You are on page 1of 108

1

KHOA CNG NGHJ THNG TIN


BO MN: DIEN TU - VIN THNG
THS. V CHIEN THANG
KY THUAT VI DIJN TU
TAP BI GIANG
(Luu hnh ni b)
THI NGUYN 9/2010
2
MJC LJC
MUC LUC ......................................................................................................................... 1
Chuong 1: CO SO VAT L............................................................................................... 4
1.1. Cu trc tinh th ...................................................................................................... 4
1.2. Cu trc vng nng luong........................................................................................ 6
1.3. Bn dn tinh khit .................................................................................................... 7
1.4. Bn dn loai P.......................................................................................................... 8
1.5. Bn dn loai N......................................................................................................... 9
1.6. D linh dng, d dn.............................................................................................. 11
Chuong 2: CAU TRC MACH VI DIEN TU.................................................................. 13
2.1. Chuyn tip PN...................................................................................................... 13
2.2. Cng ngh lung cuc............................................................................................. 15
2.2.1. Cch din bng chuyn tip PN....................................................................... 15
2.2.2. Cch din bng Oxide ..................................................................................... 16
2.2.3. Transistor lung cuc ....................................................................................... 17
2.2.4. Diode, din tro v tu din................................................................................ 21
2.3. Cng ngh CMOS ................................................................................................. 24
2.3.1. Mo du ........................................................................................................... 24
2.3.2. Qu trnh ch tao............................................................................................. 26
2.3.3. Ch tao ging.................................................................................................. 27
2.3.4. Din cuc cng................................................................................................. 28
Chuong 3: CNG NGHE CHE TAO MACH VI DIEN TU............................................. 30
3.1. Ch tao phin bn dn............................................................................................ 30
3.1.1. Quy trnh ch tao phin bn dn silic............................................................... 30
3.1.2. Ch tao Silic da tinh th .................................................................................. 31
3.1.3. Ch tao Silic don tinh th ................................................................................ 32
3.1.4. Ch tao phin bn dn..................................................................................... 37
3.1.5. Phng sach...................................................................................................... 37
3.2. Oxy ha................................................................................................................. 49
3.2.1.Gioi thiu cng ngh Oxy ho.......................................................................... 49
3.2.2.Oxy ha nhit................................................................................................... 49
3.3. Quang khc............................................................................................................ 53
3.3.1. Khi nim....................................................................................................... 53
3.3.3. Cc khi nim co ban...................................................................................... 54
3.3.4. Cc giai doan cua qu trnh quang khc........................................................... 56
3.4. n mn.................................................................................................................. 60
3.4.1. n mn uot..................................................................................................... 61
3.4.2. n mn kh .................................................................................................... 66
3.5. Khuch tn ............................................................................................................ 68
3.6. Cy ion.................................................................................................................. 69
3.6.1. Mo du ........................................................................................................... 69
3.6.2. Thit bi cy ion ............................................................................................... 71
3.6.3. Mt na dng cho cy ion ................................................................................. 72
3.6.4. U nhit ............................................................................................................ 72
3.7. Epitaxy.................................................................................................................. 72
3
3.7.1. Mo du ........................................................................................................... 72
3.7.2. Lm sach phin v ty lop Oxit tu nhin ......................................................... 73
3.7.2. Nhit dng hoc qu trnh Epitaxy pha hoi........................................................ 73
3.7.3. Pha tap............................................................................................................ 75
3.7.4. Khuyt tt trong lop Epitaxy ........................................................................... 75
3.7.5. Epitaxy GaAs.................................................................................................. 76
3.7.6. Epitaxy chm phn tu ..................................................................................... 77
3.8. Cc phuong php tao mng mong: Bay hoi, phn xa.............................................. 81
3.8.1. Mo du ........................................................................................................... 81
3.8.2. Bay hoi trong chn khng ............................................................................... 82
3.8.3. Phn xa........................................................................................................... 91
3.9. Kt tua ha hoc pha hoi CVD ................................................................................ 96
3.9.1. Mo du ........................................................................................................... 96
3.9.2. H CVD don gian d ch tao mng Si ............................................................. 96
3.9.3. Ch tao mng din mi bng CVD p sut kh quyn...................................... 97
3.9.4. Ch tao mng din mi v bn dn bng CVD p sut thp............................. 98
3.9.6. Ch tao mng kim loai bng CVD................................................................... 99
Chuong 4: MOT SO HO VI MACH CO BAN ............................................................... 101
4.1. Phn loai vi mach ................................................................................................ 101
4.1.1. Theo chuc nng............................................................................................. 101
4.1.2. Theo cng ngh ch tao................................................................................. 101
4.1.3. Theo linh kin co ban.................................................................................... 101
4.1.4. Theo muc d t hop ...................................................................................... 101
4.2. Cc ho vi mach s................................................................................................ 101
4.2.1. Tng quan..................................................................................................... 101
4.2.2. Cc dc trung cua cc vi mach s.................................................................. 102
4.2.3. Ho RTL (Resistor-Transistor Logic).............................................................. 103
4.2.4. Ho DTL (Diode-Transistor Logic)................................................................. 104
4.2.5. Ho TTL (Transistor-Transistor Logic)........................................................... 104
4.2.6. Ho CMOS..................................................................................................... 106
4.2.7. Mt s cng .................................................................................................. 106
TI LIEU THAM KHAO.............................................................................................. 108
4
Chuong 1: CO SO VAT L
1.1. Cu trc tinh th
Trong tinh th, cc nguyn tu sp xp theo mt trt tu tun hon. Cu
trc tinh th nho nht duoc lp lai mang dy du thng tin cua mt tinh th goi
l mang co so.
a. lp phuong don gian
Bao gm 8 nguyn tu o 8 dinh.
Hnh 1.1. lp phuong don gian.
b. lp phuong tm khi
Bao gm 8 nguyn tu o 8 dinh v 1 nguyn tu o tm hnh lp phuong.
Hnh 1.2. lp phuong tm khi.
c. lp phuong tm m}t
Bao gm 8 nguyn tu o 8 dinh v 6 nguyn tu o tm 6 mt.
5
Hnh 1.3. lp phuong tm mt
d. lp phuong cu trc kim cuong
Hnh 1.4. lp phuong cu trc kim cuong
Hnh 1.5. mang co so Si
Mt phng tinh th: Su dung h s Miller d xc dinh nhu hnh 1.6.
6
Hnh 1.6. H s Miller d xc dinh mt phng tinh th
1.2. Cu trc vng nng lung
Vng nng luong o mi vt rn l khc nhau, d rng v vi tr cua tung
vng nng luong phu thuc vo loai vt rn khc nhau. Ty theo tnh trang
cc muc nng luong c bi din tu chim ch hay khng, nguoi ta chia ra lm 3
vng l: Vng dn, vng cm, v vng ha tri.
Hnh 1.7. Gian d vng nng luong cua Kim loai, cht bn dn
v cht din mi
Vng dan: C th goi l vng dn din, tuc l nhung din tu no nm trong
vng ny goi l nhung din tu tu do. O d cc muc nng luong chua duoc
chim ch hoc bi chim ch 1 phn.
Vng ha tri: Chua nhung din tu ha tri cua nguyn tu, c muc nng luong
thp nht.
Vng cam: L vng nm giua vng dn v vng ha tri. Trong vng ny,
khng tn tai muc nng luong m din tu c th chim ch.
Trong tung vng nng luong, cc muc nng luong c th bi chim dy
hon ton, mt phn hoc bo trng hon ton.
7
Mt din tu mun tham gia vo thnh phn dng din phai tro thnh
din tu tu do, nghia l n phai c du nng luong nhay tu vng ha tri, vuot
qua vng cm ln vng dn. Boi vy, d rng cua vng cm l tiu chun d
phn bit vt rn l vt liu dn din, bn dn, hay cch din. Nhu vy, d
rng cua vng cm cng lon th d dn cng km, chiu rng cua vng cm s
xc dinh nng luong cn thit d din tu but khoi cc lin kt ha hoc d tham
gia vo qu trnh tai din. D don gian, k hiu dy vng dn l E
c
, dinh cua
vng ha tri k hiu l E
v
. Khoang cch giua E
c
v E
v
l vng cm E
g.
1.3. Bn dn tinh khit
Khi cc din tu ha tri nhn duoc cc nng luong tu bn ngoi (nhit
d, nh sng) du lon, c th thot duoc luc lin kt tro thnh din tu tu do
(nhay ln vng dn) tham gia vo thnh phn dng din. Khi y trong vng
ho tri do thiu hut din tu nn xut hin muc nng luong bo trng. Diu d
dua toi su dn din trong vng ho tri. Nhung dim thiu hut din tu trong
vng ho tri c th xem nhu l tai dy tn tai din tch duong cn goi l l
trng. Khc voi ion, cc l trng c th di chuyn trong vt rn l do din tu
bn canh lp dy l trng d v n lai d lai mt l trng v l trng ny di
chuyn mt cch tu do theo huong nguoc voi huong cua din tu. Diu d c
nghia l vic dut mt lin kt dng ho tri lm cho mt din tu chuyn doi tu
vng ho tri ln vng dn.
Qu trnh trn duoc goi l qu trnh pht xa cp din tu - l trng. Nhu
vy trong bn dn sach, cc hat dn duoc tao ra chu yu boi qu trnh hnh
thnh (pht sinh) cp din tu l trng. Trong d, din tu trong vng dn, l
trng trong vng ha tri.
Nguoc lai voi qu trnh pht sinh cp din tu - l trng l qu trnh ti
hop din tu v l trng, tuc l qu trnh xy dung lai mt lin kt nho din tu
tu do roi tu vng dn xung vng ha tri (su pht xa nng luong).
8
Hnh 1.8. Qu trnh pht sinh v ti hop din tu, lo trong.
O trang thi cn bng nhit dng, s din tu pht sinh dng bng s din
tu ti hop. Bn dn nhu vy duoc goi l bn dn rng (bn dn tinh khit).
1.4. Bn dn loi P
Pha tap Silic voi cc nguyn tu ha tri 3 nhu Al, th mi nguyn tu tap
cht ha tri 3 thay th vi tr nguyn tu bn dn tinh khit gc v tao ra lin
kt dng ha tri voi 3 nguyn tu lng ging gn nhau nht, cn lin kt thu 4
khng hon hao v v vy lm xut hin 1 l trng. Do vy, chi cn 1 nng
luong rt nho cung cho php mt din tu cua lin kt dng ha tri gn d dn
chim l trng v lm dut cc lin kt khc. Cc nguyn tu tap cht ha tri 3
ny c xu huong bt din tu cua vng ha tri lm tng l trng trong bn dn
nn nguoi ta goi l tap cht aceptor, cn bn dn c tap cht loai ny goi l
bn dn loai P.
9
Hnh 1.9. Tap cht aceptor trong don tinh th Si
Hnh 1.10. Gian d muc nng luong aceptor
Muc nng luong aceptor E
a
nm gn dinh vng ha tri, boi vy chi cn
mt nng luong nho (nng luong ion ha) cung c th lm cho din tu nhay tu
vng ha tri ln cc muc aceptor lm cho nguyn tu tap cht ion ha tro thnh
ion m, dng thoi lm xut hin cc l trng trong vng ha tri.
1.5. Bn dn loi N
Nguyn tu Si: Mi nguyn tu c bn din tu ho tri gp chung voi bn
nguyn tu bn canh d tao thnh mi lin kt dng ho tri.
Pha tap Si voi cc nguyn tu thuc nhm V, chng han nhu pht pho
th cc nguyn tu tap cht s lin kt dng ha tri voi 4 nguyn tu Si lng
ging gn nht. Nhu vy cn thua ra 1 din tu ha tri s c lin kt yu voi
10
nguyn tu lng ging xung quanh v cung lin kt yu voi nguyn tu cua
chnh n. Nn chi cn 1 nng luong nho cung giai phng n khoi nguyn tu
cua n d tro thnh din tu tu do.
Tap cht ha tri 5 ny duoc goi l tap cht dno, c nghia l tap cht
din tu tu do. Cn cht bn dn c tap cht dono goi l bn dn loai N. Cc
din tu duoc goi l hat da s, cc l trng duoc goi l hat thiu s.
Hnh 1.11. Tap cht dono trong don tinh th Si
Tnh dn din trong bn dn loai N do din tu quyt dinh. Vic pha tap
cht dno s lm xut hin trong vng cm cua bn dn ny nhung muc nng
luong cuc b nm st duoi dy vng dn goi l muc nng luong dono.
11
Hnh 1.12. Gian d muc nng luong dono
Khoang cch tu dy vng dn dn muc dono nho hon nhiu so voi d
rng vng cm. V vy nng luong cn thit d din tu nhay tu muc dono ln
vng dn (nng luong ion ha) nho hon rt nhiu nng luong cn thit d dua
din tu tu vng ha tri ln vng dn.
1.6. D linh dng, d dn
Duoi tc dng cua din truong, hat dn chuyn dng dinh huong c gia
tc tao nn mt dng din (goi l dng tri) voi vn tc trung bnh ty l voi
cuong d E cua din truong:
t b
v E =
Suy ra:
E v
n tbn
=
E v
p trp
=
Trong d
p
v
n
l cc h s ty l goi l d linh dng cua cc hat dn
tuong ung.
Tu d mt d dng tri gm hai thnh phn:
I
trin
= - qnv
tbn
I
trip
= qpv
tbp
Hay dng tri ton phn
12
I
tri
= I
trin
+I
trip
I
tri
= qE(n
n
+p
p
)
Mt khc: I = oE
Trong d:
o : L d dn [S/m]
o = o
n +
o
p
= qno
n
+ qpo
p
Di voi bn dn thun:
o = qn
i
(o
n
o
p
)
Trong bn dn loai N v n
n
>> p
p
o = o
n
= qno
n
Trong bn dn loai P v c p
p
>> n
n
o = o
p
= qpo
p
Nu bi ion ho hon ton, nng d din tu l N
d
o
n
= qo
n
N
d
Tuong tu nu bi ion ho hon ton
o
p
= qo
p
N
a
13
Chuong 2: CU TRC MACH VI DIJN TU
2.1. Chuyn tip PN
Bng cc bin php cng ngh, nguoi ta tao ra duoc vng chuyn tip
PN c tnh dn din tu bn dn loai P sang bn dn loai N. Dy l dang tip
xc phi tuyn c tnh dn din khng di xung theo hai chiu din p dt vo.
Hnh 2.1. Chuyn tip PN
a. Chuyn tip PN o trng thi cn bng
Bn dn loai P, l trng l hat dn da s, din tu l hat dn thiu s.
Bn dn loai N, din tu l hat dn da s, l trng l hat dn thiu s. Khi hnh
thnh chuyn tip PN, tai b mt tip xc, l trng s khuch tn tu bn dn P
sang bn dn N, nguoc lai din tu s khuch tn sang bn dn P (v c su
chnh lch v nng d n
n
>>n
p
v p
p
>>p
n
). Nhu vy, tai gn b mt tip xc
bn dn P s c nhung ion m cua cc nguyn tu acxepto d bi ion ha, tai
gn b mt tip xc bn dn N cn lai cc ion duong cua cc dono bi ion ha.
Do su khuch tn cc hat da s m tai min ln cn mt tip xc mt dc tnh
trung ha v din. Pha N tch din duong, pha P tch din m, hnh thnh
nn 1 din truong khuch tn E
kt
, goi l ni truong (truong pha bn trong),
chiu cua E
kt
tu huong tu N sang P. Nhu vy, E
kt
chng lai su dich chuyn
cua cc hat da s (chng lai xu huong khch tn ban du). Nhung truong hop
14
ny lai cun din tu tu P sang N, l trng tu N sang P lm tng cuong su dich
chuyn cua hat dn thiu s. Khi su khuch tn xay ra mnh lit vng din
tch m, duong o 2 pha bn dn P, N cng rng ra (s din tch tng ln) v
E
kt
tng ln, dng khuch tn cc hat da s I
kt
giam di, cn dng cun cc hat
thiu s I
tr
ngy cng tng ln. Cui cng dng cun cc hat da s bng dng
cun cc hat thiu s (I
kt
= I
tr
), tuc l c bao nhiu hat dn dua tu P sang N th
c by nhiu hat dn duoc dua tu N sang P, chuyn tip P-N o trang thi cn
bng. D l mt trang thi cn bng dng.
O trang thi cn bng, s ion m nm trn b mt tip xc v pha P v
s ion duong nm trn b mt tip xc v pha N bng nhau khng di, do d
cuong d ni truong E
tx
cung dat toi gi tri nht dinh. Min cc ion duong v
m trn khng c hat dn cho nn goi d l min din tch khng gian (di khi
cn goi l min ngho). Khoang cch tu bo min din tch khng gian pha P
sang bo min din tch khng gian pha N goi l d rng min din tch khng
gian (X
m
). Khi dat dn trang thi cn bng d rng min din tch khng gian
cung xc dinh. Hiu din th tip xc c gi tri xc lp, duoc xc dinh boi :
2
ln
i
D A
tx
n
N N
q
kT
=
b. Chuyn tip PN khi duc phn cc thun
Dt vo chuyn tip P-N mt truong din tu bn ngoi lm cho trang
thi cn bng cua chuyn tip P-N bi ph v.
Din truong bn ngoi E
ng
c chiu nguoc voi chiu cua din truong
khuch tn E
kt
th din truong tng cng trong vng din tch khng gian s bi
giam xung lm cho cc hat co ban s xch lai gn nhau hon voi lop tip xc.
Xt d rng cua min din tch khng gian: Do din cuc cua din p bn ngoi
dt vo, cc l trng trong bn dn P v din tu trong bn dn N bi dy v pha
min din tch khng gian, trung ho bot cc ion duong v m cua min ny
do d lm cho d rng cua min ny hep lai. Din p thun cng lon, s hat
dn da s bi dy v pha min din tch khng gian cng nhiu v d rng cua
n cng giam nho. R rng l d rng min din tch khng gian giam nho
15
tuong ung voi s din tch vng ny giam v do d din truong cua n cung
giam nho so voi khi cn bng mt luong l (
tx
U).
c. Chuyn tip PN khi duc phn cc nguc
E
ng
cng chiu voi E
kt
lm cho din truong tng cng trong vng din
tch khng gian tng ln v ngn cc hat tai co ban trong vng trng xch lai
gn lop tip xc cng ngh, v vy chiu rng vng din tch khng gian tng
ln, hng ro th nng cung tng ln mt dai luong l q(
tx
+V) v cc hat tai
co ban khng du nng luong d vuot qua hng ro th nng ny, dn dn su
suy giam dng cc hat tai qua chuyn tip PN.
Khi chuyn tip PN phn cuc nguoc dng cc hat tai khng co ban (cc
din tu trong min p, cc l trng trong min n) c th chuyn dich vo trong
min tip xc. Lc ny s c 1 dng din rt nho chuyn roi qua chuyn tip
PN; dng din ny duoc goi l dng din nguoc (dng r) cua chuyn tip PN.
Dng ny c xu huong tin toi 1 gi tri bo ha no d, v goi l dng bo
ha.
2.2. Cng ngh lung cc
Mach tch hop du tin (1960) duoc ch tao dua trn cc transistor
lung cuc, v rt nhiu loai vi mach SSI, MSI, LSI hin nay cung duoc pht
trin tu nhung mach ban du ny. Dng luc d pht trin cc mach IC l d
ch tao cc my tnh ngy cng nho hon v cht luong hon. Cc mach lung
cuc trong cc my tnh hin nay l cc mach logic TTL, ECL v mt s mach
khc, su dung cc loai transistor NPN, cc diode v cc din tro khuch tn,
d thuc hin nhiu chuc nng logic khc nhau.
Mt trong nhung yu cu quan trong di voi tt ca cc mach trn dy l cch
din giua cc linh kin khc nhau. Chng ta s xt mt s k thut cch din
trong cc vi mach.
2.2.1. Cch din bng chuyn tip PN
K thut cch din ph bin nht trong cc IC th h du tin l su dung
chuyn tip PN phn cuc nguoc. Vt liu ban du l d loai P, trn d c cy
16
mt lop epitaxy loai N. Cc vng N ring r duoc tao ra bng cch khuych
tn tap loai P qua lop epitaxy dn tn d. So d mt ct d voi vng N cch ly
duoc biu din trn hnh 2.2.
Hnh 2.2. Mt ct chi r vng epitaxy loai N duoc bao quanh
boi khuch tn loai P
Vng N ny hon ton duoc bao quanh boi khuych tn loai P, v nu
chuyn tip PN duoc phn cuc nguoc th s cch din tt cho dng mt chiu.
Tuy nhin, di voi tn hiu xoay chiu th tnh cht cch din s giam khi tn
s tn hiu tng, nguyn nhn l chuyn tip c din dung v tro khng cua
din dung giam khi tn s tng.
2.2.2. Cch din bng Oxide
Vic thay th vng cch din loai p bng oxide sillic cho php tit kim
din tch v n khng cn dn chuyn tip pn v do d loai loai tru ca vng
ngho cua chuyn tip. Oxide l vt liu cch din tt. Gian d cu trc linh
kin voi cch din oxide duoc trnh by o hnh 2.3.
17
Hnh 2.3. Cch din bng oxide trong truong hop l tuong.
Trn thuc t ta s nhn duoc cu trc mo chim chu khng th nhn
duoc Oxide cch din vung gc l tuong nhu hnh v.
2.2.3. Transistor lung cc
a. Cu trc m}t ct Transistor NPN
Thit k cc IC lung cuc bao gm vic hop mang din cc transistor,
diode, din tro v tu din. Khng c cun cam, bin th v thuc t th tu din
chi c gi tri gioi han dn vi chuc pF. Linh kin quan trong nht trong IC
lung cuc l cc transistor v cu trc mt ct cua mt transistor NPN cng
sut thp duoc trnh by nhu hnh v 2.4. O dy su dung cch din oxide.
Phn tch cuc cua transistor l vng nm ngay duoi Emitter. Din tu duoc
phun tu Emitter N
+
vo Bazo loai P duoi tc dung cua din p dt trn chuyn
tip BE.
Hnh 2.4. Cu trc mt ct cua Transistor NPN
18
Cc thng s thit k quan trong lin quan dn dng mt chiu, khuch
dai dng mt chiu v din p dnh thung. Di voi hoat dng tn hiu nho th
tn s cuc dai, tc d chuyn mach, din dung chuyn tip v din tro ni tip
dng vai tr quan trong.
Ta thy rng dng chay thng gc tu E, qua B dn C, nhung phai chay
ngang qua lop epitaxy d dn tip xc collector. V cn c din p dnh thung
cao nn lop epitaxy cn c din tro sut tuong di lon, v do d sinh ra din
tro ni tip lon giua vng hoat dng duoi E v tip xc C. Din tro ni tip
anh huong xu dn tnh nng cua transistor. D dng thoi duy tr din tro sut
cao cua lop epitaxy v giam din tro ni tip collector, mt lop din tro sut
thp duoc ch tao ngay pha duoi transistor . Lop chn N
+
o dy duoc ch tao
truoc khi cy lop epitaxy.
b. Din tro Bazo v Collector
Trong cu trc thuc cua transistor dng chay tu vng tch cuc ngay duoi
Emitter dn tip xc Bazo v Collector. N di qua phn silic khng dng vai
tr g cho hoat dng khuch dai, m nguoc lai, phn silic ny l din tro di
voi dng, v din tro d cn phai dua vo m hnh tnh ton transistor. Quan
trong nht o dy l din tro Bazo v Collector. Dng Bazo trong mt
transistor tn hiu nho chay tu pha duoi Emitter di qua vng din tro cao cua
Bazo v dn tip xc Bazo nhu hnh 2.5.
19
Hnh 2.5. Din tro Bazo giua tip xc Bazo v vng tch cuc duoi Emitter.
C th chia qung duong di cua dng thnh ba phn: Phn ngay duoi
tip xc Bazo (r
a
), phn giua tip xc Bazo v mp Emitter (r
b
) v phn duoi
Emitter (r
c
) Phn tch chi tit ba phn trn cho ta cc gi tri din tro nhu sau:
E B
BC B
a
L d
x
r
3

= ;
E B
EB B
b
L W
d
r

= ;
E B
E B
C
L W
d
r
6

=
Trong d:
B
l din tro sut trung bnh cua min Bazo, L
E
l chiu di
cua tip xc Bazo v cung l chiu rng cua Emitter.
Tng din tro Bazo l: r
bb
= r
a
+ r
b
+ r
c
Thng thuong r
bb
c gi tri trong khoang tu 50O dn 200O.
C th nhn duoc biu thuc din tro Collector mt cch tuong tu. Duong di
cua dng Collector cung duoc chia lm 3 phn nhu hnh 2.6.
20
Hnh 2.6. Din tro Collector giua tip xc Collector
v vng pha duoi Emitter.
Gia thit lop chn N
+
trai di tu pha duoi Emitter dn duoi tip xc
Collector. Din tro cc phn nhu sau:
C C
E epi C
a
L d
X X
r
) (
=

;
2 / ) (
C E
EC S
b
L L
d
r
+
=

;
E E
BC epi C
C
L d
X X
r
) (
=

Trong d
c
l din tro sut lop epitaxy,
S
l din tro vung cua lop chn n
+
.
c. Din dung chuyn tip mt pha PN
Din dung cua mt chuyn tip dt ngt (mt pha) P
+
N hoc PN
+
phn
cuc nguoc duoc cho boi:
2 / 1
0
0
) ( 2

+
=


V
qN
A C
Si
Trong d: A l din tch chuyn tip, N l nng d tap cua vng pha tap
thp v
0
l th khuch tn duoc cho boi:
2
0
ln
i
D A
n
N N
q
kT
=
Mt thng s lin quan o dy l chiu rng lop ngho duoc cho boi:
21
2 / 1
0 0
) ( 2

+
=
qN
V
x
Si

2.2.4. Diode, din tro v t din
Khi thit k mach tch hop, nguoi ta chi c duoc mt s gioi han cu
kin nhu din tro, diode v tu din dung nho. Gi tri din tro tu vi chuc O
dn vi chuc KO. C th c din tro lon hon nhung voi sai s lon v phu
thuc vo nhit d. Voi mach IC, din tch cc linh kin c vai tr quan trong,
v v transistor thuong nho hon nhiu so voi din tro v tu din nn trong thit
k nguoi ta dua vo mt s luong lon transistor. Do tm quan trong cua
transistor, qu trnh ch tao vi mach duoc ti uu ha cho transistor, cc phn
tu khc phai c kha nng duoc ch tao theo cng quy trnh. Voi mt s ung
dung dc bit, c th cn thm mt s khu cng ngh, nhung tng gi thnh
s tng.
Diode trong mach tch hop c th d dng tao tu mt chuyn tip PN
cua transistor. Cung cc chuyn tip d, khi phn cuc nguoc c th dng nhu
mt tu din. Din tro duoc ch tao tu vt liu loai n hoc loai p. C th su
dung cy ion d ch tao din tro c tri s lon.
a. Diode
Nhu d ni o trn, diode duoc nhn tu chuyn tip PN cua transistor.
Mt s cch cu hnh diode dua trn transistor npn duoc chi ra trong bang
duoi dy.
22
Cu hnh
diode
Din tro ni
tip
Din p
dnh thung
Din dung Thi gian tr
Thp ~ r
bb
Thp 5-7V C
be
~ 0,5pF Cao ~ 70ns
Thp ~ r
bb
/ Thp 5-7V C
be
~ 0,5pF Thp ~ 5ns
Cao ~ r
bb
+ r
cc
Cao > 40V C
be
~ 0,7pF Cao ~ 120ns
Cao ~ r
bb
+ r
cc
Cao > 40V C
be
~ 0,7pF Cao ~ 90ns
Cao ~ r
bb
+ r
cc
Thp 5-7V C
be
~ 1,2pF Cao ~ 150ns
Bang 2.1. Cc cch cu hnh Diode
b. Din tro
Tri s cua din tro trong IC phu thuc vo kch thuoc hnh hoc v vt
liu su dung. Phuong trnh co ban cua din tro l:
S
l
R =
Voi p l din tro sut cua vt liu, L l chiu di cua mu, S l din tch tit
din ngang.
Dt: R =
d

(O/)
23
=> R = R
W
L
Hnh 2.7 duoi dy l mt ct din tro khuch tn nhn duoc tu vng khuch
tn Bazo.
Hnh 2.7. Mt ct din tro khuch tn
c. T din
Vn d chnh cua cc tu din trong IC l din tch. Din dung cho boi:
C = C
0
S
Trong d: C
0
thuong c gi tri trong khoang 10
-4
dn 10
-3
pF/m
2
. Tu
din voi din dung 1pF di hoi din tch 10
4
dn 10
3
m
2
. Di voi IC Silic,
dy l mt din tch lon, v vy gi tri din dung thuong duoc gioi han o vi
pF. C hai loai tu din co ban l: Tu chuyn tip PN v tu MOS (Kim loai
Oxide - Silic).
Tu chuyn tip PN l Diode din tch lon, su dung mt hoc hai chuyn
tip PN cua transistor. Din dung lon nht nhn duoc khi dng ca hai chuyn
tip B-E v B-C mc song song nhu hnh 2.8. Chuyn tip phai lun duoc
phn cuc nguoc.
Hnh 2.8. Tu din su dung ca hai chuyn tip E-B v B-C
24
Mt ct cua tu MOS duoc trnh by trn hnh 2.9. Ban cuc trn l mng
Al v ban cuc duoi l lop n+ khuch tn cng Emitter. Din mi l lop SiO
2
cy tr lop khuch tn n+. Gi tri din dung cho boi cng thuc:
Hnh 2.9. Mt ct tu MOS.
2.3. Cng ngh CMOS
2.3.1. Mo du
CMOS l thut ngu chi mt loai cng ngh dng d ch tao vi mach
tch hop. Cng ngh CMOS duoc dng d ch tao vi xu l, vi diu khin,
RAM tinh v cc mach lgc s khc. Cng ngh CMOS cung duoc dng rt
nhiu trong cc mach tuong tu nhu cam bin hnh anh, chuyn di kiu du
liu, v cc vi mach thu pht c mt d tch hop cao trong linh vuc thng tin.
Trong thit k cc hm lgc trong cc vi mach CMOS su dung ca hai
loai transistor PMOS v NMOS.
Hai dc tnh co ban cua cc linh kin duoc ch tao bng cng ngh
CMOS l c d min nhiu cao v tiu thu nng luong o trang thi tinh rt
thp. Cc vi mach CMOS chi tiu thu nng luong mt cch dng k khi cc
transistor bn trong n chuyn di giua cc trang thi dng (ON) v mo
(OFF). Kt qua l cc thit bi CMOS t tiu thu nng luong v tao ra t nhit
hon so voi cc loai mach lgc khc nhu mach transistor-transistor logic
(TTL). CMOS cung cho php tch hop cc hm lgc voi mt d cao trn chp.
25
Cng ngh CMOS du tin l cng ngh PMOS. Dn du nhung nm 1970,
cng ngh NMOS chim uu th do d linh dng cua din tu cao hon. So voi
cng ngh lung cuc th cng ngh CMOS c gi thnh thp hon (v su dung
t mt na quang hon) dng thoi lai c mt d t hop lon (1000-20.000
cng/chip). Nhung n lai c nhuoc dim l tc d chm hon.
a, b,
c,
Hnh 2.10. Phn tu dao CMOS :
So d din (a), So d b tr mach (b), Mt ct doc (c)
26
2.3.2. Qu trnh ch to
Hnh 2.11. Luoc d quy trnh ch tao mach CMOS
Cng ngh CMOS duoc su dung rng ri cho cc mach s v cc buoc
cng ngh duoc ti uu ha d c mt d t hop rt cao. Cc linh kin MOS
khng di hoi cng ngh khuch tn hoc oxy ha ring d cch din giua
chng. Cc vng tch cuc duoc cch din voi nhau boi cc chuyn tip P-N
phn cuu nguoc cua ban thn cc linh kin. Trn thuc t, cc mach MOS tin
tin thuong su dung lop oxide dy hoc cc vng bao v cy ion loai n+ hoc
p+ d cai thin tnh nng cua mach. Mt d t hop cao cua mach MOS cung
l nho cc mach s cu tao hon ton tu cc transistor MOS m khng cn su
dung cc din tro khuch tn, thuong chim nhiu din tch hon ban thn
transistor. Dng din trong mach MOS du chay trong lop rt mong trn b
mt bn dn, do vy khng cn thit phai c lop chuyn tip khuch tn su
v khng cn lop chn n+. V nguyn tc cung khng cn dn qu trnh
27
epitaxy. Di voi cng ngh MOS, cy ion l cng doan quan trong nht, dc
bit l d hiu chinh din p ngung cua linh kin.
Mach CMOS su dung ca hai loai MOSFET knh p v knh n. D ch tao ca
hai loai linh kin trn cng mt phin cn phai tao ging hay ng c loai dn
tri du voi loai dn cua d.
2.3.3. Ch to ging
C ba cu hnh ging nhu duoc miu ta trn hnh 2.12. Trn hnh 2.12a
vt liu ban du l silic loai n, ging p duoc ch tao thuong bng phuong php
cy ion kt hop khuch tn vo MOSFET knh p duoc ch tao trn d gc loai
n cn MOSFET knh n duoc ch tao trn ging loai p. Nu vt liu xut pht
l silic loai p, cn tao ging n bng cy ion v khuch tn nhu trn hnh 2.12b.
Cung c th ch tao hai ging ring bit, mt loai n, mt loai p, trong lop
epitaxy c din tro sut rt cao duoc cy trn d n+ nhu duoc chi ra trn hnh
2.12c. Tuy quy trnh ch tao ging di phuc tap hon nhung n cho php linh
hoat hon trong thit k v ti uu ha cc linh kin loai p v loai n.
(a) Ging di trong d din tro sut cao
28
(b)Ging n trong d p
(c)Ging p trong d n
Hnh 2.12. Mt ct cu hnh ging cua CMOS
2.3.4. Din cc cng
Cc th h mach MOS du tin su dung din cuc cng nhm, voi mng
nhm duoc phu trn cng sau khi cng doan khuch tn ngun v mng kt
thc. Nhuoc dim cua cch lm ny l rt kh trng khop chnh xc mt na
quang cua din cuc cng voi cc vng ngun v mng d duoc ch tao truoc
d, dn dn cuc cng khng phu ln vng khuch tn ngun hoc vng
khuch tn mng. Nguoc lai, nu cuc cng phu ln qu nhiu s gy ra din
dung k sinh giua cng voi ngun hoc mng, anh huong xu dn hoat dng
cua linh kin. Nguoi ta d thay th nhm bng silic da tinh th d tao din cuc
cng tu trng khop. D lm duoc vic ny, nguoi ta kt tua lop silic da tinh
th truoc khi ch tao cc vng ngun v mng. Lop silic da tinh th dng vai
tr nhu mt na cho vng knh, v v silic da tinh th c th chiu duoc nhit
29
cao, nn n khng bi ph huy trong qu trnh khuch tn v sau khuch tn.
Voi cch lm nhu vy, ngun v mng trng khop mt cch chnh xc voi
cng silic da tinh th. Cc kim loai kh nng chay nhu W v MO cung d
duoc su dung cho muc dch ny. Vt liu su dung cho cuc cng s anh huong
dn din p ngung thng qua hiu cng thot, diu ny cn phai duoc tnh
dn khi xc dinh din p ngung cho cc tranzitor MOS knh n v knh p.
Cht luong hoat dng cua mach CMOS phu thuc rt nhiu vo din p
ngung V
T
. Trong truong hop mach CMOS cn phai khng ch hai din p
ngung, mt c gi tri duong, mt c gi tri m th c th diu khin chnh
xc V
T
bng cy ion.Thuong cy ion duoc thuc hin xuyn qua lop oxide
cng truoc khi phu lop poly-Silic cuc cng.
30
Chuong 3: CNG NGHJ CHE TAO MACH VI DIJN TU
3.1. Ch to phin bn dn
3.1.1. Quy trnh ch to phin bn dn silic
Hnh 3.1. Quy trnh ch tao phin bn dn
Vt liu ch to phin bn dn: Vt liu chu yu l Si (chim > 95%), cn
lai l GaAs. Boi v:
- Silic c nhiu trong thin nhin nn gi thnh san phm thp hon Ge.
- Vt liu duoc nghin cuu k, c nhiu ung dung.
- Nng luong vng cm (E
g
= 1,12eV) lon hon cua Ge (0.67eV) nn
IC c kha nng lm vic o nhit d cao hon
- D n dinh v ha l cao.
31
- D ch tao lop SiO
2
c cht luong cao, thu dng ha b mt, rt thun loi
trong cng ngh.
Tuy nhin : Khng ch tao duoc cc linh kin pht quang, do linh dong cua
hat tai nho hon so voi GaAs.
Cc cng doan cua quy trnh ch tao phin bn dn bao gm :
- Ch tao silic da tinh th tu vt liu ban du (SiO
2
).
- Nui don tinh th.
- Cua, ct, mi v dnh bng b mt phin bn dn.
3.1.2. Ch to Silic da tinh th
Vt liu ban du d tao phin bn dn l ct duoc lm sach d tao thach
anh (SiO
2
). Sau d, thach anh duoc cho vo l din cng cc loai than khc
nhau (nhu: Than d, than cc, than cui) d thuc hin oxi ha khu d khu SiO
2
.
Cc phan ung xay ra trong l, phan ung tng hop s l:
Silic thu duoc sau phan ung goi l Silic luyn kim, d sach khng cao.
Lm sach Silic luyn kim bng phan ung chlo-ha:
San phm SiHCl
3
(trichlorosilane) duoc ha long o nhit d phng,
dim si: 32
o
C v chung ct d loai bo cc tap cht.
Lm sach SiHCl
3
bng cc cng ngh ha hoc nhu chung ct tch,
chit. D nhn Si c d sach cao, SiHCl
3
cn duoc lm sach voi cc tap cht
thoa mn : 0,3.10
-7
%B; 1,5.10
-70
%P; 0,005.10
-70
%As; 5.10
-7
%C. Da tinh th Si
thu duoc c d sach rt cao .
Hon nguyn SiHCl
3
voi H
2
theo phan ung :
32
Silic thu duoc c d sach cao, yu cu nng d tap cht Cacbon nho
hon c ppm (part per million); cc tap cht khc nho hon c ppb (part per
billion).
Nong do mot so tap chat :
Loai tap Ct Si luyn kim Da tinh th Si tinh khit
Al 8.10
19
cm
-3
3.10
19
cm
-3
5.10
12
cm
-3
B 2.10
18
cm
-3
7.10
17
cm
-3
1,5.10
13
cm
-3
3.1.3. Ch to Silic don tinh th
Thng thuong nguoi ta tin hnh nui don tinh th silic tu Si da tinh th
bng 2 phuong php chnh l CZ ( Czochralski) v luyn vng (floating zone
Fz).
a. Phuong php Cz
Dy l phuong php ch tao phn lon cc tinh th m tu d nguoi ta ct
thnh cc phin bn dn. Phuong php Czochralski thuc cht l kt tinh tu
dang nng chay. Vt liu dng d nui don tinh th Silic l Silic da tinh th
(polisiicon) d sach din tu, nhn duoc qua tinh th ct thach anh(SiO
2
) dn
d sach 99,999999%.
Ki thut thng thuong d nui tinh th duoc goi l phuong php
Czochralski. Trong ki thut ny, mt ming nho vt liu bn dn duoc goi l
mm duoc mang dn tip xc voi b mt cua mt vt liu ging n o pha
long, v sau d duoc ko chm tu th long. Khi mm duoc ko chm, su ha
rn xut hin giua lop tip xc long-rn. Thng thuong tinh th cung duoc
quay chm khi n dang duoc ko d trn long, dn dn nhit d dng du hon.
Nhung nguyn tu tap cht, chng han nhu Bo hoc Photpho c th duoc thm
vo bn dn dang tan chay. Hnh 3.2 biu din so d cua qu trnh nui
Crochralski v thoi silic duoc hnh thnh trong qu trnh ny.
33
(b)
Hnh 3.2. M hnh b ko tinh th (a)
Mach duoc kim tra trn ming silic v sau d duoc tch thnh
nhung chp ring bit (b).
Hnh 3.3 l so d thit bi nui tinh th bng phuong php Czochralski
34
Hnh 3.3. So d thit bi nui tinh th bng phuong php Czochralski
Mm don tinh th c huong xc dinh duoc duoc gn voi truc quay v
nhng vo da tinh th silic nng chay, dng thoi quay lin tuc.
Tai vng tip xc giua mm don tinh th,mm tinh th v Si da tinh th
nng chay, nguoi ta lm lanh dn nhit d dng dc (1690K) v kt tinh dng
nhu cu trc mang cua mm, khi don tinh th duoc ko dn khoi Si nng
chay voi vn tc ~ 10 m/s.
+ Sau khi da tinh th Si d chuyn ht thnh don tinh th, nguoi ta ct bo
hai du, mi bo nhung phn g gh d thu duoc thoi don tinh th hnh tru c
duong knh tu 80-250 mm hoc lon hon nhu hnh 3.4.
35
Hnh 3.4. Thoi don tinh th Si
b. Phuong php Fz (Floating Zone)
Phuong php nng chay vng hay luyn vng (Fz) l phuong php nui
tinh th tt nht d nhn duoc Silic cuc k tinh khit. Dc dim co ban cua
phuong php luyn vng l phn nng chay cua mu hon ton duoc giu boi
phn rn, nghia l o dy khng cn ni nhu phuong php Cz.
Trong phuong php luyn vng, da tinh th silic duoc lm nng chay
bng h quang o du tip xc voi mm tinh th v lm lanh dn nhit d dng
dc cua silic. Don tinh th Si tao ra duoc quay v ko xung voi vn tc xc
dinh. Cc buoc tip theo hon ton tuong tu nhu phuong php Cz.
36
Hnh 3.5. H nui don tinh th silic bng phuong php Fz
Nhn xt:
1. Tinh th nui tu Fz sach hon nui tu Cz ( nhim cc tao cht Oxy, C,
B v nhiu kim loai khc tu ni nung thach anh). V vy phuong php FZ
duoc dng d ch tao cc don tinh th c d sach cao, c din tro sut c 10-
200 O.cm.Tinh th nui tu Fz thuong dng d ch tao thysistor, diode chinh
luu cng sut cao, cc detector hng ngoai cn d sach siu cao.
2. Nhuoc dim cua phuong php nng chay vng l gi thnh cao v
khng ch tao duoc tinh th c duong knh lon nhu phuong php CZ, phuong
php FZ chi ch tao duoc tinh th c duong knh c 100mm. Ngoi ra, mt
nhuoc dim khc cua k thut nng chay vng l kh pha tap mt cch dng
du.
37
3.1.4. Ch to phin bn dn
Sau khi nui duoc thoi bn dn don tinh th cn xc dinh cc huong
tinh th, lm cc vt chun chnh v vt chun phu (d dinh huong tinh th).
Sau khi mi vt, thoi duoc nhng vo dung dich n mn ha d ty bo sai
hong do mi co kh gy ra. Mi nh san xut su dung hn hop ring cua ho,
nhung thng thuong l trn co so h HF-HNO
3
. Sau d, thoi duoc cua, ct
thnh phin, dy l buoc ht suc quan trong v n quyt dinh d phng cua
phin.
Hnh 3.6. Phin bn dn Si
Cui cng phin Si duoc kim tra, xc dinh cc thng s nhu din tro
sut b mt, duong knh, b dy sau d phn loai, dng hp v dua dn noi
ch tao vi mach.
D pha tap cht vo don tinh th Si nguoi ta dng kh tro (Ar) mang kh
pha tap vo vng nng chay; hoc trn truc tip cc cht tap nhu B, P hoc As
v da tinh th Si nng chay. Kh chua tap l PH
3
, B
2
H
6
hoc AsH
3
. Loai kh,
nng d v p sut kh dua vo phu thuc vo loai bn dn v nng d hat dn
cn ch tao.
3.1.5. Phng sch
Trong ngnh vt l, khoa hoc vt liu, phng sach thuong dng cho cc
cng ngh ch tao vt liu di hoi d sach cao nhu: quang khc, cng ngh
mng mong (MBE, sputtering, CVD...), cng ngh linh kin bn dn, linh kin
din tu, cc h thng vi co din tu (MEMS, NEMS), cc php phn tch tinh
t, cc xu l l ha cua san phm.
Phng sch l mot phng m nong do cua hat lo lung trong khng kh bi
khong ch v n duoc xy dung v su dung trong mot kt cau sao cho su c
38
mt, su san sinh v duy tr cc hat trong phng duoc giam dn toi thiu v cc
vu to khc trong phng nhu nhit do, do am, p suat du c th khong ch v
diu khin .
Ni mt cch don gian, phng sach l mt phng kn m trong d, luong
bui trong khng kh, duoc han ch o muc thp nht nhm trnh gy bn cho
cc qu trnh nghin cuu, ch tao v san xut. Dng thoi, nhit d, p sut v
d m cua khng kh cung duoc khng ch v diu khin d c loi nht cho
cc qu trnh trn. Ngoi ra, phng cn duoc dam bao v trng, khng c cc
kh dc hai dng theo nghia "sach" cua n.
Tiu chun phng sch: Tiu chun du tin cua phng sach l hm luong
bui.
Hnh 3.7. So snh duong knh soi tc v hat bui trong phng sach .
Cc tiu chun v phng sach ln du tin duoc dua ra vo nm 1963 o
M, v hin nay d tro thnh cc tiu chun chung cho th gioi. D l cc tiu
chun quy dinh luong hat bui trong mt don vi th tch khng kh. Nguoi ta
chia thnh cc tm kch c bui v loai phng duoc xc dinh boi s hat bui c
kch thuoc lon hon 0,5m trn mt th tch l 1 foot khi ( ft
3
) khng kh
trong phng.
Cc gioi han hm luong bui trong tiu chuan ISO:
Theo T chuc Tiu chun Quc t (International Standards Organization
- ISO) th cc loai phng sach duoc phn loai theo tung cp phng sach nhu
bang duoi dy.
39
Bang 3.1. Cc gioi han hm luong bui trong tiu chun ISO 14644-1
Ch : Muc d nhim bn khng kh trong phng cn phu thuc vo cc hat
bui sinh ra trong cc hoat dng trong phng, chu khng chi l con s c dinh
cua phng. V vy, cc tiu chun cua phng, lun di hoi cc h thng lm
sach lin hon v cn quy dinh v quy m phng v s nguoi, s hoat dng
kha di trong phng sach.
Cc thit k phng sach
a. Kiu phng thng hoi hn lon :
Nguyn l thng hoi cua phng sach kiu ny cung tuong tu nhu hu ht cc
phng diu ha khng kh ph thng. Khng kh (sach) duoc cung cp boi
my diu ha khng kh duoc toa di qua h thng khuch tn trn trn nh nhu
hnh 3.8.
40
Hnh 3.8. Phng sach kiu thng hoi hn loan
Nguoi ta goi l "thng hoi hn loan" l do khng khi di chuyn mt
cch ngu nhin v hn loan trong phng nho h thng khuch tn (hnh 3.9a)
hoc nho h thng "phun" (hnh 3.9b).
41
(a) (b)
Hnh 3.9. Cc kiu di chuyn khng kh trong phng sach kiu thng hoi hn loan:
di chuyn qua b khuch tn (a) v su phun nho mt h thng phun hoi (b).
H thng "phun" khng kh (hnh 3.9b) thuong bt gp trong cc h
thng phng sach thng hoi hn loan truyn thng. H thng kiu ny thuong
cho cc dng kh thng v c kha nng kim sot tt qu trnh nhim bn duoi
b loc. H thng phun ny c th mang lai cc diu kin kha di hon bn duoi
khi vuc cung cp, nhung do d lai lm km di cho cc vng xung quanh trong
phng (hnh 3.10).
42
Hnh 3.10. Mt so d don gian v phn b p sut dng kh
trong phng sach voi h thng phun kh.
b. Phng sch kiu djnh hung hon ton (Unidirectional Cleanroom):
H thng phng sach voi kiu thng hoi tn loan thuong chi dat duoc
cc d sach tiu chun toi cp ISO 6 trong qu trnh san xut. D dat duoc cc
43
diu kin tt hon th trong sut qu trnh hoat dng, diu cn thit l phai lm
long su san sinh cc hat. Diu ny c th dat duoc bng cch dng dng
khng kh hon ton thng (hnh 3.11).
Hnh 3.11. H thng phng sach kiu dng khng kh thng dung
Hnh 3.12. H thng thot kh thng dung voi cc cua thot kh b sung 2 bn.
44
Mt kiu khc cua h thng phng sach dinh huong l h thng dng
kh nm ngang (hnh 3.12)
Hnh 3.13. H thng phng sach voi dng khng kh nm ngang.
45
Hnh 3.14. So snh 2 kiu giam nhim bn o dng khng kh
thng dung v nm ngang.
+ O phng c dng luu chuyn thng dung, cc bui bn s bi dy theo chiu
thng dung xung sn, v thi bat xung cc vi tr thot kh v khng gy
nhim bn tu vi tr ny sang vi tr khc cung nhu tu nguoi ny sang nguoi
khc.
+ Cn h thng luu chuyn kh nm ngang c th dn toi vic bui bn bi thi
tu vi tr ny sang mt vi tr nm ngang khc, hoc tu nguoi pha truoc (chiu
kh luu chuyn) bay vo nguoi pha sau (hnh 3.14).
H thng phng sach voi dng khng kh luu chuyn thng dung duoc
su dung ph bin cho cng nghip bn dn v cng ngh vt liu.
46
Hnh 3.15. Kiu thit k phng sach cho cng ngh vt liu (linh kin din tu
bn dn...) - kiu thit k ny duoc goi l kiu phng ballroom .
Cc phng c th duoc b tr theo nhiu kiu khc nhau tao thnh cc
kiu phng sach. (hnh 3.15) goi l "ballroom", kiu phng ny c trn l mt
b loc kh hiu nng cao cung cp kh khi cho ton xuong cho d my mc
dung o vi tr no.
47
Hnh 3.16. Ba kiu phng sach hay dng cho khoa hoc v cng ngh vt liu.
* H thng lc khng kh cho phng sch :
Khng kh trong phng sach phai dat cc yu cu v muc d cc hat bui
v th lun cn c cc h thng loc bui. K tu nm 1980, mt h thng loc
duoc su dung rng ri mang tn High Efficiency Particle Air (HEPA - H
thng loc hat hiu nng cao). HEPA l mt h thng c kha nng loc hat bui
toi trong khng kh voi hiu sut 99,97% cho bui nho toi 0,3 m. Ngy nay,
HEPA cn duoc bsung cc tnh nng loc vi khun v cc hat tro.
48
(a) (b)
Hnh 3.17: Mt b loc HEPA kiu cc np gp su (a) v cc np gp nho (b).
Khng kh duoc loc qua cc cun giy loc cun tung lop thnh cc
media loc c d rng tu 15 dn 30 cm v duoc ngn cch boi cc l nhm
mong. D ngn can cc hat bui nho, nguoi ta su dung media loc l cc dy
micro xp thnh cc luoi siu nho (hnh 3.18a) v do d cho khng kh di qua,
dng thoi can cc hat bui.
(a)
49
(b) (c)
Hnh 3.18. Vi cu trc tm loc (a)
v co ch loc bui cua tm loc (b) v hiu sut loc (c).
3.2. Oxy ha
3.2.1.Gii thiu cng ngh Oxy ho
Vic khng ch chnh xc d dy lop Oxyde cung nhu su am hiu v
qu trnh Oxy ha dng vai tr quan trong dc bit trong cng ngh ch tao
linh kin vi din tu. Su Oxy ha nhu dng, nhm truoc dy d duoc nghin
cuu gn lin voi vn d n mn kim loai. Tuy nhin, ngy nay trn 90% linh
kin du duoc ch tao trn tinh th silic nn chng ta chi nghin cuu qu trnh
Oxy ha silic m cu th l qu trnh tao lop SiO
2
. Phuong php ph bin nht
d tao lop SiO2 trong cng nghip l Oxy ha nhit.
3.2.2.Oxy ha nhit
a. Phn loi
Trong phuong php oxy ha nhit, cn cu vo mi truong oxy ha
nguoi ta chia lm 2 dang l oxy ha kh v oxy ha m
50
- Su tao thnh lop Oxyde trong mi truong Oxy kh duoc biu din qua phan
ung ha hoc:
Si + O
2
= SiO
2
- Trong Oxy ha m , hoi nuoc l cht kh tham gia phan ung:
Si + 2H
2
O = SiO
2
+2H
2
b. Thit b| Oxy ho
Thit bi dng d Oxy ho thng dung l l Oxy ho biu din nhu hnh
3.19. Cc phin Si duoc giu thng dung trong thuyn thach anh, mi thuyn
chua dn 25 phin. Thuyn duoc dua vo trong ng l thach anh. Cc kh cn
thit nhu H
2
, N
2
, O
2
, HCl... duoc dua vo l thng qua cc van luu luong kh
v duoc thai ra tu du kia cua ng. Nhit d trong l khoang tu 400 C -> 1200
C.
Trong cc l cng nghip cc phin sau khi rua sy kh dt vo trong thuyn
duoc tu dng dua vo trong l v nhit d duoc nng ln. Mun thuc hin
Oxy ho m nguoi ta su dung cc kh mt (O
2
, N
2
) suc qua nuoc dun o nhit
d 95
o
C d dua nuoc vo bn trong.
Hnh 3.19. Thit bi Oxy ha
Cc lop SiO
2
duoc tao boi 2 phuong php c tnh cht khng hon ton
ging nhau. Cht luong lop SiO
2
duoc tao boi Oxy ho kh tt hon, tuy nhin
51
tc d Oxy ho m lai nhanh hon Oxy ho kh cho nn c th phi hop ca 2
phuong php trn d ch lop SiO
2
. D tng tc d Oxy ho v hon thin cht
luong lop SiO
2
, trong cng ngh nguoi ta thuong cho thm vo phan ung ho
hoc cc cht chua Cl nhu HCl ; C
2
HCl
3
; C
2
H
3
Cl
3
.
Cc phan ung khi cho cht xc tc nhu sau:
4HCl + O
2
= 2H
2
O + Cl
2
4C
2
HCl
3
+ 9O
2
= 2H
2
O + 6Cl
2
+ 8CO
2
2H
2
O + 2Cl
2
= 4HCl + O
2
Oxy ho kh:
Qu trnh Oxy ho Si trong oxy phn tu xay ra theo phan ung:
Si + 02 = Si02
Si bi oxy ho o trong khng kh ngay o nhit d phng. Tuy nhin, mt
khi d hnh thnh lop Oxyde, cc nguyn tu Si phai di qua lop Oxyde d phan
ung voi O
2
o b mt ngoi hoc cc phn tu O
2
phai di qua lop Oxyde dn b
mt Si d phan ung voi Si, dy l qu trinh khuych tn. H s khuych tn
cua Si trong SiO
2
nho hon nhiu so voi h s khuych tn cua O
2
.V vy phan
ung Oxy ho s xay ra trn phn bin Si-SiO
2
.
O nhit d T(k) nht dinh, chiu dy lop xide d tng ln theo thoi gian
xi ho, nhu vy lop bin Si-SiO
2
s dich dn v pha trong d Si.
Hnh 3.20. M hnh khao st dng hoc cua qu trinh oxy ho
52
Hnh 3.21. Su phu thuc cua d dy lop SiO
2
theo thoi gian.
Oxy ho m:
-
Muc dch: D tao lop Oxyde dy, giam thoi gian Oxy ho. Do nhm OH
trong hoi nuoc khuych tn vo trong mang Si-O-Si,nn cc phn tu hoi nuoc
v O
2
khuych tn nhanh hon, phan ung xay ra nhanh hon , cc hng s B/A
v B tng rt nhanh v manh.
53
Hnh 3.22. So d mt ct l Oxy m
3.3. Quang khc
3.3.1. Khi nim
Quang khc hay photolithography l k thut su dung trong cng ngh
bn dn v cng ngh vt liu nhm tao ra cc chi tit cua vt liu v linh kin
voi hnh dang v kch thuoc xc dinh bng cch su dung buc xa nh sng lm
bin di cc cht cam quang phu trn b mt d tao ra hnh anh cn tao. Thit
bi duoc su dung trong quang khc l dung cu chiu sng. Dung cu ny duoc
xc dinh boi 3 thng s: D phn giai, d trng lp v luong mu duoc thuc
hin trong mt gio. Phuong php ny duoc su dung ph bin trong cng
nghip bn dn v vi din tu, nhung khng cho php tao cc chi tit nho do
han ch cua nhiu xa nh sng, nn duoc goi l quang khc micro (micro
lithography).
3.3.2. Nguyn l h quang khc
Mt h quang khc bao gm mt ngun pht tia tu ngoai, chm tia tu
ngoai ny duoc khuch dai ri sau d chiu qua mt mt na (photomask). Mt
na l mt tm chn sng duoc in trn d cc chi tit cn tao (che sng) d che
khng cho nh sng chiu vo vng cam quang, tao ra hnh anh cua chi tit
cn tao trn cam quang bin di. Sau khi chiu qua mt na, bng cua chm
sng s c hnh dang cua chi tit cn tao, sau d n duoc hi tu trn b mt
phin d phu cam quang nho mt h thu knh hi tu.
54
Hnh 3.23. H quang khc
3.3.3. Cc khi nim co ban
a. Cht cam quang
L mt dang dc bit cua polymer cam quang, chng duoc ungdung rng
ri trong linh vuc quang khc, c kha nng tao hnh anh ni trn san phm v
gip chng lai qu trnh khc n mn trn b mt san phm.
Polymer cam quang ni chung v photoresist ni ring gm c 2 loai:
Loai tao anh DUONG v loai tao anh M.
Loai tao anh DUONG l h gm cc polymer c trong luong phn tu lon,
duoi tc dung cua cc buc xa s chuyn sang cc polymer hoc cc monomer
55
c trong luong phn tu thp hon, c kha nng ho tan tt hon trong dung mi
thch hop. Hay polymer ban du l loai kh ho tan, duoi tc dung cua buc xa
s d ha tan hon.
Loai tao anh M l cc h m ban du gm l h d ho tan, sau d duoi
tc dung cua buc xa s chuyn sang dang kh ho tan hon.
b. M}t n
L mt tm thuy tinh c hnh anh. Hnh anh duoc tao bng cch n mn
c chon loc lop crom mong phu (khoang 70 nm) trn tm thuy tinh tao vng
ti v vng sng. Khi chiu nh sng qua ch no khng c crom th cho nh
sng di qua, ch no c crom s can nh sng. Hnh 3.24 minh hoa
Hnh 3.24. Hnh anh v mt na
Mt na dng d ch tao vi mach thuong ging nhu luoi thu nho .Buoc
du trong ch tao mt na l su dung h thit k c su tro gip cua my tnh d
miu ta ton b hnh dang mach din sau d nhung du liu s nhn tu my
tnh duoc su dung d diu khin thit bi v hnh l h khc bng chm tia din
tu, h khc ny s truyn truc tip hnh v ln mt na.
56
3.3.4. Cc giai don cua qu trnh quang khc
Hnh 3.25. So d qu trnh quang khc
a. Chun b| b m}t
- Tch tap cht trn b mt d bn dn. Phuong php:
+ Thi kh nito c p sut cao
+ V sinh bng ha cht
+ Dng nuoc c p sut cao
+ Dng co rua
- Sy tch m: Trn b mt cc d bn dn thuong c m do d cn phai loai
bo bng cch gia nhit o khoang 150~200
o
C
- Phu lop din tch so cp: D lm tng kha nng kt dnh giua d bn dn v
cam quang. Din tch so cp thuong su dung l HMDS (hexamethyldislazane)
57
b. Phu lp cam quang
O giai doan ny nn duoc quay trn my quay trong mi truong chn
khng. Cc thng s kim sot trong giai doan ny:
+ Tc d 3000-6000 vng/pht
+ Thoi gian quay: 15-30 giy
+ D dy lop phu: 0.5-15m
Cng thuc thuc nghim d tnh d dy lop phu cam quang
w
kp
t
2
=
Voi k: hng s cua thit bi quay spinner (80-100)
p: hm luong cht rn trong cht cam quang (%)
w: tc d quay cua my quay (vng/1000)
Hnh 3.26. Qu trnh phu cam quang
Cc su c thuong gp trong qu trnh phu lop photoresist:
S c Nguyn nhn Hung khc phc
D dy khng du
b mt kh khng du
cc duong bin dy hon
(c th dy hon 20-30
ln)
C th dt 1 vng trn o
duong bin.
Dng dung mi phun ln
lop bin d hon tan
58
Xut hin cc duong
soc
Do trong resist c cc hat
rn c duong knh lon
hon d dy lop phu.
Dy o duong bin Duong soc trn b mt
Hnh 3.27. Cc su c thuong gp khi phu cam quang
c. Sy so b
Muc dch: lm bay hoi dung mi c trong photoresist. Trong qu trnh
sy d dy lop phu s giam khoang 25%. Phuong php thuc hin:
- Dng l di luu nhit. Diu kin: Nhit d: 90-100
o
C, thoi gian: 20 pht
- Dng tm gia nhit: Nhit d: 75-85
o
C, thoi gian: 45 giy
- Dng sng viba v dn hng ngoai.
d. Chiu nh sng (chuyn hnh anh t m}t n ln cam quang)
Trong giai doan ny, h s duoc chiu nh sng d chuyn hnh anh ln
nn, mt na duoc dt giua h thu knh v nn.
C 3 phuong php chiu dua vo vi tr dt mt na:
- Mt na tip xc
- Mt na dt cch photoresist khoang cch nho
- Mt na dt cch xa photoresist, nh sng duoc chiu qua h thu knh
59
Hnh 3.28. Cc phuong php chiu sng
So snh 3 phuong php:
Phuong php Uu dim Khuyt dim
Mt na tip xc Gi ca hop l
D phn giai cao: 0.5 m
Lm hu mt na do lop oxit
trn mt na bi xuot.
Cc vt bn trn mt na s in
ln phototresit
Mt na dt cch
photoresist khoang
cch nho
Gi ca hop l
D phn giai thp: 1-2 m
Do anh huong cua nhiu xa
nn han ch d chnh xc cua
hnh anh.
D lp lai cua hnh anh km
Mt na dt cch xa
photoresist
D phn giai rt cao: < 0.07
m)
Khng gy hu hong mt na
Gi thnh cao
Bi anh huong cua nhiu xa
60
e. Trng rua: Dng ha cht tch cc cam quang chua dng rn.
f. sy kh: Lm cho cam quang cung hon ton, dng thoi tch ton b dung
mi ra khoi cam quang.
Diu kin sy:
- Nhit d: 49-54
o
C
- Thoi gian: 30 pht
g. n mn
h. Ty bo cam quang: D bn dn duoc rua v sy kh. Dng dung dich
kim hoc kh d ha tan cam quang.
Dng ha cht tch cam quang:
- Su dung ha cht nng ha tan cam quang
- Cc ha cht thuong su dng: acid sulfuric, acid phosphoric v hydrogen
peroxide
- Uu dim: tch cam quang nhanh
- Nhuoc dim: gi thnh ha cht cao, tc dng dn mi truong
Phuong php kh (dng kh):
- Phuong php ny khng dc hai do su dung kh oxy plasma d oxy ha
hon ton cam quang nn cn duoc goi l tro ha cam quang. Luong kh
tao thnh s duoc tch bng bom chn khng.
C
x
H
y
(cam quang) + O
2
CO + CO
2
+ H
2
O
3.4. n mn
Sau khi thuc hin qu trnh quang khc ta thu duoc hnh anh trn l ban
sao hnh dang cua mach. D nhn duoc hnh dang tht cua mach ta thuc hin
qu trnh n mn nhm ty bo lop vt liu khng duoc bao v.
K thut n mn duoc ung dung rng ri trong cng ngh bn dn v
cc h thng vi co din tu
C 2 phuong php n mn :
- n mn uot : su dung di voi chi tit c d phn giai > 3m.
61
- n mn kh : su dung di voi chi tit c d phn giai < 3m
3.4.1. n mn ut
Dy l k thut thng dung nht trong cng ngh bn dn. Ngay tu cng
doan phin vua moi duoc cua ra khoi thoi silion tu nh my san xut phin,
cc ha cht d duoc su dung d mi nghin v dnh bng cui cng chng ta
thu duoc mt tm silicon phng v nhn. Di voi nhung thit bi don le hoc
mach tch hop c kch thuoc du lon (> 3 m), ho cht n mn duoc su dung
d khc nhung hoa tit v mo cua s trn lop vt liu din mi.
n mn uot l phuong php don gian nht v kinh t nht d ha tan cc
cam quang chua dng rn. n mn uot dc bit thch hop khi cn n mn ton
b b mt phin c lop phu l silic da tinh th, oxide, nitride, kim loai v cc
hop cht nhm III-V
* Nhuc dim cua phuong php:
- n mn du khng c dinh huong nn d n mn vo lop oxit bn duoi
lop photoresist. Do d tao hnh anh khng dng voi yu cu.
- Ha cht su dung chu yu l cc acid nn phai quan tm dn tc dng cua
mi truong.
Anisotropic : n mn don huong
Isotropic : n mn nhiu huong
* Co ch n mn ut gm 3 giai don:
62
- Cc cht phan ung khuch tn dn b mt
- Phan ung ho xay ra trn b mt
- San phm phan ung duoc dua ra khoi b mt bng qu trnh khuch
tn.
Trong cng ngh ch tao IC qu trnh n mn duoc thuc hin theo 2 cch:
- Nhng phin vo dung dich n mn.Trong truong hop ny nguoi ta
dng khuy co hoc d n mn dng du v d c duoc tc d n mn
thch hop.
- Phun dung dich ln phin.Trong truong hop ny tc d n mn tng
manh v d dng du cao do cht phan ung moi lun duoc cung cp toi
b mt phin
D dng du tc d n mn xc dinh boi :
max min
max min
(%) 100(%)
etch
R R
U
R R

=
+
Trong d : R
max
l tc d n mn lon nht
R
min
l tc d n mn nho nht.
VD:
Hy tnh toc do n mn trung bnh v do dong du toc do n mn Al trn
phin Si duong knh 200mm,gia thit toc do n mn o bn tri, bn phai, mt
trn v mt duoi lan luot l 750,812,765,743 v 798nm/pht.
BG:
Tc d n mn trung bnh =(750+812+765+743+798)/5 = 773,6 (nm/pht).
D dng du tc d n mn l:
U
ch
=(812-743)/(812+743)x100% = 4,4%
a. n mn Silic
Dung dich n mn silic thng dung nht l hn hop HNO
3
v HF ha
tan trong nuoc hoc CH
3
COOH .
63
HNO
3
oxy ha Si tao lop SiO
2
theo phan ung:
Si + 4HNO
3
= SiO
2
+ 2H
2
O +4NO
2
HF ha tan SiO
2
theo phan ung:
SiO
2
+ 6HF = H
2
SiF
6
+ 2H
2
O
Tc d n mn phu thuc dinh huong tinh th silic (n mn di huong).
Cht n mn di huong thng dung nht voi silic l hn hop KOH trong nuoc
v ruou isopropyl.
Hnh 3.29. n mn di huong. n mn qua cua s trn silic mt (100) (a);
qua cua s trn silic mt (110)
Bng cch n mn di huong silic dinh huong (100) qua mt na SiO
2
, c
th ch tao h hnh chu V voi mp l cc mt (111) duoi gc 54.7
o
so voi mt
(100). Nu cua s trn mt na oxide du rng v thoi gian n mn ngn, c th
nhn duoc h n mn hnh chu U.
64
Chiu rng b mt dy cua h duoc xc dinh nhu sau:
W
b
=W
o
=2lcos54,7
0
Trong d:
W
o
l chiu rng h trn mt phin,
l l chiu su h n mn .
b. n mn SiO
2
Su dung dung dich HF pha long (c th c thm NH
4
F)
SiO
2
+ 6HF = H
2
SiF
6
+ 2H
2
O
Tc d n mn SiO
2
phu thuc vo: Nng d dung dich, vic khuy v
nhit d. Ngoi ra phu thuc vo mt d, d xp, vi cu trc v su c mt tap
cht trong lop oxide.
c. n mn Al
Dung dich n mn nhm gm:73% H
3
PO
4
, 4% HNO
3
, 3.5%
CH
3
COOH ,v 19.5% nuoc khu ion, o 30-80
o
C.
Qu trnh xay ra: HNO
3
oxy ha nhm, sau d H
3
PO
4
ha tan nhm
oxide. Tc d n mn phu thuc nng d dung dich, nhit d, khuy phin v
tap cht hay hop kim trong mng nhm.
D n mn uot cc mng cch din v cc mng kim loai nguoi ta
thuong dng cc ha cht c kha nng ha tan cc vt liu ny o dang khi v
chuyn chng thnh mui hoc hop cht ha tan. Ni chung vt liu mng
mong bi n mn nhiu hon so voi vt liu khi. Ngoi ra, tc d n mn cung
lon hon di voi nhung mng c vi cu trc khng hon hao, chua ung sut,
cu tao khng hop hoc d bi chiu buc xa.
65
Mt s dung dich n mn cho vt liu cch din & vt liu dn din
Vt liu Thnh phn dung dich n mn Tc d n mn(nm/pht)
28ml HF
170ml H
2
O
113g NH
4
F
100
Si0
2
15ml HF
10ml HNO
3
300ml H
2
O
12
Si
3
N
4
28ml HF
170ml H
2
O
113g NH
4
F
0,5
H
3
PO
4
10 Al
4ml HNO
3
3,5ml CH
3
COOH
73ml H
3
PO
4
30
Au 4g KI 1000
Mo 1g I
2
40ml H
2
O
5ml H
3
PO
4
2ml HNO
3
4ml CH
3
COOH
150ml H
2
O
500
Pt 1ml HNO
3
7ml HCl
8ml H
2
O
50
W 34g KH
2
PO
4
66
13,4g KOH
33g K
3
Fe(CN)
6
H
2
O cho du 1 lit
160
3.4.2. n mn kh
D dat duoc d chnh xc cao cho vic truyn hnh anh tu lop cam
quang xung lop mng vt liu pha duoi, nht l trong cng ngh ch tao
mach ULSI, nguoi ta d pht trin cc phuong php n mn kh.
Trong k thut n mn kh, tm silicon duoc dua vo trong bung chn
khng, sau d hn hop kh dng cho n mn duoc dua vo trong bung phan
ung. O chn khng thch hop, duoi tc dung cua ngun cao tn, kh n mn bi
ion ho v chng ta thu duoc hn hop plasma cua kh ni trn bao gm cc
ion F
+
. Do d SiO2 bi n mn v tao ra cc san phm phan ung tuong ung.
n mn kh l cc k thut su dung plasma duoi dang phng din p sut
thp.
Cc phuong php n mn kh:
- n mn plasma.
- n mn ion phan ung (RIE).
- n mn phn xa.
- n mn ion phan ung trong tu truong (MERIE).
- n mn plasma mt d cao (HDP).
*Mt s kin thuc co ban v plasma.
Plasma l cht kh bi ion ha hon ton hoc bi ion ha mt phn bao
gm s luong nhu nhau cc din tch duong, din tch m v mt s phn tu
khng bi ion ha. Plasma hnh thnh khi mt din truong du manh dt vo
cht gy ra hin tuong dnh thung v kh bi ion ha.
Qu trnh duoc khoi dng boi cc din tu tu do duoc cung cp tu mt
ngun no d. Cc din tu tu do duoc gia tc boi din truong, va cham voi cc
67
phn tu kh v mt nng luong. Nng luong truyn trong qu trnh va cham
lm ion ha phn tu kh, nghia l giai phng din tu. Cc din tu tu do lai
nhn dng nng tu din truong v qu trnh tip tuc. Nhu vy khi din p
ngoi dt vo lon hon din p dnh thung, plasma s duoc duy tr trong ton
b bung phan ung.
n mn Plasma
Co ch n mn: xay ra theo 5 buoc:
1. Cc tc nhn n mn duoc hnh thnh trong plasma.
2. Cc cht ny khuch tn qua lop kh u dong dn b mt.
3. Cc cht n mn hp thu trn b mt.
4. Phan ung ha hoc xay ra tao thnh hop cht bay hoi.
5. Cc cht ny nha hp khoi b mt,khuch tn vo dng kh v duoc bom
ht boi h chn khng.
Hnh 3.30. Cc buoc co ban trong qu trnh n mn kh
n mn plasma dua trn vic hnh thnh plasma trong cht kh o p sut thp.
68
Hai phuong php chu yu duoc su dung l :
- n mn phn xa
- n mn thun ha hoc
- n mn phn x (phuong php vt l): Cc ion duong bn ph b mt voi
tc d cao; mt luong nho ion m hnh thnh trong plasma khng dn duoc b
mt v do d khng dng vai tr truc tip trong n mn.
n mn vt l c tnh di huong tt nhung tnh chon loc km v gy sai hong
do bn ph vt liu.
- n mn thun ha hc(phuong php ha hc): Cc cht phan ung hnh
thnh do plasma tc dung voi b mt vt liu tao ra cc hop cht bay hoi.
n mn ha hoc c tc d n mn lon, tnh chon loc tt nhung lai l dng
huong
3.5. Khuch tn
Su dung k thut khuch tn, cc nguyn tu tap cht duoc dua vo
mang tinh th bn dn, tao nn cc vng bn dn c loai hat dn v nng d
hat dn mong mun. Su khuch tn trong mang tinh th l mt qu trnh vt l
duoc dc trung boi su xm nhp cc nguyn tu tap cht vo mang tinh th
trong diu kin nhit d cao.
Co ch khuch tn trong tinh th:
- Su khuch tn giua cc nt mang: Nguyn tu tap cht dich chuyn trong
mang tinh th bng cch nhay tu vi tr giua cc nt mang ny dn cc vi tr
tip theo.
- Su khuch tn thay th: Do trong mang tinh th c cc sai hong dim, su
khuch tn xay ra khi nguyn tu tap cht di vi tr giua cc sai hong dim
trong mang tinh th v thay th cc nguyn tu cua tinh th tai vi tr nt mang.
- Su khuch tn thay th giua cc nt mang: Trong co ch khuch tn ny
dng thoi c su tham gia cua cc sai hong dim. Nguyn tu tap tu vi tr nt
mang nhay ra vi tr giua cc nt mang v tao nn l hng.
69
Nhn thy rng, c th tn tai dng thoi cc co ch khuch tn nhu d
m ta o trn hoc c su phi hop giua cc co ch khuch tn.
Mt s yu cu cua mt h khuch tn:
- Qu trnh khuch tn khng duoc lm hong b mt phin bn dn.
- Sau qu trnh khuch tn, vt liu cn dong lai trn b mt phin phai duoc
ty mt cch d dng d thun loi cho cc cng doan sau.
- H khuch tn phai cho cng mt kt qua di voi tt ca cc phin trong cng
dy chuyn cng ngh.
- H khuch tn phai c kha nng khuch tn cng mt lc mt s phin bn
dn.
- Nhit d khuch tn thuong su dung trong khoang tu 800 dn 1200
0
C.
Ngun khuch tn bao gm: Ngun rn, ngun long v ngun kh.
Hnh 3.31. So d h khuch tn tu ngun rn.
3.6. Cy ion
3.6.1. Mo du
- Cy ion l phuong php dua tap cht vo phin bn dn nhm tao ra cc
vng c cc dang hat dn v nng d hat dn xc dinh.
70
- Cc nguyn tu tap cht duoc ion ha, duoc gia tc v dua dn b mt phin
bn dn sau d cc ion c nng luong cao di vo mang tinh th va cham voi
cc tinh th silic v dung lai.
Hnh 3.32. Cy ion
Uu dim cua phuong php cy ion:
- C th khng ch chnh xc luong nguyn tu tap cht.
- C ph rng d chon cc vt liu lm mt na nhu xit,cht cam quang,poly-
Si, kim loai...
- C th cy ion qua lop xit.
- Khng bi anh huong nhiu tu cc cng doan lm sach b mt phin.
- C d dng du rt l tuong liu chiu xa theo chiu ngang.V du: Liu
chiu xa , hay luong tap cht chi thay di c 1% trn sut duong knh cua
phin Si 8(20,32 cm).
- C th thuc hin cy nhiu loai nguyn t khc nhau
- Vic cy ion tap cht o diu kin chn khng,nhit d phng v vy khng
anh huong toi su phn b tap cht cua cc cng doan truoc.
Nhuc dim cua phuong php cy ion:
71
- Gy sai hong lon tai b mt mu do su bn ph cua chm ion.
- Thit bi dt tin, cng knh, di hoi cc phu tro phuc tap.
3.6.2. Thit b| cy ion
Hnh 3.33. So d thit bi cy ion
- Ngun ion chua cc cht kh cua tap cht v du PH
3
, B
2
H
6
hoc AsH
3
duoc
su dung d tao plasma v duoc ion ha.
- Nam chm s chon loc mt loai trong s nhiu loai ion duoc ion duoc ion
ha v dua vo ng gia tc.
- Ong gia tc c nhim vu cung cp nng luong cn thit d cc ion chui su
vo lop bn dn.
- Chm ion duoc diu chinh qu dao v pha bn dn thng qua h thng lng
knh, ban lch X, ban lch Y. Vi tr bn dn duoc dt lch so voi phuong nm
ngang sao cho chm tia trung tnh khng diu khin duoc khng di dn phin
bn dn.
- C th dng cc ban lch X v Y d qut chm tia ion dng du trn mt
phin bn dn.
72
- Phin d (bia) duoc dt trong nng d Faraday d c th d dng do s ion
bng cc do dng ion v ly tng theo thoi gian cy.
3.6.3. M}t n dng cho cy ion
D tao chuyn tip P-N tai nhung vi tr chon loc trn d bn dn cn
phai su dung mt na (mask) thch hop di voi qu trnh cy ion.
Vt liu tao mt na thuong l SiO2 v Si3N4
3.6.4. U nhit
V qu trnh cy ion gy ra sai hong v mt trt tu nn n lm giam
cc thng s bn dn nhu d linh dng v thoi gian sng. ngoi ra phn lon
ion moi duoc cy vo khng gian nm o vi tr thay th. d kch hoat cc
ion moi cy v khi phuc d linh dng v cc thng s vt liu khc, cn
phai u bn dn tai nhit d trong khoang thoi gian thch hop
Muc dch:
- Ti kt tinh vng nhiu sai hong, phuc hi lai cu trc tinh th bn dn.
- Khin cho cc ion tap tip tuc khuch tn v th ch vo cc nt khuyt
cua mang tinh th bn dn. tng chiu dy lop khuch tn.
3.7. Epitaxy
3.7.1. Mo du
Ki thut epitaxy l mt qu trnh m qua d lop vt liu don tinh th
duoc hnh thnh trn b mt cua d don tinh th.
Trong qu trnh epitaxy, d don tinh th dng vai tr nhu mm, mc d
qu trnh xay ra voi nhit d rt thp so voi nhit d nng chay. Khi lop
epitaxy duoc tao ra trn d cua vt liu cng loai, qu trnh duoc goi l dng
epitaxy. Su hnh thnh silic trn d silic l v du cua qu trnh dng epitaxy.
Tuy nhin, trong hin tai, phn lon cng vic duoc thuc hin voi qu
trnh di epitaxy. Trong qu trnh epitaxy, mc d d v vt liu epitaxy khng
ging nhau nhung hai cu trc tinh th phai rt ging nhau nu mun thu duoc
don tinh th v trnh cc sai hong tai b mt chuyn tip giua epitaxy v d.
73
Su hnh thnh nhung lop epitaxy cua hop kim ba thnh phn AlGaAs trn d
GaAs l v du v qu trnh di epitaxy.
3.7.2. Lm sch phin v ty lp Oxit t nhin
Truoc khi cy lop epitaxy, d cn phai duoc lm sach, cu th l cn phai
ty lop oxide tu nhin v moi tap cht v bui trn mt d. Muc dch cua cng
doan ny l tao b mt silic hon hao, khng c tap cht v khng c su thay
di vi tr cua cc nguyn tu b mt.Trn thuc t, c th ty bo ht tap cht
nhung ko th c b mt hon hao v ban thn b mt chua cc tap cht khng
bo ha.
Cc tap cht tn tai trn b mt phin bao gm cc hop cht huu co xut
pht tu cam quang du hay vt liu polimer kt tua trong qu tnh n mn, cc
hat kim loai v lop oixde mong. Qu trnh ty bo tap cht duoc thuc hin ln
luot theo cc cng doan, mi cng doan kt thc bng trng nuoc thu ion.
Cc ion kim loai kim duoc ty bo trong dung dich chua Halogen.
Thng dung nht l hn hop H2O: HCl: H
2
O
2
duoc nung nng dn 75-80C.
D sy phin sau khi rua, ngui ta dng kh N
2
nn hoc quay kh ly tm.
Sau khi duoc lm sach bng phuong php ho hoc nhu miu ta o trn
dy, trn b mt phin thuong tn tai mt lop oxide mong khng chua tap kim
loai hoc huu co. D c th cy lop epitaxy cht luong cao, cn phai ty bo
lop oxide ny. Trong hu ht truong hop buoc du tin truoc khi thuc hin
epitaxy, nguoi ta ty lop oxide trong mi truong H
2
, hn hop H
2
/HCl hoc
chn khng, o nhit d cao.
3.7.2. Nhit dng hc qu trnh Epitaxy pha hoi
M hnh don gian nht c th su dung d miu ta qu trnh VPE
(Vapour Phase Epitaxy) l m hnh cua Deal. M hnh ny v co ban ging
nhu m hnh cho qu trnh oxy ha. M hnh Deal l m hnh bn dinh luong,
tuy nhin qu trnh cy epitaxy bi don gian ha qu nhiu. Khng ging nhu
oxy ha, cc cht kt tua v ngun kh o dy khng phai l mt. Nhiu phan
ung ha hoc c th xay ra trong pha kh v trn mt phin. Ngoi ra, nhiu qu
74
trnh xay ra dng thoi, c qu trnh h tro, c qu trnh lm can tro vic pht
trin cua lop epitaxy.Th du trong h Si-H-Cl, cc phn tu chua silic trn b
mt phin c th l SiCl
2
, SiCl
4
, SiH
2
hoc Si. Khi p sut trong bnh thp
hoc khi dng kh vo nho, vic c mt cc cht trn dy c th han ch tc d
moc lop epitaxy. Cc nguyn tu silic hp phu trn b mt v ca cc nguyn tu
du c th bi n mn boi phan ung voi Cl. M hnh Deal khng tnh dn diu
ny. O dy chng ta s su dung phuong php tham s ha qu trnh phuc tap.
Tuong tu ta xt m hnh chi tit cua qu trnh moc lop epitaxy VPE
bng cch chia thnh cc buoc tun tu, trong d mi buoc du c anh huong
dn tc d moc. Cc cht kh khi duoc di vo bnh th bi phn li mt phn tao
ra nhiu cht cn phan ung manh hon. Cc cht chua silic ny phai di qua
bnh cho dn khi chng toi gn phin. Tai d chng phai di qua lop tr tr d
dn b mt phin. Trn mt phin chng bi hp phu, khuch tn tip tuc phn
ly thnh silic nguyn tu v san phm phan ung bay hoi, cc san phm phu ny
bi nha hp v duoc bom ra ngoi. Trong muc ny, ta xt phan ung pha kh cua
mt s qu trnh epitaxy silic thng dung nht.
H ha hoc don gian nht d cy lop silic l nhit phn silane. Phan
ung tng th l :
SiH
4
(g) -> Si(s) +2H
2
(g)
Phan ung ny thuc cht l khng thun nghich v c th xay ra o nhit
d tuong di thp l 600
o
C. Phan ung cung thuong duoc su dung d kt tua
silic da tinh th. Tuy c th dng silane d cy silic epitaxy o nhit d thp tu
600
o
C->800
o
C, nhung v SiH
4
c xu huong phn ly d tao hat trong pha kh
nn kh c th nhn lop epitaxy cht luong cao, tru khi o p sut thp. Su tao
hat dng th xay ra lin tuc trong pha kh o bt k p sut no, tuy nhin tc d
tao hat tng rt manh khi p sut ring phn silane tng. Do d tai mt nhit
d cho truoc p sut SiH
4
khng duoc lon hon mt gi tri nht dinh.
Hu nhu tt ca cc h epitaxy cy silic trong cng ngh IC du su dung
phan ung khu SiH
x
Cl
4-x
voi x=0,1,2,3, duoc pha long trong H
2
. S nguyn tu
Cl trong phn tu clorosilane cng nho, nhit d epitaxy cn thit d dat tc d
75
cy cho truoc cng thp. Truoc dy nguoi ta chu yu dng SiCl
4
, tuy nhin d
c tc d cy chp nhn duoc nhit d d phai lon hon 1150
o
C, nhu vy s
gy ra ti phn b tap cht rt manh. Dn dn nguoi ta thay th SiCl
4
bng
SiHCl
3
, SiH
2
Cl
2
, SiH
3
Cl. Hin nay SiH
2
Cl
2
duoc dng chu yu.
3.7.3. Pha tp
Trong qu trnh cy epitaxy, tap cht c th duoc dua vo c chu hoc
ngu nhin. Ngun tap ngu nhin chnh l khuch tn pha tap rn tu d v tu
pha tap pha kh. Khuch tn pha rn khng ch profile tap gn phn bin
epi/d.
Di voi epitaxy silic, cc ngun tap dang kh thng dung nht l
diborane(B
2
H
6
), arsine(A
s
H
3
) v phosphine(PH
3
). Nng d tap trong lop
epitaxy duoc diu khin bng thng luong kh tap di vo bnh phan ung.
Mun c p sut ring phn thp d nhn lop pha tap nhe, kh chua tap thuong
duoc pha long trong hidro.
3.7.4. Khuyt tt trong lp Epitaxy
Lop epitaxy c th c khuyt tt. Nu nhung khuyt tt nm trong vng
tch cuc cua phin, chng c th lm hong linh kin. Linh kin hong c th
truc tip do cc trang thi din tu c lin quan dn khuyt tt lm tng dng k
dng r. Cung c th trong qu trnh epitaxy khuyt tt bt giu cc tap cht
khc trn phin tao nn cc trang thi din tu. Khuyt tt cung c th lm tng
khuch tn, dn dn thay di cu trc vt l cua transistor.
Loai khuyt tt ph bin nht trong lop silic epitaxy l sai hong xp. Sai
hong xp l mt phng nguyn tu thm vo(thua) tinh th hoc mt phng
nguyn tu thiu tinh th. Sai hong xp trong silic thuong xay ra theo huong
<111>.
Khuyt tt c th l nhung du nhon, ch nh ra tu lop epitaxy, khng
trng voi huong tinh th. Dy c th l du hiu cua su moc mng 3 chiu(3-
D). Sai hong xp v du nhon thuong c ngun gc tu khuyt tt cua b mt
phin ban du. Cc khuyt tt ban du gm tap oxi, kim loai, sai hong xp do
76
oxi ha gy ra trong phin v cc hat kt tua trn b mt phin. Vic lm sach
b mt phin 1 cch cn thn s lm giam dng k mt d sai hong xp trong
lop silic epitaxy.
Lch mang cung tuong tu nhu sai hong xp nhung l khuyt tt 2-D.
Lch mang kh pht hin trn b mt nhung vn anh huong nghim trong dn
cht luong lop epitaxy. Lch mang c th lan truyn tu d, cung c th duoc
hnh thnh trong lop epitaxy do bin dang dn hi, hu qua cua phn b nhit
khng du v tc d moc qu lon. Nhung khuyt tt tinh vi kiu lch mang
thuong duoc pht hin bng n mn chon loc.
Mt trong nhung l do tai sao pha cy lop epitaxy d giam din tro ni
tip hay din tro k sinh. Thuong vic ny duoc thuc hin bng cch cy lop
epitaxy pha tap nhe trn b mt phin pha tap manh hoc ln trn vng chn
cuc b pha tap manh. Transistor duoc ch tao trong lop epitaxy, cn vng pha
tap manh thuc cht l tip xc pha dy cua transistor.
3.7.5. Epitaxy GaAs
Epitaxy GaAs duoc thuc hin khc voi epitaxy Si. Ngun kh As l
AsH
3
, mt cht n dinh nhung rt dc. Tuy nhin Ga lai khng tao duoc hop
cht Clorohydride bn vung. Phn lon hop cht cua Ga voi clo l dang rn o
nhit d phng. O nhit d cao GaCl v GaCl
3
c th tro thnh dang kh. Dy
chnh l co so cho mt phuong php cy GaAs rt thnh cng, d l phuong
php vn chuyn halogenua.
Trong phuong php ny, ngun Ga o dang rn duoc dt nng dn 700-
750
o
C. Hn hop kh HCl pha long trong H
2
chay qua pha trn Ga hoc
GaAs nng, tao thnh GaCl. Kh mang vn chuyn GaCl dn b mt phin v
tai d tao thnh GaAs trn b mt. D xy dung m hnh b mt trong sut
qu trnh VPE nguoi ta thuong gia thit rng cc phan ung pha kh chi lm
pht sinh cc cht tao mng, nhung cht ny sau d hp thu trn b mt phin
phan ung ri tro thnh mt phn cua mng.
77
C 2 tro ngai trong vic su dung phuong php vn chuyn halogenua d
cy GaAs. Thu nht l do nhit d d cn thit d cy lop GaAs cht luong c
th ch tao linh kin l kh cao, cho nn kh nhn duoc chuyn tip dt ngt.
Vn d thu 2 l do ban cht qu trnh kh khng ch chiu dy lop epitaxy voi
cc cu trc mong. Phuong php vn chuyn halogenua vn cn duoc su dung
d ch tao quy m lon cc diot pht quang.
3.7.6. Epitaxy chm phn tu
Epitaxy chm phn tu (ting Anh: Molecular beam epitaxy, vit tt l
MBE) l thut ngu chi mt k thut ch tao mng mong bng cch su dung
cc chm phn tu lng dong trn d don tinh th trong chn khng siu cao, d
thu duoc cc mng mong don tinh th c cu trc tinh th gn voi cu trc cua
lop d. K thut ny duoc pht minh vo nhung nm 60 cua th ky 20 tai
Phng th nghim Bell (Bell Telephone Laboratories) boi J.R. Arthur v
Alfred Y. Cho.
Hnh 3.34. So do h epitaxy chm phn tu
Mt trong nhung ki thut du tin dng ch tao cu trc di cht GaAs l
ki thut epitaxy chm phn tu. Ki thut ny cho php ch tao cc lop bn dn
78
cht luong cao, voi chiu dy c th khng ch o muc nguyn tu. Hon nua,
nhit d cy thp hu nhu loai tru vic khuch tn tap cht. Ki thut MBE
cung d duoc dng d cy silic.
K thut MBE chi c th thuc hin duoc trong mi truong chn khng
siu cao (p sut thp hon 10
-9
Torr), do d cho php tao ra cc mng mong
vt liu c d tinh khit rt cao. Dim khc bit co ban nht cua MBE so voi
cc ki thut mng mong khc (v du nhu phn xa, bc bay nhit...) l cc
mng mong don tinh th duoc moc ln tu lop d don tinh th voi tc d cuc
thp v c d hon hao rt cao. V th, k thut MBE cho php tao ra cc siu
mong, thm ch chi vi lop nguyn tu voi cht luong rt cao. Tuy nhin, cht
luong mng cung nhu tc d tao mng phu thuc nhiu vo d hon hao cua
mi truong chn khng. Lop d bn duoi l don tinh th, c tc dung nhu mt
mm d lop mng pht trin ln trong qu trnh ngung dong.
MBE c th ch tao cc mng hop cht hoc don cht tu cc ngun vt
liu ring bit. Cc vt liu ngun duoc dt dn muc d bay hoi nhung voi tc
d rt chm v duoc dn toi d. O d, nu l mng hop cht, cc cht s phan
ung voi nhau chi tai b mt d d pht trin thnh don tinh th. Cc chm
nguyn tu, phn tu cua cc vt liu ngun s khng phan ung voi nhau cho
dn khi chng kt hop voi nhau trn d do qung duong tu do trung bnh cua
chng rt di. Dy l l do chnh cua tn goi chm phn tu.
Trong qu trnh hnh thnh mng, nguoi ta thuong dng k thut nhiu
xa din tu phan xa nng luong cao (RHEED) d kim sot qu trnh moc
mng thng qua ph nhiu xa din tu duoc ghi truc tip. Qu trnh ny cho
php kim sot su pht trin cua mng voi d chnh xc tung lop nguyn tu.
Dng thoi, trong qu trnh ch tao, d cn duoc giu lanh.
D dat duoc mi truong chn khng siu cao, ban du bung ch tao
duoc ht chn khng so cp (c 10
-3
Torr), sau d su dung bom turbo d tao
chn khng cao toi 10
-7
Torr v tao chn khng siu cao bng bom in hoc
bng cryo-pump (bom chn khng siu cao, su dung cc kh ha long o nhit
79
d thp, v du nhu nito long o 77
0
K..., d by kh nhm tao ra chn khng
siu cao). V th, h MBE vn hnh kh phuc tap v tn km.
D dat duoc chn khng ban du cao nhu vy, bung MBE bao gm ca
cc dm cao su cn phai thit k sao cho c th duoc nung nng dn 150-
>250
o
C. Vic nung nng o nhit d cao lm tng p sut hoi cua nuoc hp thu
trn vch trong cua bnh v mt trong cua cc b phn khc. Voi muc dch
ny, thuong mi thit bi duoc cung cp mt tm chong dt nng. Khi dt
nng ko di cn dc bit ch dn d bn cua cc cua s quan st. Cc b
phn ny thuong km chiu dung nhung chu trnh nhit d cao lp di lp lai.
Nhung b phn quan trong nhu ngun bay hoi c th duoc nung o nhit d
cao hon d dam bao d sach cao hon. Thoi gian dt nng phu thuc muc d
tip xc khng kh pha bn trong h. Nu phai mo ton b h d thay di
ngun vt liu, thuong mt dn ca tun vua bom vua dt nng th moi c th
cy duoc lop mng cht luong cao d ch tao linh kin.
C nhiu loai bom c th su dung d duy tr trang thi chn khng cao.
Cc thit bi th h du su dung bom khuych tn, tuy nhin khi d cn ht suc
ch d trnh du bom nng khuych tn nguoc vo bnh phan ung. Mt s
loai thit bi nho su dung bom hp phu lm lanh bng Nito long. Nhung bom
ny hoat dng trn co so hp thu vt l cc kh trn b mt ry phn tu hoc
vt liu hp phu khc nhu Al
2
O
3
hoat tnh. Dy thuong l vt rn c din tch
b mt lon. Bom duoc lm lanh dn 77
0
K, sau d duoc thng voi bung cn
ht chn khng. Khi bom xong, bom duoc cch ly khoi bung, duoc dt nng
v duoc ht kh. Tn tai nhiu loai bom hp thu, trong d bom chn khng
cao dng cho h MBE thng dung l bom nhit d thp. Cc h MBE moi
thuong su dung bom turbo phn tu d tao chn khng cao. Phuong n ny dc
bit hp dn nu phai su dung ngun dc hai, v vt liu tu ngun ny thuong
hay tch tu trong bom trong chu trnh nhit d.
Vic dt nng d thuong duoc thuc hin thng qua dt nng gi d
phin bng buc xa hoc bng soi dt din tro. L din tro c th l cun dy
bng kim loai kh nng chay hoc l mng graphite duoc ch tao thnh l dt.
80
Nhit d phin c th do bng cp nhit gn trn gi d. Cung c th do nhit
d phin bng toa k.
C 3 loi ngun thung duc su dng cho h MBE: T bo Knudsen,
ngun chm din tu v ngun kh. Trong t bo Knudsen, chn c chua vt
liu ngun duoc dt nng bng l dang l. Cp nhit duoc gn pha ngoi
chn d diu khin nhit d v do d l diu khin dng vt liu. Thach anh
cung c th dng d cy mng Silic. D c dng vt liu Silic du lon, cn
nhit d khoang 1700C. O nhit d ny Silic nng chay v hoat tnh rt manh.
Kt qua l mang s bi nhim bn tap cht tu chn nung. Mun trnh hin
tuong ny phn lon cc thit bi MBE silic du su dung ngun chm din tu.
Di voi ca hai loai ngun l t bo Knudsen v ngun chm din tu, dng vt
liu duoc xc dinh bng nhit d, v nhit d quyt dinh p sut hoi. V mi
ngun vt liu c khi nhit nht dinh nn khng th ngt dng mt cch tuc
thoi. D diu khin tt/mo trong qu trnh cy, nguoi ta dng l chn. Tuy
nhin, vic su dung l chn c nhuoc dim l vt liu kt tua trn l chn c
th ti bay hoi, lm anh huong dn cht luong mng trn phin. D trnh hin
tuong ny, dng thoi l d cai thin d dng du v cht luong cua mng, cc
thit bi MBE nhung nm gn dy su dung ngun kh.
Mt trong nhung ki thut hay duoc su dung nht d theo di truc tip
qu trnh cy l nhiu xa din tu. Trong phuong php ny, cc din tu nng
luong cao bi tn xa khoi b mt vt liu dang moc v duoc ghi trn mn anh o
pha di din cua bung phan ung. V mng moc theo tung lop, cuong d anh
lc du tng, sau giam, ri tng tro lai mi khi mt don lop duoc tao thnh
tron ven.
Ngun khuyt tt chu yu trong mng cy bng MBE l do cc hat roi
tu lop kt tua trn thnh bnh, lop ny cung duoc hnh thnh trong qu trnh
cy. Diu ny dc bit nghim trong di voi lop epitaxy silic. Nguoi ta thy
rng, nu khng lm lanh thnh bnh bng Nito long m lm lanh bng nuoc
th mt d khuyt tt giam dng k. Cung c th su dung din p cao dt gn
ngun bay hoi d giu cho bui khng vo chm phn tu , lc d mt d khuyt
81
tt rt nho. Ngun khuyt tt quan trong khc trong mng nhn bng MBE l
tap kim loai. Cc cht tap ny lm giam thoi gian sng cc hat tai khng co
ban trong mng. Trong phn lon cc h Epitaxy pha hoi, nguoi ta su dung hop
cht chua clo d phan ung voi kim loai lm sach b mt.
Tc d cy lop MBE duoc xc dinh boi dng nguyn tu xut pht tu
ngun v ti phn cc nguyn tu dn duoc b mt v bi giu lai trn b mt
phin.
3.8. Cc phuong php to mng mong: Bay hoi, phn x
3.8.1. Mo du
Mng mong kim loai phu trn b mt phin bn dn nhm muc dch ni
cc vng khuych tn P v N voi nhau. Mng kim loai duoc cch din voi d
silic bng lop oxide tru cc vi tr tip xc truc tip voi silic. Ngoi muc dch
lm cc duong dn ni hop mang, mng kim loai cung duoc dng lm vng
dm d hn dy tu chip ra vo voi cc mach phuc tap, c th phai cn dn hai
hoc nhiu hon lop dn din kim loai.
Khi su dung lm dn ni hop mang,mng mong kim loai cn dp ung
nhung di hoi sau dy:
- Mng phai dn din rt tt.
- Mng phai tao tip xc thun tro tt voi ca loai N v loai P.
- Mng phai dnh bm tt voi ca silic v lop oxide silic.
- C th tao hnh dng bng phuong php quang khc.
- C th hn dy vo mng d ni voi chn ngoi cua IC.
- D tao mng v mng phai phu tt cc bc thang oxide.
- Mng phai n dinh v khng phan ung voi vt liu vo v dy hn.
- Mng phai chiu duoc mt d dng cao.
Truoc dy cc mng mong kim loai dng trong cng ngh bn dn du
duoc ch tao bng bay hoi chn khng. Tuy nhin phuong php bay hoi d
duoc thay th bng phuong php phn xa trong phn lon cng ngh silic do
82
hai nguyn nhn. Nguyn nhn du tin l kha nng phu kn cc bc thang, kt
qua l b mt cn phu kim loai tro nn mp m hon. Kha nng cc mng kim
loai nhn bng bay hoi phu ln cu trc nhu vy rt km nhiu khi khng bm
ln duoc cc vch thng dung. Ngoi ra, voi phuong php bay hoi cung kh
c th ch tao mng mong hop kim c nhung tnh nng cho truoc, m nhung
mng mong ny ngy cng duoc su dung nhiu trong cng ngh silic.
3.8.2. Bay hoi trong chn khng
Thit bi bay hoi don gian duoc trnh bay trn hnh 3.35. Cc phin silic
duoc dua vo trong bung chn khng cao nhn bng bom khuch tn hoc
bom nhit d thp. Cc h bom khuch tn thuong c by lanh d trnh hoi
du cua bom bay vo bung. Vt liu cn kt tua duoc tai vo chn nung.
Chn nung c th duoc dt nng bng l din tro. Vt liu duoc nung nng
dn khi bay hoi. V p sut trong bung chn khng thuong c 10
-5
mmHg,
cc nguyn tu vt liu bay thng ln d v tch tu thnh mng trn b mt d.
Cc h chn khng c th duoc trang bi 4 chn nung v cng lc c th kt tua
mng cho 24 phin. Hon nua, nu cn tao mng hop kim, c th su dung nhiu
chn nung cng mt lc. D khoi dng v kt thc qu trnh bay hoi mt cch
tuc thoi, nguoi ta su dung l chn co hoc b tr o ngay trn chn nung.
83
Hnh 3.35. So d h bay hoi su dung bom khuch tn.
3.8.2.1. Thng hoa v bay hoi
Khi nhit d tng vt liu bnh thuong trai qua trang thi (pha) rn, long
v kh. O mi nhit d tn tai p sut hoi bo ha (cn bng) o trn mt vt
liu. Khi kt tua mng o nhit d mu thp hon nhit d nng chay, qu trnh
duoc goi l thng hoa. Khi kt tua mng o nhit d nng chay vt liu th dy
l qu trnh bay hoi. Cng ngh bn dn su dung bay hoi v lc d p sut hoi
cao hon v do d tc d kt tua cua mng l chp nhn duoc. Hnh 3.36 chi ra
su phu thuc p sut hoi cn bng vo nhit d cua cc nguyn t khc nhau.
D nhn duoc tc d kt tua hop l, p sut hoi cua mu phai c gi tri t
nht l 10mTorr.Tu hnh v ta thy rng mt s vt liu phai duoc nung nng
dn nhit d cao hon nhiu cc vt liu khc d c cng p sut hoi. Cc vt
liu kh nng chay nhu: Ta,W,Mo v Ti c nhit d nng chay rt cao v do
d c p sut hoi thy o nhit d trung bnh. D c p sut hoi 10mTorr
Vonfram cn phai duoc nung nng dn 3000
0
C; trong khi d, nhm c p sut
hoi 10mTorr o nhit d 1250
0
C.
Bung chn khng
Phin
Vt liu bc bay
Chn nung
Van xa kh
Bom so
cp
Bom co hoc
By lanh
Bom khuych tn
84
10
0
10
-1
10
-2
10
-3
10
-4
10
-5
10
-6
0
500 1000 1500 2000 2500 3000
Na
In
Ag Ga
An
NI
Cr
Pt
W
Mo
Ti
Al
Hnh 3.36. p sut hoi cua mt s vt liu bay hoi thng dung.
3.8.2.2. Tc d kt tua
S phn tu kh di qua mt mt phng don vi trong mt don vi thoi gian
duoc cho boi:
J
n
=
kTM
P
2
2
Trong d P l p sut trong bung; M l nguyn tu luong. Phuong trnh
trn c th dng d miu ta tc d mt mt nguyn tu tu ngun bay hoi.
Nhn J
n
voi khi luong phn tu cho ta biu thuc Langmuir v tc d bay hoi
khi luong:
R
ME
=
e
P
kT
M
2
Trong d P
e
l p sut hoi cn bng cua vt liu chn nung.
Tu dy ta c th d dng tnh tc d tn hao (mt mt) khi luong chn nung:
R
ML
=

e
P
kT
M
2
dA=
k
M
2

T
P
e
dA
85
Trong d tch phn duoc ly theo b mt cua khi vt liu bay hoi trong
chn. Biu thuc trn c th vit lai nu gia thit (gc mo) ming chn c din
tch khng di A:
R
ML
=
k
M
2
T
P
e
A
D tm tc d kt tua trn b mt phin, ta cn xc dinh ty phn vt liu
xut pht tu chn nung tch tu trn mt phin. Voi bung chn khng siu cao,
vic xc dinh gi tri ny tuong di d dng. p sut du thp d vt liu bay
hoi tu chn bay thng dn b mt phin d. Nu gia thit rng ton b phn
vt liu bay dn mt phin du dnh bm o lai trn phin, tc d c th tnh
duoc tu cc thng s hnh hoc.
D c tc d kt tua lon cn phai nng nhit d cua ngun(chn nung)
ln rt cao. Khi d p sut hoi o ngay trn b mt chn du cao d vng ny c
th coi l o ch d dng nhot. Bay hoi o ch d ny c th dn dn l vt liu
bay hoi ngung tu thnh giot. Nu cc giot ny bay dn v dnh bm vo mt
phin, hnh thnh b mt mng c th rt xu. D c d dng du tt nht, cn
bay hoi o tc d thp.
3.8.2.3. Phu bc thang:
Mt trong nhung han ch cua phuong php bay hoi l kha nng phu bc
thang. Hnh 3.37 miu ta hnh dang cua mng kt tua trn bc thang. Bc
thang o dy l cua s tip xc duoc n mn trong lop cch din cho dn d
bn dn.Trong pham vi kch thuoc ~1 m c th coi chm vt liu toi l song
song. Gia thit cc nguyn tu vt liu bt dng trn b mt phin, s c hin
tuong bng v mng thuong bi dut doan trn mt pha cua tip xc nhu hnh
3.37a. Dy l vn d dc bit h trong v khu phu mng kim loai l nhung
giai doan cui cng cua quy trnh ch tao.
86
(a) (b)
Hnh 3.37. Mng bay hoi trn bc thang:
(a) Truong hop nhit d d thp, (b) Nhit d d cao v quay d.
Phuong php duoc su dung d cai thin d phu bc l quay phin trong
qu trnh bay hoi. Gi d phin hnh chom cu duoc thit k sao cho c th
quay phin xung quanh dinh cua bung chn khng. Tc d kt tua trn vch
tuy vn nho hon tc d kt tua trn mt phng nhung dng du theo truc hnh
3.37b. Mt thng s quan trong l ti s giua chiu cao v chiu rng bc. Ti s
ny cng nho hon 1 th d dng du cua mng cng tt.
3.8.2.4. Cc k thut dt chn nung
C 3 loai dt chn nung: H din tro, h cam ung v chm din tu. H
dt nng bng din tro l don gian nht.
Voi bung chn khng cao, c th thit k mt h bay hoi don gian gm
soi dt nho. Vt liu bay hoi c th o dang thanh nho hoc dy gn dt trn soi
dt nhu hnh 3.38a.
87
Vt liu bay hoi
Soi dt
Vt liu bay hoi thuyn
Hnh 3.38.Ngun bay hoi din tro: (a) Soi dt; (b) Thuyn.
Thun tin hon c th dng thuyn din tro nhu hnh 3.38b. Do soi dt
hoc thuyn phai chiu nhit d cao nn c vn d di voi phuong php din
tro l hin tuong bay hoi v nha kh cua ban thn soi dt hoc thuyn nung.
Nu vt liu cn bay hoi l nhm, d c p sut hoi thch hop chi cn cng
sut dt vua phai.truong hop cn bay hoi vt liu kh nng chay, nhiu khi
khng th c vt liu lm soi dt.
88
Hnh 3.39. Chn nung bng cam ung.
Mt trong nhung phuong php d dat nhit d ngun cao hon l su
dung chn nung dt bng cam ung. Nhu duoc trnh by trn hnh 3.39, vt liu
cn bay hoi duoc cho vo chn nung thuong duoc lm bng Nitrit Bo (BN).
Soi dy kim loai duoc qun xung quanh chn v ngun cao tn di qua cun
cam, tao ra dng Phuc v dt nng vt liu cn bay hoi. D trnh hin tuong
bay hoi cun cam, c th lm ngui bng nuoc d giu nhit d cua n duoi
100
0
C.
89
Hnh 3.40. Ngun bay hoi bng chm tia din tu.
Tuy ki thut dt nng bng cam ung cho php tng nhit d chn nung
ln du cao d c th bay hoi cc vt liu kh nng chay, vic nhim bn vt
liu bay hoi tu chnh vt liu lm chn vn l vn d nan giai. Vn d ny c
th khc phuc bng cch chi nung vt liu bay hoi, cn lm ngui chn. D
thuc hin vic ny nguoi ta su dung ki thut bay hoi bng chm tia din tu,
voi ngun bay hoi thng dung duoc miu ta nhu hnh 3.40.
Mt sung din tu o pha duoi chn nung pht ra chm din tu cuong d
cao v nng luong cao. Vic b tr so dt o pha duoi lm giam thiu kt tua
vt liu soi dt ln b mt phin. Tu truong manh li chm tia din tu lch
270
0
d chiu ln b mt vt liu bay hoi. C th qut chm tia trn vt liu d
tng phn bay hoi.
C kha nng kt tua nhiu loai vt liu khc nhau. Cc h bay hoi bng
chm tia din tu cung duoc su dung nhiu trong cng ngh GaAs.
90
K ca trong phuong php bay hoi bng chm tia din tu, soi dt vn l
ngun nhim bn trong bung chn khng, dc bit khi chn khng siu cao.
Mt s vn d khc cung rt nghim trong trong cng ngh silic, d l sai
hong do buc xa. Buc xa o dy l do din tu bi kch thch manh trong vt liu
bay hoi khi tro v trang thi co ban th pht ra tia X. V cc tia X s gy ra sai
hong trong d v trong lop din mi nn cc h bay hoi bng chm tia din tu
khng th su dung trong cng ngh MOS v cng ngh khc nhay cam di voi
loai sai hong ny.
Thng thuong nn c nhiu ngun bay hoi trong mt h, k ca khi chi
dng mt ngun mi ln. Nhu vy c th kt tua cc vt liu khc nhau m
khng cn su dung bung chn khng cao. Di voi h din tro, c th su dung
hp chuyn mach cng sut, voi mi chn nung c cun dt ring. Cc h bay
hoi bng chm din tu rt thch hop voi ung dung ny v rt d li chm din
tu tu ngun ny sang ngun khc nho th tinh din hoc bng tu truong. Mt
khc, c th di chuyn cc ngun khc nhau dn vi tr chm din tu bng co
cu co hoc.
3.8.2.5. Mng mong da thnh phn:
C 3 phuong php ch tao mng mong hop kim. Don gian nht l bay
hoi vt liu c p sut hoi tuong tu nhau v du: Al v Au, tu ngun hop kim
tuong ung trong mt s ung dung, khi ch tao tip xc Ohmic cho GaAs, p
sut hoi cua thnh phn hop kim l kh gn nhau v su thay di thnh phn
hop kim l chp nhn duoc. Tuy nhin, mt s truong hop khc khng phai
nhu vy v du nhu: TiW. Khi nhit d chn nung l 2500
0
C, p sut hoi cua Ti
khoang 1 torr, trong khi d p sut hoi cua W chi c 3 10
-6
torr. Lc du gn
nhu chi c hoi cua Ti, sau d do thnh phn dung dich nng chay thay di,
thnh phn mng kt tua cung thay di theo.
Vn d co ban o dy l su khc nhau v p sut hoi cua cc thnh phn
khc nhau. Rt kh khng ch chnh xc thnh phn cua hn hop. Trong ki
thut dng bay hoi, nhiu ngun hoat dng dng thoi d kt tua mng hop
kim.Th du,d kt tua mng TiW nguoi ta su dung 2 chn nung,mt chn chua
91
W v mt chn chua Ti, o hai nhit d khc nhau.Tuy lm nhu vy c th cai
thin dng k cht luong mng, p sut hoi vn l bi ton kh v tc d kt
tua vn l tc d kt tua l v cng nhay cam voi nhit d bay hoi. Di voi
mng don nguyn t, tc d kt tua tuyt di khng quan trong v c th su
dung dng h do chiu dy mng d dng mo l chn.Trong qu trnh dng
bay hoi d dam bao thnh phn mng, cn khng ch chnh xc nhit d
ngun bay hoi.
Mt phuong php ch tao mng da thnh phn khc l kt tua tung
lop.Vic ny c th thuc hin duoc trong nhiu h ngun bng cch mo v
dng l chn. Nhiu lop mng rt mong duoc kt tua xen k nhau.Sau khi kt
thc qu trnh bay hoi ,c th tao hop kim bng cch nng nhit d mu d cc
thnh phn khuch tn vo nhau. Qu trnh ny di hoi phin phai chiu dung
duoc cng doan xu l o nhit d cao.
3.8.3. Phn x
Phn xa l phuong php c th thay th phuong php bay hoi d tao
mng kim loai trong cng ngh vi din tu.
3.8.3.1. Uu dim cua phuong php phn x
- Vn tc lng dong cao nho cc cathode hin dai v bia duoc thit k hop l.
- C kha nng tao mng hop kim c thnh phn phuc tap.
- C th tao mng da kim loai c d nng chay v nhit d nng chay cao.
- Tao duoc mng duong knh lon (200mm), dng thoi kim sot duoc chnh
xc d dy cung nhu su dng du cua mng.
- Kha nng su dung h da chuc nng nhu lm sach cc tip xc truoc khi tao
duong dn bng kim loai.
- D ch tao duong dn bng hop kim cua nhm, v cc tip xc kim loai th
khng c ki thut no bao dam tt ca cc uu dim trn nn phuong php phn
xa vn duoc su dung hiu qua nht.
92
3.8.3.2. H phn x don gian
Hnh 3.41. H phn xa don gian
H bao gm mt bung chn khng chua l phan ung Plasma ban cuc
song song, duoc thit k sao cho cc ion nng luong cao bn ph bia lm tu
vt liu cn kt tua.
Quy trnh to mng:
Thuong ban du nguoi ta ht chn khng trong bung xung c 10
-6
torr, sau d tha kh tro (Ar) vo bung dn p sut c 10
-1
-10
-2
torr.
Kh Ar bi ion ha duoi tc dung cua din truong cao, voi din p mt chiu V
= 5KV hoc ngun cao tn V ~ 1.5KV, tn s 13,65MHZ.
Cc ion Ar bn ph bia (duoc dt duoi mt din p m cathode), lm
cho vt liu bia bay hoi v kt tua trn b mt phin. D c th thu gom duoc
cng nhiu cng tt cc nguyn tu vt liu bn tu bia, cathode v anode trong
93
thit bi phn xa don gian trn dy duoc dt rt gn nhau, thuong khoang cch
duoi 10cm.
3.8.3.3. Vt l qu trnh phn x.
Co so cua qu trnh phn xa l tao ra v su dung Plasma tu kh Ar.
Plasma duoc tao ra bng cch dt din p lon trn khoang hep chua kh duoi
p sut thp.
Bang nng luong ion ha lan nhat v lan thu hai cua mot so kh
Nguyn tu Ion ha I(eV) Ion ha (eV)
Heli(He) 24,586 54,416
Nito(N) 14,534 29,601
Oxy(O) 13,618 35.116
Argon(Ar) 15,759 27,629
Mt khi Plasma hnh thnh, cc ion trong plasma duoc gia tc dn
cathode, chng giai phng din tu thu cp, v cc din tu ny nhanh chng roi
khoi cathode. Nu nng luong truyn nho hon nng luong ion ho cc phn tu
kh, nguyn tu c th bi kch thch ln muc nng luong cao, khi tro v muc li
thng qua chuyn muc quang s pht nh sng dc trung. Nu nng luong
truyn lon hon nng luong ion ho th cc nguyn tu bi ion ho v gia tc v
pha cathode. Vic bn ph Cathode lung ion ny gy ra qu trnh phn xa.
Khi cc ion nng luong cao dp vo b mt vt liu,c th xay ra bn
kha nng:
+ Cc ion voi nng luong thp hon bi bt ra khoi b mt.
+ Voi nng luong nho hon khoang 10eV, ion c th bi hp thu trn b
mt, nhuong nng luong cho phonon (nhit).
+ Voi nng luong lon hon 10KeV, ion chui su vo vt liu (nhiu lop
nguyn tu), nhuong phn lon nng luong o su trong d, lm thay di
cu trc vt l.
94
+ Voi nng luong trong dai trung gian, xay ra hai co ch truyn nng
luong. Mt phn nng luong ion duoc giai phng duoi dang nhit, phn
cn lai lm thay di cu trc vt l cua d.
O dai nng luong ny, co ch dung hat nhn trn b mt rt hiu qua.
Qu trnh truyn nng luong chu yu xay ra trong mt lop nguyn tu. Khi d
cc nguyn tu hoc dm nguyn tu s bi bn bt ra khoi b mt d.
Nhung nguyn tu ny bt ra khoi b mt cathode voi nng luong tu 10 -
50eV, tuc l gp khoang 100 ln nng luong cua nguyn tu bay hoi do nhit.
Nng luong du gip cc nguyn tu phn xa c d linh dng b mt lon hon v
do d phu bc thang tt hon so voi truong hop bay hoi. Thng thuong khoang
95%vt liu duoc phn xa duoi dang nguyn tu. Ni chung vt l qu trnh
phn xa vt liu kh phuc tap, n bao gm cc hiu ung kt hop giua ph
hong lin kt ho hoc v dich chuyn vt l.
Hnh 3.42. Nguyn l qu trnh phn xa
M hnh ny bo qua hiu ung ho hoc v coi cc nguyn tu d nhu cc
qua cu rn. Mt ion toi b mt c th chui su vo bia qua nhiu lop nguyn
tu cho dn khi dp vo nguyn tu voi thng s va cham nho v bi lch gc
lon. Diu ny cung c th lm giai phng nguyn tu bia voi moment lon
huong di lch khoi php tuyn toi b mt. Trong qu trnh ny, nhiu lin kt
95
trong lop b mt bia bi be gy. Nhung va cham tip theo s lm but ra cc
nguyn tu hoc cc dm nguyn tu nho.
3.8.3.4. Tc d kt tua v hiu sut phn x
Tc d kt tua phn xa phu thuc lung ion toi bia, xc sut ion toi but
duoc nguyn tu bia v su vn chuyn vt liu phn xa qua plasma dn phin.
Vt liu bia thuong duoc ch tao duoi dang dia bng phuong php p nng.
Do phn lon cng sut trong Plasma duoc toa ra duoi dang nhit trn bia, d
trnh qu nng, bia duoc lm ngui bng nuoc (nuoc khu ion d trnh chp
din). Bia duoc gn voi gi giu hoc bng co kh.
3.8.3.5. Phn x cc vt liu d}c bit
Phn lon cc nghin cuu du lin quan toi phn xa nhm d tao d tip
xc v duong dn trong IC silic. Tuy nhin nhm tinh khit d duoc thay th
bng cc hop kim Nhm Si d tng d tin cy cua tip xc Ohmic cho cc
chuyn tip nng.
D c tc d phn xa lon, nguoi ta dng chu yu h phn magnetron
planar mt chiu. V mng l hop kim nn vic khng ch thnh phn l vn
d cn quan tm. Nhu d ni o trn, thnh phn mng kt tua thuong gn
ging thnh phn vt liu bia. O nhit d d vua phai khi c th bo qua hin
tuong ti bay hoi cua vt liu kt tua, thnh phn chnh xc cua mng duoc
khng ch boi tnh cht vn chuyn cua cc phn tu cu thnh trong Plasma.
Mt phuong php nua l su dung nhiu bia. Bng cch chinh cng sut
mi bia,c th thay di thnh phn mng.
Ngoi ra d khng ch thnh phn mng m khng cn b ngun thu
hai l su dung bia ghp voi cc vng c nng d khc nhau. Trong truong hop
don gian nht, cc manh vt liu khc duoc gn ln bia. Thnh phn mng
duoc xc dinh boi ti s cua cc vng tip xc voi Plasma.
Khi cn kt tua mng hop cht trong d cc nguyn t c hiu sut phn
xa rt khc nhau, v mt trong s d c th nhn duoc duoi dang kh, tt nht
nn su dung phuong php phn xa phan ung, l qu trinh trong d kh phn xa
l kh tro duoc thay th bng hn hop kh tro khi phan ung. Thnh phn mng
96
kt tua c kim sot bng cch thay di p sut ring cua kh phan ung. Bng
phuong php phn xa phan ung c th ch tao mng hop cht c thnh phn
thay di trong mt dai rng. Vn d cn lai l chon diu kin kt tua v diu
kin u sau kt tua d c thnh phn v pha mong mun.
3.9. Kt tua ha hc pha hoi CVD
3.9.1. Mo du
Kt tua ha pha phoi (Chemical Vapor Deposition-CVD) hin duoc su
dung rng ri d tao mng cua nhiu vt liu khc nhau. Phuong php CVD
nhit cung l co so cua ki thut cy cy epitaxy trong ch tao IC. Cc bin th
cua phuong php CVD nhit su dung mt s ngun nng luong nhu plasma
hoc kch thch quang d diu khin cc phan ung ha hoc, cho php kt tua
mng o nhit d thp.
inh nghia: L phuong php cng ngh tao mng cht rn c thnh phn xc
dinh v khng bi bay hoi trn b mt d bng phan ung ha hoc cua cc cht o
dang kh.
Khc voi Oxy ha nhit l lop oxide duoc moc ra tu d, d tao lop SiO
2
bng phuong php CVD nguoi ta su dung cc hop cht kh c chua Si hoc
cc hop cht Silic v O
2
. Lop SiO
2
duoc tao thnh trn b mt d theo cc
phan ung ha hoc. Cc qu trnh xay ra nhu sau:
- Vn chuyn hn hop kh tu li vo dn gn phin.
- Phan ung giua cc kh d tao phn tu con.
- Vn chuyn cc cht phan ung dn b mt phin.
- Phan ung b mt d tao silic.
- Nha hp cc san phm kh.
- Vn chuyn cc san phmr kh ra xa b mt.
- Vn chuyn cc san phmr kh ra khoi l.
3.9.2. H CVD don gian d ch to mng Si
Xt h CVD don gian sau:
97
Hinh 3.43. So d h CVD don gian
Bnh phan ung l ng c tit din chu nht. Thnh ng duoc giu o nhit
d Tw. Phin silic duoc dt trn gi d o giua ng. Nhit d gi l Ts. Thng
thuong Ts>>Tw. Ta xt mt qu trnh don gian nhung cung rt dc trung l
phn ly kh silane (SiH4) d tao mng silic da tinh th. Gia thit dng kh di
qua ng tu tri qua phai. V silane bt du phn ly khi dn gi giu phin, nn
nng d silane cung nhu tc d kt tua s giam dn theo chiu di ng. D cai
thin d dng du cua mng kt tua, nguoi ta thuong trn kh silane voi mt
kh mang l kh tro. Mt cht kh ha tan cho silane thuong dng l hydro
phn tu (H
2
). Gia thit su dung hn hop 1% SiH
4
trong H
2
, gia thit nhit d
cua hn hop kh khi vo ng cung l Tw. San phm cua phan ung silane
khng tham gia phan ung duoc dua ra khoi ng qua li thot kh thai. Dng
kh trong bung phan ung du thp d c th coi p sut trong bung dng
nht. Phan ung xay ra nhu sau:
SiH
4
(K) ----->Si(R) + 2H
2
(K)
3.9.3. Ch to mng din mi bng CVD p sut kh quyn
Mt s h CVD du tin l h CVD p sut kh quyn (APCVD :
Atmospheric pessure CVD) v chng c tc d phan ung lon v thit bi don
gian, dc bit don gian d ch tao vt liu din mi. Mng silic kt tua tu
siliane nhu d xt o phn trn, thuc cht l nhn duoc p sut kh quyn, c d
98
dng du khng tt. D c d dng du cao th tt nht l su dung p sut
thp. Phuong php AOCVD chu yu thch hop cho vic nhn lop din mi
dy, voi tc d kt tua > 1000 A
o
/min. C th su dung bnh phan ung loai
dung, hoc l ng nm ngang nhu trong truong hop oxy ho nhit, chi khc o
ch l su dung nhiu kh khc nhau o du vo. Ngoi ra cn c cu hnh l
lin tuc, trong d cc phin duoc dua vo v dua ra theo tung cassett, trn
bng chuyn nng. Nhit d phin trong khoang 250 450
0
C. Khi ti s giua
O
2
v SiH
4
t nht dat 3:1, ta nhn duoc SiO
2
theo phan ung:
SiH
4
(K) + O
2
(K) -> SiO
2
(R) + 2H
2
(K)
V cc l do khc nhau, nguoi ta thuong ch tao mng SiO
2
c chua tu
4 dn 12% pht pho.Vt liu thuy tinh pht pho silicat (PSG) ny ho mm v
chay o nhit d khng cao lm, lm cho b mt phin phng hon, dng thoi c
tc dung ht, lm thu dng ho nhiu tap cht. C th nhn mng (PSG) bng
phuong php (APCVD) nu thm vo dng kh PH3. Cng voi phan ung trn
ta c:
4PH
3
(K) + 5O
2
(K) -> 2P
2
O
5
(R) + 6H
2
(K)
Nng d pht pho trong c th diu khin bng cch thay di ti s
PH3/SiH4. Nhit d kt tua cua phan ung SiH4 voi O2 lm cho phuong php
ny rt thch hop khi cn phu mng oxide ln trn lop mng nhm.
3.9.4. Ch to mng din mi v bn dn bng CVD p sut thp
H LPCVD c nhiu cu hnh khc nhau, mt trong nhung cu hnh
thng dung miu ta trn hnh 3.44.
C th chia cc h LPCVD thnh hai loai, loai c vch nng v loai c
vch ngui. Cc h vch nng c uu dim l nhit d phn b dng du v
hiu ung di luu nho. H vch ngui cho php giam kt tua trn vch. Khi xay
ra kt tua trn vch ng, mt mt cc kh bi ngho, mt khc hnh thnh cc
hat, cc hat c th bong khoi vch v roi xung mt phin. Kt tua trn vch
ng cn c hiu ung nho: vt liu kt tua trn vch truoc d c th kt tua lai
trn phin. V vy, h LPCVD vch nng cn duoc su dung cho mt loai vt
liu nht dinh.
99
H CVD trn hnh 3.44 duoc su dung d tao mng silic da tinh th,
SiO2 v SiN
4
. H bao gm ng thach anh duoc dt nng bng l din tro 3
vng, kh duoc dua vo mt du ng v ht ra tu du ng kia. p sut trong
phan ung thuong tu 0,25 dn 2,0 torr; nhit d trong khoang 300 dn 900 oC;
dng kh trong khoang tu 100 dn 1000 sccm (cm
3
chun trn pht). Phin
duoc giu thng dung, vung gc voi dng kh, trn gi thach anh. Mi me c
th xu l tu 50 dn 200 phin voi d dng du chiu dy mng 5%. Sau khi
cho phin vo l, nguoi ta dng np c dong kn. Nguoi ta tin hnh thi
sach ng bng kh tro nhu N
2
ri bom ht dn chn khng trung bnh. Khi
nhit d l dat nhit d kt tua, nguoi ta cho kh phan ung vo l. Qu trnh
tao mng duoc tin hnh trong khoang thoi gian xc dinh truoc, sau d l lai
duoc thi sach bng kh N2, p sut tng dn p sut kh quyn, lc d c th
ly phin ra.
Hinh 3.44. So d h CVD vch nng, p sut thp
3.9.6. Ch to mng kim loi bng CVD
Mt trong nhung vn d nghim trong nht lin quan dn nhit d phu
bc thang l khi tao mng kim loai lm tip xc. Dc bit voi linh kin kch
thuoc nho hon nhiu micromet, ti s chiu cao chiu rng tng, vic phu bc
bng kt tua phn xa tro nn rt kh. Nguoi ta d su dung CVD kim loai d
100
khc phuc tnh trang ny. Kim loai duoc nghin cuu nhiu voi kt qua tt l
vonfram(W). Trong phn lon truong hop mng W duoc nhn bng CVD vch
ngui. Ngun W bao gm WCl
6
, W(CO)
6
, v WF
6
, trong d chi c WF
6
l
cht long o nhit d phng, si o 25
0
C. Hai cht kia l cht rn voi p sut hoi
lon. Cc h CVD d ch tao mng W chu yu dng WF
6
voi H
2
l kh mang.
Nhit d kt tua thuong nho hon 400
0
C. Tuy tc d kt tua tuong di thp,
mng W c d phu bc rt tt nu ta su dung WF
6
v H
2
. Phan ung tng cua
qu trnh:
WF
6
+ H
2
<-> W + 6HF
Ngoi W, nguoi ta cung tao mng chn TiN v mng dn Cu. C th
nhn mng TiN bng phan ung giua NH3 v TiCl4:
6 TiCl
4
+ 8 NH
3
-> 6 TiN + 24 HCl + N
2
101
Chuong 4: MT S H VI MACH CO BAN
4.1. Phn loi vi mch
4.1.1. Theo chc nng
- Vi mach s.
- Vi mach tuong tu.
4.1.2. Theo cng ngh ch to
- Vi mach bn dn.
- Vi mach mng.
- Vi mach lai.
4.1.3. Theo linh kin co ban
- Vi mach lung cuc.
- Vi mach CMOS.
- Vi mach BiCMOS.
4.1.4. Theo mc d t hp
- Muc d t hop thp (SSI) < 30 linh kin/chip.
- Muc d t hop trung bnh (MSI) 30 10
3
linh kin/chip.
- Muc d t hop lon (LSI) 10
3
10
5
linh kin/chip.
- Muc d t hop rt lon (VLSI) 10
5
10
7
linh kin/chip.
4.2. Cc h vi mch s
4.2.1. Tng quan
Xt v co ban c hai loai thit bi bn dn l lung cuc v don cuc. Dua
trn cc thit bi ny, cc mach tch hop duoc hnh thnh.
Cc mch Logic lung cc
Cc yu t chnh cua IC lung cuc l din tro, diode v BJT. Cc ho
logic lung cuc nhu: Mach logic RTL, mach logic TTL, mach logic ECL...
Cc mch Logic don cc
102
Cc thit bi MOS l cc thit bi don cuc v chi c cc MOSFET duoc
vn hnh trong cc mach logic MOS. Cc mach logic MOS nhu: PMOS,
NMOS,CMOS.
4.2.2. Cc d}c trung cua cc vi mch s
- Tc d hoat dng: L thuc vo thoi gian tr truyn dat
Hnh 4.1. Tr truyn dat
- Tn hao cng sut (mW): Xc dinh boi tch s ngun cung cp Vcc v dng
Icc.
- Chi s gi tri: Xc dinh boi tch s tc d v cng sut.
Chi s gi tri (pJ) = thoi gian tr truyn dat x cng sut (mW).
Chi s gi tri cng nho cng tt.
- H s tai: L s cng c th vn hnh boi mt cng, h s tai cng cao cng
thun loi.
- Cc tham s dng p:
+ Din p du vo o muc cao V
IH
: Din p ti thiu m cng c th
nhn bit muc 1.
+ Din p du vo o muc thp V
IL
: Din p ti da m cng c th nhn
bit muc 0.
+ Din p du ra o muc cao V
OH
: Din p ti thiu tai du ra tuong ung
voi muc 1.
+ Din p du ra o muc thp V
OL
: Din p ti da tai du ra tuong ung
muc 0.
+ Cuong d dng din du vo muc cao I
IH
: Dng ti thiu duoc cung
cp tuong ung voi muc 1.
103
+ Cuong d dng din du vo muc thp I
IL
: Dng ti da duoc cung cp
tuong ung voi muc 0.
- Nhiu:
Hnh 4.2. Nhiu
- Min nhit d hoat dng: Tu 0-70
0
C cho cc ung dung tiu dng v cng
nghip; tu 55-125
0
C cho cc muc dch qun su.
4.2.3. H RTL (Resistor-Transistor Logic)
Bao gm cc din tro v transistor, dy l ho logic duoc tch hop som
nht.
V du: Mt cng NOR RTL:
Hnh 4.3. Cng NOR RTL
104
Cc mach RTL c dc tnh chung l cn dng I
B
cho cc BJT nn cn
duoc goi l mach thu dng (current sinking), v vy khi kt ni voi cc mach
khc cn phai luu d thoa mn diu kin ny, nu khng mach s khng lm
vic.
4.2.4. H DTL (Diode-Transistor Logic)
Bao gm Diode o ng vo v transistor o ng ra.
V du: Cng NAND DTL
Hnh 4.4. Cng NAND DTL
4.2.5. H TTL (Transistor-Transistor Logic)
Loai TTL som duoc thay th boi mach TTL tuc Transistor o ng vo v
Transistor o ng ra.
V du: Cng NAND TTL.
105
Hnh 4.5. Cng NAND TTL
Loat IC TTL chun du tin goi l seri 54/74, ty theo hng ch tao s
c thm cc tin t. VD: Texas Instruments c tin t SN, National
Semiconductor dng DM, Signetic l S.
Seri 74 vn hnh trong khoang din th 4.75V dn 5.25V v nhit d
0
0
C dn 70
0
C.
Seri 54 chp nhn din th ngun trong khoang 4.5V dn 5.5V v nhit
d -55
0
C dn 125
0
C.
Muc din th cua Seri 74:
- Cng sut tiu hao trung bnh mt cng khoang 10mW.
- Thoi gian tr truyn trung bnh 9ns.
- Du ra TTL chun c th kch thch 10 du vo TTL chun.
106
4.2.6. H CMOS
Cng ngh CMOS tung ra cc san phm c dc dim hiu sut ngy
cng tt hon, cung cp khng chi tt ca chuc nng logic c o TTL, m cn
nhiu chuc nng dc bit khng c o TTL.
Luu : Khng bao gio duoc php tha ni cc du vo CMOS khng dng dn,
tt ca du vo CMOS phai duoc ni hoc voi muc din th c dinh (0 hoc
V
DD
) hoc voi du vo khc. L do du vo CMOS tha ni rt nhay voi tap m
nhiu v tinh din vn c th d dng phn cuc MOSFET o trang thi dn
din.
4.2.7. Mt s cng
Tt ca cc cng trong bang duoi dy du thuc loai tch hop SSI.
107
108
TI LIJU THAM KHAO
1. Cng ngh ch tao mach vi din tu, PGS.TS. Nguyn Duc Chin, TS.
Nguyn Vn Hiu, NXB Bch Khoa H Ni.
2. Bi giang kv thuat vi din tu, TS. Nguyn Ngoc Trung, DHBK H Ni,
2003.

You might also like