TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

Më ®Çu
C«ng nghÖ vi h×nh lµ b−íc c¨n b¶n trong c«ng nghÖ vi ®iÖn tö, c«ng nghÖ
MEMs/NEMs, c«ng nghÖ nano, micro ... §©y lµ b−íc cho phÐp truyÒn c¸c cÊu
tróc, chi tiÕt mong muèn tõ mÆt n¹ hoÆc chiÕu trùc tiÕp tõ ch−¬ng tr×nh m¸y tÝnh
lªn ®Õ. C¸c c«ng nghÖ trªn ®4 t¹o ra nh÷ng linh kiÖn kÝch ngµy cµng thu nhá vµ
tÝnh n¨ng (tèc ®é xö lý, giao tiÕp, ®¸p øng) ngµy cµng cao. Næi bËt trong ®ã lµ
c«ng nghÖ vi ®iÖn tö. KÓ tõ khi ra ®êi, c«ng nghÖ vi ®iÖn tö ®4 cã sù ph¸t triÓn rùc
rì víi nh÷ng dÊu Ên quan träng: ChÕ t¹o transtor (Bell-lab, 1947), DRAM (1966),
vµ ®Ønh cao lµ bé vi xö lý CPU (Intel Corp.) tèc ®é hiÖn nay lªn ®Õn 4 Ghz. §iÒu
nµy cã nghÜa lµ trªn mét diÖn tÝch rÊt nhá cã v« sè c¸c linh kiÖn, vÝ dô trªn 1 chÝp
chøa 330 triÖu transtor. C«ng nghÖ vi h×nh cã vai trß ®¾c lùc trong viÖc t¨ng mËt
®é linh kiÖn trªn m¹ch tÝch hîp cao nh− thÕ. KÓ tõ khi ra ®êi ®Õn nay, c«ng nghÖ
vi h×nh ®4 ph¸t triÓn víi nhiÒu cÊu h×nh kh¸c nhau nh− lµ:
C«ng nghÖ quang kh¾c, ®iÖn tö kh¾c, tia X kh¾c vµ c«ng nghÖ vi
h×nh dïng ®Çu dß nano SPM, ¸nh s¸ng tr−êng gÇn ... Mçi ph−¬ng ph¸p cã nh÷ng
−u ®iÎm riªng vÒ hiÖu suÊt, chi phÝ, ®é ph©n gi¶i. Quang kh¾c rÊt phæ biÕn nh−ng
nh−îc ®iÓm cña nã lµ ®é ph©n gi¶i kh«ng cao, kÝch th−íc linh kiÖn chØ thu nhá
®Õn mét giíi h¹n nhÊt ®Þnh, kh«ng ®¸p øng ®−îc c¸c ®ßi hái tÝch hîp hÖ thèng
hiÖn nay. §iÖn tö kh¾c cho ®é ph©n gi¶i cao h¬n v× b−íc sãng cña chïm tia ®iÖn
tö (sãng De broglie) < 0.1 nm ®èi víi c¸c e cã n¨ng l−îng 10- 50 KeV. §é ph©n
gi¶i cña ®iÖn tö kh¾c kh«ng bÞ h¹n chÕ bëi hiÖn t−îng nhiÔu x¹.
Tuy nhiªn, nh−îc ®iÓm cña EBL lµ sù t¸n x¹ cña ®iÖn tö trong qu¸ tr×nh
t−¬ng t¸c, vµ ®Æc biÖt lµ tèc ®é kh¾c chËm, chi phÝ cao.
Bµi tiÓu luËn nµy tr×nh bµy c«ng nghÖ ®iÖn tö kh¾c vµ c¸c thiÕt bÞ sö dông
chïm tia ®iÖn tö nh− kÝnh hiÓn vi SEM, TEM, thiÕt bÞ ph©n tÝch EDX. Bµi viÕt cã
hai phÇn chÝnh:
- PhÇn 1: CÊu t¹o, nguyªn lý ho¹t ®éng cña hÖ ®iÖn tö kh¾c (sóng ®iÖn tö,
thÊu kÝnh ®iÖn tõ, chÊt c¶m ®iÖn tö)
- PhÇn 2: Nguyªn lý t¹o ¶nh SEM, TEM vµ EDX, ®ång thêi tr×nh bµy mét
sè ®Æc ®iÓm cña chïm tia ®iÖn tö, tia X t−¬ng øng trong c¸c thiÕt bÞ nãi trªn.

1
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

I. HÖ ®iÖn tö kh¾c

Trong hÖ thiÕt bÞ ®iÖn tö kh¾c, chïm tia ®iÖn tö ®−îc sö dông lµm t¸c
nh©n, lµm c«ng cô ®Ó vÏ h×nh ¶nh, cÊu tróc trªn vËt liÖu. ThiÕt bÞ ®iÖn tö kh¾c gåm
cã sóng ®iÖn tö lµ n¬i s¶n sinh ra c¸c ®iÖn tö vµ hÖ thÊu kÝnh ®iÖn tõ ®Ó ®iÒu khiÓn
®−êng ®i vµ sù héi tô cña chïm tia ®iÖn tö trªn vËt liÖu. H×nh 1 lµ s¬ ®å tæng quan
hÖ ®iÖn tö kh¾c.

H×nh 1. Nguyªn lý ®iÖn tö kh¾c

TÝnh chÊt cña tia ®iÖn tö

Theo gi¶ thuyÕt l−ìng tÝnh sãng h¹t cña ®iÖn tö ®−îc x¸c ®Þnh bëi ph−¬ng
tr×nh De Broglie:
h h
λ= =
p mv

Trong ®ã: λ lµ b−íc sãng De broglie cña ®iÖn tö, h: h»ng sè Plank, p: xung l−îng
cña ®iÖn tö.
N¨ng l−îng cña ®iÖn tö ®−îc gia tèc gi÷a hai ®iÓm cã hiÖu ®iÖn thÕ chªnh lÖch U
b»ng ®éng n¨ng cña ®iÖn tö cùc ®¹i
m 2v 2
E = eU =
2
E, m0, v lÇn l−ît lµ ®iÖn tÝch, khèi l−îng nghØ vµ vËn tèc cña ®iÖn tö
Tõ nh÷ng ph−¬ng tr×nh nµy ta cã biÓu thøc tÝnh b−íc sãng cña ®iÖn tö:

2
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

h h 1.23
λ= = =
mv 2.e.U U
m
m

B¶ng 1 lµ quan hÖ gi÷a b−íc sãng cña ®iÖn tö vµ ®iÖn thÕ t¨ng tèc.

Vacc Non relativistic Relativistic Velocity . 10 8

Mass . m0
/ kV wavelength / pm wavelength / pm m/s
100 3.86 3.70 1.20 1.64
200 2.73 2.51 1.39 2.09
300 2.23 1.97 1.59 2.33
400 1.93 1.64 1.78 2.48
1000 1.22 0.87 2.96 2.82

B¶ng 1. C¸c gi¸ trÞ ®Æc tr−ng cña ®iÖn tö

ChuyÓn ®éng cña ®iÖn tö trong tõ tr−êng

Trong tõ tr−êng, khi ®iÖn tö chuyÓn ®éng víi vËn tèc v t−¬ng ®u¬ng víi
dßng ®iÖn ev, ®iÖn tö bÞ t¸c dông 1 lùc lµ F theo chiÒu vu«ng gãc víi c¶ tõ tr−êng
B vµ vËn tèc v d−íi t¸c dông cña lùc nµy ®iÖn tö liªn tôc ®æi ph−¬ng chuyÓn ®éng,
lùc t¸c dông còng liªn tôc ®æi ph−¬ng theo v× lu«n ph¶i vu«ng gãc víi vËn tèc v.
KÕt qu¶ lµ ®iÖn tö cã thªm chuyÓn ®éng trßn do tõ tr−êng vµ thµnh phÇn vËn tèc
vu«ng gãc víi tõ tr−êng g©y nªn cßn thµnh phÇn v¹n tèc song song víi tõ tr−ßng
kh«ng thay ®æi vµ nh− vËy ®iÖn tö sÏ chuyÓn ®éng theo h×nh xo¾n èc.

3
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

H×nh 2. ChuyÓn ®éng cña ®iÖn tö trong tõ tr−êng

NÕu ban ®Çu ®iÖn tö cã vËn tèc v vu«ng gãc víi tõ tr−êng B th× ®iÖn tö sÏ
chuyÓn ®éng theo 1 vßng trßn b¸n kÝnh r n»m vu«ng gãc víi tõ tr−êng. XÐt riªng
chuyÓn ®éng trßn cña ®iÖn tö trong tõ, gäi v lµ thµnh phÇn vËn tèc vu«ng gãc víi
ph−¬ng cña tõ tr−êng, lùc t¸c dông lªn lªn ®iÖn tö b»ng lùc h−íng t©m Fev = mv2/r.
NÕu vËn tèc v cña ®iÖn tö lµ do ®iÖn thÕ U t¨ng tèc ë sóng ®iÖn tö t¹o ra th×
khi U = 1V, H =1Oe b¸n kÝnh r cña vßng trßn lµ 3.37 cm tÝnh theo c«ng thøc
chung lµ r = 3.37 U / H. TÇn sè chuyÓn ®éng cña ®iÖn tö chØ phô thuéc vµo tõ
tr−êng. Khi tèc ®é cña ®iÖn tö cã thµnh phÇn vËn tèc v theo tõ tr−ßng lµ nh− nhau,
®iÖn tö chuyÓn ®éng theo h×nh xo¾n èc hÕt mét vßng trßn th× ®o¹n ®−êng theo
chiÒu tõ tr−êng lµ nh− nhau cã nghÜa lµ cã sù héi tô t¹i c¸c ®iÓm tiªu cù.
NÕu ®iÖn tö chuyÓn ®éng víi vËn tèc kh¸c nhau chóng sÏ cã c¸c b−íc èc
kh¸c nhau vµ héi tô t¹i c¸c ®iÓm kh¸c nhau. §ã lµ hiÖn t−îng s¾c sai ë thÊu kÝnh
H×nh 2 m« t¶ sù chuyÓn ®éng cña ®iÖn tö trong tõ tr−êng.

4
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

1. CÊu t¹o hÖ ®iÖn tö kh¾c

1.1. Sóng ®iÖn tö

Sóng ®iÖn tö thùc chÊt lµ nguån ph¸t x¹ ®iÖn tö d−íi c¸c t¸c nh©n: ®iÖn
tr−êng (ph¸t x¹ tr−êng), nhiÖt ®é (ph¸t x¹ nhiÖt ®iÖn tö), vµ kÕt hîp nhiÖt ®é vµ
®iÖn tr−êng (ph¸t x¹ Schottky) ... PhÇn tiÕp theo tr×nh bµy vÒ 2 lo¹i nguån ph¸t x¹
®iÖn tö th«ng dông.

a) Nguån ph¸t x¹ nhiÖt ®iÖn tö: Chïm tia ®iÖn tö t¹o ra tõ mét sîi ®èt
th−êng lµ tungsten (W). Sîi ®èt W ®−îc hµn thµnh h×nh ch÷ V cã t¸c dông nh−
mét cathode. Khi cho dßng ®iÖn ®i qua, cathode bÞ ®èt nãng lµm ph¸t x¹ c¸c ®iÖn
tö ra ngoµi. §iÖn tö ®−îc gia tèc nhê ®Æt mét ®iÖn thÕ t¨ng tèc gi÷a anode lµ mét
tÊm kim lo¹i cã lç trßn vµ sîi ®èt cathode. §Ó ®iÖn tö Ýt bÞ ph©n t¸n ng−êi ta dïng
mét h×nh trô bao quanh sîi ®èt cã lç trßn nhá ë gi÷a ®Ó ®iÖn tö lät qua. H×nh trô
nµy cã ®iÖn thÕ h¬i thÊp h¬n ®iÖn thÕ cña sîi ®èt nh−ng c¶ hai ®Òu lµ ®iÖn thÕ ©m
cì 70 ÷ 100kV so víi ®iÖn thÕ ë anode nèi ®Êt nªn ®iÖn tö ®−îc gia tèc qua lç
anode. H×nh 3 m« t¶ sóng ph¸t x¹ nhiÖt ®iÖn tö. Ngoµi viÖc dïng sîi W lµm nguån
ph¸t x¹ nhiÖt ®iÖn tö, trong mét sè tr−êng hîp sîi ®èt lµ LaB6.

H×nh 3. Ssóng ph¸t x¹ nhiÖt ®iÖn tö

5
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

¦u ®iÓm cña ph¸t x¹ nhiÖt ®iÖn tö lµ dßng lín, ®é æn ®Þnh cao, kh«ng yªu
cÇu ch©n kh«ng qu¸ cao, gi¸ thµnh h¹. Nh−îc ®iÓm cña ph¸t x¹ nhiÖt ®iÖn tö lµ
kÝch th−íc nguån ph¸t ®iÖn tö lín, ph©n bè n¨ng l−îng ®iÖn tö réng v× thÕ kÝch
th−íc héi tô lín nªn ®é ph©n gi¶i kh«ng cao, ®ång thêi chãng giµ hãa vµ ph¶i thay
thÕ th−êng xuyªn.

b) Nguån ph¸t x¹ tr−êng: §iÖn tö trong kim lo¹i xem nh− ë trong mét
giÕng thÕ h×nh hép, ®iÖn tö lÊp ®Çy c¸c møc thõ thÊp ®Õn cao nhÊt lµ møc Fermi,
møc nµy ë d−íi møc ch©n kh«ng ~ eV. Kho¶ng c¸ch tõ møc Fermi tíi møc ch©n
kh«ng gäi lµ c«ng tho¸t Φ, ®iÖn tö muèn tho¸t ra khái kim lo¹i ph¶i cã mét n¨ng
l−îng b»ng c«ng tho¸t. Trong mét sè ®iÒu kiÖn ®Æc biÖt, nhÊt lµ khi hµng rµo thÕ
kh«ng qu¸ cao ®iÖn tö cã thÓ xuyªn hÇm qua khái kim lo¹i mµ kh«ng cÇn n¨ng
l−îng lín h¬n c«ng tho¸t (hiÖu øng xuyªn hÇm). D−íi t¸c dông cña ®iÖn tr−êng
®ñ lín thÕ ë ngoµi kim lo¹i bÞ biÕn d¹ng t¹o ra hµng rµo thÕ n¨ng h×nh tam gi¸c.
NÕu ®iÖn tr−êng ngoµi ®ñ lín ®Ó bÒ dµy hµng rµo tam gi¸c ë ngang møc Fermi ®ñ
hÑp ®Ó ®iÖn tö xuyªn hÇm ®−îc, ®iÖn tö sÏ xuyªn qua hµng rµo thÕ ®Ó ra khái kim
lo¹i. Dßng ph¸t x¹ cã gi¸ trÞ ®¸ng kÓ khi ®iÖn tr−êng ®ñ m¹nh cì 4-7x107 V/cm.
§Ó ph¸t x¹ tr−êng cã thÓ dïng mét mòi nhän kim lo¹i lµm cho ë ®Çu mót
trßn l¹i thµnh h×nh nöa qu¶ cÇu b¸n kÝnh ri, th−êng ri cì 100nm. §Æt vµo mòi nhän
®iÖn thÕ V, ®iÖn tr−êng ë mòi nhän cì F = V/5ri do ri nhá nªn V kh«ng lín l¾m
vÉn cã thÓ ®¹t ®−îc F = 4÷7x107 V/cm, ®iÖn tr−êng ®ñ g©y ra ph¸t x¹ tr−êng.
PhÇn lín c¸c ®iÖn tö xuyªn hÇm ®Òu ë l©n cËn møc Fermi, nªn ®iÖn tö ra khái kim
lo¹i kh«ng bÞ thang gi¸ng nhiÖt nhiÒu nh− ë ph¸t x¹ nhiÖt. Nh− vËy ®iÖn tö ë mòi
nhän ph¸t x¹ ra ngoµi cã n¨ng l−îng nh− nhau. Kim lo¹i dïng lµm ph¸t x¹ ®iÖn tö
lµ ®¬n tinh thÓ W cã ®Çu nhän theo ®Þnh h−íng tinh thÓ nhÊt ®Þnh. Ta cÇn tËp
trung chïm ®iÖn tö thµnh nguån nhá ®Ó dïng hÖ thÊu kÝnh héi tô chïm tia ®iÖn tö
t¹o ra chiÕu vµo mÉu lµ mét ®iÓm rÊt nhá.
§Æc ®iÓm cña ph¸t x¹ ®iÖn tö tr−êng lµ kÝch th−íc nguån ®iÖn tö rÊt bÐ,
ph©n bè n¨ng l−¬ng ®iªn tö hÑp, kÝch th−íc héi tô bÐ nªn ®é ph©n gi¶i tèt. Tuy gi¸
thµnh cña ®Çu ph¸t ®¾t nh−ng Ýt ph¶i thay thÕ, yªu cÇu ch©n kh«ng cao h¬n ph¸t
x¹ nhiÖt. H×nh 4 so s¸nh hai lo¹i sóng ph¸t x¹ ®iÖn tö

6
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

H×nh 4. Hai lo¹i sóng ph¸t x¹ ®iÖn tö nhiÖt vµ ph¸t x¹ tr−êng

H×nh 5 chØ ra hai lo¹i ®Çu tip dïng cho ph¸t x¹ ®iÖn tö nhiÖt vµ ph¸t x¹ ®iÖn
tö tr−êng, lµm b»ng tungsten. B¶ng 2 lµ nh÷ng gi¸ trÞ ®Æc tr−ng cña hai lo¹i sóng
ph¸t x¹ ®iÖn tö nµy.

H×nh 5. Hai lo¹i ®Çu dïng cho ph¸t x¹ ®iÖn tö nhiÖt vµ tr−êng

7
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

Properties Tungsten LaB6 FEG

Work function / eV 4.5 2.4 4.5
Temperature / K 2700 2000 1800
Energy spread / eV 3-4 1.5-3 0.4-1.5
Source size / nm 30000 5000 3-20
Maximum current / nA 1000 500 300
Brightness / A/m2sr 109 5x1010 1013
Lifetime / h 100 500 > 1000

B¶ng 2. Mét sè gi¸ trÞ ®Æc tr−ng cña hai lo¹i sóng ®iÖn tö

1.2. ThÊu kÝnh ®iÖn tö

Còng nh− trong quang häc cña c¸c chïm ¸nh s¸ng, trong quang häc c¸c
chïm ®iÖn tö, thÊu kÝnh lµ phÇn quan träng nhÊt dïng ®Ó héi tô, ph©n kú chïm
®iÖn tö. ThÊu kÝnh ®iÖn tö cã thÓ t¹o ®−îc b»ng ®iÖn tr−êng kh«ng ®ång nhÊt cã
®èi xøng trôc, hoÆc tõ tr−êng kh«ng ®ång nhÊt cã ®èi xøng trôc. Cã 2 lo¹i thÊu
kÝnh phæ biÕn ®ã lµ thÊu kÝnh tÜnh ®iÖn vµ thÊu kÝnh tõ

a. ThÊu kÝnh tõ
Nguyªn t¾c lµm viÖc cña thÊu kÝnh ®iÖn tõ t−¬ng tù nh− hÖ thÊu kÝnh quang
häc víi viÖc thay nguån ¸nh s¸ng lµ sóng ph¸t ®iÖn tö. ThÊu kÝnh tõ t¸c dông lªn
chïm tia ®iÖn tö t−¬ng tù nh− thÊu kÝnh låi t¸c dông lªn ®−êng ®i cña ¸nh s¸ng
(h×nh 6a, b). §iÖn tö ®−îc héi tô bëi lùc tÜnh ®iÖn hoÆc lùc tõ . MÆc dï thÊu kÝnh
®iÖn tõ biÓu hiÖn tÝnh chÊt nh− thÊu kÝnh quang häc nh−ng hiÖu chØnh vÒ hiÖu øng
quang sai kh«ng tèt nh− thÊu kÝnh quang häc. Cã thÓ lµm thÊu kÝnh b»ng c¸ch
dïng tr−ßng tÜnh ®iÖn nh−ng thuËn lîi vµ phæ biÕn h¬n lµ c¸c thÊu kÝnh ®iÖn tõ,
dïng tõ tr−êng ®Ó lµm lÖch ®−êng ®i cña ®iÖn tö.

8
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

H×nh 6a, b. §−êng ®i trong thÊu kÝnh ®iÖn tõ vµ

¸nh s¸ng trong thÊu kÝnh quang

CÊu t¹o cña thÊu kÝnh ®iÖn tõ.

Trªn cë së chuyÓn ®éng cña ®iÖn tö trong tõ tr−êng ng−êi ta ®4 chÕ t¹o ra
c¸c thÊu kÝnh tõ. Chïm tia ®iÖn tö ®−îc t¹o ra tõ sóng ®iÖn tö sau ®ã ®−îc cho qua
c¸c thÊu kÝnh tõ vµ c¸c lç chÆn ®Ó t¹o thµnh chïm tia song song. ThÊu kÝnh tõ
®−îc lµm tõ cuén d©y ®ång cã lâi s¾t bao quanh, khi cho dßng ®iÖn qua c¸c cuén
d©y t¹o ra tõ tr−êng cã ®−¬ng søc lµ c¸c ®−êng nÐt ®øt trªn h×nh 7.

9
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

H×nh 7. CÊu t¹o cña thÊu kÝnh tõ.

C¸c ®Çu cùc tõ bÞ t¸ch bëi mét khe kh«ng khÝ mµ trong ®ã nã quyÕt ®Þnh
viÖc lµm héi tô chïm tia. B»ng c¸c tÝnh to¸n ng−êi ®4 tÝnh ®−îc tiªu cù cña thÊu
kÝnh tû lÖ víi v/ H2 víi v lµ vËn tèc cña ®iÖn tö vµ H lµ c−êng ®é tõ tr−êng. Do vËn
tèc cña ®iÖn tö tû lÖ nghÞch víi U , víi U lµ ®iÖn thÕ gia tèc cßn tõ tr−êng H l¹i
tû lÖ víi Ampe vßng IN cña cuén d©y. Nh− vËy f ≈ IN/ U . Tiªu cù cña thÊu kÝnh
tõ cã thÓ thay ®æi theo ®iÖn thÕ gia tèc U vµ ®Æc biÖt cã thÓ thay ®æi tiªu cù f theo
c−êng ®é dßng ®iÖn I qua thÊu kÝnh. H×nh 8 m« t¶ sù thay ®æi tiªu cù cña thÊu
kÝnh tõ khi cho dßng ®iÖn ch¹y qua cuén d©y. H×nh 8a, khi kh«ng cã dßng ®iÖn
ch¹y qua chïm tia ®iÖn tö kh«ng héi tô, h×nh 8b khi dßng ®iÖn nhá tiªu cù cña
thÊu kinh dµi, h×nh 8c khi t¨ng dong ®iÖn lín h¬n th× thÊu kÝnh cã tiªu cù nhá h¬n
vµ chïm ®iÖn tö h×nh nãn nhá h¬n ®−îc truyÒn tíi lç chÆn.

10
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

H×nh 8. Sù phô thuéc cña ttiªu cù thÊu kÝnh tõ phô thuéc vµo dßng ®iÖn ®Æt vµo

§©y lµ mét −u ®iÓm rÊt tèt cña thÊu kÝnh tõ, nã cho phÐp lùa chän thay ®æi
c¸ch t¹o ¶nh, thay ®æi ®é phãng ®¹i. Nh−ng ®©y còng lµ mét ®ßi hái rÊt lín vÒ æn
®Þnh ®iÖn thÕ vµ dßng ®iÖn.

2. Nguyªn lý ho¹t ®éng cña thiÕt bÞ ®iÖn tö kh¾c EBL (E-beam Lithography)

VÒ nguyªn lý, hÖ EBL lµm viÖc t−¬ng tù hÖ quang kh¾c. Tuy nhiªn thay v×
dïng ¸nh s¸ng lµ t¸c nh©n ®èi víi chÊt c¶m quang th× trong EBL chïm ®iÖn tö lµ
t¸c nh©n kÝch thÝch chÊt c¶m ®iÖn tö. Trong EBL, chïm ®iÖn tö ph¸t ra tõ sóng
®iÖn tö qua hÖ thèng thÊu kÝnh ®iÖn tö héi tô trªn diÖn tÝch bÐ ë trªn mÉu. C¸c cÊu
tróc, h×nh d¹ng cÇn kh¾c theo yªu cÇu ®−îc xö lý b»ng c¸c phÇn mÒm chuyªn
nghiÖp trªn m¸y tÝnh. TÝn hiÖu ®iÒu khiÓn tõ m¸y tÝnh sÏ x¸c ®Þnh vÞ trÝ cña chïm
tia ®iÖn tö trªn líp c¶m ®iÖn tö vµ ®iÒu khiÓn ®ãng ng¾t chïm tia.
Nh− vËy trong EBL kh«ng cÇn t¹o mÆt n¹ kh¾c, mét yÕu tè quan träng lµm
gi¶m chi phÝ chÕ t¹o. ViÖc di chuyÓn chïm ®iÖn tö trong EBL cã 2 chÕ ®é thùc
hiÖn lµ quÐt mµnh vµ quÐt tham chiÕu vector:
Ph−¬ng ph¸p quÐt mµnh: Chïm ®iÖn tö quÐt lÇn l−ît tõng hµng trªn mÆt
mÉu mét c¸ch tuÇn tù vµ trªn toµn bé mÉu, t¹i nh÷ng vïng kh«ng yªu cÇu kÝch

11
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

ho¹t th× nguån ®iÖn tö bi ng¾t. Ph−¬ng ph¸p nµy mÊt nhiÒu thêi gian, n¨ng suÊt
kh«ng cao.

H×nh 9. Sù chuyÓn ®éng cña chïm ®iÖn tö trªn mÉu

ChÕ ®é quÐt tham chiÕu vector: Chïm ®iÖn tö ®−îc ®iÒu chØnh ®Õn nh÷ng
vÞ trÝ yªu cÇu quÐt, kh«ng tiªu tèn thêi gian dß toµn bé bÒ mÆt mÉu. H×nh 9 m« t¶
cÊu h×nh cña chïm tia ®iÖn tö di chuyÓn trªn mÉu cÇn kh¾c.

ChÊt c¶m ®iÖn tö:

T−¬ng tù nh− trong quang kh¾c, trªn bÒ mÆt ®Õ cÇn t¹o cÊu tróc cÇn cã líp
hîp chÊt ho¸ häc nh¹y víi chïm tia ®iÖn tö ®Ó truyÒn ¶nh tõ m¸y tÝnh lªn ®Õ. ChÊt
c¶m ®iÖn tö lµ c¸c polimer cã ®Æc tÝnh lµ c¸c liªn kÕt khi bÞ chiÕu x¹ bëi chïm tia
®iÖn tö bÞ biÕn ®æi. Sù biÕn ®æi thÓ hiÖn lµ chÊt polimer trë nªn ho¸ r¾n, khã hoµ
tan hoÆc bÞ ®øt g4y dÔ tÈy röa trong thøæc röa ¶nh. Cã 2 lo¹i vËt liÖu c¶m ®iÖn tö:
chÊt c¶m ®iÖn tö d−¬ng vµ chÊt c¶m ®iÖn tö ©m.

12
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

H×nh 10. ChÊt c¶m ®iÖn tö d−¬ng

ChÊt c¶m ®iÖn tö d−¬ng: Khi ®iÖn tö t−¬ng t¸c víi c¸c chuçi ®an xen cña
polimer, c¸c liªn kÕt bÞ ph¸ vì. NghÜa lµ vïng bÞ chiÕu x¹ trë nªn dÔ hoµ tan trong
thuèc röa. ChÊt c¶m ®iÖn tö d−¬ng th−êng ®−îc sö dông ®ã lµ PMMA
(Polymetylcrylate), PBS (Polybutene –1 sulfone). ChÊt c¶m ®iÖn tö d−¬ng cho
phÐp ®¹t ®é ph©n gi¶i 100 nm hoÆc tèt h¬n. H×nh 10 lµ m« t¶ chÊt c¶m ®iÖn tö
d−¬ng.
ChÊt c¶m ®iÖn tö ©m: Th−êng lµ COP (Poly glycidyl methacrylate- co –
ethyl - acrylate), d−íi t¸c dông cña chïm ®iÖn tö c¸c liªn kÕt ®an xen trong chÊt
polimer ®−îc t¨ng c−êng. C¸c chÊt nµy bÒn víi thuèc röa. So víi chÊt c¶m ®iÖn tö
d−¬ng, ®é ph©n gi¶i cña chÊt c¶m ®iÖn tö ©m thÊp h¬n nhiÒu b−îc v× lÝ do: trong
thuèc röa, chÊt c¶m ®iÖn tö bÞ ph×nh ra nªn ®é ph©n gi¶i tèt chØ ®¹t ®−îc ~ 1 µm.
H×nh 11 m« t¶ ®Þnh tÝnh chÊt c¶m ®iÖn tö ©m

H×nh 11. ChÊt c¶m ®iÖn tö ©m

13
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

II. c¸c thiÕt bÞ sö dông chïm tia ®iÖn tö t¹o ¶nh SEM, TEM
vµ thiÕt bÞ ph©n tÝch EDX

Khi chïm tia ®iÖn tö t−¬ng t¸c víi vËt liÖu dÉn ®Õn ph¸t ra c¸c bøc x¹ ®Æc
tr−ng. NÕu dïng c¸c Detector ®Ó thu c¸c bøc x¹ ®ã ta cã ta sÏ cã ®−îc c¸c th«ng
tin cña vËt liÖu. Cã rÊt nhiÒu thiÕt bÞ sö dông chïm tia ®iÖn tö ®Ó ph©n tÝch cÊu
tróc vµ h×nh th¸i häc cña vËt liÖu. Trong khu«n khæ tiÓu luËn nµy chØ ®Ò cËp tíi
c¸c thiÕt bÞ quan s¸t lµ kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö quÐt (SEM), kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö truyÒn
qua (TEM) vµ thiÕt bÞ ph©n tÝch phæ n¨ng l−îng t¸n s¾c tia X (EDX) ®Ó x¸c ®Þnh
thµnh phÇn, ®Þnh l−îng cña c¸c nguyªn tè trong vËt liÖu. §©y lµ nh÷ng thiÕt bÞ
th«ng dông trong qóa tr×nh nghiªn cøu vËt liÖu, chÕ t¹o linh kiÖn...

T−¬ng t¸c cña ®iÖn tö víi vËt liÖu

Chóng ta xÐt sù t−¬ng t¸c cña chïm tia ®iÖn tö víi vËt liÖu. Cã hai yÕu tè
¶nh h−ëng ®Õn kÝch th−íc vµ h×nh d¹ng cña thÓ tÝch t−¬ng t¸c lµ ®iÖn tö tiªu t¸n
n¨ng l−îng do t−¬ng t¸c kh«ng ®µn håi vµ ®iÖn tö t¸n x¹ nguîc do t−¬ng t¸c ®µn
håi. KÕt qu¶ m« pháng cho thÊy
h×nh d¹ng cña vïng kÝch thÝch lµ
h×nh qu¶ lª. §é s©u vµ thÓ tÝch
cña chïm ®iÖn tö ®©m xuyªn
trong mÉu cña qu¸ tr×nh t−¬ng
t¸c phô thuéc vµo gãc cña chïm
tia ®iÖn tö tíi, ®é lín cña dßng,
®iÖn thÕ gia tèc vµ sè nguyªn tö
(Z) trung b×nh cña mÉu. Tuy
nhiªn, ®iÖn thÕ gia tèc vµ mËt ®é
cña chïm tia ®ãng vai trß lín
nhÊt trong viÖc x¸c ®Þnh ®é s©u
cña chïm ®iÖn tö t−¬ng t¸c.
(h×nh 12)
H×nh 12. Sù thay ®æi h×nh d¹ng vµ thÓ tÝch t−¬ng
t¸c theo sè nguyªn tö trung b×nh cña mÉu vµ
®iÖn thÕ gia tèc chïm ®iÖn tö

14
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

§iÖn tö ®©m xuyªn vµo vËt liÖu th−êng thay ®æi tõ 1-5µm víi chïm ®iÖn tö
chiÕu vu«ng gãc tíi mÉu. §é s©u cña ®iÖn tö ®©m xuyªn cã thÓ tÝnh gÇn ®óng theo
c«ng thøc:

x(µm) = 0.1 E01.5/ρ (1)

E0 lµ ®iÖn thÕ gia tèc (keV) vµ ρ lµ khèi l−îng riªng cña vËt liÖu(g/cm3)

VÝ dô vËt liÖu cã khèi luîng riªng ρ = 2.5 g/cm3 vµ chïm tia ®iiÖn tö chiÕu tíi cã
n¨ng l−îng E0 = 15keV th× ®é s©u cña ®iÖn tö chui vµo vËt liÖu theo c«ng thøc 1 lµ
x = 2.3 µm. §é réng cña vïng ®iÖn tö t−¬ng t¸c víi vËt liÖu cã thÓ ®−îc tÝnh gÇn
®óng theo c«ng thøc

y(µm) = 0.077 E01.5/ρ (2)

C¶ hai c«ng thøc nµy ®−îc biÓu theo kinh nghiÖm. Lý thuyÕt biÓu diÔn cho sù thay
®æi cña ®iÖn tö, kho¶ng c¸ch cña ®−êng th¼ng gi÷a ®iÖn tö chui vµo vµ kÕt thóc
trong vËt liÖu ®−îc Kanaya vµ Okayama ®−a ra n¨m 1972:
r(µm) = 2.67 x 10-2 A E01.67/ρ Z0.89 (3)

A lµ sè khèi, Z lµ sè nguyªn tö

ThÓ tÝch cña chïm ®iÖn tö t−¬ng t¸c víi vËt liªô cã thÓ ®−îc m« pháng
b»ng m« pháng Monte Carlo. KÕt qu¶ m« pháng chØ ra thÓ tÝch cña vïng t−¬ng t¸c
lµ mÆt cÇu gai vµ bÞ c¾t côt vÒ phÝa bÒ mÆt mÉu. §é s©u cña t©m mÆt cÇu gi¶m khi
vËt liÖu bÞ b¾n ph¸ cã sè nguyªn tö lín (h×nh 13).

15
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

H×nh 13. M« pháng Monte Carlo: ®−êng ®i cña ®iÖn tö (trªn) vµ tia X (d−íi) khi
t−¬ng t¸c víi Al, Cu, Au víi n¨ng l−îng ®iÖn tö 20 keV

1.1 C¸c bøc x¹ ®Æc tr−ng khi ®iÖn tö t−¬ng t¸c víi vËt liÖu.
Khi chiÕu chïm tia ®iÖn tö cã n¨ng l−îng ®ñ lín vµo mÉu sÏ lµm xuÊt hiÖn
nhiÒu lo¹i bøc x¹ ®Æc tr−ng (h×nh 14) vµ lµm xuÊt hiÖn 2 lo¹i t−¬ng t¸c. Tuy nhiªn,
ta chØ xÐt ®Õn c¸c lo¹i ph¸t x¹ liªn quan ®Õn c4c thiÕt bÞ SEM, TEM vµ EDX lµ
®iÖn tö ph¸t x¹ thø cÊp SE, ®iÖn tö truyÒn qua (t−¬ng t¸c ®µn håi víi vËt liÖu) vµ
ph¸t x¹ tia X tõ vïng n»m s©u trong thÓ tÝch ®−îc chiÕu chïm tia ®iÖn tö.

16
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

H×nh 14. Minh häa c¸c bøc x¹ ®Æc tr−ng cña t−¬ng t¸c ®iÖn tö víi vËt liÖu

a) T−¬ng t¸c ®µn håi: N¨ng l−îng kh«ng ®−îc truyÒn tõ ®iÖn tö vµo mÉu.
Mét sè ®iÖn tö kh¸c truyÒn qua mµ kh«ng tham gia vµo bÊt kú t−¬ng t¸c nµo hoÆc
bÞ t¸n x¹ bëi thÕ d−¬ng bªn trong ®¸m m©y ®iÖn tö. Nh÷ng ®iÖn tö nµy lµ tÝn hiÖu
chÝnh sö dông trong thiÕt bÞ hiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua (TEM) vµ nhiÔu x¹ ®iÖn tö.

b) T−¬ng t¸c kh«ng ®µn håi: N¨ng l−îng ®−îc truyÒn tõ chïm ®iÖn tö tíi
mÉu th× ®iÖn tö thø cÊp (SE), phonons, ¸nh s¸ng tö ngo¹i, vµ sù ph¸t quang bëi tia
©m cùc ®−îc t¹o ra. Nh÷ng ®iÖn tö kh¸c chui vµo bªn trong líp vá ®iÖn tö lµm
ph¸t x¹ tia X hoÆc ®iÖn tö Auguer. §©y lµ nh÷ng tÝn hiÖu chÝnh ®−îc sö dông
trong c¸c thiÕt bÞ ph©n tÝch hiÓn vi ®iÖn tö.

T¸n x¹ ®µn håi cña ®iÖn tö bëi nguyªn tö.

Khi ®iÖn tö ®©m xuyªn vµo ®¸m m©y ®iÖn tö cña nguyªn tö sÏ bÞ hót bëi
thÕ d−¬ng cña h¹t nh©n (t−¬ng t¸c Coulomb) vµ kÕt qu¶ lµ ®−êng ®i cña chïm
®iÖn tö bÞ thay ®æi. Nh÷ng ®iÖn tö vµo gÇn h¹t nh©n h¬n th× lùc t−¬ng t¸c m¹nh
h¬n vµ hÖ qu¶ lµ bÞ t¸n x¹. Trong mét sè tr−êng hîp ®iÖn tö cã thÓ bÞ t¸n x¹ hoµn
toµn (®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc BSE). Sù t−¬ng t¸c nµy cã thÓ ®−îc xem nh− ®µn håi,
cã nghÜa r»ng n¨ng l−îng kh«ng ®−îc truyÒn tõ ®iÖn tö t¸n x¹ tíi nguyªn tö.

H×nh 15. M« h×nh t−¬ng t¸c t¸n x¹ ®µn håi cña

®iÖn tö víi nguyªn tö

17
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

M« h×nh ®¬n gi¶n nµy gióp ta gi¶i thÝch c¬ chÕ ¶nh t−¬ng ph¶n trong c¸c
thiÕt bÞ TEM vµ SEM. Sù t−¬ng t¸c cña ®iÖn tö víi nguyªn tö nÆng lín h¬n
nguyªn tö nhÑ v× vËy vïng mµ nguyªn tö nÆng ®Þnh xø xuÊt hiÖn ®é t−¬ng ph¶n tèi
h¬n nguyªn tö nhÑ (t−¬ng ph¶n khèi l−îng). Nh÷ng vïng vËt liÖu dÇy ®iÖn tö bÞ
t¸n x¹ nhiÒu h¬n, nh÷ng vïng nµy xuÊt hiÖn tr−êng tèi (t−¬ng ph¶n chiÒu dÇy). Sù
t−¬ng ph¶n khèi l−îng – chiÒu dÇy lµ quan träng trong ph©n tÝch ¶nh tr−êng s¸ng
vµ tr−êng tèi cña thiÕt bÞ hiÓn vi ®iÖn tö. H×nh 16 minh häa qu¸ tr×nh t¸n x¹ cña
®iÖn tö víi nguyªn tö.

2.1 HiÓn vi ®iÖn tö quÐt (SEM).

a. Nguyªn lý ho¹t ®éng cña hiÓn vi ®iÖn tö quÐt.
CÊu t¹o vµ s¬ ®å nguyªn lý ho¹t ®éng cña kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö quÐt ®−îc m«
t¶ trªn h×nh 16.

H×nh 16. S¬ ®å nguyªn lý ho¹t ®éng cña hiÓn vi ®iÖn tö quÐt

Mét chïm tia ®iÖn tö ®i qua c¸c thÊu kÝnh ®iÖn tõ héi tô t¹i mét diÖn tÝch
rÊt nhá trªn bÒ mÆt mÉu cÇn nghiªn cøu. Khi chïm tia ®iÖn tö va ch¹m víi bÒ mÆt
cña vËt r¾n, cã nhiÒu h¹t ph¸t sinh, nhiÒu lo¹i tia ph¸t ra trong ®ã cã ®iÖn tö thø

18
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

cÊp (h×nh 17). §iÒu khiÓn cho chïm tia ®iÖn tö quÐt trªn bÒ mÆt mÉu vµ ®ång thêi
cho tia ®iÖn ë ®Ìn h×nh quÐt trªn mµn h×nh. C¸ch quÐt cña tia ®iÖn tö trªn mµn
h×nh ®ång bé víi c¸ch quÐt cña tia ®iÖn tö trªn mÉu, chØ cã biªn ®é quÐt kh¸c
nhau. Ng−êi ta bè trÝ Detector ®Ó thu tÝn hiÖu tõ mÉu ph¸t ra khi ®iÖn tö chiÕu vµo
quÐt trªn bÒ mÆt mÉu vµ dïng tÝn hiÖu nµy khuyÕch ®¹i lªn ®Ó ®iÒu khiÓn c−êng
®é s¸ng cña tia ®iÖn tö quÐt trªn mµn h×nh.

H×nh 17. TÝn hiÖu ®iÖn tö thø cÊp ph¸t ra tõ mÉu trong thiÕt bÞ SEM

Trong hiÓn vi ®iÖn tö quÐt c¸c thÊu kÝnh ®iÖn tõ ®−îc dïng ®Ó tËp trung
chïm ®iÖn tö chiÕu vµo mÉu tuy gäi lµ vËt kÝnh nh−ng chØ cã ý nghÜa lµ gÇn vËt
mÉu, kh«ng cã nhiÖm vô phãng ®¹i. ViÖc phãng ®¹i ®−îc thùc hiÖn nhê ph−¬ng
ph¸p quÐt, c¸c ®iÓm ¶nh ®−îc t¹o ra lÇn l−ît tia ®iÖn tö quÐt trªn mÉu ®Õn ®©u th×
t¹o ra ®iÓm ¶nh trªn mµn h×nh ®Õn ®Êy. §Æc ®iÓm, ®é t−¬ng ph¶n cña ¶nh phãng
®¹i quan s¸t ®−îc trªn mµn h×nh phô thuéc vµo ®Æc ®iÓm cña mÉu tÝn hiÖu ph¸t ra
mµ Detector thu ®−îc ®Ó t¹o ¶nh.

C¸c kiÓu ¶nh ë hiÓn vi ®iÖn tö quÐt.

Ta ®4 thÊy khi chiÕu chïm tia ®iÖn tö vµo mÉu, tõ mÉu cã nhiÒu tÝn hiÖu
ph¸t ra, mçi tÝn hiÖu ph¶n ¸nh mét th«ng sè cña mÉu n¬i cã ®iÖn tö chiÕu vµo.
Ng−êi ta t×m c¸ch thu riªng rÏ tõng lo¹i tÝn hiÖu ®Ó biÕt nh÷ng tÝnh chÊt nhÊt ®Þnh

19
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

cña mÉu vµ cã thÓ phèi hîp nhiÒu kiÓu ¶nh cña mét mÉu ®Ó bæ sung cho nhau,
gi¶i thÝch ®−îc ®Çy ®ñ h¬n nh÷ng ®Æc ®iÓm cña mÉu. ë ®©y chóng t«i chØ ®Ò cËp
tíi hai lo¹i ¶nh thu ®−îc ë thiÕt bÞ SEM lµ ¶nh ®iÖn tö thø cÊp vµ ¶nh ®iÖn tö t¸n
x¹ ng−îc. H×nh 18 minh ho¹ hai lo¹i ®iÖn tö thø cÊp vµ t¸n x¹ ng−îc ph¸t x¹ khi
chïm tia ®iÖn tö t−¬ng t¸c víi mÉu

a. ¶nh ®iÖn tö thø cÊp (SEI-Secondary Electron Image).

Trong tÊt c¶ c¸c kiÓu ¶nh cña hiÓn vi ®iÖn tö quÐt ¶nh SEI cã ®é t−¬ng
ph¶n

H×nh 18. §iÖn tö thø cÊp vµ t¸n x¹ ng−îc ph¸t ra tõ mÉu

tèt nhÊt vµ n¨ng suÊt ph©n gi¶i cao nhÊt do hiÖu suÊt ph¸t ra ®iÖn tö thø cÊp rÊt lín
vµ Detector ®−îc bè trÝ ®Ó thu ®−îc hÇu hÕt ®iÖn tõ thø cÊp ph¸t ra. Sè ®iÖn tõ thø
cÊp nµy ph¸t ra trªn mét diÖn tÝch rÊt nhá cña mÉu, xÊp xØ b»ng diÖn tÝch cña
chïm tia chiÕu ®Õn mÉu. CÇn chó ý n¨ng suÊt ph©n gi¶i cña hiÓn vi ®iÖn tö quÐt
phô thuéc vµo kÝch th−íc chïm tia ®iÖn tö mÉu.
Khi chiÕu chïm tia ®iÖn tö vµo mÉu nÕu lµ mÉu kh«ng dÉn ®iÖn th× sÏ bÞ
tÝch ®iÖn vµ ®iÖn tÝch nµy sÏ t¸c dông lªn ®iÖn tö tíi lµm lÖch ®−êng ®i, nhoµ ¶nh.
V× vËy ®èi víi mÉu kh«ng dÉn ®iÖn, biÖn ph¸p tèt nhÊt lµ phñ mét líp kim lo¹i
máng ®Ó dÉn ®iÖn. Còng cã thÓ lµm gi¶m bít n¨ng l−îng còng nh− c−êng ®é tia
®iÖn tö tíi nh−ng nh÷ng biÖn ph¸p nµy sÏ lµm gi¶m n¨ng suÊt ph©n gi¶i. Còng v×

20
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

lý do tÝch ®iÖn nªn ®èi víi nh÷ng mÉu kh«ng dÉn ®iÖn cã thÓ c¸c chi tiÕt cña mÉu
tÝch ®iÖn cã lùc ®Èy nhau ra xa lµm chóng dÞch chuyÓn chïm tia ®iÖn tö.

b. ¶nh ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc.

§iÖn tö t¸n x¹ ng−îc cã n¨ng l−îng lín, ph¸t ra tõ diÖn tÝch lín h¬n vµ ®é
s©u h¬n so víi ®iÖn tö thø cÊp. MÆt kh¸c hiÖu suÊt ph¸t ra ®iÖn tö thø cÊp còng
thÊp. V× vËy ¶nh ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc bao giê còng cã n¨ng suÊt ph©n gi¶i vµ ®é
t−¬ng ph¶n kÐm h¬n so víi ¶nh ®iÖn tö thø cÊp. Tuy nhiªn ¶nh ®iÖn tö t¸n x¹
ng−îc dÔ cho thÊy sù kh¸c nhau vÒ thµnh phÇn ë trªn mÆt mÉu do ®ã vÉn th−êng
®−îc sö dông. Mét sè kÕt qu¶ chôp ¶nh b»ng kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö quÐt ®−îc minh
ho¹ trªn h×nh 19. C¸c bøc ¶nh cho thÊy ®é s¾c nÐt vµ ®é ph©n gi¶i kh¸ tèt. Nh−
vËy, chôp ¶nh SEM lµ mét ph−¬ng ph¸p nghiªn cøu rÊt h÷u hiÖu vÒ h×nh th¸i bÒn
mÆt cña vËt liÖu vµ nã còng cho ta nh÷ng th«ng tin vÒ kÝch th−íc vµ sù bè kÝch
th−íc h¹t cña nh÷ng vËt liÖu cã cÊu tróc nano.

H×nh 19. KÕt qu¶ chôp ¶nh b»ng hiÓn vi ®iÖn tö quÐt

2.2 HiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua (TEM).

HiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua vÒ nguyªn lý t¹o ¶nh cã nhiÒu ®iÓm t−¬ng ®ång
hiÓn vi quang häc, ®Òu dïng hai th©ó kÝnh (kÝnh vËt, kÝnh phãng) ®Ó khuÕch ®¹i
¶nh. ë TEM thay cho nguån s¸ng lµ sóng ®iÖn tö víi ®iÖn thÕ t¨ng tèc kho¶ng tõ
60 ÷ 300kV. KÝnh héi tô tËp trung chïm ®iÖn tö chiÕu vµo mÉu, kÝng vËt t¹o ra
¶nh trung gian vµ kÝnh phãng ®aÞ ¶nh trung gian thµnh ¶nh cuèi cïng.

21
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

C¸ch t¹o ¶nh ë hiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua.

Nhê sóng ®iÖn tö vµ kÝnh héi tô ta cã mét chïm tia ®iÖn tö m¶nh chiÕu vµo
mÉu. Do ®iÖn thÕ t¨ng tèc cao (~ 70kV) vµ mÉu máng (50 - 100 nm) tia ®iÖn tö
xuyªn qua mÉu vµ bÞ t¸n x¹ bëi c¸c nguyªn tö cña mÉu. Cã thÓ xem chïm ®iÖn tö
räi vµo mÉu cã c−êng ®é s¸ng ®ång ®Òu ë trªn bÒ mÆt nh−ng sau khi qua mÉu
c−êng ®é s¸ng bÞ ph©n bè l¹i, cã chç m¹nh chç yÕu, cã h−íng m¹nh h−íng yÕu
cßn gäi lµ ®é t−¬ng ph¶n.
C¬ chÕ t−¬ng ph¶n ë ¶nh TEM: gi¶ sö chiÕu vµo mÉu mét chïm tia song
song c−êng ®é s¸ng ®ång ®Òu. Sau khi ®i xuyªn qua mÉu, c−êng ®é s¸ng ph©n bè
kh«ng ®ång ®Òu do ®iÖn tö bÞ t¸n x¹ bëi c¸c nguyªn tö cña mÉu. Cã ba nguyªn
nh©n lµm cho phÝa ®iÖn tö c−êng ®é s¸ng kh«ng ®ång ®Òu, tøc lµ cã t−¬ng ph¶n:

T−¬ng ph¶n do khèi l−îng – bÒ dµy (mass-thickness).

§iÖn tö ®i vµo mÉu gÆp c¸c nguyªn tö bÞ t¸n x¹, nguyªn tö sè Z cña mÉu
cµng lín phÇn t¸n x¹ cµng m¹nh, phÇn truyÒn th¼ng cµng yÕu. MÆt kh¸c khi tia
®iÖn tö ®i qua chç dµy gÆp nhiÒu nguyªn tö h¬n lµ khi ®i qua chç máng nªn ®iÖn
tö t¸n x¹ ë chç dµy m¹nh h¬n lµ chç máng. §èi víi mÉu v« ®Þnh h×nh ®©y lµ c¬
chÕ t−¬ng ph¶n duy nhÊt.

H×nh 20. S¬ ®å khèi thiÕt bÞ TEM

22
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

ë TEM ng−êi ta bè trÝ ®Ó kÝnh vËt t¹o ¶nh trung gian cña mÆt n»m ngang
d−íi mÉu vµ c¸c thÊu kÝnh cßn l¹i khuÕch ®¹i ¶nh trung gian nµy. ë kÝnh vËt
ng−êi ta cßn bè trÝ mét diafram cã lç nhá n»m che bít c¸c tia t¸n x¹, chØ lÊy c¸c
tia ®i g÷a, ®ã lµ c¸ch t¹o ¶nh tr−êng s¸ng BF (Bright Field) th«ng th−êng. T−¬ng
ph¶n khèi l−îng – bÒ dµy cßn ®−îc dïng ®Ó t¨ng t−¬ng ph¶n cho ¶nh: ng−êi ta
dïng c¸ch bèc bay xiªn hoÆc phón x¹ t¹o nªn bÒ mÆt mÉu nghien cøu mét líp
máng chÊt cã nguyªn tö sè Z lín nh− vµng, b¹c, crom. Do hiÖu øng bãng nh÷ng
chç ghå ghÒ trªn mÉu sÏ næi râ h¬n.

2.3. EDX
Khi chiÕu mét chïm ®iÖn tö vµo mÉu cÇn kh¶o s¸t, cã nhiÒu d¹ng h¹t tõ
mÉu ph¸t ra trong ®ã cã tia X. Dïng detector thu tia X vµ tÝnh c−êng ®é t¸n s¾c
cña tia X theo n¨ng l−îng cho phÐp ta x¸c ®Þnh thµnh phÇn c¸c chÊt trong mÉu ®ã
lµ nguyªn lý lµm viÖc cña EDX (Energy Dispersive X-Ray Spectrometer).

ThiÕt bÞ EDX
D−íi t¸c dông cña chïm ®iÖn tö tíi, tõ vïng kh«ng gian bÞ kÝch thÝch cã tia
X ph¸t ra. Tia X cho ®i qua mét cöa sæ trong suÊt ®èi víi b−íc sãng tia X ®i vµo
detector p-n Si(Li). D−íi t¸c dông cña tia X (c¸c l−îng tö n¨ng l−îng) lµm xuÊt
hiÖn cÆp ®iÖn tö lç trèng trong b¸n dÉn. Khi ¸p ®Æt mét ®iÖn thÓ lªn phiÕn b¸n dÉn
vµ ®ãng kÝn m¹ch, trong m¹ch xuÊt hiÖn c¸c xung ®iÖn tØ lÖ víi sè e- h t¹o ra, tøc
lµ phô thuéc vµo n¨ng l−îng chïm tia X chiÕu tíi. TÝn hiÖu xung ®−îc khuyÕch
®¹i vµ chuyÓn thµnh tÝn hiÖu ®iÖn ¸p qua m¹ch khuyÕch ®¹i vµ m¹ch chuyÓn tÝn
hiÖu xung -®iÖn. Nh− vËy tÝn hiÖu ®iÖn ¸p tØ lÖ víi n¨ng l−îng cña c¸c l−îng tö
tia X chiÕu vµo. Ph©n bè c¸c xung nµy cho ta ph©n bè c−êng ®é tia X chiÕu tíi.
Mçi vËt liÖu cã phæ tia X rÊt ®Æc tr−ng, tõ ®ã ta cã thÓ x¸c ®Þnh tån t¹i nguyªn tè
cã trong mÉu, ph©n tÝch c−êng ®é v¹ch phæ sÏ x¸c®Þnh ®−îc thµnhphÇn c¸c
nguyªn tè nãi trªn. H×nh 21 lµ c¸c bé phËn chÝnh trong hÖ EDX

23
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

H×nh 20. ThiÕt bÞ EDX

H×nh 21. ThiÕt bÞ EDX

24
TiÓu luËn m«n häc C«ng nghÖ vi h×nh

Tµi liÖu tham kh¶o

1. Bµi gi¶ng C«ng nghÖ vi h×nh, TS. Phan Ngäc Minh- ViÖn Khoa häc VËt
liÖu
2. Gi¸o tr×nh VËt lý ®iÖn tö, GS. Phïng Hå, §¹i häc B¸ch khoa Hµ néi
3. Bµi gi¶ng Ph©n tÝch cÊu tróc vµ h×nh th¸i häc vËt liÖu, GS. NguyÔn Xu©n
Ch¸nh, §¹i häc B¸ch khoa Hµ néi
4. The Physics of Micro/nano fabrication, Ivor Brodie and Julius J. Muray
5. LuËn ¸n tiÕn sü, TS. Lª Quang Huy, ViÖn Khoa häc VËt liÖu
6. Fundamentals ß Microfabrication, Marc J.Madou

25