi vaän toác v doøng chaûy:
n  k .v  k . Q S ; (6.3)
maø löu löôïng theå tích Q chính laø:
dV
Q ; (6.4)
dt
ôû ñaây: V laø theå tích löu chaát ñi qua tieát dieän S cuûa maùy ño trong khoaûng thôøi gian t  t 2  t1 ,
(öùng vôùi chæ thò maùy ño ôû nhöõng thôøi ñieåm ñoù laø N 1 vaø N 2 ). Töø ñoù ta coù:
t2 S t2
V  
t1
Q.dt 
k t1
. n.dt  K . f ( n) . (6.5)
Töùc laø löu löôïng theå tích cuûa chaát loûng tyû leä vôùi soá voøng quay n cuûa turbine maùy.
Sô ñoà nguyeân lyù caáu truùc (hình 6.9).
Hình 6.9 – Coâng-tô toác ñoä turbine höôùng truïc.
Boä phaän caáu truùc cô baûn laø turbine ñaët theo höôùng truïc maùy, coù daïng vít xoaén, truyeàn ñoäng
bôûi doøng chaûy; truïc turbine gaén vôùi cô caáu ñeám cô khí baèng caëp baùnh raêng truïc vít. Maùy coù
boä phaän hieäu chænh toác ñoä turbine baèng caùch chænh höôùng doøng chaûy so vôùi goùc leäch caùnh
turbine.
Ñoái vôùi doøng chaûy löu löôïng nhoû, duøng coâng tô turbine kieåu tieáp tuyeán (chia thaønh loaïi doøng
ñôn hay nhieàu doøng – hình 6.10).
197
Hình 6.10 – Coâng-tô turbine tieáp tuyeán.
Ñaëc ñieåm:
o Coâng-tô turbin höôùng truïc coù ñoä chính xaùc 1,0; 1,5; 2,0; phaïm vi ño (50  300) [ m 3 /giôø];
ñöôøng kính oáng daãn (50  300) [mm]. Coâng-tô turbin tieáp tuyeán coù ñoä chính xaùc 2,0; 3,0;
phaïm vi ño (3  20) [ m 3 /giôø]; ñöôøng kính oáng daãn (15  40) [mm].
6.1.5 Caùc maùy ño löu löôïng theå khoái Mass Flowmeters.
Caùc quaù trình lieân quan tôùi löu löôïng theå khoái nhö caùc phaûn öùng hoaù hoïc, quaù trình nhieät daãn
vv… ñoøi hoûi nhöõng pheùp ño löu löôïng chính xaùc hôn, vaø ñieàu ñoù daãn tôùi vieäc phaùt trieån caùc
maùy ño löu löôïng khoái. Moät loaït caùc thieát keá ñaõ ñöôïc thöïc hieän, nhöng phoå bieán nhaát laø maùy
ño Coriolis, hoaït ñoäng cuûa noù döïa treân cô sôû hieän töôïng ñöôïc goïi laø löïc Coriolis.
Löïc Criolis laø moät loaïi löïc quaùn tính, laø ñaïi löôïng coù ñoä lôùn baèng tích cuûa khoái löôïng vaät
vôùi gia toác Criolis vaø coù höôùng ngöôïc vôùi höôùng cuûa gia toác Criolis. Gia toác Criolis laø gia toác
xuaát hieän trong caùc heä quy chieáu quay. ÔÛ ñaây ta duøng khaùi nieäm heä quy chieáu, coù heä S (coù

vaät chuyeån ñoäng beân trong vôùi vaän toác daøi v ) chuyeån ñoäng vôùi vaän toác goùc  ñoái vôùi
moät heä N, ñeå giaûi thích nguyeân lyù hoaït ñoäng cuûa maùy ño Criolis.
Caùc maùy ño Coriolis laø maùy ño khoái löôïng thöïc, ño tröïc tieáp vaän toác khoái cuûa doøng chaûy,
khaùc vôùi caùch ño löu löôïng theå tích. Bôûi vì khoái löôïng khoâng thay ñoåi, neân maùy ño laø tuyeán
tính maø khoâng phaûi ñieàu chænh ñoái vôùi nhöõng chaát loûng coù caùc thuoäc tính khaùc nhau. Cuõng y
nhö vaäy, khoâng caàn phaûi buø tröø ñoái vôùi nhöõng thay ñoåi veà nhieät ñoä vaø caùc ñieàu kieän aùp
suaát. Kieåu maùy ño löu löôïng naøy ñaëc bieät coù ích ñoái vôùi pheùp ño nhöõng chaát loûng coù maät
ñoä thay ñoåi theo vaän toác ôû nhieät ñoä vaø aùp suaát ñaõ cho.
Caùc maùy ño Coriolis ñöôïc cheá xuaát theo nhieàu kieåu thieát keá khaùc nhau. Moät duïng cuï phoå bieán
bao goàm oáng daãn doøng hình chöõ U ñöôïc boïc trong voû caûm bieán noái vôùi boä phaän ñieän töû, vaø
khoái ñieän töû coù theå ñaët ôû caùch xa caûm bieán tôùi 500 feet. Beân trong voû hoäp caûm bieán, oáng
daãn hình chöõ U rung ñoäng ôû taàn soá töï nhieân cuûa noù bôûi moät duïng cuï töø tính ñaët ôû ñoaïn cong
cuûa oáng. Caùi naøy gioáng nhö rung ñoäng cuûa aâm thoa (tuning-fork – cô caáu ñònh aâm “la” maãu cho
nhaïc cuï), chieám ít nhaát laø 0,1 inch. vaø hoaøn thaønh troïn chu kyø khoaûng 80 laàn/giaây. Bôûi beân
trong oáng coù chaát loûng chaûy qua, rung ñoäng naøy laøm cho oáng daãn buoäc phaûi rung ñoäng theo
chieàu thaúng ñöùng. Vieäc naøy laøm chaát loûng taùc ñoäng moät löïc leân ñöôøng oáng (löïc Criolis),
laøm cho oáng xoay vaën xoaén. Löôïng xoaén tröïc tieáp tyû leä vôùi ñoä lôùn löu löôïng khoái cuûa chaát
loûng chaûy qua oáng. Caùc caûm bieán töø tính ñaët treân moãi ñaàu oáng seõ ño vaän toác chuyeån dòch
cuûa oáng, vaän toác naøy seõ thay ñoåi khi oáng xoaén laïi. Caùc caûm bieán cung caáp thoâng tin naøy cho
boä phaän ñieän töû, boä phaän naøy seõ xöû lyù vaø bieán ñoåi thaønh ñieän aùp tyû leä vôùi ñoä lôùn löu
löôïng theå khoái. Maùy ño löu löôïng naøy coù phaïm vi öùng duïng roäng raõi, töø chaát keo daùn tôùi ni-tô
loûng.
6.1.6 – Löu löôïng keá töø-ñieän.
Nguyeân lyù hoaït ñoäng döïa treân cô sôû ñònh luaät caûm öùng ñieän-töø Faraday: khi töø thoâng  qua
moät voøng daây daãn kheùp kín bieán thieân, thì trong voøng daây seõ xuaát hieän moät theá ñieän ñoäng
caûm öùng eCUT ; suaát ñieän ñoäng caûm öùng naøy chæ toàn taïi trong thôøi gian töø thoâng bieán thieân
vaø tyû leä vôùi toác ñoä bieán thieân töø thoâng:
eCUT   d dt . (6.6)
198
Neáu voøng daây daãn kheùp kín ñoù laø doøng chaûy cuûa chaát loûng daãn ñieän thì coù theå öùng duïng
nguyeân lyù caûm öùng ñieän-töø ñeå xaùc ñònh toác ñoä hay löu löôïng theå tích cuûa chaát loûng.
Söùc ñieän ñoäng caûm öùng trong töø tröôøng khoâng ñoåi (nam chaâm vónh cöûu) laø:
4B
eCUT  B.v.D  .Q  kQ ; (6.7)
D
ôû ñaây: B – cöôøng ñoä töø caûm; v – toác ñoä doøng chaûy; D – ñöôøng kính trong cuûa oáng daãn; Q –
löu löôïng theå tích cuûa chaát loûng. Töùc laø söùc ñieän ñoäng caûm öùng tyû leä vôùi löu löôïng theå tích
cuûa chaát loûng.
Ñeå loaïi tröø aûnh höôûng cuûa söùc ñieän ñoäng phaân cöïc kyù sinh treân caùc ñieän cöïc cuûa löu löôïng
keá, thay vì nam chaâm vónh cöûu coù theå duøng nam chaâm ñieän xoay chieàu. Khi ñoù söùc ñieän ñoäng
caûm öùng trong töø tröôøng xoay chieàu seõ laø:

eCUT  4Q.Bmax . sin( . ) . (6.8)
D
Nguyeân lyù caáu taïo (hình 6.11). Boä phaän caáu thaønh cô baûn cuûa löu löôïng keá laø ñoaïn oáng baèng
kim loaïi khoâng töø tính ñaët vuoâng goùc vôùi ñöôøng söùc cuûa töø tröôøng nam chaâm, coù hai ñieän
cöïc ñöa ra, noái vôùi ñoàng hoà ño (millivolt-keá hay ñieän theá keá).
Hình 6.11 – Sô ñoà nguyeân lyù löu löôïng keá töø-ñieän.
Hình 6.12 – Ñaàu töø cuûa maùy ño löu löôïng.
Chaát loûng laø chaát ñieän daãn, vaø töø tröôøng beân ngoaøi (cuûa nam chaâm vónh cöûu hoaëc ñöôïc taïo
bôûi caùc cuoän daây ñaët beân ngoaøi ñöôøng oáng ñöôïc kích thích ñieän aùp xoay chieàu). Ñieän aùp taïo
ra seõ tyû leä vôùi ñoä lôùn löu löôïng. Caùc ñieän cöïc laép treân thaønh oáng caûm nhaän ñieän aùp caûm
öùng vaø ñöôïc ño bôûi duïng cuï thöù caáp.
Hình 6.12 giôùi thieäu nguyeân lyù keát caáu cuûa löu löôïng keá töø-ñieän. Caùc maùy ño löu löôïng kieåu
töø-ñieän ñöôïc öùng duïng ñeå ño vaän toác doøng chaûy cuûa caùc chaát loûng daãn ñieän (goàm caû
nöôùc), nhöõng choã caàn moät heä chaát löôïng cao, yeâu caàu baûo trì thaáp. Giaù thaønh cuûa caùc maùy
ño löu löôïng kieåu töø-ñieän cao hôn so vôùi caùc kieåu maùy ño löu löôïng khaùc. Chuùng coù nhieàu öu
ñieåm: coù theå ño caùc chaát loûng khoù ño vaø coù tính aên moøn, chaát seät nhö hoà vöõa cement, buøn,
phaân seät, vaø coù theå ño löu löôïng chaûy ngöôïc reverse flow.
Ñaëc ñieåm:
o Löu löôïng keá töø-ñieän duøng ño chaát loûng coù ñieän daãn khoâng döôùi ( 10 5  10 6 )
[Simen/m].
199
o Chæ thò maùy ño khoâng phuï thuoäc tyû troïng chaát loûng, khoâng phuï thuoäc caùc aûnh höôûng
ngoaøi (aùp suaát, nhieät ñoä, ñoä nhôùt, laãn haït, buïi hay boït khí … – neáu chuùng khoâng laøm
thay ñoåi ñieän daãn cuûa chaát loûng).
o Phaïm vi ño (1  2500)[ m 3 /giôø]; toác ñoä doøng chaûy (0,6  10)[m/s] trong oáng daãn ñöôøng kính
(10  1000)[mm]; caáp chính xaùc 1,0; 2,5.
o Phöông phaùp ño: Ño söùc ñieän ñoäng, duøng cô caáu ño ñieän theá keá.
6.1.7 Caùc caûm bieán löu löôïng sieâu aâm.
Caùc caûm bieán löu löôïng kieåu sieâu aâm coù theå chia ra thaønh:
 Caûm bieán Doppler, vaø:
 Caûm bieán chuyeån vaän, hay laø thôøi gian chuyeån dòch time-travel.
Caûm bieán Doppler döïa treân cô sôû hieäu öùng Doppler – söï thay ñoåi taàn soá cuûa dao ñoäng phaùt ñi
töø moät nguoàn do chuyeån ñoäng töông ñoái cuûa nguoàn vaø maùy thu. Trong caùc caûm bieán Doppler,
nhöõng di pha taàn soá gaây ra bôûi chaát loûng chuyeån ñoäng mang theo nhöõng phaàn töû rôøi raïc taïo ra
nhöõng xung phaûn xaï nhö töø moät nguoàn di ñoäng.
Caùc caûm bieán Doppler ño nhöõng di pha taàn soá gaây ra bôûi chaát loûng. Hai boä bieán caûm ñöôïc laép
raùp trong hoäp gaén vaøo moät beân oáng; moät tín hieäu coù taàn soá ñaõ bieát tröôùc ñöôïc caáp tôùi chaát
loûng caàn ño. Nhöõng haït lô löûng, chaït chaát raén hay baát kyø chaát rôøi raïc naøo khaùc trong chaát
loûng seõ taïo ra nhöõng xung phaûn xaï tôùi phaàn töû thu nhaän. Bôûi chaát loûng gaây neân phaûn xaï laïi
ñang dòch chuyeån neân taàn soá xung phaûn xaï bò di pha, vaø ñoä dòch pha tyû leä vôùi vaän toác cuûa
chaát loûng.
Vôùi caùc maùy ño kieåu thôøi gian chuyeån vaän time-travel, thì caùc bieán caûm transducers ñöôïc laép ôû
hai beân oáng, sao cho soùng aâm laøm thaønh moät goùc 45 ñoä vôùi höôùng doøng chaûy. Toác ñoä tín
hieäu giöõa caùc bieán caûm seõ taêng hay giaûm theo höôùng truyeàn daãn vaø vaän toác chaát loûng caàn
ño. Cuõng coù theå xaùc ñònh ñöôïc quan heä thôøi gian vi sai tyû leä vôùi löu löôïng baèng caùch truyeàn
daãn tín hieäu moät caùch luaân phieân theo caû hai höôùng. Khaùc vôùi caùc caûm bieán Doppler, caùc
caûm bieán thôøi gian chuyeån dòch bò haïn cheá laø caùc chaát loûng ñöôïc ño phaûi töông ñoái saïch,
khoâng coù nhöõng haït chaát raén hay caùc chaát khí troän ñeå giaûm thieåu söï phaân taùn hay haáp thuï tín
hieäu.
Öu ñieåm cuûa caùc maùy ño löu löôïng kieåu sieâu aâm laø chuùng khoâng xaâm thöïc vaø giaù thaønh vöøa
phaûi. Coù nhieàu kieåu ñöôïc thieát keá ñeå keïp leân ñöôøng oáng.
Pheùp ño löu löôïng theo hieäu öùng laser Doppler.
Phong vuõ bieåu anemometer kieåu laser Doppler (Laser Doppler Anemometer LDA) laø kyõ thuaät ñaõ xaùc
laäp khaù vöõng treân 30 naêm nay, ñöôïc öùng duïng roäng raõi ñeå ño ñoäng hoïc löu chaát trong caùc
chaát loûng vaø chaát khí. Ñoä nhaïy höôùng chaûy vaø tính khoâng xaâm thöïc cuûa caùc maùy LDA laøm
cho noù trôû thaønh coù ích ñoái vôùi nhöõng öùng duïng vôùi ño doøng chaûy ngöôïc, caùc phaûn öùng
hoaù hoïc hoaëc phöông tieän nhieät ñoä cao, vaø caùc maùy quay, nôi maø caùc caûm bieán vaät lyù khaùc
coù theå khoù khaên hoaëc khoâng theå söû duïng. Tuy nhieân kyõ thuaät naøy ñoøi hoûi doõi theo nhöõng
phaàn töû trong doøng chaûy.
Nhöõng lôïi ích chuû yeáu cuûa LDA trong pheùp ño löu löôïng bao goàm:
 Ño khoâng tieáp xuùc.
 Khoâng caàn kieåm chuaån.
 Khoaûng caùch ño coù theå töø côõ centimeters ñeán meters.
 Toác ñoä ño coù phaïm vi töø 0 ñeán sieâu aâm.
 Coù theå ño ño doøng ñoåi chieàu.
 Coù giaûi thuaät khoâng gian vaø thôøi gian cao.
Caáu truùc cô baûn cuûa moät maùy ño LDA (hình 6.13) bao goàm:
 Moät laser soùng lieân tuïc.
 Maùy phaùt quang hoïc transmitting optics, keå caû boä taùch tia beam splitter, vaø thaáu kính hoäi
tuï focusing lens.
 Maùy thu quang hoïc receiving optics, goàm thaáu kính hoäi tuï focusing lens, moät boä loïc giao thoa
interference filter, vaø moät boä phaân taùch quang ñieän photodetector.
 Moät boä chuaån hoaù tín hieäu vaø xöû lyù tín hieäu.
200
Hình 6.13 – Caáu truùc maùy ño LDA.
Noùi chung, maùy LDA gôûi ñi moät tia laser ñôn saéc tôùi ñích vaø thu böùc xaï phaûn xaï. Tuøy theo hieäu
öùng Doppler, söï thay ñoåi trong böôùc soùng cuûa böùc xaï phaûn xaï laø haøm cuûa toác ñoä töông ñoái
cuûa ñoái töôïng duøng laøm ñích. Do ñoù, toác ñoä cuûa ñoái töôïng coù theå xaùc ñònh baèng caùch ño söï
thay ñoåi trong böôùc soùng cuûa tia laser phaûn xaï. Vieäc naøy ñöôïc thöïc hieän baèng caùch taïo ra moät
maãu pattern caùc vaïch giao thoa (maãu caùc vaïch saùng toái xen keõ) baèng caùch xeáp choàng leân nhau
tín hieäu goác vaø tín hieäu phaûn xaï.
Teá baøo quang-ñieän Bragg thöôøng ñöôïc söû duïng nhö boä taùch tia. Noù laø moät tinh theå thuûy tinh
gheùp vôùi moät tinh theå piezo rung ñoäng (hình 6.14).
Hình 6.14 – Teá baøo Bragg söû duïng moät boä taùch tia.
Söï rung ñoäng taïo neân caùc soùng aâm taùc ñoäng gioáng nhö moät löôùi quang hoïc. Hai luoàng tia coù
cöôøng ñoä nhö nhau thoaùt ra töø teá baøo Bragg vôùi taàn soá f 0 vaø f dipha , vaø chuùng ñöôïc hoäi tuï
laïi vaøo caùc sôïi quang ñöa tôùi ñaàu doø probe. Trong ñaàu doø, caùc tia song song ñi ra töø sôïi quang
ñöôïc hoäi tuï bôûi moät thaáu kính tôùi ñieåm giao nhau trong moät vuøng goïi laø theå tích ño, ñieån hình
laø khoaûng côõ vaøi millimeters chieàu daøi vaø ñöôïc ño taïi ñoù. Cöôøng ñoä saùng ñöôïc ñieàu bieán
nhôø coù söï giao thoa giöõa caùc tia laser taïo neân caùc vaïch saùng song song coù cöôøng ñoä saùng cao,
goïi laø caùc vaïch fringes. Khoaûng roäng caùc vaïch d f ñöôïc xaùc ñònh bôûi böôùc soùng  cuûa tia
laser vaø goùc  taïo giöõa caùc tia.

df  . (6.9)
2 sin  2 
Thoâng tin veà toác ñoä doøng chaûy xuaát phaùt töø aùnh saùng taùch ra bôûi chuøm caùc haït “caáy vaøo”
(“seeding”) coù trong chaát loûng khi chuùng chuyeån ñoäng qua theå tích ño. Aùnh saùng ñöôïc phaân taùch
bao goàm moät söï di pha Doppler – taàn soá Doppler f D - tyû leä vôùi vaän toác thaønh phaàn vuoâng goùc
vôùi ñöôøng phaân ñoâi cuûa hai chuøm laser, töông öùng vôùi truïc x cuûa theå tích ño.
Moät thaáu kính seõ thu gom caùc chuøm aùnh saùng bò taùch laïi vaø hoäi tuï noù leân boä caûm bieán
quang-ñieän. Moät boä loïc giao thoa ñöôïc laép phía tröôùc caûm bieán quang ñeå chæ cho aùnh saùng coù
böôùc soùng nhaát ñònh ñi qua, loïc boû khoûi caùc böôùc soùng khaùc vaø khoûi nhieãu aùnh saùng xung
quanh. Caûm bieán quang chuyeån ñoåi bieán ñoäng thaát thöôøng cuûa cöôøng ñoä saùng thaønh tín hieäu
ñieän, söï buøng leân burst Doppler. Nhöõng söï böøng saùng Doppler ñöôïc loïc vaø khuyeách ñaïi leân
trong boä xöû lyù tín hieäu, xaùc ñònh f D ñoái vôùi moãi haït, thoâng thöôøng laø baèng caùch phaân tích
taàn soá söû duïng thuaät toaùn bieán ñoåi nhanh Fourier (FFT).
Khoaûng roäng cuûa phoå vaïch d f cung caáp thoâng tin veà khoaûng caùch dòch chuyeån haït. Taàn soá
Doppler f D cung caáp thoâng tin veà thôøi gian: t  1 f D . Bôûi vaän toác baèng khoaûng caùch chia cho
thôøi gian, neân bieåu thöùc xaùc ñònh vaän toác seõ laø:
V  d f  fD . (6.10)
201
Vôùi chaáp nhaän veà caùc phaàn töû haït caáy seeding, thöôøng coù tröôøng hôïp laø caùc chaát loûng coù
chöùa nhöõng haït caáy töï nhieân töông töï, nhöng töông töï caùc chaát khí cuõng bò troän nhöõng haït caáy
nhö vaäy. Moät caùch lyù töôûng, caùc haït phaûi ñuû nhoû ñeå troâi theo doøng, nhöng cuõng ñuû lôùn ñeå
taùch ñuû tia saùng ñeå coù ñöôïc tyû leä tín hieäu–treân–nhieãu signal-to-noise toát ôû ñaàu ra cuûa caûm
bieán quang. Phaïm vi kích côõ cuûa haït thöôøng laø khoaûng 1 tôùi 10 m . Vaät lieäu haït coù theå laø
chaát raén (boät) hay chaát loûng (gioït).
6.1.8 Löïa choïn caùc caûm bieán löu löôïng.
Vieäc löïa choïn duïng cuï khoâng thích hôïp giaûi thích ñeán 90% caùc vaán ñeà thöôøng maéc phaûi vôùi
caùc maùy ño löu löôïng. Yeâu caàu quan troïng nhaát trong vieäc löïa choïn moät caûm bieán laø söï hieåu
bieát moät caùch chính xaùc nhöõng gì maø duïng cuï ñoù phaûi thöïc hieän. Döôùi ñaây laø nhöõng caâu
hoûi quan troïng caàn phaûi ñöôïc ñaët ra trong suoát quaù trình löïa choïn caûm bieán:
 Coù phaûi pheùp ño aùp duïng ñeå ñieàu khieån moät quaù trình coâng ngheä maø moái quan taâm
chuû yeáu laø khaû naêng laëp laïi repeatability, hay laø nhaèm lyù giaûi accounting hoaëc khaûo saùt
söï truyeàn chuyeån custody transfer, khi maø ñoä chính xaùc cao môùi laø quan troïng?
 Chæ thò keát quaû laø taïi choã hay lieäu coù caàn tín hieäu töø xa remote khoâng ? Neáu ñoøi hoûi
phaûi coù ñaàu ra töø xa thì noù phaûi laø moät tín hieäu tyû leä hay laø moät tín hieäu ñoùng môû
tieáp ñieåm ñeå kích hoaït hoaëc ngöng duïng cuï khaùc ?
 Chaát loûng caàn ño laø chaát saïch, chaát deûo dính, seàn seät, hay laø chaát hoà cement, buøn hoaëc
phaân boùn daïng seät ?
 Chaát loûng caàn ño lieäu coù daãn ñieän ?
 Ñaëc tính troïng löôïng hay maät ñoä ñaëc tröng cuûa chaát loûng caàn ño laø gì ?
 Phaïm vi (ñoä lôùn) cuûa löu löôïng lieân quan ñeán öùng duïng naøy laø theá naøo ?
 Nhieät ñoä vaø aùp suaát vaän haønh cuûa quaù trình nhö theá naøo ?
 Lieäu coù phaûi tính ñeán nhöõng chæ soá veà ñoä chính xaùc, phaïm vi ñoä lôùn, ñoä tuyeán tính,
tính laëp laïi, vaø nhöõng yeâu caàu veà ñöôøng oáng daãn ?
Moät ñieàu cuõng raát quan troïng tröôùc khi ñöa ra quyeát ñònh löïa choïn cuoái cuøng laø phaûi bieát
nhöõng gì maùy ño löu löôïng khoâng theå thöïc hieän ñöôïc. Moãi kieåu caûm bieán ñeàu coù öu vaø nhöôïc
ñieåm, möùc ñoä thöïc hieän thoûa maõn coâng vieäc ñeàu lieân quan tôùi vieäc lieäu caùc tính naêng vaø
nhöôïc ñieåm cuûa duïng cuï coù phuø hôïp vôùi nhöõng ñieàu kieän öùng duïng khoâng. Ña soá caùc nhaø
cung caáp caûm bieán ñeàu nhieät tình giuùp ñôõ khaùch haøng cuûa hoï löïa choïn ñöôïc maùy ño thích hôïp
cho töøng öùng duïng cuï theå. Nhieàu haõng cung caáp nhöõng caâu hoûi traéc nghieäm questionnaires,
baûn thöû nghieäm checklists, vaø caùc baûn keâ ñaëc tính specification sheets ñöôïc thieát keá nhaèm thu
thaäp thoâng tin pheâ phaùn caàn thieát ñeå caûi tieán caùc maùy ño löu löôïng thích öùng vôùi coâng vieäc.
Cuõng phaûi tính ñeán nhöõng tieán boä coâng ngheä ñöông ñaïi. Sai laàm thoâng thöôøng laø löïa choïn
moät thieát keá ñaõ phoå bieán vaøo nhöõng naêm tröôùc ñoái vôùi öùng duïng ñaõ ñònh, cho raèng ñoù vaãn
coøn laø söï löïa choïn toát nhaát. Bieát ñaâu trong khoaûng thôøi gian aáy coù theå ñaõ xaûy ra nhieàu ñoåi
thay vaø phaùt kieán trong coâng ngheä maùy ño löu löôïng ñoái vôùi öùng duïng cuï theå, laøm cho khaû
naêng löïa choïn ñaõ trôû neân roäng raõi hôn.
6.1.9 Laép ñaët vaø baûo trì söûa chöõa.
Caùc caûm bieán löu löôïng chaát khí hoaït ñoäng coù hieäu quaû nhaát trong nhöõng phaàn ñöôøng oáng
hoaëc ñoaïn oáng daãn coù hình daïng ñoàng nhaát, cho trieån khai hoaøn toaøn doøng chaûy. Nhaèm laøm
cho pheùp ño coù khaû naêng hieän thöïc, taát caû caùc duïng cuï caûm bieán doøng khí neân laép ñaët theo
ñuùng höôùng chaûy cuûa oáng daãn ñaàu doøng vaø cuoái doøng maø nhaø saûn xuaát ñaõ chæ ñònh. Moät
soá nhaø saûn xuaát cung caáp caùc phaàn töû laøm thaúng doøng chaûy, coù theå laép vaøo ñaàu doøng choã
boá trí caûm bieán nhaèm caûi thieän nhöõng ñieàu kieän doøng chaûy khoâng mong muoán. Neân tính ñeán
nhöõng phaàn töû naøy khi nhöõng ñieàu kieän khoâng cho pheùp laép ñaët theo yeâu caàu chaûy thaúng
cuûa phaàn oáng daãn tröôùc vaø sau caûm bieán.
Taát caû caùc caûm bieán löu löôïng chaát loûng cuõng seõ laøm vieäc toát nhaát khi doøng chaûy ñoàng
nhaát, trieån khai heát löu löôïng. Neân laép ñaët caùc caûm bieán theo doøng chaûy thaúng töø ñaàu oáng
tôùi cuoái oáng ñeå coù ñöôïc pheùp ño hieän thöïc nhaát.
Maëc duø nhieàu nhaø cung öùng coù dòch vuï laép ñaët maùy ño löu löôïng, vaãn coù moät tyû leä cao
nhöõng ngöôøi söû duïng choïn caùch töï mình laép ñaët. Ñieàu ñoù coù theå daãn tôùi nhöõng sai soùt trong
laép ñaët, ví nhö khoâng cho ñöôøng oáng chaûy ñuû thaúng doøng töø ñaàu tôùi cuoái nhö ñaõ neâu ôû
treân. Moãi thieát keá caûm bieán coù moät löôïng dung sai nhaát ñònh ñoái vôùi nhöõng ñieàu kieän vaän
toác khoâng oån ñònh trong ñöôøng oáng, nhöng moïi duïng cuï ñeàu ñoøi hoûi phaûi ñöôïc caáu hình ñöôøng
202
oáng phuø hôïp ñeå vaän haønh coù hieäu quûa, cho neân coù moät maãu löu löôïng doøng chaûy ñònh möùc
ñöôïc cung caáp theo thieát bò. Khoâng coù noù thì ñoä chính xaùc vaø vieäc vaän haønh caûm bieán seõ bò
aûnh höôûng. Caùc maùy ño löu löôïng ñoâi khi cuõng laép ngöôïc laïi ñöôïc (ñaëc bieät laø vôùi caùc taám
ngaên coù loã orifice plates). Caùc ñöôøng caûm bieán aùp suaát cuõng bò ñaûo ngöôïc.
Vôùi caùc phaàn töû linh kieän ñieän thaønh phaàn, thì söï an toaøn thieát yeáu intrinsic safety laø nhaän
thöùc ñöôïc nhöõng vuøng nguy hieåm hazardous areas. Trong khu vöïc caùc xí nghieäp coâng nghieäp ñeàu
thaáy coù caùc töø tröôøng taùn xaï. Caùc ñöôøng ñieän naêng löôïng, caùc relays, caùc cuoän daây
solenoids, caùc bieán theá, ñoäng cô, vaø caùc maùy phaùt ñeàu goùp phaàn taïo nhieãu giao thoa ñieän-töø,
vaø ngöôøi söû duïng phaûi chaéc chaén raèng maùy ño löu löôïng maø hoï ñaõ choïn thuoäc kieåu mieãn
nhieãm ñoái vôùi nhöõng giao thoa nhö vaäy. Ña soá caùc vaán ñeà xaûy ra vôùi caùc phaàn töû ñieän töû laø
ôû caùc thieát bò thöù caáp, phaûi ñöôïc baûo veä. Tuaân thuû nghieâm ngaët nhöõng chæ ñònh cuûa nhaø
saûn xuaát thöôøng seõ ngaên ngöøa ñöôïc nhöõng vaán ñeà nhö vaäy.
Hieäu chuaån.
Hieäu chuaån ban ñaàu laø yeâu caàu ñoái vôùi taát caû caùc maùy ño löu löôïng; thoâng thöôøng vieäc hieäu
chuaån xuaát xöôûng ñöôïc thöïc hieän bôûi nhaø saûn xuaát. Tuy nhieân, neáu coù saün nhöõng caùn boä
coù uy tín trong coâng vieäc naøy cuõng coù theå thöïc hieän bôûi ngöôøi mua. Söï caàn thieát hieäu chænh
laïi maùy ño tuøy thuoäc phaàn lôùn vaøo vieäc maùy ño phuø hôïp ñeán möùc naøo vôùi öùng duïng cuï
theå. Moät soá chaát loûng chaûy qua maùy ño löu löôïng laø caùc chaát coù tính maøi moøn, aên moøn,
hoaëc gaây seùt ræ, vaø vôùi thôøi gian coù theå coù nhöõng boä phaän bò giaûm giaù trò ñeán möùc ñuû ñeå
aûnh höôûng tôùi hoaït ñoäng cuûa toaøn maùy ño. Moät soá caáu truùc nhaïy caûm deã bò toån thöông hö
hoûng hôn nhöõng caáu truùc khaùc. Ví duï, söï maøi moøn moät caùnh quaït naøo ñoù cuûa turbine coù theå
laøm cho hoaït ñoäng cuûa caû turbine bò thay ñoåi. Ñoái vôùi nhöõng öùng duïng quan troïng thì neân thöû
nghieäm moät caùch thöôøng xuyeân ñoä chính xaùc cuûa maùy ño.Trong nhöõng tröôøng hôïp khaùc, coù
theå khoâng caàn thieát vieäc hieäu chuaån laïi maùy ño, bôûi öùng duïng khoâng quan troïng laém hoaëc
bôûi moâi tröôøng khoâng aûnh höôûng tôùi hoaït ñoäng cuûa maùy. Moät soá maùy ño löu löôïng ñoøi hoûi
phaûi coù nhöõng thieát bò ñaëc bieät ñeå hieäu chuaån. Ña soá caùc nhaø saûn xuaát seõ cung caáp dòch vuï
naøy baèng phöông tieän cuûa chính hoï hoaëc baèng phöông tieän cuûa ngöôøi söû duïng, nôi maø hoï seõ
mang thieát bò tôùi ñeå hieäu chuaån moät caùch hôïp leä.
Söûa chöõa baûo trì.
Caùc maùy ño löu löôïng khoâng coù boä phaän chuyeån ñoäng thì ít caàn chuù yù hôn laø nhöõng maùy coù
boä phaän chuyeån ñoäng, nhöng keát cuïc heát thaûy caùc maùy ño löu löôïng ñeàu ñoøi hoûi phaûi ñöôïc
baûo döôõng baûo trì.
Vôùi caùc maùy ño löu löôïng kieåu aùp suaát vi sai, caùc phaàn töû sô caáp ñoøi hoûi caùc valves, caùc oáng
daãn lôùn, vaø vöøa vaën khi chuùng ñöôïc noái vôùi caùc phaàn töû thöù caáp, cho neân vieäc baûo trì coù
theå phaûi tieán haønh laëp ñi laëp laïi. Caùc ñöôøng xung coù theå bò bít ngheõn hay bò aên moøn daàn,
phaûi laøm saïch hay thay theá. Caùc maùy ño coù boä phaän chuyeån ñoäng ñoøi hoûi söï kieåm tra beân
trong moät caùch ñònh kyø, ñaëc bieät laø neáu chaát loûng caàn ño laø chaát bò nhieãm baån hay daïng seät.
Vieäc laép ñaët caùc boä loïc ñaèng tröôùc caùc khoái nhö theá coù theå giuùp giaûm thieåu khaû naêng
khuyeát taät vaø hao moøn.
Caùc maùy ño löu löôïng kieåu sieâu aâm hay ñieän-töø coù theå coù nhöõng vaán ñeà phöùc taïp hôn vôùi
caùc phaàn töû ñieän töû trong boä phaän thöù caáp cuûa chuùng. Caùc caûm bieán aùp suaát toå hôïp vôùi
caùc phaàn töû thöù caáp cuõng neân ñònh kyø thaùo ra vaø kieåm tra.
Ñoái vôùi caùc maùy ño kieåu sieâu aâm hay ñieän-töø, öùng duïng ôû nhöõng choã coù theå xaûy ra lôùp
phuû cuõng bieåu hieän nhöõng vaán ñeà tieàm taøng. Neáu lôùp phuû laø chaát caùch ñieän, thì hoaït ñoäng
cuûa maùy ño löu löôïng töø tính seõ bò hö hoûng moät caùch toái haäu neáu caùc ñieän cöïc bò caùch ly
khoûi chaát loûng. Vieäc thöôøng xuyeân ñònh kyø laøm saïch seõ giuùp ngaên chaën daïng hö hoûng naøy.
Vôùi caùc maùy ño löu löôïng kieåu sieâu aâm, goùc phaûn xaï coù theå bò thay ñoåi vaø naêng löôïng maët
trôøi bò haáp thuï bôûi lôùp phuû seõ laøm cho maùy ño khoâng hoaït ñoäng ñöôïc nöõa.
6.1.10 Nhöõng tieán boä kyõ thuaät caûm bieán löu löôïng.
Moät nghieân cöùu môùi ñaây ñöôïc thöïc hieän bôûi Vieän nghieân cöùu doøng chaûy vaø ñöôøng oáng
daãn toaøn caàu Flow Research and Ducker Worldwide chæ ra raèng ñaõ coù moät chuyeån bieán trong lónh
vöïc ño löu löôïng, höôùng tôùi nhöõng maùy ño löu löôïng “coâng ngheä môùi”. Nhöõng maùy ño “coâng
ngheä môùi” ñöôïc thaåm ñònh trong nghieân cöùu nhö caùc maùy ño kieåu töø tính, sieâu aâm, Coriolis,
vortex, vaø kieåu aùp suaát vi sai ña bieán multivariable differential pressure meters. Noùi chung, chuùng coù
boán tieän ích:
203
1. Chuùng ñaõ ñöôïc giôùi thieäu 50 naêm laïi ñaây.
2. Chuùng ñaõ hieän thöïc hoaù nhöõng tieán boä coâng ngheä, giaûi quyeát nhöõng vaán ñeà coá höõu ôû
nhöõng maùy ño löu löôïng kieåu cuõ.
3. Chuùng ñaõ trôû thaønh yeáu toá chính hoäi tuï söï phaùt trieån saûn phaåm môùi bôûi caùc nhaø saûn
xuaát.
4. Tính naêng hoaït ñoäng cuûa chuùng, keå caû ñoä chính xaùc, ñeàu toát hôn laø coâng ngheä maùy ño löu
löôïng truyeàn thoáng.
Ñieån hình laø nhöõng kieåu maùy naøy coøn cung caáp nhieàu tieän ích khaùc. Ñoù laø nhöõng khaû naêng
phaàn meàm, nhöõng goùi öùng duïng ñaëc tröng hôn, vaø caùc phöông phaùp caáu truùc cöïc kyø laâu beàn.
Töï phaân tích self-diagnostics laø moät trong nhöõng tieän ích nhö vaäy maø ngöôøi söû duïng mong ñôïi ôû
caùc maùy ño löu löôïng.
Hieän nay ñaõ xuaát hieän nhöõng saùng cheá vôùi caùc maùy ño kieåu aùp suaát vi sai, keå caû söï phaùt
trieån caùc boä truyeàn phaùt aùp suaát vi sai differential pressure transmitters ñoä chính xaùc raát cao, vieäc
söû duïng caùc boä phaùt daãn ña bieán multivariable, vaø caùc boä phaùt daãn aùp suaát vi sai tích hôïp
phaàn töû sô caáp. Moät phaùt trieån ñaày yù nghóa laø söï xuaát hieän maùy ño löu löôïng kieåu vi sai tích
hôïp integrated differential flowmeter. Trong quaù khöù, ngöôøi söû duïng mua caùc phaàn töû sô caáp töø
moät haõng, coøn caùc boä phaùt daãn thì mua cuûa moät haõng khaùc. Ngaøy nay, caùc boä phaùt daãn
ñöôïc chaøo môøi vôùi moät phaàn töû sô caáp tích hôïp beân trong. Noã löïc ngaøy nay laø höôùng tôùi caùc
boä truyeàn daãn chính xaùc hôn vaø linh hoaït hôn. Tuy nhieân, ñieàu quan troïng laø caàn phaûi hieåu raèng
boä truyeàn daãn chæ laø moät phaàn töû trong caû heä, vaø caùc bieán khaùc ñeàu coù phaàn trong ñoä
chính xaùc löu löôïng.
Vôùi caùc maùy ño löu löôïng kieåu sieâu aâm, moät loaït duïng cuï coù caáp chính xaùc môùi vaø giaù
thaønh thaáp cho caùc ñöôøng oáng côõ nhoû (ñöôøng kính 1/4 inch. tôùi 2 inch) ñaõ xuaát hieän, döïa treân
cô sôû caùc heä vi cô-ñieän töû (MicroElectroMachanical System MEMS) caûm bieán sieâu aâm vaø troän tín
hieäu, maïch vi ñieàu khieån tích hôïp chuyeân duïng (application-specific integrated circuit ASIC). Kyõ
thuaät naøy cung caáp moät phöông tieän khaùc so vôùi caùc maùy ño cô hoïc truyeàn thoáng hay caùc maùy
ño theå khoái kieåu vortex ñaét tieàn ñoái vôùi nhöõng öùng duïng cuï theå trong caùc ñöôøng oáng coù
ñöôøng kính nhoû. Ñaàu ra ñieän töû coù theå thích öùng tröïc tieáp vôùi ñieàu khieån quaù trình vaø thieát
bò kieåm tra. Cuõng y nhö vaäy, duïng cuï coù theå thöïc hieän vieäc töï chænh. Noù raát thích hôïp cho
pheùp ño löu löôïng doøng khí saïch.

204
BAØI 10: KYÕ THUAÄT CAÛM BIEÁN MÖÙC VAØ ÑOÄ AÅM.
CHÖÔNG 6. – CAÛM BIEÁN LÖU LÖÔÏNG, MÖÙC VAØ ÑOÄ AÅM. PHAÀN 2.
Muïc tieâu baøi naøy taäp trung vaøo nhöõng khaùi nieäâm cô baûn vaø kyõ thuaät caûm bieán
möùc chaát loûng vaø chaát khí (löu chaát) (phaàn 2) vaø ñoä aåm; caùc öùng duïng
trong kyõ thuaät ño löôøng vaø ñieàu khieån – goàm phaàn 2 cuûa chöông 6.
Noäi dung cô baûn maø SV phaûi naém ñöôïc ôû baøi naøy laø nhöõng vaán ñeà troïng taâm
sau:
 Khaùi nieäm ñaïi cöông veà cô hoïc chaát löu (chaát loûng vaø khí) vaø möùc, ñoä
aåm; nhöõng ñaëc ñieåm xaùc ñònh chuùng. Caùc loaïi phaàn töû caûm bieán möùc
vaø ñoä aåm öùng duïng trong kyõ thuaät ño löôøng ñieàu khieån, keát caáu, hoaït
ñoäng chöùc naêng, caùc ñaëc tính kyõ thuaät, ñaëc ñieåm öùng duïng.
 Caùc vaán ñeà öùng duïng thöïc tieãn caùc phaàn töû caûm bieán trong coâng nghieäp
ñeå coù nhaän thöùc vaø kyõ naêng toång hôïp, thieát keá vaø cheá taïo heä thoáng cuï
theå trong thöïc teá moâi tröôøng öùng duïng.
 Baøi 10 taäp trung troïng taâm laø kyõ thuaät caûm bieán möùc chaát loûng vaø ñoä
aåm chaát khí (phaàn 2) baèng caùc phaàn töû caûm bieán öùng duïng roäng raõi trong
coâng nghieäp vaø daân duïng.
Thôøi löôïng baøi giaûng laø 04 tieát/45 tieát leân lôùp theo chöông trình moân hoïc laø 03TC
(45 tieát) vaø 04 tieát töï nghieân cöùu.
6.2 CAÛM BIEÁN ÑO MÖÙC.

Khaùi nieäm. Möùc chaát loûng laø chieàu cao ñieàn ñaày (chaát loûng hay haït) trong caùc thieát bò coâng
ngheä. Ñôn vò ño möùc laø ñôn vò ño chieàu daøi. Nhö treân ñaõ noùi, vieäc caûm bieán möùc coù quan heä
maät thieát vôùi caûm bieán löu löôïng. ÖÙng duïng chung nhaát trong caûm bieán möùc laø ño beå chöùa
vaø ñieàu khieån vaän haønh beå chöùa. Ngaøy nay ñaõ saün coù nhieàu coâng ngheä caûm bieán möùc, bao
goàm töø caùc phöông phaùp ño möùc kieåu phao coå ñieån, kieåu ñieän moâi trong caûm bieán ñieän
dung ... ñeán caû caùc phöông phaùp aùp suaát thuûy tónh, sieâu aâm, ñieän dung cao taàn RF, caùc phöông
phaùp döïa treân cô sôû hieäu öùng töø giaûo magnetorestrictive, vaø caùc heä ño xa radar.
Noùi moät caùch khaùi quaùt, trong kyõ thuaät ño löôøng vaø ñieàu khieån caùc beå chöùa, coù theå phaân
caùc caûm bieán möùc thaønh hai loaïi: giaùn ñoaïn discrete vaø lieân tuïc continuous. Caùc maùy ño möùc
giaùn ñoaïn chæ coù theå phaùt hieän lieäu chaát loûng coù ôû moät möùc nhaát ñònh naøo ñoù hay khoâng.
Maùy ño möùc lieân tuïc cung caáp moät tín hieäu tyû leä vôùi möùc chaát loûng.
6.2.1 Maùy ño möùc kieåu giaùn ñoaïn.
Caùc maùy ño möùc kieåu giaùn ñoaïn xaùc ñònh khi naøo chaát loûng chaûy vaøo beå chöùa ñaït tôùi moät
möùc nhaát ñònh. Hình 6.15 giôùi thieäu moät soá daïng maùy ño kieåu naøy. Moät öùng duïng ñieån hình
cuûa kieåu caûm bieán naøy laø xaùc ñònh khi naøo ngöng chu kyø ñieàn ñaày möùc nöôùc cuûa maùy giaët.
Coù nhieàu daïng caáu truùc maùy ño möùc kieåu phao – hình 6.15a minh hoaï moät trong caùc daïng aáy,
söû duïng cô caáu phao float vaø coâng-taéc chuyeån maïch giôùi haïn limit switch. Trong tröôøng hôïp naøy,
phao ñöôïc gheùp noái vôùi moät coïc ñöùng vertical rod. Khi chaát loûng ñaït moät möùc nhaát ñònh thì
moät cam gheùp noái vôùi coïc ñöùng seõ kích hoaït coâng-taéc chuyeån maïch giôùi haïn. Coù theå ñieàu
chænh möùc kích hoaït baèng caùch ñaët ñònh laïi hoaëc cam hoaëc chuyeån maïch.
Hình 6.15 – Maùy ño möùc chaát loûng kieåu giaùn ñoaïn: a). Daïng phao vaø chuyeån maïch;
b). Daïng caûm bieán quang ñieän; c). Daïng ñaàu doø ñieän trôû.
Moät kieåu maùy ño möùc khaùc döïa treân cô sôû teá baøo quang ñieän (hình 6.15b). Khi möùc chaát loûng
ngaäp tia saùng thì tín hieäu maùy doø quang ñieän photodetector seõ thay ñoåi, noù chæ thò söï hieän dieän
chaát loûng.
205
Nhieàu chaát loûng – nhö nöôùc ñoïng, caùc axit yeáu, bia vaø caø pheâ (chæ neâu moät soá laøm ví duï) –
laø chaát daãn ñieän nheï, cho pheùp thöïc hieän caùc phöông phaùp caûm bieán khaùc. Nhö minh hoïa treân
hình 6.15c, moät ñaàu doø ñieän ñöôïc treo lô löûng trong chaát loûng. Khi chaát loûng ñaït tôùi ñaàu doø thì
ñieän trôû trong maïch ñieän ñoät ngoät giaûm xuoáng. ÖÙng duïng thoâng thöôøng nhaát cuûa kieåu caûm
bieán naøy laø caûm bieán chaát laøm nguoäi nhieät ñoä thaáp trong oâtoâ.
6.2.2 Maùy ño möùc kieåu lieân tuïc.
Caùc maùy ño möùc kieåu lieân tuïc cung caáp moät tín hieäu ra tyû leä vôùi möùc chaát loûng. Coù voâ soá
caùch thöïc hieän ñieàu ñoù. Hình 6.16 minh hoïa moät soá daïng maùy ño kieåu naøy.
Hình 6.16 – Caùc phöông phaùp ño möùc kieåu lieân tuïc:

a). Kieåu phao vaø roøng roïc; b). Caûm bieán aùp suaát thuûy tónh.
Caûm bieán ño möùc kieåu phao. Ngaøy nay maëc duø ñaõ saün coù nhieàu coâng ngheä caûm bieán ño
möùc tieân tieán, song trong nhieàu öùng duïng cuï theå vaãn thoâng duïng phöông phaùp ño möùc kieåu
phao coå ñieån. ÔÛ ñaây chuùng ta khaûo saùt moät caùch khaùi quaùt phöông phaùp naøy (xem hình 6.16
a). Moät trong nhöõng phöông aùn ño tröïc tieáp thoâng duïng nhaát (ñöôïc duøng trong bình gas xe oâtoâ)
laø moät caùi phao gaén keát vôùi moät caûm bieán vò trí.
Nguyeân lyù phöông phaùp: Chæ thò möùc theo vò trí töông ñoái cuûa phao noåi treân maët chaát loûng.
Hình 6.17 minh hoïa nguyeân lyù caùc phöông aùn caûm bieán möùc chaát loûng kieåu phao. Boä phaäân
chæ thò coù theå laø chæ thò kim hoaëc bieán ñoåi goùc quay thaønh tín hieäu ñieän hay khí neùn. Ñeå
truyeàn thoâng tin möùc ñi xa, coù theå duøng heä selsyn (truïc selsyn phaùt gheùp noái vôùi tang quay cuûa
boä phaän ñoäng, coøn truïc cuûa selsyn thu gaén vôùi cô caáu ñeám).
Ñaëc ñieåm:
o Thieát bò phao (a) duøng ño möùc nhoû coù ñöôøng kính (80  200)[mm]; thieát bò phao (b) duøng
ño möùc nhoû coù phaïm vi ño (-10  +10)[mm] ñeán (-200  +200)[mm], caáp chính xaùc 1,5; thieát
bò phao (d) duøng ño möùc coù phaïm vi ño (0  12)[m] ñeán (0  20)[m], sai soá tuyeät ñoái cuûa
pheùp ño laø (  1,0  10 )[mm].
Hình 6.17 – Sô ñoà nguyeân lyù caùc phöông aùn caûm bieán möùc kieåu phao.
Caûm bieán thuûy tónh hydrostatic. Pheùp ño möùc söû duïng aùp suaát thuûy tónh vi sai döïa treân cô sôû
nguyeân lyù laø söï sai bieät aùp suaát thuûy tónh giöõa ñoaïn ñaàu vaø ñaùy cuûa moät coät chaát loûng coù
quan heä vôùi maät ñoä vaø ñoä cao cuûa coät chaát loûng (xem hình 6.16b).
Caùc boä truyeàn daãn aùp suaát coù saün ñöôïc caáu hình cho caùc öùng duïng kieåm tra möùc. Caùc maùy
ño aùp suaát cuõng coù theå laép ñaët töø xa remote. Tuy nhieân, ñieàu ñoù ñoøi hoûi phaûi tieán haønh hieäu
chuaån boä truyeàn daãn taïi hieän tröôøng ñeå buø tröø nhöõng sai bieät baäc thang giöõa caûm bieán vaø
möùc caàn ño.
206
Caùc maùy ño möùc thuûy tónh kieåu boït bubbler type ñaõ ñöôïc phaùt trieån ñeå duøng vôùi aùp suaát khí
quyeån saâu döôùi maët ñaát cuûa caùc beå chöùa, cuûa haàm chöùa raùc phaân vaø caùc öùng duïng khaùc
khoâng theå coù boä truyeàn daãn ñöôïc laép vaøo döôùi möùc caàn caûm bieán, hay coù khuynh höôùng bò
bít laïi. Caùc heä kieåu boït ñeå xì ra moät löôïng nhoû hôi (hay khí gas) qua moät oáng nhuùng trong chaát
loûng, coù ñaàu ra naèm ngang hay thaáp hôn möùc kieåm tra. Vaän toác khí ñöôïc ñieàu chænh sao cho coù
theå boû qua toån thaát aùp suaát khí trong oáng vaø aùp suaát keát cuïc ôû ñieåm baát kyø trong oáng vaãn
xaáp xæ baèng ñaàu doø thuûy tónh cuûa chaát loûng trong beå chöùa.
Ñoä chính xaùc cuûa caùc maùy ño möùc kieåu thuûy tónh coù lieân quan vôùi ñoä chính xaùc cuûa caûm
bieán aùp suaát ñöôïc söû duïng.
Caùc boä truyeàn daãn aùp suaát vi sai linh hoaït (smart differential-pressure DP) coù theå thích öùng vôùi
caùc pheùp ño möùc vaø ñang ñöôïc duøng roäng raõi trong coâng nghieäp, taïo ra tính phoå bieán trôû laïi
cuûa coâng ngheä caûm bieán naøy. Boä truyeàn daãn linh hoaït vaø caùc tín hieäu ñieän 4  20 mA ñöôïc
duøng ñeå truyeàn thoâng tôùi/töø caùc heä ñieàu khieån töø xa (remote Distributed Control Systems DCSs),
caùc boä ñieàu khieån logic laäp trình ñöôïc (Programmable Logic Controllers PLCs), vaø caùc heä ñieàu
khieån khaùc. Kyõ thuaät ño beå chöùa thuûy tónh ( Hydrostatic Tank Gauging HTG) laø moät öùng duïng
söû duïng coâng ngheä naøy ñeå ño moät caùch chính xaùc tröõ löôïng chaát loûng vaø kieåm tra söï truyeàn
chuyeån cuûa beå chöùa. Caùc pheùp ño möùc coù theå truyeàn maïng soá lieäu ñeå tieáp caän maùy tính töø
xa.
ÔÛ ñaây ta khaûo saùt nguyeân lyù aùp suaát thuûy tónh vi sai ño möùc chaát loûng baèng moät ví duï cuï
theå ño aùp suaát ôû ñaùy cuûa beå chöùa (xem hình 6.16b). Phöông phaùp naøy döïa treân thöïc teá laø aùp
suaát ôû ñaùy beå (goïi laø aùp suaát thuûy tónh head) tyû leä thuaän vôùi möùc chaát loûng, nhö theå hieän
trong bieåu thöùc (6.11).
P  d .H ; (6.11)
ôû ñaây: P – aùp suaát ño ñöôïc ôû ñaùy beå (aùp suaát thuûy tónh head); d – tyû troïng chaát loûng (troïng
löôïng chaát loûng treân moät ñôn vò theå tích); H – chieàu cao coät nöôùc trong beå.
Ví duï: Haõy tính aùp suaát thuûy tónh ôû ñaùy beå chöùa 10 feet nöôùc.
Giaûi: Ñeå söû duïng bieåu thöùc (6.11) ta phaûi bieát tyû troïng chaát loûng (thöôøng coù theå tìm thaáy
trong saùch tra cöùu). Tyû troïng cuûa nöôùc laø khoaûng 64 lb/ft 3 .
P  d .H  64[lb / ft 3 ].10[ ft ]  640[lb / ft 2 ] .
Coù theå chuyeån ñoåi keát quûa naøy sang ñôn vò aùp suaát [psi] (töùc laø baèng [lb/in. 2 ]):
1[ ft 2 ]
640[lb / ft 2 ].  4,44[lb / in.2 ] .
144[in.2 ]
Ta coi aùp suaát ño laø 4,44 [psi], coù nghóa laø aùp suaát ôû ñaùy beå lôùn hôn aùp suaát ôû beà maët. Aùp
suaát tuyeät ñoái ôû ñaùy beå seõ baèng:
4,44 [psi] + 14,7 [psi] = 19,1 [psi]
(Aùps. ño) (Aùps. mtröôøng) (Aùps. tuyeät ñoái)
Hình 6.18 – Caùc phöông phaùp ño möùc kieåu lieân tuïc:

c). PP caân beå chöùa; d). PP ñieän cöïc ño R hoaëc C; e). Kieåu sieâu aâm.
Caùc phöông aùn ño möùc kieåu lieân tuïc khaùc trình baøy treân hình 6.18. Vieäc kieåm tra troïng löôïng
chaát loûng baèng caùc teá baøo taûi troïng load cells laø moät kyõ thuaät khaùc coù theå duøng ñeå xaùc
ñònh möùc chaát loûng (hình 6.18c). Khi ñoù coù theå tính ñöôïc möùc chaát loûng neáu bieát ñöôøng kính
vaø troïng löôïng cuûa beå chöùa (roãng) vaø tyû troïng cuûa chaát loûng. Löu yù raèng troïng löôïng toaøn
boä cuûa beå chöùa laø toång cuûa caùc troïng löôïng ñöôïc baùo veà töø caùc teá baøo taûi troïng.
207
Moät soá maùy ño coù theå phaùt hieän möùc chaát loûng moät caùch tröïc tieáp. Maùy ño trong hình 6.18d
ñôn giaûn chæ laø hai ñieän cöïc ñaët ñöùng beân trong beå. Tín hieäu ra cuûa maùy, coù theå ñöôïc
khuyeách ñaïi vaø xöû lyù tieáp baèng caùch naøo ñoù, hoaëc laø trò soá ñieän trôû hay trò soá ñieän dung
tyû leä vôùi möùc caàn ño. Tuy nhieân ôû ñaây öùng duïng nguyeân lyù maø ngaøy nay ñaõ ñöôïc phaùt
trieån thaønh phöông phaùp caûm bieán kieåu ñieän dung. Ta seõ khaûo saùt cuï theå hôn veà noù.
Caûm bieán ño möùc kieåu ñieän dung. Nguyeân lyù phöông phaùp laø döïa vaøo söï thay ñoåi ñieän dung
cuûa caûm bieán theo möùc chaát loûng nhö laø chaát ñieän moâi cuûa tuï ñieän bieán dung. Ñieän dung cuûa
moät tuï ñieän hình truï troøn laø:
H
C  2 . . 0 . ; (6.12)
ln  D d 
ôû ñaây:  - haèng soá ñieän moâi cuûa chaát loûng;  0 - haèng soá ñieän moâi töông ñoái; H – chieàu cao
baûn cöïc; D, d – ñöôøng kính ngoaøi vaø ñöôøng kính trong cuûa baûn cöïc.
Hình 6.19 giôùi thieäu nguyeân lyù caáu taïo moät soá caûm bieán ñieän dung ño möùc.
Hình 6.19 – Caùc phöông aùn caûm bieán ñieän dung ño möùc chaát loûng caùch ñieän.
Boä phaän caáu thaønh chuû yeáu cuûa caûm bieán ñieän dung kieåu naøy laø caáu hình tuï ñieän. Tuï ñieän
(a) laø hai baûn cöïc ñoàng truïc coù hình truï troøn. Tuï ñieän (b) coù caáu taïo bình kín chöùa chaát ñieän
moâi khaùc chaát loûng. Phöông aùn (c) coù theâm tuï buø nhuùng chìm trong chaát loûng ñeå buø aûnh
höôûng nhieät ñoä cuûa chaát loûng leân keát quaû ño. Maïch ño thöôøng laø sô ñoà caàu ño ñieän dung.
Ñaëc ñieåm:
o Caáp chính xaùc 0,5; 1,0; 2,5.
Caûm bieán ño möùc kieåu sieâu aâm.
Caùc caûm bieán ño möùc kieåu sieâu aâm phaùt xaï caùc soùng aâm, vaø beà maët chaát loûng phaûn xaï
soùng aâm trôû laïi nguoàn. Thôøi gian truyeàn chuyeån tyû leä vôùi khoaûng caùch giöõa beà maët chaát
loûng vaø maùy phaùt. Caùc caûm bieán naøy laø lyù töôûng ñoái vôùi vieäc caûm bieán khoâng tieáp xuùc
duøng ño möùc cuûa caùc chaát loûng daïng seät nhö daàu naëng, muû caây, keo nhöïa toång hôïp, vaø buøn,
phaân boùn. Trong thöïc teá, ñoái vôùi phöông phaùp naøy coù nhöõng haïn cheá sau:
 Boït noåi treân beà maët chaát loûng coù theå haáp thuï soùng aâm.
 Toác ñoä aâm thanh thay ñoåi theo nhieät ñoä.
 Söï chaûy roái coù theå gaây neân vieäc ñoïc chæ soá khoâng chính xaùc.
Hình 6.18e giôùi thieäu moät heä caûm bieán möùc tröïc tieáp döïa treân cô sôû phöông phaùp caûm bieán
sieâu aâm. Heä naøy duøng moät maùy doø sieâu aâm laép beân treân beå chöùa. Troïn boä keå caû maùy
phaùt sieâu aâm vaø boä phaän ñieän töû coù theå mua nhö caùc module vaø khoâng ñaét tieàn laém.
Caûm bieán kieåu ñieän dung cao taàn RF.
Caùc maùy phaùt ñieän dung cao taàn RF Capacitance Level Transmitters hoaït ñoäng theo nguyeân lyù laø
maïch ñieän dung coù theå ñöôïc taïo ra giöõa ñaàu doø probe vaø thaønh bình. Ñieän dung thay ñoåi theo söï
thay ñoåi möùc chaát loûng, bôûi vì moïi chaát loûng noùi chung ñeàu coù haèng soá ñieän moâi cao hôn
khoâng khí. Ñaàu doø noái vôùi moät maùy phaùt taàn soá radio ñöôïc laép beân ngoaøi beå chöùa. Söï
truyeàn daãn möùc ño coù theå ôû nhieàu daïng khaùc nhau, vaø thieát bò thu nhaän coù theå laø maùy tính
PC, boä veõ ñoà thò chart recorder, hay moät heä ñieàu khieån kieåu phaân boá (Distributed Control System
DCS), moät boä ñieàu khieån logic laäp trình ñöôïc (PLC), vv… Caùc caûm bieán naøy raát coù ích trong
vieäc caûm bieán möùc cuûa caùc ñoái töôïng ña daïng, cuûa caùc chaát nöôùc loûng hay seät höõu cô vaø
caùc chaát buøn, chaát loûng hoaù hoïc nhö voâi soáng quicklime.
Coøn coù caùc caûm bieán möùc kieåu ñaàu doø ñieän dung keùp coù theå duøng ñeå caûm bieán maët tieáp
giaùp giöõa hai chaát loûng coù haèng soá ñieän moâi khaùc nhau. Caùc caûm bieán naøy thoâ cuïc, deã söû
duïng, khoâng coù boä phaän chuyeån ñoäng, deã laøm saïch. Chuùng coù theå ñöôïc thieát keá cho nhöõng
öùng duïng ôû nhieät ñoä vaø aùp suaát cao. Chuùng laø nhöõng bieán daïng cuûa caùc heä döïa treân cô sôû
cao taàn Radio Frequency RF goïi laø trôû khaùng cao taàn Impedance RF vaø daãn naïp cao taàn Admittance
208
RF. (Trôû khaùng laø ñieän trôû toaøn phaàn ñoái vôùi doøng chaûy ôû maïch xoay chieàu AC hay cao taàn
RF; daãn naïp laø trò nghòch ñaûo cuûa trôû khaùng vaø laø thöôùc ño möùc ñoä deã daøng löu thoâng doøng
trong maïch). Nhöõng kyõ thuaät naøy cung caáp moät soá caûi tieán phöông phaùp döïa treân cô sôû ñieän
dung cao taàn, keå caû khaû naêng hieän thöïc hoaù toát hôn vaø phaïm vi öùng duïng roäng raõi hôn.
Caûm bieán töø giaûo.
Töø giaûo laø hieän töôïng moät vaät ñaët trong tröôøng töø seõ chòu taùc duïng öùng suaát keùo hay neùn.
Ñoái vôùi caùc chaát saét töø, caùc löïc taùc duïng naøy ñuû lôùn coù theå laøm vaät bò bieán daïng. Caùc
maùy phaùt töø giaûo ño möùc Magnetostrictive Level Transmitters (hình 6.20) döïa treân nguyeân lyù laø
söû duïng moät töø tröôøng ngoaøi ñeå taïo neân moät soùng ñieän-töø phaûn xaï trong oáng daãn soùng
laøm baèng vaät lieäu töø giaûo.
Ñaàu doø ñöôïc taïo thaønh töø ba phaàn töû ñoàng taâm. Phaàn töû ngoaøi cuøng laø moät oáng baûo veä
phía ngoaøi. Beân trong oáng baûo veä ngoaøi laø ñöôøng oáng daãn soùng, laø phaàn töû ñöôïc taïo daùng
laøm baèng vaät lieäu töø giaûo. Moät xung ñieän nhoû thaêm doø ñöôïc taïo ra trong boä phaän ñieän töû
cuûa maùy phaùt vaø phaùt ra oáng daãn soùng, taïo ra moät tröôøng ñieän-töø doïc theo chieàu daøi cuûa
ñöôøng oáng. Khi töø tröôøng naøy töông taùc vôùi töø tröôøng vónh cöûu cuûa moät nam chaâm laép beân
trong phao, gaây neân moät xung xoaén thaúng torsional strain pulse, hoaëc taïo neân ñöôøng daãn soùng
chaäp ñoâi waveguide twist.
Ñöôøng daãn soùng chaäp ñoâi naøy ñöôïc phaân taùch nhö xung hoài veà. Khoaûng thôøi gian giöõa thôøi
ñieåm phaùt xung thaêm doø ban ñaàu vaø thôøi ñieåm phaùt hieän xung hoài veà ñöôïc duøng ñeå xaùc ñònh
möùc ño vôùi khaû naêng thöïc hieän vaø ñoä chính xaùc cao.
Hình 6.20 – Caûm bieán ño möùc kieåu töø giaûo.
Trong thaäp kyû gaàn ñaây, coâng ngheä vi soùng hay vieãn thaùm radar duøng ño möùc ñaõ trôû neân
thoâng duïng hôn nhieàu. Ñaây laø moät lónh vöïc phaùt trieån nhanh. Moät caùch chính thöùc, coâng ngheä
naøy chæ môùi ñöôïc söû duïng cho nhöõng öùng duïng coù ñoä chính xaùc cao, nhöng söï phaùt trieån cuûa
caùc kyõ thuaät môùi vaø saûn xuaát loaït ñaõ ñöa coâng ngheä radar trôû thaønh coù khaû naêng caïnh tranh
ñoái vôùi nhieàu kyõ thuaät öùng duïng khaùc.
Caûm bieán möùc kieåu radar vi soùng.
Taát caû caùc kieåu ño möùc radar söû duïng nguyeân lyù cô sôû laø phoùng ra caùc luoàng vi soùng töø
caûm bieán ñaët ôû ñaàu beå chöùa hoaëc caùc daïng bình chöùa khaùc; moät phaàn naêng löôïng phaûn xaï
ngöôïc trôû laïi caûm bieán töø beà maët cuûa chaát ñöôïc ño. Khoaûng thôøi gian chaïy cuûa tín hieäu ñöôïc
duøng laøm thöôùc ño möùc.
Maùy doø möùc radar coù theå chia ra thaønh hai lónh vöïc lôùn:
 Radar qua khoâng khí; vaø:
 Radar daãn soùng (guided wave radar GWR), coøn goïi laø radar xung vi soùng (microwaver impulse
radar MIR).
Loaïi caûm bieán radar qua khoâng khí coù theå ñöôïc phaân tieáp ra thaønh hai nhaùnh:
 Thôøi gian soùng xung; vaø:
 Soùng lieân tuïc ñieàu bieán taàn soá (frequency-modulated continuous wave FMCW).
209
Maëc duø caû hai phöông phaùp ñeàu duøng caùc tín hieäu vi soùng phoùng vaøo khoaûng khoâng phía treân
chaát caàn ño, vieäc xöû lyù tín hieäu hoài ñaùp, thao taùc vaø tính toaùn khoaûng caùch theo hai phöông
phaùp laø khaùc nhau.
Caûm bieán kieåu radar daãn soùng GWR.
Khoâng nhö caùc heä caûm bieán radar qua khí, caùc caûm bieán kieåu radar daãn soùng GWR laø moät
coâng ngheä soùng lan truyeàn invasive. Noù xuaát hieän töông töï nhö coâng ngheä caûm bieán daãn naïp
RF, nhöng khoâng coù nhöõng tính naêng nhö ñaõ neâu veà caùc cöïc trò aùp suaát, nhieät ñoä hay lôùp phuû
saûn phaåm cuûa coâng ngheä daãn naïp cao taàn RF.
Caùc xung naêng löôïng ñieän-töø ñöôïc phaùt xaï töø nguoàn maùy phaùt phoùng xuoáng ñöôøng daãn
soùng (moät ñöôøng caùp hoaëc thanh daãn). Khi tín hieäu ñaït tôùi ñieåm maø söï thay ñoåi haèng soá ñieän
moâi xaûy ra, thöôøng laø ôû beà maët cuûa chaát, phaàn naøo ñoù cuûa tín hieäu seõ phaûn hoài laïi. Do ñoù
löôïng tín hieäu hoài veà tyû leä vôùi sai bieät trong haèng soá ñieän moâi giöõa ñöôøng daãn soùng vaø chaát
caàn ño. Noùi ngaén goïn, caùc chaát coù tính ñieän moâi/ñieän daãn cao seõ cho tín hieäu hoài ñaùp maïnh
hôn.
Pheùp ño möùc töï noù laø moät haøm thôøi gian töø khi phaùt xaï tín hieäu ñieän-töø tôùi luùc keát cuïc
tieáng voïng echo ñöôïc thu laïi. Coâng ngheä radar naøy ñöôïc coi nhö radar ño phaûn xaï theo mieàn thôøi
gian (time domain reflectometry TDR). Söï lan truyeàn tín hieäu doïc theo ñöôøng daãn soùng laøm haïn cheá
nhöõng tieáng voïng giaû vaø giuùp giaûm thieåu toån thaát tín hieäu do buïi vaø hôi nöôùc. Cuõng nhö vaäy,
hoaït ñoäng caûm bieán cuõng coù theå thöïc hieän trong nhöõng öùng duïng coù söï thay ñoåi ñoä aåm hôi
nöôùc khoâng khí hoaëc söï bieán ñoäng haèng soá ñieän moâi cuûa saûn phaåm. Tuy nhieân, neân löu yù
raèng gioáng nhö moïi kieåu ñaàu doø radar, caùc vaät lieäu coù ñieän moâi thaáp coù theå gaây ra vaán ñeà.
Theâm vaøo ñoù, ñöôøng daãn soùng coù theå bò hö hoûng hay aên moøn.
Caùc heä ñeàu coù saün caùc ñöôøng daãn soùng ñôn hoaëc keùp, tuøy thuoäc vaøo öùng duïng. Caùc heä
ñöôøng daãn soùng keùp höôùng tôùi tính linh hoaït cao hôn moät chuùt vaø thích hôïp cho caùc pheùp ño
giao tieáp, caùc vaät lieäu coù ñieän moâi thaáp, hay nhöõng nôi coù boït noåi. Vò trí giao tieáp chaát loûng
ñöôïc xaùc ñònh baèng caùch duøng moät phaàn xung ñieän-töø ban ñaàu maø khoâng phaûn xaï laïi bôûi beà
maët cuûa pha treân. Naêng löôïng naøy tieáp tuïc xuoáng ñöôøng daãn soùng cho tôùi khi noù gaëp giao
tieáp chaát loûng/chaát loûng vaø moät soá phaàn traêm naøo ñoù cuûa noù seõ phaûn xaï laïi ñaàu doø. Phaûi
bieát ñöôïc haèng soá ñieän moâi cuûa pha phía treân ñeå thöïc hieän moät pheùp ño chính xaùc, bôûi vì caùc
boä phaän ñieän töû cuûa ñaàu doø phaûi buø tröø söï thay ñoåi toaøn phaàn trong vaän toác cuûa xung ñieän-
töø khi ñi qua pha phía treân, bôûi noù seõ khaùc vôùi toác ñoä tín hieäu khi ñi qua khoaûng khoâng.
Caûm bieán kieåu radar qua khoâng khí.
Caûm bieán radar xung löôïng pulsed radar, hay thôøi gian chaïy cuûa tín hieäu xung pulsed time-of-flight,
cuõng gioáng nhö phöông phaùp sieâu aâm duøng ño möùc. Moät xung radar ñöôïc phaùt tôùi beà maët cuûa
chaát caàn ño vaø khoaûng thôøi gian ñeå xung trôû veà ñöôïc duøng ñeå xaùc ñònh möùc. Phöông phaùp
naøy duøng ít coâng suaát hôn kieåu soùng lieân tuïc ñieàu bieán taàn soá FMCW nhöng hoaït ñoäng cuûa
noù coù theå bò aûnh höôûng bôûi boït noåi, nhöõng vaät caûn trong bình chöùa, vaø caùc vaät lieäu coù
ñieän moâi thaáp.
Caùc heä FMCW laø khoâng xaâm thöïc vaø lieân tuïc phaùt xaï tín hieäu taàn soá queùt. Trong kieåu coâng
ngheä radar naøy khoaûng caùch ñöôïc ruùt ra töø söï khaùc bieät trong taàn soá giöõa tín hieäu phaùt vaø tín
hieäu thu ôû baát kyø thôøi ñieåm naøo. Maëc duø kyõ thuaät naøy cho moät pheùp ño quy naïp inferential,
noù coù theå laø pheùp ño cöïc kyø chính xaùc. Möùc ño do xöû lyù tín hieäu keát hôïp vôùi caùc ñaàu ño
radar FMCW vaø nhöõng yeâu caàu veà coâng suaát ñöa tôùi keát luaän laø caùc ñaàu doø hai daây kieåu
naøy chæ phuø hôïp vôùi nhöõng öùng duïng ñôn giaûn, ña soá caùc öùng duïng khaùc ñoøi hoûi duïng cuï
boán daây.
Vieäc löïa choïn kieåu antenna vaø kích côõ thích hôïp laø yeáu toá quan troïng ñeå nhaän ñöôïc moät chuøm
tia hoäi tuï focused beam vaø soùng phaûn hoài return echo töông öùng. Caû hai loaïi antenna hình noùn cone
vaø daïng ñóa parabolic dish antennas ñeàu ñöôïc duøng trong kyõ thuaät caûm bieán qua khoâng khí. Caùc
antenna hình noùn coù xu höôùng giöõ tín hieäu trong ñöôøng truyeàn heïp, höôùng xuoáng; trong khi caùc
antenna daïng ñóa parabolic höôùng tôùi vieäc taïo ra moät ñöôøng truyeàn tín hieäu roäng. Caùc yeáu toá
nhö boït noåi trong beå chöùa, caùc vaät caûn, vaø söï chaûy roái coù theå aûnh höôûng tôùi vieäc löïa choïn
kieåu vaø kích côõ antenna.
6.2.3 Löïa choïn coâng ngheä caûm bieán möùc.
210
Khi löïa choïn moät phöông phaùp cho moät öùng duïng cuï theå naøo ñoù, phaûi chuù yù ñeán nhieàu yeáu
toá ngoaøi gía thaønh ban ñaàu. Nhöõng yeáu toá quan troïng nhaát veà öùng duïng ño möùc maø caùc nhaø
saûn xuaát caûm bieán caàn thieát laø:
 Teân vaø caùc ñaëc tröng cuûa vaät lieäu caàn ño, lieäu coù phaûi laø chaát raén hay chaát loûng,
daïng seät, daïng boät, hay daïng haït. Haèng soá ñieän moâi K laø ñaëc tính quan troïng ñaëc bieät,
cuõng nhö maät ñoä, ñoä nhôùt, ñoä daãn ñieän, vaø tính töông thích (daàu môõ, chaát nöôùc, vv…).
 Thoâng tin quaù trình, nhö aùp suaát vaø nhieät ñoä, möùc ñoä chaûy roái, vaät lieäu beå hoaëc bình
chöùa.
 Nhöõng yeâu caàu veà coâng suaát.
 Öùng duïng chuû yeáu cuûa bình chöùa coù chöùa vaät lieäu caàn ño (tích tröõ, taùch loïc nöôùc,
haàm chöùa, vv…), vaø kích côõ, hình daïng cuûa noù, vaø vò trí cuûa baát kyø vaät ngaên naøo
(neáu coù).
6.3 – ÑO ÑOÄ AÅM.

Khaùi nieäm chung.
Ñoä aåm ñöôïc xaùc ñònh nhö haøm löôïng hôi nöôùc trong khoâng khí hoaëc trong caùc chaát khí gases
khaùc. Theo thuaät ngöõ chuyeân moân thì ñoä aåm khoâng khí laø noàng ñoä hôi nöôùc trong khoâng khí.
Ñoä aåm thöôøng ñöôïc ño löôøng laø:
 Ñoä aåm tuyeät ñoái baèng khoái löôïng hôi nöôùc coù trong moät ñôn vò theå tích khoâng khí hay chaát
khí gas (tính ra [g/m 3 ]);
 Ñieåm söông dew point (nhieät ñoä vaø aùp suaát maø taïi ñoù chaát khí baét ñaàu tích tuï hôi nöôùc
thaønh chaát loûng);
 Ñoä aåm töông ñoái, hoaëc RH (Relative Humidity RH) laø tyû leä haøm löôïng hôi aåm moisture cuûa
khoâng khí so vôùi möùc hôi aåm baõo hoøa ôû cuøng nhieät ñoä vaø aùp suaát; noùi caùch khaùc, laø tyû
soá giöõa ñoä aåm tuyeät ñoái vôùi ñoä aåm cöïc ñaïi (khi hôi nöôùc baõo hoaø) ôû nhieät ñoä vaø aùp
suaát ñang xeùt. Ñoä aåm töông ñoái tính baèng [%RH].
Treân maët ñaát, haøm löôïng hôi nöôùc trong khoâng khí chieám töø 0,2% khoái löôïng (ôû nhöõng vó ñoä
cao) ñeán 2,5% khoái löôïng (ôû vuøng chí tuyeán). Trong ñieàu kieän khí haäu bình thöôøng, ñoä aåm töông
ñoái cuûa khoâng khí thích hôïp nhaát ñoái vôùi con ngöôøi laø vaøo khoaûng 40 – 60%.
Ñieåm söông laø nhieät ñoä maø moâi tröôøng caàn haï ñeán ñeå hôi nöôùc chöùa trong ñoù trôû thaønh baõo
hoaø (ñieàu kieän ñeå ñoïng laïi thaønh nöõng gioït söông). Khi ñoù trong khoâng khí (hay treân beà maët
nhöõng vaät tieáp xuùc vôùi khoâng khí) coù theå thaáy hôi nöôùc ngöng tuï thaønh gioït söông raát nhoû.
Bieát ñieåm söông, ta seõ xaùc ñònh ñöôïc ñoä aåm cuûa khoâng khí. Ñoä aåm töông ñoái caøng nhoû (trôøi
caøng khoâ hanh), thì ñieåm söông caøng thaáp hôn nhieät ñoä ñang coù. Khi ñoä aåm töông ñoái baèng
100% thì ñieåm söông truøng vôùi nhieät ñoä ñang coù.
Ñaõ coù thôøi ñoä aåm töông ñoái ñöôïc xaùc ñònh baèng caùch ño söï thay ñoåi hôi aåm haáp thuï trong
chaát luïa sink, toùc ngöôøi hair (aåm keá toùc, aåm keá bay hôi), vaø sau naøy laø trong chaát nylon vaø
caùc chaát toång hôïp khaùc. Caùc phöông phaùp cô hoïc ño ñoä aåm töông ñoái RH ñaõ ñöôïc neâu töø
nhöõng naêm 1940. Ngaøy nay ñaõ phaùt trieån caùc loaïi caûm bieán ñieän dung vaø trôû khaùng döïa treân
cô sôû caùc chaát polymer. Töø nhöõng naêm ñaàu 1960, nhöõng taám göông soi bò laøm laïnh ñaõ ñöôïc
duøng ñeå ño ñieåm söông, nhöng ngaøy nay söï phaùt trieån kyõ thuaät caûm bieán ñieän dung maøng
moûng thin film capacitive sensors cho pheùp ño ñieåm söông ôû nhieät ñoä thaáp côõ -40  C maø giaù
thaønh thaáp vaø ñoä chính xaùc cao hôn nhieàu.
Ñoä aåm khoâng khí laø moät trong nhöõng ñaëc tröng quan troïng nhaát cuûa khí haäu vaø coù yù nghóa
quan troïng ñoái vôùi moät soá quaù trình coâng ngheä. Trong khí quyeån, ñoä aåm toàn taïi trong phaïm vi
raát roäng (töø vaøi phaàn trieäu ppm ñeán hôi nöôùc baõo hoaø ôû 100  C ), trong khoaûng nhieät ñoä lôùn
(töø -60 ñeán 1000  C ), coù theå laãn taïp chaát vaø hoaù chaát khaùc nhau. Ñoä aåm chaát loûng laø haøm
löôïng nöôùc trong caùc chaát loûng khi nöôùc khoâng phaûi laø thaønh phaàn caáu taïo cô baûn, nhö haøm
löôïng nöôùc trong daàu moû, trong röôïu …
Caùc thoâng soá quan troïng ñaëc tröng laø:
 Aùp suaát hôi baõo hoaø p S (T) – aùp suaát hôi nöôùc ôû traïng thaùi caân
baèng vôùi nöôùc theå loûng ôû nhieät ñoä T naøo ñoù, vöôït quaù giaù trò naøy seõ xaûy ra quaù trình
ngöng tuï.
 Ñoä aåm tuyeät ñoái cuûa khoâng khí baèng löôïng hôi nöôùc coù trong moät
ñôn vò theå tích khoâng khí (tính ra g / m 3 ).
211
 Ñoä aåm töông ñoái RH% - tyû soá aùp suaát rieâng cuûa hôi nöôùc pV vaø
aùp suaát hôi baõo hoaø p S (T) ôû nhieät ñoä T:
pV
RH %  .100% . (6.13)
p S (T )
Thoâng soá naøy ñöôïc ño baèng aåm keá ñieän trôû vaø aåm keá ñieän dung.
 Nhieät ñoä taïo söông Td [%] – nhieät ñoä laøm laïnh khoâng khí ñeå ñaït
traïng thaùi hôi nöôùc baõo hoaø, sao cho pV  p S (T ) . Thoâng soá naøy ñöôïc ño baèng aåm keá ngöng
tuï, aåm keá haáp thuï, aåm keá oxit nhoâm, aåm keá ñieän ly.
 Nhieät ñoä aåm Th [  C ] – nhieät ñoä caân baèng cuûa moät khoái löôïng
nöôùc hoaù hôi töï nhieân vôùi khoâng khí. Thoâng soá naøy ñöôïc ño baèng hygrometers.
Phaân loaïi aåm keá. Aåm keá laø duïng cuï xaùc ñònh ñoä aåm cuûa caùc chaát khí, loûng vaø raén, keå
caû caùc chaát raén ôû theå rôøi (haït). Ñeå ño ñoä aåm cuûa khoâng khí ngöôøi ta duøng aåm keá söông, aåm
keá toùc vaø aåm keá bay hôi. Ñeå ño ñoä aåm cuûa chaát loûng, ngöôøi ta duøng aåm keá ñieän dung hoaëc
aåm keá ñieän daãn. Ñeå ño ñoä aåm chaát khí, ngöôøi ta duøng aåm keá huùt aåm ñieän hoùa coù gaén thieát
bò boác hôi. Ñeå ño ñoä aåm chaát raén ngöôøi ta duøng nhöõng aåm keá ñieän dung, ñieän daãn, ñoàng vò
phoùng xaïvaø caû aåm keá haáp thuï coäng höôûng.
Coù theå phaân loaïi caûm bieán ñoä aåm theo nguyeân lyù chuû yeáu:
 Theo nguyeân lyù vaät lieäu caûm bieán coù nhöõng ñaëc tính lieân quan vôùi
ñoä aåm: caûm bieán ñieän dung capacitive, ñieän trôû resistive, vaø nhieät daãn thermal conductivity.
 Theo nguyeân lyù vaät lyù xaùc ñònh ñoä aåm tröïc tieáp: aåm keá ngöng tuï,
aåm keá ñieän ly.
Nhöõng phaùt trieån ngaøy nay trong coâng ngheä vaät lieäu baùn daãn ñaõ hieän thöïc hoaù caùc caûm bieán
ñoä aåm theo nguyeân lyù vaät lieäu öùng duïng nhö caûm bieán ñieän dung, ñieän trôû hay nhieät daãn, …
coù ñoä chính xaùc cao, laâu beàn vaø hieäu quûa giaù thaønh. Caùc caûm bieán ño ñoä aåm chaát khí (nitô,
hydro, metan, CO2 , freon, …), chuû yeáu ño ñoä aåm khoâng khí khoâ trong coâng nghieäp cheá taïo linh
kieän ñieän töû, trong kyõ thuaät ñieàu hoøa khoâng khí laïi thöôøng duøng caùc caûm bieán theo nguyeân
lyù vaät lyù nhö ngöng tuï hôi nöôùc, ñieän ly, … ÔÛ ñaây chuùng ta seõ khaûo saùt caùch thöùc caáu truùc
moãi loaïi caûm bieán vaø caùch söû duïng chuùng ño ñoä aåm.
6.3.1 Caùc coâng ngheä vaø kieåu daïng caûm bieán.

AÅm keá ñieän ly.
Nguyeân lyù hoaït ñoäng döïa treân cô sôû töông quan tyû leä doøng ñieän ñieän phaân I trong oáng caûm
bieán vôùi noàng ñoä hôi nöôùc  V trong chaát khí ñi qua oáng bò chaát P2 O5 haáp thuï, gaây neân hieän
töôïng ñieän phaân:
96500
I   .QC . V  k . V ; (6.14)
9000
ôû ñaây QC , [ m 3 / s ] – löu löôïng chaát khí ñi qua oáng.
Caáu taïo (hình 6.21). Boä phaän caáu thaønh chuû yeáu laø oáng ño (daøi khoaûng 10 [cm]) cho chaát khí
caàn ño ñoä aåm chaïy qua. Trong oáng quaán hai daây Pt hay Rh laøm ñieän cöïc coù ñieän aùp moät chieàu
côõ 70[V], giöõa hai daây cuoán laø chaát P2 O5 . Khi chaát khí chaïy qua oáng, hôi nöôùc mang theo seõ bò
lôùp P2 O5 haáp thuï vaø ñieän phaân.
Hình 6.21 – Nguyeân lyù caáu taïo aåm keá ñieän ly.
Ñaëc ñieåm:
o Duøng ño ñoä aåm chaát khí (nitô, hydro, metan, CO2 , freon, …), chuû yeáu ño ñoä aåm khoâng khí
khoâ trong coâng nghieäp cheá taïo linh kieän ñieän töû.
212
o Thôøi gian hoài ñaùp phuï thuoäc chieàu höôùng taêng giaûm ñoä aåm chaát khí: ñoä aåm taêng (100
 1000) [ppm] thì thôøi gian ñaùp öùng Tr <30 [s]; ñoä aåm giaûm(1000  100) [ppm] thì thôøi gian
ñaùp öùng taêng, coù theå tôùi vaøi phuùt.
o Aùp suaát chaát khí löu thoâng qua oáng ño (1,7  8,0) [ kg / cm 2 ], thöôøng coù boä loïc khí ñaët ôû
ñaàu vaøo.
o Caàn ñònh kyø taùi sinh chaát dung moâi P2 O5 duø chuùng töï ñoäng taùi sinh trong quaù trình
ñieän phaân, tuøy theo ñieàu kieän söû duïng vaø ñoä saïch chaát khí.
Caùc caûm bieán ñieän dung ño ñoä aåm töông ñoái RH.
Nguyeân lyù caûm bieán thoâng duïng nhaát laø söï thay ñoåi trôû khaùng, döïa treân cô sôû bieán ñoåi ñaëc
tính trôû khaùng ñieän cuûa chaát huùt aåm theo löôïng nöôùc haáp thuï, laø haøm oån ñònh tuyeán tính vaø
coù tính thuaän nghòch.
Veà nguyeân lyù caáu taïo coù theå chia thaønh ba nhoùm: Aåm keá ñieän trôû; aåm keá tuï ñieän coù ñieän
moâi polyme; aåm keá tuï ñieän coù ñieän moâi oxit nhoâm Al 2 O3 .
Caùc caûm bieán ñieän dung ño ñoä aåm töông ñoái RH ñöôïc öùng duïng roäng raõi trong coâng nghieäp,
thöông maïi vaø caùc öùng duïng quan traéc khí töôïng töø xa. Chuùng vöôït troäi trong caû hai lónh vöïc ño
löôøng khí quyeån vaø ño löôøng quaù trình coâng ngheä, vaø laø loaïi maùy ño toaøn thang ño ñoä RH duy
nhaát coù khaû naêng hoaït ñoäng chính xaùc tôùi taän 0% ñoä RH. Nhôø coù ñaëc tính kyõ thuaät ít chòu
aûnh höôûng nhieät ñoä neân chuùng thöôøng ñöôïc söû duïng trong phaïm vi nhieät ñoä roäng maø khoâng
phaûi buø nhieät tích cöïc.
ÔÛ caùc caûm bieán ñieän dung ño RH, söï thay ñoåi haèng soá ñieän moâi haàu nhö tyû leä thuaän vôùi ñoä
aåm töông ñoái cuûa moâi tröôøng. Ñieån hình laø ñieän dung thay ñoåi côõ (0,2  0,5) pF khi ñoä RH thay
ñoåi 1%. Ñieän dung theå khoái bulk capacitance laø khoaûng (100  500) pF ôû 50%RH vaø 25  C. Caùc
caûm bieán naøy coù heä soá nhieät ñoä thaáp vaø coù theå hoaït ñoäng ôû nhieät ñoä cao ñeán 200  C.
Chuùng coù theå chòu ñöïng söï bao phuû hoaøn toaøn bôûi caùc chaát ngöng tuï vaø coù khaû naêng choáng
caùc hôi hoaù chaát. Thôøi gian ñaùp öùng trong khoaûng töø 30 ñeán 60 giaây ñoái vôùi bieán thieân böôùc
nhaûy ñoä RH 63%.
Caûm bieán ñieän dung kieåu ñieän moâi polymer. Nguyeân lyù caûm bieán: Ñieän moâi trong tuï laø
chaát polyme haáp thuï phaân töû nöôùc, coù haèng soá ñieän moâi  phuï thuoäc ñoä aåm cuûa polymer.
Ñieän dung cuûa tuï ñieän laø:
A
C   . 0 . ; (6.15)
L
ôû ñaây: A – dieän tích baûn cöïc; L – ñoä daøy maøng polymer;  0 - haèng soá ñieän moâi töông ñoái (ñoái
vôùi chaân khoâng laø 8,85. 10 12 [F/m], ñoái vôùi nöôùc laø 80);  - haèng soá ñieän moâi cuûa polymer
(bieán thieân theo ñoä aåm töø 2 ñeán 6).
Caáu taïo (hình 6.22, xem theâm hình 6.23): Ñieän cöïc tantan, lôùp crom Cr daøy (100  10000)[ A ] phuû
leân lôùp polymer (baèng phöông phaùp bay hôi trong chaân khoâng).
Hình 6.22 – Caûm bieán ñieän dung polymer.

Ñaëc ñieåm:
o Ño ñoä aåm töông ñoái RH%, ít chòu aûnh höôûng nhieät ñoä moâi tröôøng, caûm bieán coù theå
nhuùng nöôùc.
o Phaïm vi ño (0  100)[%] trong daûi nhieät ñoä (-40  +80  +100)[  C ] vôùi ñoä chính xaùc  (2,0
 3,0)%; thôøi gian ñaùp öùng côõ vaøi giaây.
Caûm bieán ñieän dung kieåu ñieän moâi oxit nhoâm. Caáu taïo goàm moät ñieän cöïc laøm baèng nhoâm
taám, lôùp ñieän moâi chính laø beà maët taám nhoâm ñöôïc anode hoaù thaønh chaát ñieän moâi Al 2 O3
(coù chieàu daøy nhoû hôn 0,3 [ m ] ñeå khaéc phuïc aûnh höôûng aùp suaát rieâng cuûa hôi nöôùc leân trò
soá ñieän dung cuûa tuï), ñieän cöïc kia laø moät maøng kim loaïi moûng treân beà maët lôùp ñieän moâi.
Ñaëc ñieåm:
213
o Ño nhieät ñoä ñieåm söông, coù theå ño ñoä aåm tuyeät ñoái; kích thöôùc nhoû, nhöng caûm bieán
khoâng ñoàng nhaát, phi tuyeán, caàn hieäu chuaån rieâng vaø thieát bò ño thöù caáp phaûi ñöôïc
ñònh kyø kieåm chuaån, söû duïng trong moâi tröôøng traùnh aên moøn.
o Phaïm vi ño (-80  +70)[  C ] trong daûi aùp suaát roäng (töø chaân khoâng ñeán haøng traêm bar);
thôøi gian ñaùp öùng côõ vaøi giaây.
Caùc caûm bieán ñieän dung ño RH daïng polymer chòu nhieät (Thermoset Polymer-Based Capacitive)
phaùt hieän tröïc tieáp nhöõng thay ñoåi veà ñoä baõo hoaø töông ñoái relative saturation nhö laø söï thay
ñoåi ñieän dung cuûa caûm bieán vôùi thôøi gian ñaùp öùng nhanh, ñoä tuyeán tính cao, tính treã hysteresis
thaáp, vaø coù tính oån ñònh laâu beàn cöïc cao. Ñoä baõo hoaø töông ñoái cuõng gioáng nhö ñoä aåm töông
ñoái cuûa moâi tröôøng xung quanh khi nhieät ñoä cuûa caûm bieán baèng nhieät ñoä moâi tröôøng. Bôûi vì
thöôøng luoân nhö vaäy, neân khi ñoù söï thay ñoåi ñieän dung cuûa caûm bieán laø thöôùc ño söï thay ñoåi
ñoä RH. Nhöõng caûm bieán naøy söû duïng chaát polymer chòu nhieät ñöôïc cheá xuaát vaø thöû nghieäm
ôû quy moâ coâng nghieäp, coù caáu truùc ba lôùp ñieän dung, caùc ñieän cöïc platin vaø ñoái vôùi nhöõng
phöông aùn nhieät ñoä cao thì coøn coù boä chuaån hoùa tín hieäu ñieän aùp ra daïng vi maïch tích hôïp beân
trong chip (xem hình 6.23).
Hình 6.23 – Caûm bieán ñoä aåm töông ñoái RH ba lôùp ñieän dung vaø polymer chòu nhieät.
Khi hoaït ñoäng, hôi nöôùc trong lôùp ñieän moâi cuûa ñieän dung tích cöïc caân baèng vôùi chaát khí xung
quanh. Lôùp platin xoáp porous ngaên chaën chaát ñieän moâi khoûi bò nhöõng aûnh höôûng beân ngoaøi,
trong khi lôùp boïc polymer baûo veä choáng taùc ñoäng cô hoïc cho lôùp platin khoûi bò nhieãm baån bôûi
buïi baëm vaø daàu môõ. Lôùp baùm baån daøy ñaëc seõ laøm thôøi gian ñaùp öùng cuûa caûm bieán keùo
daøi, bôûi thôøi gian caân baèng hôi nöôùc trong caûm bieán cuõng seõ bò keùo daøi.
Caùc caûm bieán ñieän dung daïng polymer chòu nhieät thermoset-, ngöôïc laïi vôùi daïng chaát deûo noùng
thermoplastic-, cho pheùp nhieät ñoä vaän haønh cao hôn vaø chòu ñöïng ñöôïc caùc hoaù chaát loûng vaø
hôi nhö isopropyl, benzene, toluenne, formaldehydes, daàu moû, caùc chaát taåy thoâng duïng, vaø hôi
amoniaéc vôùi noàng ñoä thoâng thöôøng nhö trong chuoàng gaø, chuoàng heo. Theâm vaøo ñoù, caùc caûm
bieán ño RH daïng polymer chòu nhieät coù tuoåi thoï vaän haønh laâu beàn nhaát trong caùc quaù trình
coâng ngheä khöû truøng ethylenne oxide (ETO). Caùc caûm bieán ñieän dung polymer maøng moûng chòu
nhieät ñaõ chöùng toû laø loaïi caûm bieán coù nhöõng ñaëc tính ñaùp öùng haàu nhö lyù töôûng ñoái vôùi
ñoä RH, töông phaûn vôùi ñoä aåm tuyeät ñoái (töùc laø aùp suaát hôi nöôùc).
Ñaùp öùng naøy laø nhôø coù löïc G daãn ñoäng naêng löôïng töï do cho haáp thuï:
G  R.T . ln  P P0  ; (6.16)
ôû ñaây: G – löïc daãn ñoäng; R – haèng soá khí; T – nhieät ñoä moâi tröôøng ño; P – aùp suaát rieâng cuûa
hôi nöôùc; P0 – aùp suaát hôi nöôùc baõo hoaø.
P/ P0 baèng ñoä RH moâi tröôøng neáu nhieät ñoä caûm bieán baèng nhieät ñoä moâi tröôøng. Neáu nhieät
ñoä caûm bieán cuõng baèng T thì möùc baõo hoaø töông ñoái seõ ñöa ñaùp öùng cuûa caûm bieán leân ñeán
100%.
Caùc nghieân cöùu cuõng chæ ra raèng vieäc hieäu chuaån caûm bieán ñoä RH trong khoâng khí coù theå aùp
duïng cho pheùp ño ñoä baõo hoaø töông ñoái trong daàu trong phaïm vi 0,3% (keát quaû coù theå môû roäng
cho caùc hoaù chaát loûng töông ñöông khaùc).
Caùc caûm bieán ñoä aåm kieåu ñieän trôû.
Caáu taïo ñôn giaûn laø treân dieän tích nhoû cuûa ñieän trôû (vaøi mm 2 - ñeå coù ñaùp öùng nhanh) phuû
moät lôùp chaát huùt aåm, hai ñieän cöïc laøm baèng kim loaïi khoâng bò oxy hoaù. Maïch ño coù theå laø
moät maïch phaân aùp maéc noái tieáp ñieän trôû caûm bieán vôùi moät ñieän trôû buø nhieät ñoä. Maùy ño
coù theå khaéc vaïch tröïc tieáp ñoä aåm töông ñoái RH cuûa moâi tröôøng.
214
Ñaëc ñieåm:
o Ño ñoä aåm töông ñoái RH%, ít chòu aûnh höôûng oâ nhieãm moâi tröôøng, kích thöôùc nhoû (thôøi
gian ñaùp öùng côõ 10[s]), giaù thaønh thaáp.
o Phaïm vi ño (15  99)[%] trong daûi nhieät ñoä (-10  +60)[  C ] vôùi ñoä chính xaùc  2,0[%].
Caùc caûm bieán ñoä aåm kieåu ñieän trôû ño söï thay ñoåi trôû khaùng thöôøng coù quan heä haøm muõ
nghòch ñaûo vôùi ñoä aåm (hình 6.24). Moät caùch ñieån hình, ñoù laø pheùp ño söï thay ñoåi trôû khaùng
cuûa moät vaät lieäu nhö chaát polymer ñieän daãn conductive polymer, muoái, hoaëc chaát neàn ñaõ qua
cheá bieán treated substrate.
Caûm bieán ñoä aåm ñaàu tieân ñöôïc saûn xuaát loaït laø caûm bieán kieåu Dunmore. Ñöôïc cheá xuaát
naêm 1940, noù vaãn coøn ñöôïc söû duïng roäng raõi trong öùng duïng ñieàu khieån ñieàu hoøa khoâng khí
chính xaùc vaø kieåm tra caùc ñöôøng truyeàn daãn, caùc antenna vaø oáng daãn soùng duøng trong vieãn
thoâng.
Hình 6.24 – Quan heä giöõa söï thay ñoåi trôû khaùng theo ñoä aåm
Caùc caûm bieán ñoä aåm kieåu ñieän trôû môùi nhaát söû duïng kyõ thuaät phuû men söù ceramic coating
ñeå choáng laïi aûnh höôûng moâi tröôøng coù ngöng tuï hôi nöôùc. Caùc caûm bieán naøy ñöôïc caáu truùc
vôùi caùc ñieän cöïc kim loaïi quùy noble ñöôïc keát tuûa bôûi quaù trình quang trôû photoresist, vaø beà
maët chaát neàn ñöôïc phuû baèng hoãn hôïp gaén keát ñieän daãn polymer/ceramic. Caûm bieán ñöôïc ñaët
trong moät voû baûo veä baèng chaát deûo plastic.
Tính thay theá laép laãn laø hôn 3% ñoä RH treân suoát phaïm vi (15 – 95)% RH, trong khi ñoä chính xaùc
ñöôïc xaùc nhaän ôû möùc  2% RH. Khoaûng thôøi gian hoài phuïc recovery time ñoái vôùi caùc caûm
bieán ñieän trôû töø söï ngöng tuï hôi nöôùc hoaøn toaøn tôùi 30% laø vaøi phuùt. Ñieän aùp ra tyû leä thuaän
vôùi ñoä aåm töông ñoái cuûa moâi tröôøng neáu söû duïng boä chuaån hoaù tín hieäu. Ñoái vôùi ña soá caùc
caûm bieán ñieän trôû, thôøi gian ñaùp öùng laø töø 10 tôùi 30 giaây ñoái vôùi söï thay ñoåi böôùc nhaûy ñoä
aåm 63%, trong khi trôû khaùng bieán thieân trong phaïm vi töø 1 k  tôùi 100 M  .
Caùc caûm bieán ñoä aåm kieåu nhieät daãn thermal conductivity.
Caùc caûm bieán ñoä aåm kieåu nhieät daãn thermal conductivity (coøn goïi laø caûm bieán ñoä aåm tuyeät
ñoái) ño ñoä aåm tuyeät ñoái baèng caùch tính toaùn söï sai bieät giöõa ñoä nhieät daãn cuûa khoâng khí khoâ
vaø khoâng khí coù chöùa hôi nöôùc. Trong thöïc teá, caùc caûm bieán ñoä aåm kieåu naøy söû duïng moät
heä coù hai phaàn töû thermistors trong maïch caàu ño, coù khaû naêng laøm vieäc trong moâi tröôøng nhieät
ñoä cao hoaëc thaäm chí ngaäp nöôùc.
Caùc caûm bieán naøy ñöôïc caáu truùc baèng caùch duøng hai phaàn töû thermistor coù heä soá nhieät ñoä
aâm (NTC) trong moät maïch caàu ño. Moät trong caùc phaàn töû ñöôïc nhuùng trong chaát nitô khoâ, coøn
phaàn töû kia ñöôïc ñöa ra moâi tröôøng caàn ño (xem hình 6.25). Söï sai bieät ñieän trôû giöõa hai
thermistors tyû leä thuaän vôùi ñoä aåm tuyeät ñoái.
215
Hình 6.25 – Caûm bieán ñoä aåm kieåu nhieät daãn (hoaëc caûm bieán ñoä aåm töông ñoái).
6.3.2 Löïa choïn vaø ñaëc tính kyõ thuaät cuûa caùc caûm bieán ñoä aåm.
Phaàn tieàp theo ñaây seõ neâu nhöõng khaùc bieät giöõa caùc loaïi caûm bieán keå caû veà nhieät ñoä, ñoä
chính xaùc vaø khaû naêng thay theá laép laãn. Nhöõng öu nhöôïc ñieåm cuûa moãi loaïi cuõng ñöôïc neâu
baät.
Löïa choïn caûm bieán ñoä aåm. Nhöõng nhaän thöùc quan troïng khi choïn löïa caûm bieán ñoä aåm bao
goàm:
 Ñoä chính xaùc.
 Tính thay theá laép laãn.
 Tính laëp laïi ñaëc tính kyõ thuaät.
 Tính oån ñònh.
 Khaû naêng phuïc hoài sau ngöng tuï hôi nöôùc.
 Tính khaùng nhieãm taïp chaát, chaát baån.
 Kích côõ vaø bao goùi.
 Hieäu quaû giaù thaønh.
 Giaù thaønh thay theá caûm bieán.
 Hieäu chuaån.
 Tính phöùc hôïp vaø hieän thöïc hoaù quaù trình chuaån hoaù tín hieäu vaø maïch thu thaäp döõ lieäu.
Noùi chung, caùc ñieàu kieän moâi tröôøng ñoái vôùi moät öùng duïng ñaõ cho seõ chi phoái quyeát ñònh
vieäc choïn löïa caûm bieán naøo.
Löïa choïn caûm bieán RH kieåu ñieän dung. Caùc öùng duïng ñoái vôùi caûm bieán ñoä RH kieåu ñieän
dung chieám moät phaïm vi roäng, bao goàm:
 Caùc thieát bò beân trong oâtoâ nhö boä phaän choáng ñoùng baêng kính chaén gioù windshield
defroggers.
 Caùc maùy in maùy tính.
 Caùc thieát bò y teá nhö quaït thoâng gioù vaø loø aáp.
 Nhöõng öùng duïng daân duïng nhö loø vi soùng, tuû laïnh, maùy saáy quaàn aùo.
 HVAC.
 Caùc maùy thu vaø ghi löu döõ lieäu.
 Boä phaän phaùt hieän roø ræ.
 Caùc traïm khí töôïng.
 Thieát bò coâng nghieäp vaø xöû lyù thöïc phaåm.
 Buoàng thöû moâi tröôøng.
Tieáp nhaän nhöõng tieán boä nguyeân lyù cutting-edge trong lónh vöïc thieát keá cheá taïo chaát baùn daãn,
nhieàu caûm bieán ñieän dung ñaõ coù ñöôïc ñaëc tính ñoä troâi vaø ñoä treã drift and hysteresis toái thieåu
vaø laâu beàn. Vieäc öùng duïng coâng ngheä CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) trong
caùc boä phaùt xung ñònh thôøi timer pulses giuùp cho caûm bieán taïo ñöôïc tín hieäu ñieän aùp ra gaàn
tuyeán tính (xem hình 6.26).
Ñoä baát ñònh cuûa caûm bieán ñieån hình laø  2% RH trong phaïm vi ñoä RH töø 5% tôùi 95% söû
duïng hieäu chuaån hai ñieåm. Hieäu öùng ñieän dung cuûa ñöôøng caùp noái lieân quan vôùi nhöõng thay
ñoåi ñieän dung nhoû cuûa caûm bieán haïn cheá khoaûng caùch laép ñaët phaàn töû caûm bieán tôùi maïch
chuaån hoaù tín hieäu trong phaïm vi thöïc teá laø ngaén hôn 10 feet.
216
Vieäc ñieàu höôûng tinh laser trimming coù theå giaûm thieåu ñoä bieán ñoäng  2%, laøm taêng khaû
naêng thay theá laép laãn tröïc tieáp taïi hieän tröôøng.
Caùc chöông trình maùy tính hieäu chuaån laïi recalibration programs cuõng coù khaû naêng boå chính
compensating cho ñieän dung caûm bieán töø 100 ñeán 500 pF.
Hình 6.26 – Ñieän aùp ra cuûa caûm bieán coù boä ñònh thôøi CMOS.
Caùc caûm bieán RH kieåu ñieän dung laø khoâng tuyeán tính döôùi vaøi phaàn traêm ñoä RH, ñoù laø lyù
do taïi sao nhieàu caûm bieán trong caùc heä ño löôøng ñieåm söông laïi duøng caùc maïch vi xöû lyù ñeå löu
giöõ caùc döõ lieäu hieäu chuaån. Phaùt trieån naøy ñaõ giuùp giaûm giaù thaønh caùc maùy ño ñoä aåm
hygrometers vaø caùc maùy truyeàn phaùt trong HVAC vaø caùc öùng duïng thaùm baùo khí töôïng vieãn
thoâng.
Öu ñieåm:
 Ñieän aùp ra gaàn nhö tuyeán tính.
 Phaïm vi ño ñoä RH vaø dung sai ngöng tuï hôi nöôùc roäng.
 Tính thay theá laép laãn, neáu duøng ñieàu höôûng tinh baèng laser.
 Tính oån ñònh trong thôøi gian daøi söû duïng.
Nhöôïc ñieåm: Khoaûng caùch töø phaàn töû caûm bieán tôùi maïch chuaån hoaù tín hieäu bò giôùi haïn.
Löïa choïn caûm bieán ñoä aåm kieåu ñieän trôû.
Caùc caûm bieán kieåu ñieän trôû laø nhöõng caûm bieán ñoä aåm loaïi nhoû, giaù thaáp maø laïi coù ñoä
oån ñònh laâu beàn vaø tính thay theá laép laãn cao. Chuùng phuø hôïp cho nhieàu öùng duïng coâng
nghieäp, thöông maïi vaø daân duïng, ñaëc bieät laø trong kieåm tra vaø chæ thò chaát löôïng saûn phaåm.
Caùc caûm bieán ñieän trôû coù ñaùp öùng phi tuyeán ñoái vôùi söï thay ñoåi ñoä aåm, nhöng coù theå
tuyeán tính hoaù baèng caùc phöông phaùp töông töï analog hay phöông phaùp soá digital. Phaïm vi bieán
thieân ñieän trôû ñieån hình laø töø vaøi kilohm tôùi haøng traêm megaohm. Taàn soá kích thích ñònh möùc
laø töø 30 Hz ñeán 10 kHz.
Caùc caûm bieán ñoä RH coù tính thay theá laép laãn cao (trong phaïm vi  2% RH). Maïch ñieän töû
chuaån hoaù tín hieäu coù theå ñöôïc hieäu chuaån taïi moät ñieåm RH coá ñònh, haïn cheá söï caàn thieát
caùc chuaån ñoä aåm. Ñoä chính xaùc coù theå ñöôïc kieåm nghieäm taïi moät buoàng hieäu chuaån RH
hoaëc baèng moät heä hieäu chuaån duøng maùy tính tham chieáu tôùi moät moâi tröôøng tieâu chuaån. Caùc
caûm bieán kieåu ñieän trôû coù nhieät ñoä laøm vieäc ñònh möùc trong phaïm vi töø -40 tôùi +100  C.
Tuoåi thoï caûm bieán mong ñôïi laø ít hôn 5 naêm trong caùc öùng duïng thöông maïi vaø daân duïng, nhöng
söû duïng trong caùc ñieàu kieän baùm baån coù theå gaây ra nhöõng hoûng hoùc vónh vieãn. Caùc caûm
bieán kieåu ñieän trôû cuõng coù xu höôùng suy dôøi chæ soá shift values chæ thò trong quaù trình boäc loä
cho hôi nöôùc ngöng tuï khi söû duïng caùc lôùp phuû hoøa tan ñöôïc trong nöôùc.
Öu ñieåm:
 Khoâng caàn chuaån hieäu chænh, coù tính thay theá laép laãn cao vaø khaû naêng thay theá taïi hieän
tröôøng.
 Coù tính oån ñònh laâu beàn.
 Coù khaû naêng söû duïng töø nhöõng vò trí laép ñaët xa.
 Kích thöôùc nhoû.
 Giaù thaønh thaáp.
Nhöôïc ñieåm:
 Vieäc boäc loä vôùi hôi hoaù chaát vaø baùm baån coù theå gaây neân nhöõng hoûng hoùc vónh
vieãn.
217
 Trò soá ño coù theå bò suy dôøi bôûi söû duïng lôùp phuû hoaø tan ñöôïc trong nöôùc.
Löïa choïn caûm bieán kieåu nhieät daãn.
Caùc caûm bieán ñoä aåm kieåu nhieät daãn noùi chung ñöôïc söû duïng trong caùc thieát bò maùy moùc,
keå caû maùy saáy quaàn aùo vaø loø vi soùng. Chuùng ñöôïc söû duïng trong nhieàu öùng duïng coâng
nghieäp, keå caû caùc loø saáy goã, maùy saáy, baøo cheá döôïc phaåm, naáu aên vaø khöû nöôùc trong thöïc
phaåm
Ñöôïc caáu truùc töø thuûy tinh, vaät lieäu baùn daãn, chaát deûo nhieät ñoä cao, vaø nhoâm, caùc caûm
bieán nhieät daãn laø loaïi laâu beàn vaø coù tính naêng chòu ñöôïc hôi hoaù chaát.
Chuùng cho ñoä phaân giaûi cao hôn so vôùi caùc caûm bieán kieåu ñieän dung vaø kieåu ñieän trôû ôû
nhieät ñoä lôùn hôn 200  F. Ñoä chính xaùc ñieån hình laø +3 [g/ m 3 ], ñöôïc chuyeån ñoåi thaønh gaàn 
5% RH ôû 40  C vaø  0,5% RH ôû 100  C.
Öu ñieåm:
 Raát laâu beàn.
 Hoaït ñoäng toát ôû moâi tröôøng aên moøn vaø nhieät ñoä cao tôùi 575  F.
 Coù ñoä phaân giaûi toát hôn caùc caûm bieán kieåu ñieän dung vaø ñieän trôû.
Nhöôïc ñieåm:
 Ñaùp öùng vôùi chaát khí baát kyø coù caùc tính chaát nhieät khaùc vôùi nitô loûng, ñieàu naøy coù
theå aûnh höôûng tôùi pheùp ño.
6.3.3 Khai thaùc söû duïng.

Caùc hieäu öùng ñoä aåm vaø nhieät ñoä.
Ñaàu ra cuûa taát caû caùc caûm bieán ñoä aåm döïa treân cô sôû haáp thuï (ñieän dung, ñieän trôû khoái,
maøng ñieän daãn, vv…) ñeàu chòu aûnh höôûng cuûa nhieät ñoä vaø ñoä %RH. Bôûi vaäy neân vieäc boå
chính nhieät ñoä ñöôïc duøng trong caùc öùng duïng nhaèm taêng ñoä chính xaùc hoaëc môû roäng phaïm vi
nhieät ñoä vaän haønh.
Khi vieäc hieäu chính caûm bieán ñoä aåm laø ñeå boå chính nhieät ñoä, thì toát hôn caû laø laøm sao cho
nhieät ñoä ño caøng gaàn vôùi nhieät ñoä choã laøm vieäc cuûa caûm bieán caøng toát – töùc laø trong cuøng
ñieàu kieän ñoä aåm vi khí haäu moâi tröôøng laøm vieäc. Ñieàu naøy ñaëc bieät thöïc teá khi vieäc phoái
hôïp ñoä RH vaø nhieät ñoä trong phöông phaùp ño ñieåm söông. Caùc maùy ño coâng nghieäp ñoä aåm vaø
ñieåm söông coù toå hôïp moät ñieän trôû nhieät platin RTD 1000 ohm ôû maët sau neàn goám cuûa caûm
bieán ñeå söï boå chính nhieät ñoä khoâng aûnh höôûng ñeán tính nguyeân veïn cuûa pheùp ño. Trong caùc
caûm bieán nhieät ñoä cao naøy khoâng coù boä phaän chuaån hoaù tín hieäu tích hôïp trong chip.
Ñieän aùp ñaàu ra.
Moät caûm bieán ñoä aåm vôùi maïch tích hôïp ñoä aåm töông ñoái (Relative Humidity Integrated Circuit –
RHIC) coù tín hieäu ñieän aùp ra tuyeán tính laø haøm cuûa Vsup ply , %RH vaø nhieät ñoä. Ñaàu ra laø
“töông quan tyû leä” “ratiometric”, bôûi khi ñieän aùp cung caáp taêng leân thì ñieän aùp ñaàu ra taêng leân
theo cuøng tyû leä. Moät baûn veõ beà maët cuûa ñaëc tính caûm bieán ñoái vôùi nhieät ñoä trong khoaûng 0

C vaø 85  C ñöôïc neâu treân hình 6.27.
Ñoà thò beà maët naøy ñöôïc xaáp xæ hoaù gaàn ñuùng bôûi söï keát hôïp hai ñaúng thöùc:
1. “Ñaëc tuyeán phuø hôïp nhaát ôû 25  C”, (“Best Fit Line at 25  C”) hoaëc töông töï ñaúng thöùc ñaëc
tính caûm bieán ôû 25  C (sensor-specific equation at at 25  C). Ñaëc tuyeán “ñieån hình” ñoäc laäp
cuûa caûm bieán phuø hôïp nhaát ôû 25  C (ñöôøng ñaäm neùt trong ñoà thò) laø:
Vout .J .Vsup ply [0,0062(% RH )  0,16] . (6.17)
Moät ñaúng thöùc ñaëc tính caûm bieán coù theå coù ñöôïc bôûi aán baûn cuûa caûm bieán RH. Ñaúng
thöùc aán baûn giaû thieát laø Vsup ply J5VDC vaø keøm theo hay saün coù nhö moät tuøy choïn cho caûm
bieán.
2. Moät ñaúng thöùc caûm bieán ñoäc laäp duøng hieäu chænh chæ soá %RH (töø ñaúng thöùc ñaëc tuyeán
phuø hôïp nhaát) ñoái vôùi nhieät ñoä T laø:
TrueRH  (% RH ) /(1,0546  0,00216T ) ; T=  C; (6.18)
hoaëc: TrueRH  (% RH ) /(1,093  0,0012T ) ; T= F. 
(6.19)
218
Hình 6.27 – Ñoà thò beà maët cuûa ñaëc tính caûm bieán.
Caùc ñaúng thöùc treân minh hoaï baûn veõ beà maët ñieån hình (ñaëc tuyeán phuø hôïp nhaát ôû 25  C)
hoaëc baûn veõ beà maët thöïc teá (ñaúng thöùc ñaëc tính caûm bieán ôû 25  C) vôùi phaïm vi dung sai neâu
döôùi ñaây:
±1% ñoái vôùi T > 20  C
±2% ñoái vôùi 10  C < T <20  C
±5% ñoái vôùi T < 10  C.
Caùc maùy ño ñieåm söông coù theå minh hoïa tröïc tieáp cho phöông aùn ñaëc tính caûm bieán coù baûn veõ
beà maët thoâng qua moät baûng tra.
Löu yù: Haõy chuyeån ñoåi ñieän aùp ra thu ñöôïc thaønh trò soá %RH thoâng qua ñaúng thöùc ñaàu tieân
(6.17) tröôùc khi aùp duïng ñaúng thöùc thöù hai (6.18) hay (6.19).
Ngöng tuï hôi nöôùc vaø aåm öôùt.
Söï ngöng tuï hôi nöôùc xaûy ra khi nhieät ñoä beà maët cuûa dieän tích caûm bieán tích cöïc haï xuoáng
döôùi möùc ñieåm söông cuûa chaát khí xung quanh. Söï ngöng tuï hôi nöôùc hình thaønh treân caûm bieán
(hay beà maët baát kyø) thaäm chí ngay caû khi nhieät ñoä beà maët chæ taïm thôøi suït xuoáng döôùi möùc
ñieåm söông trong khoaûng khaéc. Nhöõng bieán ñoäng nhieät ñoä nhoû gaàn caûm bieán coù theå gaây ra
ngöng tuï hôi nöôùc moät caùch khoâng löôøng tröôùc ñöôïc khi laøm vieäc ôû ñoä aåm treân möùc 95%.
Trong khi ngöông tuï nhanh, nöôùc seõ töø töø bay hôi trong nhöõng ñieàu kieän ñoä aåm cao (töùc laø khi
nhieät ñoä beà maët cuûa caûm bieán chæ cao hôn nhieät ñoä ñieåm söông chuùt ít). Vì lyù do ñoù maø chu
kyø hoài phuïc cuûa caûm bieán töø traïng thaùi aåm öôùt hay traïng thaùi ngöng tuï hôi nöôùc seõ laâu hôn
nhieàu so vôùi thôøi gian ñaùp öùng ñònh möùc. Trong suoát quaù trình hoài phuïc, caûm bieán cho tín hieäu
ra khoâng ñoåi laø 100% RH, baát chaáp ñoä RH cuûa moâi tröôøng thöïc teá laø theá naøo.
Neáu öùng duïng yeâu caàu kieåm tra lieân tuïc ñoä RH ôû ñoä aåm côõ möùc 90% vaø cao hôn, haõy tieán
haønh caùc böôùc ngaên ngöøa söï can thieäp cuûa hieän töông ngöng tuï hôi nöôùc. Moät vaøi chieán thuaät
sau:
1. Giöõ cho khoâng khí ñöôïc xaùo troän ñeàu ñeå giaûm thieåu bieán ñoäng nhieät ñoä cuïc boä.
2. Moät vaøi caûm bieán duøng boä loïc baèng theùp khoâng ræ dung keát sintered ñeå baûo veä caûm bieán
khoûi bò haét nöôùc. Bieän phaùp tieáp theo laø boïc lôùp choáng aåm hydrophobic coating ngaên ngöøa
aåm öôùt vaø ngöng tuï hôi nöôùc trong nhöõng moâi tröôøng coù khung höôùng nöôùc baén tung toùe
hay coù söï baõo hoaø – khöû baõo hoaø hôi nöôùc nhanh.
3. Laøm noùng caûm bieán sao cho dieän tích tích cöïc cuûa caûm bieán noùng hôn nhieät ñoä ñieåm söông
cuïc boä. Ñieàu naøy coù theå thöïc hieän baèng moät boä nung ñaët beân ngoaøi hoaëc baèng con chip ño
ñoä RH kieåu CMOS töï laøm noùng baèng caùch cho noù hoaït ñoäng ôû cheá ñoä nguoàn cung caáp cao
hôn.
Löu yù: Vieäc laøm noùng caûm bieán ño ñoä RH cao hôn nhieät ñoä moâi tröôøng xung quanh seõ laøm
thay ñoåi ñaëc tính hieäu chuaån cuûa noù vaø laøm noù nhaïy vôùi nhöõng bieán ñoäng nhieät ñoä cuõng
nhö luoàng khí.
Tích hôïp chuaån hoaù tín hieäu.
Moïi caûm bieán ñoä RH nhanh choùng hoài phuïc khoûi tình traïng ngöng tuï hôi nöôùc hay tình traïng aåm
öôùt maø khoâng bò suy dôøi ñaëc tính hieäu chuaån. Tuy nhieân, sau 24 giôø hoaëc laâu hôn phôi mình
trong ñoä aåm cao (>95% RH) hoaëc ngöng tuï hôi nöôùc lieân tuïc thì coù theå xaûy ra söï suy dôøi ñaëc
219
tính töø 2%RH ñeán 3%RH. Söï suy dôøi naøy coù tính laëp laïi vaø coù theå hoài ngöôïc baèng caùch ñaët
caûm bieán vaøo moät moâi tröôøng coù ñoä RH thaáp (10%RH) trong khoaûng thôøi gian 10 giôø.
Caùc caûm bieán ñoä aåm silicon tích hôïp coù maïch chuaån hoaù tín hieäu beân trong vi maïch cuøng vôùi
caûm bieán kieåu ñieän dung. Caùc caûm bieán tích hôïp RHIC ño ñoä aåm naøy laø loaïi coù ñieàu höôûng
tinh baèng laser sao cho ôû V supply J 5 V, ñieän aùp ra naèm trong khoaûng ñieån hình laø töø 0,8 V tôùi 3,9 V
ñoái vôùi phaïm vi bieán thieân töø 0%RH tôùi 100%RH ôû 25  C. (Aán baûn döõ lieäu ñaëc tính hieäu
chuaån cuûa caûm bieán vaø ñaëc tuyeán phuø hôïp nhaát ôû 25  C ñöôïc keøm theo hay coù saün nhö tuøy
choïn ñoái vôùi caùc caûm bieán naøy).
Caùc caûm bieán tích hôïp RHIC ño ñoä aåm ñaõ ñöôïc hieäu chuaån taïi nhaø maùy, nhö laø caùc duïng cuï
vi naêng löôïng micro-power devices coù ñaëc tính hieäu chuaån rieâng vaø/hoaëc coù tính thay theá laép laãn
boä-vôùi-boä unit-to-unit toát. Caùc tieän ích naøy giuùp caùc nhaø saûn xuaát OEM traùnh ñöôïc giaù
thaønh hieäu chuaån ñoä aåm taïi nhaø vaø tuoåi thoï nguoàn battery trong caùc thieát bò xaùch tay. Coù theå
nhaän ñöôïc ñoä chính xaùc gia taêng baèng caùch ñieàu chænh heä ñieän töû ñeå töông thích cho ñaëc
tuyeán phuø hôïp nhaát ôû 25  C cuûa moät caûm bieán cuï theå naøo ñoù.
Tính thay theá laép laãn xaùc ñònh phaïm vi ñieän aùp ra ñoái vôùi söï phoå bieán baát kyø cuûa caùc caûm
bieán ôû moät ñieåm ñoä RH nhaát ñònh. Tính thay theá laép laãn trong khoaûng (  5%  0%)RH ñöôïc so
saùnh vôùi ñaëc tuyeán ra cô baûn ñoái vôùi chip vi maïch RHIC laø töø (0,8  3,9)V töông öùng (0 
100)%RH vôùi ñieän aùp kích thích laø 5VDC.
Neáu ta laáy ñöôøng cong ñaëc tuyeán cô sôû thì nhaân 0.031 V/%RH vôùi ± 5%RH nhaän ñöôïc keát quûa
laø ± 0.155 V. Coù nghóa laø ñieän aùp ra cuûa thieát bò naøy laø 0.8 V ± 0.155 V hoaëc trong phaïm vi töø
0.645 V tôùi 0.955 V. Khi ôû trong moâi tröôøng coù ñoä RH laø 0% thì ñieän aùp ra cuûa taát caû caùc
caûm bieán thuoäc cuøng loaïi seõ naèm trong phaïm vi naøy.
Tính thay theá laép laãn seõ taêng leân cuøng söï gia taêng ñoä RH bôûi vì nieâm phong caûm bieán tích hôïp
RHIC ñaõ ñöôïc ñieàu höôûng tinh tích cöïc chæ ôû 0%RH. Vieäc ñieàu höôûng ôû caùc trò soá ñoä RH
khaùc laø khoâng khaû thi, khoâng thöïc teá.
Tính thay theá laép laãn giuùp ta haï giaù thaønh thieát keá baèng caùch traùnh phaûi hieäu chuaån heä cuûa
mình ñoái vôùi moãi caûm bieán rieâng leû. Caûm bieán tích hôïp RHIC vaãn giöõ ñöôïc caùc tính naêng thay
theá vaø nhöõng öu ñieåm veà ñoä chính xaùc ôû ñoä aåm cao hôn.
Ñoä chính xaùc döïatreân cô sôû ñöôøng cong hieäu chuaån ñaëc tính ñoái vôùi baát kyø caûm bieán rieâng
leû naøo vaø baèng ±2% RH. Ví duï: neáu moät caûm bieán ñaëc tröng coù ñieän aùp ra laø 0,850V ôû
0%RH (giaû thieát ñieän aùp nguoàn cung caáp laø 5VDC), thì caûm bieán naøy seõ luoân luoân cho ra ñieän
aùp  0,062V hoaëc trong phaïm vi (0,788  0,912)V. Ñoä chính xaùc seõ baèng tính thay theá laép laãn 
2% neáu khoâng hieäu chuaån heä cho moãi caûm bieán. Neáu hieäu chuaån cho moãi caûm bieán tích hôïp
RHIC thì ñoä chính xaùc toaøn phaàn coù theå trong khoaûng ±1–2% RH.

220

C6 Luuluong

Uploaded by

Document Information

Original Title

Copyright

Available Formats

Share this document

Share or Embed Document

Sharing Options

Did you find this document useful?

Is this content inappropriate?

Copyright:

Available Formats

C6 Luuluong

Uploaded by

Copyright:

Available Formats

Taäp Baøi giaûng “Kyõ thuaät Caûm bieán Ño löôøng vaø Ñieàu khieån”, Ñaøo ThaùiDieäu, TS.

, ÑHCN TP.HCM, 2008.

KHAÙI NIEÄM CHUNG.

6.1 CAÛM BIEÁN ÑO LÖU LÖÔÏNG.

6.1.1 Phong vuõ bieåu nhieät Thermal Anemometer.

Hình 6.3 – OÁng Pitot.

Hình 6.4 – Taám ngaên coù loã ñoàng taâm.

Hình 6.5 – Oáng venturi.

Hình 6.6 – Caûm bieán daïng oáng phuït gich-lô.

6.1.3 Caùc caûm bieán chaûy xoaùy Vortex-Shedding.

Hình 6.7 – Coâng-tô theå tích.

Hình 6.9 – Coâng-tô toác ñoä turbine höôùng truïc.

Hình 6.10 – Coâng-tô turbine tieáp tuyeán.

Hình 6.11 – Sô ñoà nguyeân lyù löu löôïng keá töø-ñieän.

Hình 6.12 – Ñaàu töø cuûa maùy ño löu löôïng.

Hình 6.13 – Caáu truùc maùy ño LDA.

6.2 CAÛM BIEÁN ÑO MÖÙC.

Hình 6.16 – Caùc phöông phaùp ño möùc kieåu lieân tuïc:

Hình 6.18 – Caùc phöông phaùp ño möùc kieåu lieân tuïc:

Hình 6.20 – Caûm bieán ño möùc kieåu töø giaûo.

6.2.3 Löïa choïn coâng ngheä caûm bieán möùc.

6.3 – ÑO ÑOÄ AÅM.

6.3.1 Caùc coâng ngheä vaø kieåu daïng caûm bieán.

Hình 6.22 – Caûm bieán ñieän dung polymer.

6.3.3 Khai thaùc söû duïng.

You might also like