Câu 4:

A,chương 5 ( trANG 41)

B,
V= 4 um/phút=4/60 ( um/s)
 S=4* 4/60 = 4/15 (um/1 chu trinh)
 Số chu trình là n= (490-10): 4/15=1800 (chu trình)
 Phải có 1800chu trình
Thời gian là : t= 1800*6= 10800 (s)=180 (phút)=3h
Câu 6: Chương 4( từ trang 55)
Câu 5:
Nguyên tắc hoạt động của cảm biến gia tốc MEMS kiểu tụ:
Hình dưới đưa ra nguyên tắc đo gia tốc xét tương tự như hệ dao động lò xo gòm vất có
khối lượng m , lò xo có độ cứng k

Ta thấy theo định luâtj hooke thì lực tác dụng tỷ lệ với độ biến dạng của lò xo : F=kx.Mà
theo định luật II NEWTON thì đối với hệ qui chiếu quán tính ta lại có : F= ma. Từ đó ta
có : a= kx/m .Để đo được gia tốc ta chỉ cần tính độ dịch chuyển do các giá trị độ cứng k
và khối lượng vật đã biết,người ta có thể sử dụng thuộc tính điện có 2 bản cực song song
khoảng cách giữa 2 bản tụ có thể thay đổi được>
Điện dung của tụ điện đơn là C= k/x0,với k là hằng số phụ thuộc vào thuộc tính môi
trường nằm giữa 2 bản tụ.Nếu biết k,điện dung của tụ điện C ta có thể tính được x0.Cũng
trong hình trên,nếu bản tụ nằm giữa Ca và Cb dịch chuyển 1 khoảng là x thì :
Ca= k/(d + x)
Cb= k/(d-x)
 Cb/Ca= (d+x)/(d-x)=(d+am/k)/(d-am/k)
Cũng theo slide của thầy ( chương 6 trang 27) ta chứng minh được công thức trên
Trong đó d là khoảng cách giữa 2 bản tụ
K là hằng số phụ thuộc vào thuộc tính môi trường nằm giữa 2 bản tụ
m là khối lượng của cảm biển được gắn vào bản tụ nằm giữa hệ 2 tụ điện nối
tiếp

câu 1: chương 3 trang 19

câu 2: chương 3 trang 49
câu 3: chương 2 trang 65
1. Định nghĩa hiệu ứng áp điện trở:
Là hiện tượng thay đổi của vật liệu tinh thể dưới tác dụng của ứng
suất cơ. Nguyên nhân là do đặc tính dị hướng của độ phân giải mức
năng lượng trong không gian tinh thể.
2. Xây dựng tính biểu thức hệ số đo K ( Gauge factor):
Hệ số đo K ( Gauge Factor) -hệ số đánh giá ( hay hệ số biến dạng) của
một máy đo biến dạng là tỷ lệ giữa biến thiên tương đối của điện trở
(∆R/R) và độ biến dạng cơ ε – là độ biến thiên tương đối kích thước
∆L/L.

ΔR/R
 Ta xây dựng được biểu thức tính : K= GF= ε .
Trong đó:
∆R : độ biến thiên điện trở ( tuyệt đối) do biến dạng
R : điện trở máy đo khi không bị biến dạng
ε : độ biến dạng
∆L: độ biến thiên kích thước ( tuyệt đối) do biến dạng
L : kích thước ban đầu khi chưa biến dạng
3. Sự khác biệt của hiệu ứng đối với kim loại và bán dẫn. Giải thích.

Hiệu ứng khi cung cấp năng lượng:

- Đối với kim loại khi nhiệt độ tăng các nguyên tử dao động mạnh
hơn và dễ va chạm vào các e hơn, cản trở chuyển động có hướng
của các e  giảm tính dẫn điện khiến điện trở tăng theo (điện trở
suất tăng).
 - Đối với bán dẫn, khi tăng nhiệt độ các e có thể nhận nhiệt năng để
nhảy lên vùng dẫn. Hiệu ứng nhiệt này mạnh hơn hiệu ứng cản trở
dòng do dao động mạng điện trở giảm khi nhiệt độ tăng, ta có
thể truyền năng lượng cho các e để nhảy lên vùng dẫn và tăng tính
dẫn điện bằng cách chiếu sáng hay bức xạ điện từ nói chung.

Hiệu ứng khi có điện trường ngoài:

- Đối với kim loại Bản chất dòng điện là dòng chuyển dời có hướng
của các e tự do ngược chiều điện trường ngoài.
- Đối với bán dẫn Bản chất dòng điện là dòng chuyển dời có hướng
đồng thời của các e tự do và lỗ trống dưới tác dụng của điện
trường: e chuyển động ngược chiều, lỗ trống chuyển động cùng
chiều điện trường.

Hiệu ứng áp điện trở:

- Áp điện trở ở kim loại do biến dạng hình học, có tính đẳng hưởng,
và nhỏ hơn áp điện trở ở bán dẫn 2 bậc.
- Áp điện trở ở bán dẫn do biến đổi về điện trở suất, có tính dị
hướng và lớn hơn so với kim loại 2 bậc.

g. Cảm biến áp suất áp điện trở, thông số độ nhạy được ghi là

190mV/V/Pa. Giải thích ý nghĩa và tính độ nhạy tương ứng của cảm
biến.
Giải thích :
Tử số mV chỉ độ lớn của điện đầu ra của cảm biến
Mẫu số V chỉ độ lớn của điện áp kích thích được cung cấp
 mV/V không có đơn vị
 Nghĩa là đầu ra của cảm biến là 190 mV/ 1 đơn vị điện áp kích
thích / 1 đơn vị Pa áp suất cảm biến đo được.

D,trang 69 chương 2