P. 1
Bai Giang Ky Thuat Vi Dien Tu_ThangVC

Bai Giang Ky Thuat Vi Dien Tu_ThangVC

|Views: 197|Likes:
Được xuất bản bởiTam Vo

More info:

Published by: Tam Vo on Nov 27, 2011
Bản quyền:Attribution Non-commercial

Availability:

Read on Scribd mobile: iPhone, iPad and Android.
download as PDF, TXT or read online from Scribd
See more
See less

03/02/2013

pdf

text

original

Sections

1

KHOA CÔNG NGHJ THÔNG TIN
BO MÔN: DIEN TU - VIÉN THÔNG
THS. VÙ CHIEN THANG
KY THUAT VI DIJN TU
TAP BÀI GIANG
(Luu hành nçi bç)
THÁI NGUYÊN 9/2010
2
MJC LJC
MUC LUC ......................................................................................................................... 1
Chuong 1: CO SO VAT LÝ............................................................................................... 4
1.1. Câu trúc tinh thê ...................................................................................................... 4
1.2. Câu trúc vùng náng luong........................................................................................ 6
1.3. Bán dân tinh khiêt .................................................................................................... 7
1.4. Bán dân loai P.......................................................................................................... 8
1.5. Bán dân loai N......................................................................................................... 9
1.6. Dô linh dông, dô dân.............................................................................................. 11
Chuong 2: CAU TRÚC MACH VI DIEN TU.................................................................. 13
2.1. Chuyên tiêp PN...................................................................................................... 13
2.2. Công nghê luõng cuc............................................................................................. 15
2.2.1. Cách diên báng chuyên tiêp PN....................................................................... 15
2.2.2. Cách diên báng Oxide ..................................................................................... 16
2.2.3. Transistor luõng cuc ....................................................................................... 17
2.2.4. Diode, diên tro và tu diên................................................................................ 21
2.3. Công nghê CMOS ................................................................................................. 24
2.3.1. Mo dâu ........................................................................................................... 24
2.3.2. Quá trình chê tao............................................................................................. 26
2.3.3. Chê tao giêng.................................................................................................. 27
2.3.4. Diên cuc công................................................................................................. 28
Chuong 3: CÔNG NGHE CHE TAO MACH VI DIEN TU............................................. 30
3.1. Chê tao phiên bán dân............................................................................................ 30
3.1.1. Quy trình chê tao phiên bán dân silic............................................................... 30
3.1.2. Chê tao Silic da tinh thê .................................................................................. 31
3.1.3. Chê tao Silic don tinh thê ................................................................................ 32
3.1.4. Chê tao phiên bán dân..................................................................................... 37
3.1.5. Phòng sach...................................................................................................... 37
3.2. Oxy hóa................................................................................................................. 49
3.2.1.Gioi thiêu công nghê Oxy hoá.......................................................................... 49
3.2.2.Oxy hóa nhiêt................................................................................................... 49
3.3. Quang khác............................................................................................................ 53
3.3.1. Khái niêm....................................................................................................... 53
3.3.3. Các khái niêm co ban...................................................................................... 54
3.3.4. Các giai doan cua quá trình quang khác........................................................... 56
3.4. Ãn mòn.................................................................................................................. 60
3.4.1. Ãn mòn uot..................................................................................................... 61
3.4.2. Ãn mòn khô .................................................................................................... 66
3.5. Khuêch tán ............................................................................................................ 68
3.6. Cây ion.................................................................................................................. 69
3.6.1. Mo dâu ........................................................................................................... 69
3.6.2. Thiêt bi cây ion ............................................................................................... 71
3.6.3. Mát na dùng cho cây ion ................................................................................. 72
3.6.4. U nhiêt ............................................................................................................ 72
3.7. Epitaxy.................................................................................................................. 72
3
3.7.1. Mo dâu ........................................................................................................... 72
3.7.2. Làm sach phiên và tây lop Oxit tu nhiên ......................................................... 73
3.7.2. Nhiêt dông hoc quá trình Epitaxy pha hoi........................................................ 73
3.7.3. Pha tap............................................................................................................ 75
3.7.4. Khuyêt tât trong lop Epitaxy ........................................................................... 75
3.7.5. Epitaxy GaAs.................................................................................................. 76
3.7.6. Epitaxy chùm phân tu ..................................................................................... 77
3.8. Các phuong pháp tao màng mong: Bay hoi, phún xa.............................................. 81
3.8.1. Mo dâu ........................................................................................................... 81
3.8.2. Bay hoi trong chân không ............................................................................... 82
3.8.3. Phún xa........................................................................................................... 91
3.9. Kêt tua hóa hoc pha hoi CVD ................................................................................ 96
3.9.1. Mo dâu ........................................................................................................... 96
3.9.2. Hê CVD don gian dê chê tao màng Si ............................................................. 96
3.9.3. Chê tao màng diên môi báng CVD áp suât khí quyên...................................... 97
3.9.4. Chê tao màng diên môi và bán dân báng CVD áp suât thâp............................. 98
3.9.6. Chê tao màng kim loai báng CVD................................................................... 99
Chuong 4: MOT SO HO VI MACH CO BAN ............................................................... 101
4.1. Phân loai vi mach ................................................................................................ 101
4.1.1. Theo chuc náng............................................................................................. 101
4.1.2. Theo công nghê chê tao................................................................................. 101
4.1.3. Theo linh kiên co ban.................................................................................... 101
4.1.4. Theo muc dô tô hop ...................................................................................... 101
4.2. Các ho vi mach sô................................................................................................ 101
4.2.1. Tông quan..................................................................................................... 101
4.2.2. Các dác trung cua các vi mach sô.................................................................. 102
4.2.3. Ho RTL (Resistor-Transistor Logic).............................................................. 103
4.2.4. Ho DTL (Diode-Transistor Logic)................................................................. 104
4.2.5. Ho TTL (Transistor-Transistor Logic)........................................................... 104
4.2.6. Ho CMOS..................................................................................................... 106
4.2.7. Môt sô công .................................................................................................. 106
TÀI LIEU THAM KHAO.............................................................................................. 108
4
Chuong 1: CO SO VAT LÝ
1.1. Câu trúc tinh thê
Trong tinh thê, các nguyên tu sáp xêp theo môt trât tu tuân hoàn. Câu
trúc tinh thê nho nhât duoc láp lai mang dây du thông tin cua môt tinh thê goi
là ô mang co so.
a. Ô lçp phuong don gian
Bao gôm 8 nguyên tu o 8 dinh.
Hình 1.1. Ô lâp phuong don gian.
b. Ô lçp phuong tâm khôi
Bao gôm 8 nguyên tu o 8 dinh và 1 nguyên tu o tâm hình lâp phuong.
Hình 1.2. Ô lâp phuong tâm khôi.
c. Ô lçp phuong tâm m}t
Bao gôm 8 nguyên tu o 8 dinh và 6 nguyên tu o tâm 6 mát.
5
Hình 1.3. Ô lâp phuong tâm mát
d. Ô lçp phuong câu trúc kim cuong
Hình 1.4. Ô lâp phuong câu trúc kim cuong
Hình 1.5. Ô mang co so Si
Mát pháng tinh thê: Su dung hê sô Miller dê xác dinh nhu hình 1.6.
6
Hình 1.6. Hê sô Miller dê xác dinh mát pháng tinh thê
1.2. Câu trúc vùng nàng luçng
Vùng náng luong o môi vât rán là khác nhau, dô rông và vi trí cua tung
vùng náng luong phu thuôc vào loai vât rán khác nhau. Tùy theo tình trang
các muc náng luong có bi diên tu chiêm chô hay không, nguoi ta chia ra làm 3
vùng là: Vùng dân, vùng câm, và vùng hóa tri.
Hình 1.7. Gian dô vùng náng luong cua Kim loai, chât bán dân
và chât diên môi
Vùng dan: Có thê goi là vùng dân diên, tuc là nhung diên tu nào nám trong
vùng này goi là nhung diên tu tu do. O dó các muc náng luong chua duoc
chiêm chô hoác bi chiêm chô 1 phân.
Vùng hóa tri: Chua nhung diên tu hóa tri cua nguyên tu, có muc náng luong
thâp nhât.
Vùng cam: Là vùng nám giua vùng dân và vùng hóa tri. Trong vùng này,
không tôn tai muc náng luong mà diên tu có thê chiêm chô.
Trong tung vùng náng luong, các muc náng luong có thê bi chiêm dây
hoàn toàn, môt phân hoác bo trông hoàn toàn.
7
Môt diên tu muôn tham gia vào thành phân dòng diên phai tro thành
diên tu tu do, nghia là nó phai có du náng luong nhay tu vùng hóa tri, vuot
qua vùng câm lên vùng dân. Boi vây, dô rông cua vùng câm là tiêu chuân dê
phân biêt vât rán là vât liêu dân diên, bán dân, hay cách diên. Nhu vây, dô
rông cua vùng câm càng lon thì dô dân càng kém, chiêu rông cua vùng câm së
xác dinh náng luong cân thiêt dê diên tu but khoi các liên kêt hóa hoc dê tham
gia vào quá trình tai diên. Dê don gian, kí hiêu dáy vùng dân là E
c
, dinh cua
vùng hóa tri kí hiêu là E
v
. Khoang cách giua E
c
và E
v
là vùng câm ∆E
g.
1.3. Bán dân tinh khiêt
Khi các diên tu hóa tri nhân duoc các náng luong tu bên ngoài (nhiêt
dô, ánh sáng) du lon, có thê thoát duoc luc liên kêt tro thành diên tu tu do
(nhay lên vùng dân) tham gia vào thành phân dòng diên. Khi ây trong vùng
hoá tri do thiêu hut diên tu nên xuât hiên muc náng luong bo trông. Diêu dó
dua toi su dân diên trong vùng hoá tri. Nhung diêm thiêu hut diên tu trong
vùng hoá tri có thê xem nhu là tai dây tôn tai diên tích duong còn goi là lô
trông. Khác voi ion, các lô trông có thê di chuyên trong vât rán là do diên tu
bên canh lâp dây lô trông dó và nó lai dê lai môt lô trông và lô trông này di
chuyên môt cách tu do theo huong nguoc voi huong cua diên tu. Diêu dó có
nghia là viêc dut môt liên kêt dông hoá tri làm cho môt diên tu chuyên doi tu
vùng hoá tri lên vùng dân.
Quá trình trên duoc goi là quá trình phát xa cáp diên tu - lô trông. Nhu
vây trong bán dân sach, các hat dân duoc tao ra chu yêu boi quá trình hình
thành (phát sinh) cáp diên tu lô trông. Trong dó, diên tu trong vùng dân, lô
trông trong vùng hóa tri.
Nguoc lai voi quá trình phát sinh cáp diên tu - lô trông là quá trình tái
hop diên tu và lô trông, tuc là quá trình xây dung lai môt liên kêt nho diên tu
tu do roi tu vùng dân xuông vùng hóa tri (su phát xa náng luong).
8
Hình 1.8. Quá trình phát sinh và tái hop diên tu, lo trong.
O trang thái cân báng nhiêt dông, sô diên tu phát sinh dúng báng sô diên
tu tái hop. Bán dân nhu vây duoc goi là bán dân ròng (bán dân tinh khiêt).
1.4. Bán dân loçi P
Pha tap Silic voi các nguyên tu hóa tri 3 nhu Al, thì môi nguyên tu tap
chât hóa tri 3 thay thê vi trí nguyên tu bán dân tinh khiêt gôc và tao ra liên
kêt dông hóa tri voi 3 nguyên tu láng giêng gân nhau nhât, còn liên kêt thu 4
không hoàn hao và vì vây làm xuât hiên 1 lô trông. Do vây, chi cân 1 náng
luong rât nho cung cho phép môt diên tu cua liên kêt dông hóa tri gân dó dên
chiêm lô trông và làm dut các liên kêt khác. Các nguyên tu tap chât hóa tri 3
này có xu huong bát diên tu cua vùng hóa tri làm táng lô trông trong bán dân
nên nguoi ta goi là tap chât aceptor, còn bán dân có tap chât loai này goi là
bán dân loai P.
9
Hình 1.9. Tap chât aceptor trong don tinh thê Si
Hình 1.10. Gian dô muc náng luong aceptor
Muc náng luong aceptor E
a
nám gân dinh vùng hóa tri, boi vây chi cân
môt náng luong nho (náng luong ion hóa) cung có thê làm cho diên tu nhay tu
vùng hóa tri lên các muc aceptor làm cho nguyên tu tap chât ion hóa tro thành
ion âm, dông thoi làm xuât hiên các lô trông trong vùng hóa tri.
1.5. Bán dân loçi N
Nguyên tu Si: Môi nguyên tu có bôn diên tu hoá tri gôp chung voi bôn
nguyên tu bên canh dê tao thành môi liên kêt dông hoá tri.
Pha tap Si voi các nguyên tu thuôc nhóm V, cháng han nhu phôt pho
thì các nguyên tu tap chât së liên kêt dông hóa tri voi 4 nguyên tu Si láng
giêng gân nhât. Nhu vây còn thua ra 1 diên tu hóa tri së có liên kêt yêu voi
10
nguyên tu láng giêng xung quanh và cung liên kêt yêu voi nguyên tu cua
chính nó. Nên chi cân 1 náng luong nho cung giai phóng nó khoi nguyên tu
cua nó dê tro thành diên tu tu do.
Tap chât hóa tri 5 này duoc goi là tap chât dôno, có nghia là tap chât
diên tu tu do. Còn chât bán dân có tap chât dono goi là bán dân loai N. Các
diên tu duoc goi là hat da sô, các lô trông duoc goi là hat thiêu sô.
Hình 1.11. Tap chât dono trong don tinh thê Si
Tính dân diên trong bán dân loai N do diên tu quyêt dinh. Viêc pha tap
chât dôno së làm xuât hiên trong vùng câm cua bán dân này nhung muc náng
luong cuc bô nám sát duoi dáy vùng dân goi là muc náng luong dono.
11
Hình 1.12. Gian dô muc náng luong dono
Khoang cách tu dáy vùng dân dên muc dono nho hon nhiêu so voi dô
rông vùng câm. Vì vây náng luong cân thiêt dê diên tu nhay tu muc dono lên
vùng dân (náng luong ion hóa) nho hon rât nhiêu náng luong cân thiêt dê dua
diên tu tu vùng hóa tri lên vùng dân.
1.6. Dç linh dçng, dç dân
Duoi tác dông cua diên truong, hat dân chuyên dông dinh huong có gia
tôc tao nên môt dòng diên (goi là dòng trôi) voi vân tôc trung bình ty lê voi
cuong dô E cua diên truong:
t b
v E µ =
Suy ra:
E v
n tbn
µ − =
E v
p trp
µ =
Trong dó
p
µ và
n
µ là các hê sô ty lê goi là dô linh dông cua các hat dân
tuong ung.
Tu dó mât dô dòng trôi gôm hai thành phân:
I
trôin
= - qnv
tbn
I
trôip
= qpv
tbp
Hay dòng trôi toàn phân
12
I
trôi
= I
trôin
+I
trôip
I
trôi
= qE(n
n
µ +p
p
µ )
Mát khác: I = oE
Trong dó:
o : Là dô dân [S/m]
o = o
n +
o
p
= qno
n
+ qpo
p
Dôi voi bán dân thuân:
o = qn
i
(o
n
¹o
p
)
Trong bán dân loai N vì n
n
>> p
p
o = o
n
= qno
n
Trong bán dân loai P vì có p
p
>> n
n
o = o
p
= qpo
p
Nêu bi ion hoá hoàn toàn, nông dô diên tu là N
d
o
n
= qo
n
N
d
Tuong tu nêu bi ion hoá hoàn toàn
o
p
= qo
p
N
a
13
Chuong 2: CÁU TRÚC MACH VI DIJN TU
2.1. Chuyên tiêp PN
Báng các biên pháp công nghê, nguoi ta tao ra duoc vùng chuyên tiêp
PN có tính dân diên tu bán dân loai P sang bán dân loai N. Dây là dang tiêp
xúc phi tuyên có tính dân diên không dôi xung theo hai chiêu diên áp dát vào.
Hình 2.1. Chuyên tiêp PN
a. Chuyên tiêp PN o trçng thái cân bàng
Bán dân loai P, lô trông là hat dân da sô, diên tu là hat dân thiêu sô.
Bán dân loai N, diên tu là hat dân da sô, lô trông là hat dân thiêu sô. Khi hình
thành chuyên tiêp PN, tai bê mát tiêp xúc, lô trông së khuêch tán tu bán dân P
sang bán dân N, nguoc lai diên tu së khuêch tán sang bán dân P (vì có su
chênh lêch vê nông dô n
n
>>n
p
và p
p
>>p
n
). Nhu vây, tai gân bê mát tiêp xúc
bán dân P së có nhung ion âm cua các nguyên tu acxepto dã bi ion hóa, tai
gân bê mát tiêp xúc bán dân N còn lai các ion duong cua các dono bi ion hóa.
Do su khuêch tán các hat da sô mà tai miên lân cân mát tiêp xúc mât dác tính
trung hòa vê diên. Phía N tích diên duong, phía P tích diên âm, hình thành
nên 1 diên truong khuêch tán E
kt
, goi là nôi truong (truong phía bên trong),
chiêu cua E
kt
tu huong tu N sang P. Nhu vây, E
kt
chông lai su dich chuyên
cua các hat da sô (chông lai xu huong khêch tán ban dâu). Nhung truong hop
14
này lai cuôn diên tu tu P sang N, lô trông tu N sang P làm táng cuong su dich
chuyên cua hat dân thiêu sô. Khi su khuêch tán xay ra mãnh liêt vùng diên
tích âm, duong o 2 phía bán dân P, N càng rông ra (sô diên tích táng lên) và
E
kt
táng lên, dòng khuêch tán các hat da sô I
kt
giam di, còn dòng cuôn các hat
thiêu sô I
tr
ngày càng táng lên. Cuôi cùng dòng cuôn các hat da sô báng dòng
cuôn các hat thiêu sô (I
kt
= I
tr
), tuc là có bao nhiêu hat dân dua tu P sang N thì
có bây nhiêu hat dân duoc dua tu N sang P, chuyên tiêp P-N o trang thái cân
báng. Dó là môt trang thái cân báng dông.
O trang thái cân báng, sô ion âm nám trên bê mát tiêp xúc vê phía P và
sô ion duong nám trên bê mát tiêp xúc vê phía N báng nhau không dôi, do dó
cuong dô nôi truong E
tx
cung dat toi giá tri nhât dinh. Miên các ion duong và
âm trên không có hat dân cho nên goi dó là miên diên tích không gian (dôi khi
còn goi là miên nghèo). Khoang cách tu bo miên diên tích không gian phía P
sang bo miên diên tích không gian phía N goi là dô rông miên diên tích không
gian (X
m
). Khi dat dên trang thái cân báng dô rông miên diên tích không gian
cung xác dinh. Hiêu diên thê tiêp xúc có giá tri xác lâp, duoc xác dinh boi :
2
ln
i
D A
tx
n
N N
q
kT
= ψ
b. Chuyên tiêp PN khi duçc phân cµc thuçn
Dát vào chuyên tiêp P-N môt truong diên tu bên ngoài làm cho trang
thái cân báng cua chuyên tiêp P-N bi phá võ.
Diên truong bên ngoài E
ng
có chiêu nguoc voi chiêu cua diên truong
khuêch tán E
kt
thì diên truong tông công trong vùng diên tích không gian së bi
giam xuông làm cho các hat co ban së xích lai gân nhau hon voi lop tiêp xúc.
Xét dô rông cua miên diên tích không gian: Do diên cuc cua diên áp bên ngoài
dát vào, các lô trông trong bán dân P và diên tu trong bán dân N bi dây vê phía
miên diên tích không gian, trung hoà bot các ion duong và âm cua miên này
do dó làm cho dô rông cua miên này hep lai. Diên áp thuân càng lon, sô hat
dân da sô bi dây vê phía miên diên tích không gian càng nhiêu và dô rông cua
nó càng giam nho. Rõ ràng là dô rông miên diên tích không gian giam nho
15
tuong ung voi sô diên tích vùng này giam và do dó diên truong cua nó cung
giam nho so voi khi cân báng môt luong là ( Ψ
tx
– U).
c. Chuyên tiêp PN khi duçc phân cµc nguçc
E
ng
cùng chiêu voi E
kt
làm cho diên truong tông công trong vùng diên
tích không gian táng lên và ngán các hat tai co ban trong vùng trông xích lai
gân lop tiêp xúc công nghê, vì vây chiêu rông vùng diên tích không gian táng
lên, hàng rào thê náng cung táng lên môt dai luong là q( Ψ
tx
+V) và các hat tai
co ban không du náng luong dê vuot qua hàng rào thê náng này, dân dên su
suy giam dòng các hat tai qua chuyên tiêp PN.
Khi chuyên tiêp PN phân cuc nguoc dòng các hat tai không co ban (các
diên tu trong miên p, các lô trông trong miên n) có thê chuyên dich vào trong
miên tiêp xúc. Lúc này së có 1 dòng diên rât nho chuyên roi qua chuyên tiêp
PN; dòng diên này duoc goi là dòng diên nguoc (dòng rò) cua chuyên tiêp PN.
Dòng này có xu huong tiên toi 1 giá tri bão hòa nào dó, và goi là dòng bão
hòa.
2.2. Công nghç luõng cµc
Mach tích hop dâu tiên (1960) duoc chê tao dua trên các transistor
luõng cuc, và rât nhiêu loai vi mach SSI, MSI, LSI hiên nay cung duoc phát
triên tu nhung mach ban dâu này. Dông luc dê phát triên các mach IC là dê
chê tao các máy tính ngày càng nho hon và chât luong hon. Các mach luõng
cuc trong các máy tính hiên nay là các mach logic TTL, ECL và môt sô mach
khác, su dung các loai transistor NPN, các diode và các diên tro khuêch tán,
dê thuc hiên nhiêu chuc náng logic khác nhau.
Môt trong nhung yêu câu quan trong dôi voi tât ca các mach trên dây là cách
diên giua các linh kiên khác nhau. Chúng ta së xét môt sô kÿ thuât cách diên
trong các vi mach.
2.2.1. Cách diçn bàng chuyên tiêp PN
Kÿ thuât cách diên phô biên nhât trong các IC thê hê dâu tiên là su dung
chuyên tiêp PN phân cuc nguoc. Vât liêu ban dâu là dê loai P, trên dó có cây
16
môt lop epitaxy loai N. Các vùng N riêng rë duoc tao ra báng cách khuyêch
tán tap loai P qua lop epitaxy dên tân dê. So dô mát cát dê voi vùng N cách ly
duoc biêu diên trên hình 2.2.
Hình 2.2. Mát cát chi rõ vùng epitaxy loai N duoc bao quanh
boi khuêch tán loai P
Vùng N này hoàn toàn duoc bao quanh boi khuyêch tán loai P, và nêu
chuyên tiêp PN duoc phân cuc nguoc thì së cách diên tôt cho dòng môt chiêu.
Tuy nhiên, dôi voi tín hiêu xoay chiêu thì tính chât cách diên së giam khi tân
sô tín hiêu táng, nguyên nhân là chuyên tiêp có diên dung và tro kháng cua
diên dung giam khi tân sô táng.
2.2.2. Cách diçn bàng Oxide
Viêc thay thê vùng cách diên loai p báng oxide sillic cho phép tiêt kiêm
diên tích vì nó không cân dên chuyên tiêp pn và do dó loai loai tru ca vùng
nghèo cua chuyên tiêp. Oxide là vât liêu cách diên tôt. Gian dô câu trúc linh
kiên voi cách diên oxide duoc trình bày o hình 2.3.
17
Hình 2.3. Cách diên báng oxide trong truong hop lý tuong.
Trên thuc tê ta së nhân duoc câu trúc “mo chim” chu không thê nhân
duoc Oxide cách diên vuông góc lý tuong nhu hình vë.
2.2.3. Transistor luõng cµc
a. Câu trúc m}t càt Transistor NPN
Thiêt kê các IC luõng cuc bao gôm viêc hop mang diên các transistor,
diode, diên tro và tu diên. Không có cuôn cam, biên thê và thuc tê thì tu diên
chi có giá tri gioi han dên vài chuc pF. Linh kiên quan trong nhât trong IC
luõng cuc là các transistor và câu trúc mát cát cua môt transistor NPN công
suât thâp duoc trình bày nhu hình vë 2.4. O dây su dung cách diên oxide.
Phân tích cuc cua transistor là vùng nám ngay duoi Emitter. Diên tu duoc
phun tu Emitter N
+
vào Bazo loai P duoi tác dung cua diên áp dát trên chuyên
tiêp BE.
Hình 2.4. Câu trúc mát cát cua Transistor NPN
18
Các thông sô thiêt kê quan trong liên quan dên dòng môt chiêu, khuêch
dai dòng môt chiêu và diên áp dánh thung. Dôi voi hoat dông tín hiêu nho thì
tân sô cuc dai, tôc dô chuyên mach, diên dung chuyên tiêp và diên tro nôi tiêp
dóng vai trò quan trong.
Ta thây ráng dòng chay tháng góc tu E, qua B dên C, nhung phai chay
ngang qua lop epitaxy dê dên tiêp xúc collector. Vì cân có diên áp dánh thung
cao nên lop epitaxy cân có diên tro suât tuong dôi lon, và do dó sinh ra diên
tro nôi tiêp lon giua vùng hoat dông duoi E và tiêp xúc C. Diên tro nôi tiêp
anh huong xâu dên tính náng cua transistor. Dê dông thoi duy trì diên tro suât
cao cua lop epitaxy và giam diên tro nôi tiêp collector, môt lop diên tro suât
thâp duoc chê tao ngay phía duoi transistor . Lop chôn N
+
o dây duoc chê tao
truoc khi cây lop epitaxy.
b. Diçn tro Bazo và Collector
Trong câu trúc thuc cua transistor dòng chay tu vùng tích cuc ngay duoi
Emitter dên tiêp xúc Bazo và Collector. Nó di qua phân silic không dóng vai
trò gì cho hoat dông khuêch dai, mà nguoc lai, phân silic này là diên tro dôi
voi dòng, và diên tro dó cân phai dua vào mô hình tính toán transistor. Quan
trong nhât o dây là diên tro Bazo và Collector. Dòng Bazo trong môt
transistor tín hiêu nho chay tu phía duoi Emitter di qua vùng diên tro cao cua
Bazo và dên tiêp xúc Bazo nhu hình 2.5.
19
Hình 2.5. Diên tro Bazo giua tiêp xúc Bazo và vùng tích cuc duoi Emitter.
Có thê chia quãng duong di cua dòng thành ba phân: Phân ngay duoi
tiêp xúc Bazo (r
a
), phân giua tiêp xúc Bazo và mép Emitter (r
b
) và phân duoi
Emitter (r
c
) Phân tích chi tiêt ba phân trên cho ta các giá tri diên tro nhu sau:
E B
BC B
a
L d
x
r
3
ρ
= ;
E B
EB B
b
L W
d
r
ρ
= ;
E B
E B
C
L W
d
r
6
ρ
=
Trong dó:
B
ρ là diên tro suât trung bình cua miên Bazo, L
E
là chiêu dài
cua tiêp xúc Bazo và cung là chiêu rông cua Emitter.
Tông diên tro Bazo là: r
bb
= r
a
+ r
b
+ r
c
Thông thuong r
bb
có giá tri trong khoang tu 50O dên 200O.
Có thê nhân duoc biêu thuc diên tro Collector môt cách tuong tu. Duong di
cua dòng Collector cung duoc chia làm 3 phân nhu hình 2.6.
20
Hình 2.6. Diên tro Collector giua tiêp xúc Collector
và vùng phía duoi Emitter.
Gia thiêt lop chôn N
+
trai dài tu phía duoi Emitter dên duoi tiêp xúc
Collector. Diên tro các phân nhu sau:
C C
E epi C
a
L d
X X
r
) ( −
=
ρ
;
2 / ) (
C E
EC S
b
L L
d
r
+
=
ρ
;
E E
BC epi C
C
L d
X X
r
) ( −
=
ρ
Trong dó
c
ρ là diên tro suât lop epitaxy,
S
ρ là diên tro vuông cua lop chôn n
+
.
c. Diçn dung chuyên tiêp mçt phía PN
Diên dung cua môt chuyên tiêp dôt ngôt (môt phía) P
+
N hoác PN
+
phân
cuc nguoc duoc cho boi:
2 / 1
0
0
) ( 2






+
=
φ
ε ε
V
qN
A C
Si
Trong dó: A là diên tích chuyên tiêp, N là nông dô tap cua vùng pha tap
thâp và
0
φ là thê khuêch tán duoc cho boi:
2
0
ln
i
D A
n
N N
q
kT
= φ
Môt thông sô liên quan o dây là chiêu rông lop nghèo duoc cho boi:
21
2 / 1
0 0
) ( 2





 +
=
qN
V
x
Si
φ ε ε
2.2.4. Diode, diçn tro và tµ diçn
Khi thiêt kê mach tích hop, nguoi ta chi có duoc môt sô gioi han câu
kiên nhu diên tro, diode và tu diên dung nho. Giá tri diên tro tu vài chuc O
dên vài chuc KO. Có thê có diên tro lon hon nhung voi sai sô lon và phu
thuôc vào nhiêt dô. Voi mach IC, diên tích các linh kiên có vai trò quan trong,
và vì transistor thuong nho hon nhiêu so voi diên tro và tu diên nên trong thiêt
kê nguoi ta dua vào môt sô luong lon transistor. Do tâm quan trong cua
transistor, quá trình chê tao vi mach duoc tôi uu hóa cho transistor, các phân
tu khác phai có kha náng duoc chê tao theo cùng quy trình. Voi môt sô ung
dung dác biêt, có thê cân thêm môt sô khâu công nghê, nhung tông giá thành
së táng.
Diode trong mach tích hop có thê dê dàng tao tu môt chuyên tiêp PN
cua transistor. Cung các chuyên tiêp dó, khi phân cuc nguoc có thê dùng nhu
môt tu diên. Diên tro duoc chê tao tu vât liêu loai n hoác loai p. Có thê su
dung cây ion dê chê tao diên tro có tri sô lon.
a. Diode
Nhu dã nói o trên, diode duoc nhân tu chuyên tiêp PN cua transistor.
Môt sô cách câu hình diode dua trên transistor npn duoc chi ra trong bang
duoi dây.
22
Câu hình
diode
Diçn tro nôi
tiêp
Diçn áp
dánh thung
Diçn dung Thòi gian trê
Thâp ~ r
bb
Thâp 5-7V C
be
~ 0,5pF Cao ~ 70ns
Thâp ~ r
bb
/µ Thâp 5-7V C
be
~ 0,5pF Thâp ~ 5ns
Cao ~ r
bb
+ r
cc
Cao > 40V C
be
~ 0,7pF Cao ~ 120ns
Cao ~ r
bb
+ r
cc
Cao > 40V C
be
~ 0,7pF Cao ~ 90ns
Cao ~ r
bb
+ r
cc
Thâp 5-7V C
be
~ 1,2pF Cao ~ 150ns
Bang 2.1. Các cách câu hình Diode
b. Diçn tro
Tri sô cua diên tro trong IC phu thuôc vào kích thuoc hình hoc và vât
liêu su dung. Phuong trình co ban cua diên tro là:
S
l
R ρ =
Voi p là diên tro suât cua vât liêu, L là chiêu dài cua mâu, S là diên tích tiêt
diên ngang.
Dát: R =
d
ρ
(O/)
23
=> R = R
W
L
Hình 2.7 duoi dây là mát cát diên tro khuêch tán nhân duoc tu vùng khuêch
tán Bazo.
Hình 2.7. Mát cát diên tro khuêch tán
c. Tµ diçn
Vân dê chính cua các tu diên trong IC là diên tích. Diên dung cho boi:
C = C
0
S
Trong dó: C
0
thuong có giá tri trong khoang 10
-4
dên 10
-3
pF/µm
2
. Tu
diên voi diên dung 1pF dòi hoi diên tích 10
4
dên 10
3
µm
2
. Dôi voi IC Silic,
dây là môt diên tích lon, vì vây giá tri diên dung thuong duoc gioi han o vài
pF. Có hai loai tu diên co ban là: Tu chuyên tiêp PN và tu MOS (Kim loai –
Oxide - Silic).
Tu chuyên tiêp PN là Diode diên tích lon, su dung môt hoác hai chuyên
tiêp PN cua transistor. Diên dung lon nhât nhân duoc khi dùng ca hai chuyên
tiêp B-E và B-C mác song song nhu hình 2.8. Chuyên tiêp phai luôn duoc
phân cuc nguoc.
Hình 2.8. Tu diên su dung ca hai chuyên tiêp E-B và B-C
24
Mát cát cua tu MOS duoc trình bày trên hình 2.9. Ban cuc trên là màng
Al và ban cuc duoi là lop n+ khuêch tán cùng Emitter. Diên môi là lop SiO
2
cây trê lop khuêch tán n+. Giá tri diên dung cho boi công thuc:
Hình 2.9. Mát cát tu MOS.
2.3. Công nghç CMOS
2.3.1. Mo dâu
CMOS là thuât ngu chi môt loai công nghê dùng dê chê tao vi mach
tích hop. Công nghê CMOS duoc dùng dê chê tao vi xu lý, vi diêu khiên,
RAM tinh và các mach lôgíc sô khác. Công nghê CMOS cung duoc dùng rât
nhiêu trong các mach tuong tu nhu cam biên hình anh, chuyên dôi kiêu du
liêu, và các vi mach thu phát có mât dô tích hop cao trong linh vuc thông tin.
Trong thiêt kê các hàm lôgíc trong các vi mach CMOS su dung ca hai
loai transistor PMOS và NMOS.
Hai dác tính co ban cua các linh kiên duoc chê tao báng công nghê
CMOS là có dô miên nhiêu cao và tiêu thu náng luong o trang thái tinh rât
thâp. Các vi mach CMOS chi tiêu thu náng luong môt cách dáng kê khi các
transistor bên trong nó chuyên dôi giua các trang thái dóng (ON) và mo
(OFF). Kêt qua là các thiêt bi CMOS ít tiêu thu náng luong và tao ra ít nhiêt
hon so voi các loai mach lôgíc khác nhu mach transistor-transistor logic
(TTL). CMOS cung cho phép tích hop các hàm lôgíc voi mât dô cao trên chíp.
25
Công nghê CMOS dâu tiên là công nghê PMOS. Dên dâu nhung nám 1970,
công nghê NMOS chiêm uu thê do dô linh dông cua diên tu cao hon. So voi
công nghê luõng cuc thì công nghê CMOS có giá thành thâp hon (vì su dung
ít mát na quang hon) dông thoi lai có mât dô tô hop lon (1000-20.000
công/chip). Nhung nó lai có nhuoc diêm là tôc dô châm hon.
a, b,
c,
Hình 2.10. Phân tu dao CMOS :
So dô diên (a), So dô bô trí mach (b), Mát cát doc (c)
26
2.3.2. Quá trình chê tço
Hình 2.11. Luoc dô quy trình chê tao mach CMOS
Công nghê CMOS duoc su dung rông rãi cho các mach sô và các buoc
công nghê duoc tôi uu hóa dê có mât dô tô hop rât cao. Các linh kiên MOS
không dòi hoi công nghê khuêch tán hoác oxy hóa riêng dê cách diên giua
chúng. Các vùng tích cuc duoc cách diên voi nhau boi các chuyên tiêp P-N
phân cuu nguoc cua ban thân các linh kiên. Trên thuc tê, các mach MOS tiên
tiên thuong su dung lop oxide dày hoác các vùng bao vê cây ion loai n+ hoác
p+ dê cai thiên tính náng cua mach. Mât dô tô hop cao cua mach MOS cung
là nho các mach sô câu tao hoàn toàn tu các transistor MOS mà không cân su
dung các diên tro khuêch tán, thuong chiêm nhiêu diên tích hon ban thân
transistor. Dòng diên trong mach MOS dêu chay trong lop rât mong trên bê
mát bán dân, do vây không cân thiêt phai có lop chuyên tiêp khuêch tán sâu
và không cân lop chôn n+. Vê nguyên tác cung không cân dên quá trình
27
epitaxy. Dôi voi công nghê MOS, cây ion là công doan quan trong nhât, dác
biêt là dê hiêu chinh diên áp nguõng cua linh kiên.
Mach CMOS su dung ca hai loai MOSFET kênh p và kênh n. Dê chê tao ca
hai loai linh kiên trên cùng môt phiên cân phai tao giêng hay ông có loai dân
trái dâu voi loai dân cua dê.
2.3.3. Chê tço giêng
Có ba câu hình giêng nhu duoc miêu ta trên hình 2.12. Trên hình 2.12a
vât liêu ban dâu là silic loai n, giêng p duoc chê tao thuong báng phuong pháp
cây ion kêt hop khuêch tán vào MOSFET kênh p duoc chê tao trên dê gôc loai
n còn MOSFET kênh n duoc chê tao trên giêng loai p. Nêu vât liêu xuât phát
là silic loai p, cân tao giêng n báng cây ion và khuêch tán nhu trên hình 2.12b.
Cung có thê chê tao hai giêng riêng biêt, môt loai n, môt loai p, trong lop
epitaxy có diên tro suât rât cao duoc cây trên dê n+ nhu duoc chi ra trên hình
2.12c. Tuy quy trình chê tao giêng dôi phuc tap hon nhung nó cho phép linh
hoat hon trong thiêt kê và tôi uu hóa các linh kiên loai p và loai n.
(a) Giêng dôi trong dê diên tro suât cao
28
(b)Giêng n trong dê p
(c)Giêng p trong dê n
Hình 2.12. Mát cát câu hình giêng cua CMOS
2.3.4. Diçn cµc công
Các thê hê mach MOS dâu tiên su dung diên cuc công nhôm, voi màng
nhôm duoc phu trên công sau khi công doan khuêch tán nguôn và máng kêt
thúc. Nhuoc diêm cua cách làm này là rât khó trùng khop chính xác mát na
quang cua diên cuc công voi các vùng nguôn và máng dã duoc chê tao truoc
dó, dân dên cuc công không phu lên vùng khuêch tán nguôn hoác vùng
khuêch tán máng. Nguoc lai, nêu cuc công phu lên quá nhiêu së gây ra diên
dung ký sinh giua công voi nguôn hoác máng, anh huong xâu dên hoat dông
cua linh kiên. Nguoi ta dã thay thê nhôm báng silic da tinh thê dê tao diên cuc
công tu trùng khop. Dê làm duoc viêc này, nguoi ta kêt tua lop silic da tinh
thê truoc khi chê tao các vùng nguôn và máng. Lop silic da tinh thê dóng vai
trò nhu mát na cho vùng kênh, và vì silic da tinh thê có thê chiu duoc nhiêt
29
cao, nên nó không bi phá huy trong quá trình khuêch tán và sau khuêch tán.
Voi cách làm nhu vây, nguôn và máng trùng khop môt cách chính xác voi
công silic da tinh thê. Các kim loai khó nóng chay nhu W và MO cung dã
duoc su dung cho muc dích này. Vât liêu su dung cho cuc công së anh huong
dên diên áp nguõng thông qua hiêu công thoát, diêu này cân phai duoc tính
dên khi xác dinh diên áp nguõng cho các tranzitor MOS kênh n và kênh p.
Chât luong hoat dông cua mach CMOS phu thuôc rât nhiêu vào diên áp
nguõng V
T
. Trong truong hop mach CMOS cân phai không chê hai diên áp
nguõng, môt có giá tri duong, môt có giá tri âm thì có thê diêu khiên chính
xác V
T
báng cây ion.Thuong cây ion duoc thuc hiên xuyên qua lop oxide
công truoc khi phu lop poly-Silic cuc công.
30
Chuong 3: CÔNG NGHJ CHE TAO MACH VI DIJN TU
3.1. Chê tço phiên bán dân
3.1.1. Quy trình chê tço phiên bán dân silic
Hình 3.1. Quy trình chê tao phiên bán dân
Vçt liçu chê tço phiên bán dân: Vât liêu chu yêu là Si (chiêm > 95%), còn
lai là GaAs. Boi vì:
- Silic có nhiêu trong thiên nhiên nên giá thành san phâm thâp hon Ge.
- Vât liêu duoc nghiên cuu kÿ, có nhiêu ung dung.
- Náng luong vùng câm (E
g
= 1,12eV) lon hon cua Ge (0.67eV) nên
IC có kha náng làm viêc o nhiêt dô cao hon
- Dô ôn dinh vê hóa – lý cao.
31
- Dê chê tao lop SiO
2
có chât luong cao, thu dông hóa bê mát, rât thuân loi
trong công nghê.
Tuy nhiên : Không chê tao duoc các linh kiên phát quang, do linh dong cua
hat tai nho hon so voi GaAs.
Các công doan cua quy trình chê tao phiên bán dân bao gôm :
- Chê tao silic da tinh thê tu vât liêu ban dâu (SiO
2
).
- Nuôi don tinh thê.
- Cua, cát, mài và dánh bóng bê mát phiên bán dân.
3.1.2. Chê tço Silic da tinh thê
Vât liêu ban dâu dê tao phiên bán dân là cát duoc làm sach dê tao thach
anh (SiO
2
). Sau dó, thach anh duoc cho vào lò diên cùng các loai than khác
nhau (nhu: Than dá, than côc, than cui) dê thuc hiên oxi hóa khu dê khu SiO
2
.
Các phan ung xay ra trong lò, phan ung tông hop së là:
Silic thu duoc sau phan ung goi là Silic luyên kim, dô sach không cao.
Làm sach Silic luyên kim báng phan ung chlo-hóa:
San phâm SiHCl
3
(trichlorosilane) duoc hóa long o nhiêt dô phòng,
diêm sôi: 32
o
C và chung cât dê loai bo các tap chât.
Làm sach SiHCl
3
báng các công nghê hóa hoc nhu chung cât tách,
chiêt. Dê nhân Si có dô sach cao, SiHCl
3
cân duoc làm sach voi các tap chât
thoa mãn : 0,3.10
-7
%B; 1,5.10
-70
%P; 0,005.10
-70
%As; 5.10
-7
%C. Da tinh thê Si
thu duoc có dô sach rât cao .
Hoàn nguyên SiHCl
3
voi H
2
theo phan ung :
32
Silic thu duoc có dô sach cao, yêu câu nông dô tap chât Cacbon nho
hon cõ ppm (part per million); các tap chât khác nho hon cõ ppb (part per
billion).
Nong do mot so tap chat :
Loai tap Cát Si luyên kim Da tinh thê Si tinh khiêt
Al 8.10
19
cm
-3
3.10
19
cm
-3
5.10
12
cm
-3
B 2.10
18
cm
-3
7.10
17
cm
-3
1,5.10
13
cm
-3
3.1.3. Chê tço Silic don tinh thê
Thông thuong nguoi ta tiên hành nuôi don tinh thê silic tu Si da tinh thê
báng 2 phuong pháp chính là CZ ( Czochralski) và luyên vùng (floating zone
– Fz).
a. Phuong pháp Cz
Dây là phuong pháp chê tao phân lon các tinh thê mà tu dó nguoi ta cát
thành các phiên bán dân. Phuong pháp Czochralski thuc chât là kêt tinh tu
dang nóng chay. Vât liêu dùng dê nuôi don tinh thê Silic là Silic da tinh thê
(polisiicon) dô sach diên tu, nhân duoc qua tinh thê cát thach anh(SiO
2
) dên
dô sach 99,999999%.
Ki thuât thông thuong dê nuôi tinh thê duoc goi là phuong pháp
Czochralski. Trong ki thuât này, môt miêng nho vât liêu bán dân duoc goi là
mâm duoc mang dên tiêp xúc voi bê mát cua môt vât liêu giông nó o pha
long, và sau dó duoc kéo châm tu thê long. Khi mâm duoc kéo châm, su hóa
rán xuât hiên giua lop tiêp xúc long-rán. Thông thuong tinh thê cung duoc
quay châm khi nó dang duoc kéo dê trôn long, dân dên nhiêt dô dông dêu hon.
Nhung nguyên tu tap chât, cháng han nhu Bo hoác Photpho có thê duoc thêm
vào bán dân dang tan chay. Hình 3.2 biêu diên so dô cua quá trình nuôi
Crochralski và thoi silic duoc hình thành trong quá trình này.
33
(b)
Hình 3.2. Mô hình bô kéo tinh thê (a)
Mach duoc kiêm tra trên miêng silic và sau dó duoc tách thành
nhung chíp riêng biêt (b).
Hình 3.3 là so dô thiêt bi nuôi tinh thê báng phuong pháp Czochralski
34
Hình 3.3. So dô thiêt bi nuôi tinh thê báng phuong pháp Czochralski
Mâm don tinh thê có huong xác dinh duoc duoc gán voi truc quay và
nhúng vào da tinh thê silic nóng chay, dông thoi quay liên tuc.
Tai vùng tiêp xúc giua mâm don tinh thê,mâm tinh thê và Si da tinh thê
nóng chay, nguoi ta làm lanh dên nhiêt dô dông dác (1690K) và kêt tinh dúng
nhu câu trúc mang cua mâm, khôi don tinh thê duoc kéo dân khoi Si nóng
chay voi vân tôc ~ 10 µm/s.
+ Sau khi da tinh thê Si dã chuyên hêt thành don tinh thê, nguoi ta cát bo
hai dâu, mài bo nhung phân gô ghê dê thu duoc thoi don tinh thê hình tru có
duong kính tu 80-250 mm hoác lon hon nhu hình 3.4.
35
Hình 3.4. Thoi don tinh thê Si
b. Phuong pháp Fz (Floating Zone)
Phuong pháp nóng chay vùng hay luyên vùng (Fz) là phuong pháp nuôi
tinh thê tôt nhât dê nhân duoc Silic cuc kì tinh khiêt. Dác diêm co ban cua
phuong pháp luyên vùng là phân nóng chay cua mâu hoàn toàn duoc giu boi
phân rán, nghia là o dây không cân nôi nhu phuong pháp Cz.
Trong phuong pháp luyên vùng, da tinh thê silic duoc làm nóng chay
báng hô quang o dâu tiêp xúc voi mâm tinh thê và làm lanh dên nhiêt dô dông
dác cua silic. Don tinh thê Si tao ra duoc quay và kéo xuông voi vân tôc xác
dinh. Các buoc tiêp theo hoàn toàn tuong tu nhu phuong pháp Cz.
36
Hình 3.5. Hê nuôi don tinh thê silic báng phuong pháp Fz
Nhçn xét:
1. Tinh thê nuôi tu Fz sach hon nuôi tu Cz ( nhiêm các tao chât Oxy, C,
B và nhiêu kim loai khác tu nôi nung thach anh). Vì vây phuong pháp FZ
duoc dùng dê chê tao các don tinh thê có dô sach cao, có diên tro suât cõ 10-
200 O.cm.Tinh thê nuôi tu Fz thuong dùng dê chê tao thysistor, diode chinh
luu công suât cao, các detector hông ngoai cân dô sach siêu cao.
2. Nhuoc diêm cua phuong pháp nóng chay vùng là giá thành cao và
không chê tao duoc tinh thê có duong kính lon nhu phuong pháp CZ, phuong
pháp FZ chi chê tao duoc tinh thê có duong kính cõ 100mm. Ngoài ra, môt
nhuoc diêm khác cua kÿ thuât nóng chay vùng là khó pha tap môt cách dông
dêu.
37
3.1.4. Chê tço phiên bán dân
Sau khi nuôi duoc thoi bán dân don tinh thê cân xác dinh các huong
tinh thê, làm các vát chuân chính và vát chuân phu (dê dinh huong tinh thê).
Sau khi mài vát, thoi duoc nhúng vào dung dich án mòn hóa dê tây bo sai
hong do mài co khí gây ra. Môi nhà san xuât su dung hôn hop riêng cua ho,
nhung thông thuong là trên co so hê HF-HNO
3
. Sau dó, thoi duoc cua, cát
thành phiên, dây là buoc hêt suc quan trong vì nó quyêt dinh dô pháng cua
phiên.
Hình 3.6. Phiên bán dân Si
Cuôi cùng phiên Si duoc kiêm tra, xác dinh các thông sô nhu diên tro
suât bê mát, duong kính, bê dày… sau dó phân loai, dóng hôp và dua dên noi
chê tao vi mach.
Dê pha tap chât vào don tinh thê Si nguoi ta dùng khí tro (Ar) mang khí
pha tap vào vùng nóng chay; hoác trôn truc tiêp các chât tap nhu B, P hoác As
và da tinh thê Si nóng chay. Khí chua tap là PH
3
, B
2
H
6
hoác AsH
3
. Loai khí,
nông dô và áp suât khí dua vào phu thuôc vào loai bán dân và nông dô hat dân
cân chê tao.
3.1.5. Phòng sçch
Trong ngành vât lý, khoa hoc vât liêu, phòng sach thuong dùng cho các
công nghê chê tao vât liêu dòi hoi dô sach cao nhu: quang khác, công nghê
màng mong (MBE, sputtering, CVD...), công nghê linh kiên bán dân, linh kiên
diên tu, các hê thông vi co diên tu (MEMS, NEMS), các phép phân tích tinh
tê, các xu lý lý hóa cua san phâm.
Phòng sçch là mot phòng mà nong do cua hat lo lung trong không khí bi
khong chê và nó duoc xây dung và su dung trong mot kêt cau sao cho su có
38
màt, su san sinh và duy trì các hat trong phòng duoc giam dên toi thiêu và các
vêu to khác trong phòng nhu nhiêt do, do am, áp suat dêu có thê khong chê và
diêu khiên .
Nói môt cách don gian, phòng sach là môt phòng kín mà trong dó, luong
bui trong không khí, duoc han chê o muc thâp nhât nhám tránh gây bân cho
các quá trình nghiên cuu, chê tao và san xuât. Dông thoi, nhiêt dô, áp suât và
dô âm cua không khí cung duoc không chê và diêu khiên dê có loi nhât cho
các quá trình trên. Ngoài ra, phòng còn duoc dam bao vô trùng, không có các
khí dôc hai dúng theo nghia "sach" cua nó.
Tiêu chuân phòng sçch: Tiêu chuân dâu tiên cua phòng sach là hàm luong
bui.
Hình 3.7. So sánh duong kính soi tóc và hat bui trong phòng sach .
Các tiêu chuân vê phòng sach lân dâu tiên duoc dua ra vào nám 1963 o
Mÿ, và hiên nay dã tro thành các tiêu chuân chung cho thê gioi. Dó là các tiêu
chuân quy dinh luong hat bui trong môt don vi thê tích không khí. Nguoi ta
chia thành các tâm kích cõ bui và loai phòng duoc xác dinh boi sô hat bui có
kích thuoc lon hon 0,5µm trên môt thê tích là 1 foot khôi ( ft
3
) không khí
trong phòng.
Các gioi han hàm luong bui trong tiêu chuan ISO:
Theo Tô chuc Tiêu chuân Quôc tê (International Standards Organization
- ISO) thì các loai phòng sach duoc phân loai theo tung câp phòng sach nhu
bang duoi dây.
39
Bang 3.1. Các gioi han hàm luong bui trong tiêu chuân ISO 14644-1
Chú ý: Muc dô nhiêm bân không khí trong phòng còn phu thuôc vào các hat
bui sinh ra trong các hoat dông trong phòng, chu không chi là con sô cô dinh
cua phòng. Vì vây, các tiêu chuân cua phòng, luôn dòi hoi các hê thông làm
sach liên hoàn và còn quy dinh vê quy mô phòng và sô nguoi, sô hoat dông
kha di trong phòng sach.
Các thiêt kê phòng sach
a. Kiêu phòng thông hoi hôn loçn :
Nguyên lý thông hoi cua phòng sach kiêu này cung tuong tu nhu hâu hêt các
phòng diêu hòa không khí phô thông. Không khí (sach) duoc cung câp boi
máy diêu hòa không khí duoc toa di qua hê thông khuêch tán trên trân nhà nhu
hình 3.8.
40
Hình 3.8. Phòng sach kiêu “thông hoi hôn loan”
Nguoi ta goi là "thông hoi hôn loan" là do không khi di chuyên môt
cách ngâu nhiên và hôn loan trong phòng nho hê thông khuêch tán (hình 3.9a)
hoác nho hê thông "phun" (hình 3.9b).
41
(a) (b)
Hình 3.9. Các kiêu di chuyên không khí trong phòng sach kiêu thông hoi hôn loan:
di chuyên qua bô khuêch tán (a) và su phun nho môt hê thông phun hoi (b).
Hê thông "phun" không khí (hình 3.9b) thuong bát gáp trong các hê
thông phòng sach thông hoi hôn loan truyên thông. Hê thông kiêu này thuong
cho các dòng khí tháng và có kha náng kiêm soát tôt quá trình nhiêm bân duoi
bô loc. Hê thông phun này có thê mang lai các diêu kiên kha di hon bên duoi
khi vuc cung câp, nhung do dó lai làm kém di cho các vùng xung quanh trong
phòng (hình 3.10).
42
Hình 3.10. Môt so dô don gian vê phân bô áp suât dòng khí
trong phòng sach voi hê thông phun khí.
b. Phòng sçch kiêu djnh huóng hoàn toàn (Unidirectional Cleanroom):
Hê thông phòng sach voi kiêu thông hoi tán loan thuong chi dat duoc
các dô sach tiêu chuân toi câp ISO 6 trong quá trình san xuât. Dê dat duoc các
43
diêu kiên tôt hon thê trong suôt quá trình hoat dông, diêu cân thiêt là phai làm
loãng su san sinh các hat. Diêu này có thê dat duoc báng cách dùng dòng
không khí hoàn toàn tháng (hình 3.11).
Hình 3.11. Hê thông phòng sach kiêu dòng không khí tháng dung
Hình 3.12. Hê thông thoát khí tháng dung voi các cua thoát khí bô sung 2 bên.
44
Môt kiêu khác cua hê thông phòng sach dinh huong là hê thông dòng
khí nám ngang (hình 3.12)
Hình 3.13. Hê thông phòng sach voi dòng không khí nám ngang.
45
Hình 3.14. So sánh 2 kiêu giam nhiêm bân o dòng không khí
tháng dung và nám ngang.
+ O phòng có dòng luu chuyên tháng dung, các bui bân së bi dây theo chiêu
tháng dung xuông sàn, và thôi bat xuông các vi trí thoát khí và không gây
nhiêm bân tu vi trí này sang vi trí khác cung nhu tu nguoi này sang nguoi
khác.
+ Còn hê thông luu chuyên khí nám ngang có thê dân toi viêc bui bân bi thôi
tu vi trí này sang môt vi trí nám ngang khác, hoác tu nguoi phía truoc (chiêu
khí luu chuyên) bay vào nguoi phía sau (hình 3.14).
Hê thông phòng sach voi dòng không khí luu chuyên tháng dung duoc
su dung phô biên cho công nghiêp bán dân và công nghê vât liêu.
46
Hình 3.15. Kiêu thiêt kê phòng sach cho công nghê vât liêu (linh kiên diên tu
bán dân...) - kiêu thiêt kê này duoc goi là kiêu phòng ballroom .
Các phòng có thê duoc bô trí theo nhiêu kiêu khác nhau tao thành các
kiêu phòng sach. (hình 3.15) goi là "ballroom", kiêu phòng này có trân là môt
bô loc khí hiêu náng cao cung câp khí khôi cho toàn xuong cho dù máy móc
dung o vi trí nào.
47
Hình 3.16. Ba kiêu phòng sach hay dùng cho khoa hoc và công nghê vât liêu.
* Hç thông lçc không khí cho phòng sçch :
Không khí trong phòng sach phai dat các yêu câu vê muc dô các hat bui
vì thê luôn cân có các hê thông loc bui. Kê tu nám 1980, môt hê thông loc
duoc su dung rông rãi mang tên High Efficiency Particle Air (HEPA - Hê
thông loc hat hiêu náng cao). HEPA là môt hê thông có kha náng loc hat bui
toi trong không khí voi hiêu suât 99,97% cho bui nho toi 0,3 µm. Ngày nay,
HEPA còn duoc bôsung các tính náng loc vi khuân và các hat tro.
48
(a) (b)
Hình 3.17: Môt bô loc HEPA kiêu các nêp gâp sâu (a) và các nêp gâp nho (b).
Không khí duoc loc qua các cuôn giây loc cuôn tung lop thành các
media loc có dô rông tu 15 dên 30 cm và duoc ngán cách boi các lá nhôm
mong. Dê ngán can các hat bui nho, nguoi ta su dung media loc là các dây
micro xêp thành các luoi siêu nho (hình 3.18a) và do dó cho không khí di qua,
dông thoi can các hat bui.
(a)
49
(b) (c)
Hình 3.18. Vi câu trúc tâm loc (a)
và co chê loc bui cua tâm loc (b) và hiêu suât loc (c).
3.2. Oxy hóa
3.2.1.Giói thiçu công nghç Oxy hoá
Viêc không chê chính xác dô dày lop Oxyde cung nhu su am hiêu vê
quá trình Oxy hóa dóng vai trò quan trong dác biêt trong công nghê chê tao
linh kiên vi diên tu. Su Oxy hóa nhu dông, nhôm truoc dây dã duoc nghiên
cuu gán liên voi vân dê án mòn kim loai. Tuy nhiên, ngày nay trên 90% linh
kiên dêu duoc chê tao trên tinh thê silic nên chúng ta chi nghiên cuu quá trình
Oxy hóa silic mà cu thê là quá trình tao lop SiO
2
. Phuong pháp phô biên nhât
dê tao lop SiO2 trong công nghiêp là Oxy hóa nhiêt.
3.2.2.Oxy hóa nhiçt
a. Phân loçi
Trong phuong pháp oxy hóa nhiêt, cán cu vào môi truong oxy hóa
nguoi ta chia làm 2 dang là oxy hóa khô và oxy hóa âm
50
- Su tao thành lop Oxyde trong môi truong Oxy khô duoc biêu diên qua phan
ung hóa hoc:
Si + O
2
= SiO
2
- Trong Oxy hóa âm , hoi nuoc là chât khí tham gia phan ung:
Si + 2H
2
O = SiO
2
+2H
2
b. Thiêt b| Oxy hoá
Thiêt bi dùng dê Oxy hoá thông dung là lò Oxy hoá biêu diên nhu hình
3.19. Các phiên Si duoc giu tháng dung trong “thuyên” thach anh, môi thuyên
chua dên 25 phiên. Thuyên duoc dua vào trong ông lò thach anh. Các khí cân
thiêt nhu H
2
, N
2
, O
2
, HCl... duoc dua vào lò thông qua các van luu luong khí
và duoc thai ra tu dâu kia cua ông. Nhiêt dô trong lò khoang tu 400 C -> 1200
C.
Trong các lò công nghiêp các phiên sau khi rua sây khô dát vào trong thuyên
duoc tu dông dua vào trong lò và nhiêt dô duoc nâng lên. Muôn thuc hiên
Oxy hoá âm nguoi ta su dung các khí mát (O
2
, N
2
) suc qua nuoc dun o nhiêt
dô 95
o
C dê dua nuoc vào bên trong.
Hình 3.19. Thiêt bi Oxy hóa
Các lop SiO
2
duoc tao boi 2 phuong pháp có tính chât không hoàn toàn
giông nhau. Chât luong lop SiO
2
duoc tao boi Oxy hoá khô tôt hon, tuy nhiên
51
tôc dô Oxy hoá âm lai nhanh hon Oxy hoá khô cho nên có thê phôi hop ca 2
phuong pháp trên dê chê lop SiO
2
. Dê táng tôc dô Oxy hoá và hoàn thiên chât
luong lop SiO
2
, trong công nghê nguoi ta thuong cho thêm vào phan ung hoá
hoc các chât chua Cl nhu HCl ; C
2
HCl
3
; C
2
H
3
Cl
3
.
Các phan ung khi cho chât xúc tác nhu sau:
4HCl + O
2
= 2H
2
O + Cl
2
4C
2
HCl
3
+ 9O
2
= 2H
2
O + 6Cl
2
+ 8CO
2
2H
2
O + 2Cl
2
= 4HCl + O
2
Oxy hoá khô:
Quá trình Oxy hoá Si trong oxy phân tu xay ra theo phan ung:
Si + 02 = Si02
Si bi oxy hoá o trong không khí ngay o nhiêt dô phòng. Tuy nhiên, môt
khi dã hình thành lop Oxyde, các nguyên tu Si phai di qua lop Oxyde dê phan
ung voi O
2
o bê mát ngoài hoác các phân tu O
2
phai di qua lop Oxyde dên bê
mát Si dê phan ung voi Si, dây là quá trinh khuyêch tán. Hê sô khuyêch tán
cua Si trong SiO
2
nho hon nhiêu so voi hê sô khuyêch tán cua O
2
.Vì vây phan
ung Oxy hoá së xay ra trên phân biên Si-SiO
2
.
O nhiêt dô T(k) nhât dinh, chiêu dày lop ôxide d táng lên theo thoi gian
ôxi hoá, nhu vây lop biên Si-SiO
2
së dich dân vê phía trong dê Si.
Hình 3.20. Mô hình khao sát dông hoc cua quá trinh oxy hoá
52
Hình 3.21. Su phu thuôc cua dô dày lop SiO
2
theo thoi gian.
Oxy hoá âm:
-
Muc dích: Dê tao lop Oxyde dày, giam thoi gian Oxy hoá. Do nhóm OH
trong hoi nuoc khuyêch tán vào trong mang Si-O-Si,nên các phân tu hoi nuoc
và O
2
khuyêch tán nhanh hon, phan ung xay ra nhanh hon , các háng sô B/A
và B táng rât nhanh và manh.
53
Hình 3.22. So dô mát cát lò Oxy âm
3.3. Quang khàc
3.3.1. Khái niçm
Quang khác hay photolithography là kÿ thuât su dung trong công nghê
bán dân và công nghê vât liêu nhám tao ra các chi tiêt cua vât liêu và linh kiên
voi hình dang và kích thuoc xác dinh báng cách su dung buc xa ánh sáng làm
biên dôi các chât cam quang phu trên bê mát dê tao ra hình anh cân tao. Thiêt
bi duoc su dung trong quang khác là dung cu chiêu sáng. Dung cu này duoc
xác dinh boi 3 thông sô: Dô phân giai, dô trùng láp và luong mâu duoc thuc
hiên trong môt gio. Phuong pháp này duoc su dung phô biên trong công
nghiêp bán dân và vi diên tu, nhung không cho phép tao các chi tiêt nho do
han chê cua nhiêu xa ánh sáng, nên duoc goi là quang khác micro (micro
lithography).
3.3.2. Nguyên lý hç quang khàc
Môt hê quang khác bao gôm môt nguôn phát tia tu ngoai, chùm tia tu
ngoai này duoc khuêch dai rôi sau dó chiêu qua môt mát na (photomask). Mát
na là môt tâm chán sáng duoc in trên dó các chi tiêt cân tao (che sáng) dê che
không cho ánh sáng chiêu vào vùng cam quang, tao ra hình anh cua chi tiêt
cân tao trên cam quang biên dôi. Sau khi chiêu qua mát na, bóng cua chùm
sáng së có hình dang cua chi tiêt cân tao, sau dó nó duoc hôi tu trên bê mát
phiên dã phu cam quang nho môt hê thâu kính hôi tu.
54
Hình 3.23. Hê quang khác
3.3.3. Các khái niçm co ban
a. Chât cam quang
Là môt dang dác biêt cua polymer cam quang, chúng duoc ungdung rông
rãi trong linh vuc quang khác, có kha náng tao hình anh nôi trên san phâm và
giúp chông lai quá trình khác án mòn trên bê mát san phâm.
Polymer cam quang nói chung và photoresist nói riêng gôm có 2 loai:
Loai tao anh DUONG và loai tao anh ÂM.
Loai tao anh DUONG là hê gôm các polymer có trong luong phân tu lon,
duoi tác dung cua các buc xa së chuyên sang các polymer hoác các monomer
55
có trong luong phân tu thâp hon, có kha náng hoà tan tôt hon trong dung môi
thích hop. Hay polymer ban dâu là loai khó hoà tan, duoi tác dung cua buc xa
së dê hòa tan hon.
Loai tao anh ÂM là các hê mà ban dâu gôm là hê dê hoà tan, sau dó duoi
tác dung cua buc xa së chuyên sang dang khó hoà tan hon.
b. M}t nç
Là môt tâm thuy tinh có hình anh. Hình anh duoc tao báng cách án mòn
có chon loc lop crom mong phu (khoang 70 nm) trên tâm thuy tinh tao vùng
tôi và vùng sáng. Khi chiêu ánh sáng qua chô nào không có crom thì cho ánh
sáng di qua, chô nào có crom së can ánh sáng. Hình 3.24 minh hoa
Hình 3.24. Hình anh vê mát na
Mát na dùng dê chê tao vi mach thuong giông nhu luoi thu nho .Buoc
dâu trong chê tao mát na là su dung hê thiêt kê có su tro giúp cua máy tính dê
miêu ta toàn bô hình dang mach diên sau dó nhung du liêu sô nhân tu máy
tính duoc su dung dê diêu khiên thiêt bi vë hình là hê khác báng chùm tia diên
tu, hê khác này së truyên truc tiêp hình vë lên mát na.
56
3.3.4. Các giai doçn cua quá trình quang khàc
Hình 3.25. So dô quá trình quang khác
a. Chuân b| bê m}t
- Tách tap chât trên bê mát dê bán dân. Phuong pháp:
+ Thôi khí nito có áp suât cao
+ Vê sinh báng hóa chât
+ Dòng nuoc có áp suât cao
+ Dùng co rua
- Sây tách âm: Trên bê mát các dê bán dân thuong có âm do dó cân phai loai
bo báng cách gia nhiêt o khoang 150~200
o
C
- Phu lop diên tích so câp: Dê làm táng kha náng kêt dính giua dê bán dân và
cam quang. Diên tích so câp thuong su dung là HMDS (hexamethyldislazane)
57
b. Phu lóp cam quang
O giai doan này nên duoc quay trên máy quay trong môi truong chân
không. Các thông sô kiêm soát trong giai doan này:
+ Tôc dô 3000-6000 vòng/phút
+ Thoi gian quay: 15-30 giây
+ Dô dày lop phu: 0.5-15µm
Công thuc thuc nghiêm dê tính dô dày lop phu cam quang
w
kp
t
2
=
Voi k: háng sô cua thiêt bi quay spinner (80-100)
p: hàm luong chât rán trong chât cam quang (%)
w: tôc dô quay cua máy quay (vòng/1000)
Hình 3.26. Quá trình phu cam quang
Các su cô thuong gáp trong quá trình phu lop photoresist:
Sµ cô Nguyên nhân Huóng khàc phµc
Dô dày không dêu
bê mát khô không dêu
các duong biên dày hon
(có thê dày hon 20-30
lân)
Có thê dát 1 vòng tròn o
duong biên.
Dùng dung môi phun lên
lop biên dê hoàn tan
58
Xuât hiên các duong
soc
Do trong resist có các hat
rán có duong kính lon
hon dô dày lop phu.
Dày o duong biên Duong soc trên bê mát
Hình 3.27. Các su cô thuong gáp khi phu cam quang
c. Sây so bç
Muc dích: làm bay hoi dung môi có trong photoresist. Trong quá trình
sây dô dày lop phu së giam khoang 25%. Phuong pháp thuc hiên:
- Dùng lò dôi luu nhiêt. Diêu kiên: Nhiêt dô: 90-100
o
C, thoi gian: 20 phút
- Dùng tâm gia nhiêt: Nhiêt dô: 75-85
o
C, thoi gian: 45 giây
- Dùng sóng viba và dèn hông ngoai.
d. Chiêu ánh sáng (chuyên hình anh tù m}t nç lên cam quang)
Trong giai doan này, hê së duoc chiêu ánh sáng dê chuyên hình anh lên
nên, mát na duoc dát giua hê thâu kính và nên.
Có 3 phuong pháp chiêu dua vào vi trí dát mát na:
- Mát na tiêp xúc
- Mát na dát cách photoresist khoang cách nho
- Mát na dát cách xa photoresist, ánh sáng duoc chiêu qua hê thâu kính
59
Hình 3.28. Các phuong pháp chiêu sáng
So sánh 3 phuong pháp:
Phuong pháp Uu diêm Khuyêt diêm
Mát na tiêp xúc Giá ca hop lí
Dô phân giai cao: 0.5 µm
Làm hu mát na do lop oxit
trên mát na bi xuot.
Các vêt bân trên mát na së in
lên phototresit
Mát na dát cách
photoresist khoang
cách nho
Giá ca hop lí
Dô phân giai thâp: 1-2 µm
Do anh huong cua nhiêu xa
nên han chê dô chính xác cua
hình anh.
Dô láp lai cua hình anh kém
Mát na dát cách xa
photoresist
Dô phân giai rât cao: < 0.07
µm)
Không gây hu hong mát na
Giá thành cao
Bi anh huong cua nhiêu xa
60
e. Tráng rua: Dùng hóa chât tách các cam quang chua dóng rán.
f. sây khô: Làm cho cam quang cung hoàn toàn, dông thoi tách toàn bô dung
môi ra khoi cam quang.
Diêu kiên sây:
- Nhiêt dô: 49-54
o
C
- Thoi gian: 30 phút
g. Än mòn
h. Tây bo cam quang: Dê bán dân duoc rua và sây khô. Dùng dung dich
kiêm hoác khí dê hòa tan cam quang.
Dùng hóa chât tách cam quang:
- Su dung hóa chât nóng hòa tan cam quang
- Các hóa chât thuong su dùng: acid sulfuric, acid phosphoric và hydrogen
peroxide
- Uu diêm: tách cam quang nhanh
- Nhuoc diêm: giá thành hóa chât cao, tác dông dên môi truong
Phuong pháp khô (dùng khí):
- Phuong pháp này không dôc hai do su dung khí oxy plasma dê oxy hóa
hoàn toàn cam quang nên còn duoc goi là tro hóa cam quang. Luong khí
tao thành së duoc tách báng bom chân không.
C
x
H
y
(cam quang) + O
2
→ CO + CO
2
+ H
2
O
3.4. Än mòn
Sau khi thuc hiên quá trình quang khác ta thu duoc hình anh trên là ban
sao hình dang cua mach. Dê nhân duoc hình dang thât cua mach ta thuc hiên
quá trình án mòn nhám tây bo lop vât liêu không duoc bao vê.
Kÿ thuât án mòn duoc ung dung rông rãi trong công nghê bán dân và
các hê thông vi co diên tu
Có 2 phuong pháp án mòn :
- Ãn mòn uot : su dung dôi voi chi tiêt có dô phân giai > 3µm.
61
- Ãn mòn khô : su dung dôi voi chi tiêt có dô phân giai < 3µm
3.4.1. Än mòn uót
Dây là kÿ thuât thông dung nhât trong công nghê bán dân. Ngay tu công
doan phiên vua moi duoc cua ra khoi thoi silion tu nhà máy san xuât phiên,
các hóa chât dã duoc su dung dê mài nghiên và dánh bóng cuôi cùng chúng ta
thu duoc môt tâm silicon pháng và nhán. Dôi voi nhung thiêt bi don le hoác
mach tích hop có kích thuoc du lon (> 3 µm), hoá chât án mòn duoc su dung
dê khác nhung hoa tiêt và mo cua sô trên lop vât liêu diên môi.
Ãn mòn uot là phuong pháp don gian nhât và kinh tê nhât dê hòa tan các
cam quang chua dóng rán. Ãn mòn uot dác biêt thích hop khi cân án mòn toàn
bô bê mát phiên có lop phu là silic da tinh thê, oxide, nitride, kim loai và các
hop chât nhóm III-V…
* Nhuçc diêm cua phuong pháp:
- Ãn mòn dêu không có dinh huong nên dê án mòn vào lop oxit bên duoi
lop photoresist. Do dó tao hình anh không dúng voi yêu câu.
- Hóa chât su dung chu yêu là các acid nên phai quan tâm dên tác dông cua
môi truong.
Anisotropic : án mòn don huong
Isotropic : án mòn nhiêu huong
* Co chê án mòn uót gôm 3 giai doçn:
62
- Các chât phan ung khuêch tán dên bê mát
- Phan ung hoá xay ra trên bê mát
- San phâm phan ung duoc dua ra khoi bê mát báng quá trình khuêch
tán.
Trong công nghê chê tao IC quá trình án mòn duoc thuc hiên theo 2 cách:
- Nhúng phiên vào dung dich án mòn.Trong truong hop này nguoi ta
dùng khuây co hoc dê án mòn dông dêu và dê có duoc tôc dô án mòn
thích hop.
- Phun dung dich lên phiên.Trong truong hop này tôc dô án mòn táng
manh và dô dông dêu cao do chât phan ung moi luôn duoc cung câp toi
bê mát phiên
Dô dông dêu tôc dô án mòn xác dinh boi :
max min
max min
(%) 100(%)
etch
R R
U
R R

= ×
+
Trong dó : R
max
là tôc dô án mòn lon nhât
R
min
là tôc dô án mòn nho nhât.
VD:
Hãy tính toc do àn mòn trung bình và do dong dêu toc do àn mòn Al trên
phiên Si duong kính 200mm,gia thiêt toc do àn mòn o bên trái, bên phai, màt
trên và màt duoi lan luot là 750,812,765,743 và 798nm/phút.
BG:
Tôc dô án mòn trung bình =(750+812+765+743+798)/5 = 773,6 (nm/phút).
Dô dông dêu tôc dô án mòn là:
U
ch
=(812-743)/(812+743)x100% = 4,4%
a. Än mòn Silic
Dung dich án mòn silic thông dung nhât là hôn hop HNO
3
và HF hòa
tan trong nuoc hoác CH
3
COOH .
63
HNO
3
oxy hóa Si tao lop SiO
2
theo phan ung:
Si + 4HNO
3
= SiO
2
+ 2H
2
O +4NO
2
HF hòa tan SiO
2
theo phan ung:
SiO
2
+ 6HF = H
2
SiF
6
+ 2H
2
O
Tôc dô án mòn phu thuôc dinh huong tinh thê silic (án mòn di huong).
Chât án mòn di huong thông dung nhât voi silic là hôn hop KOH trong nuoc
và ruou isopropyl.
Hình 3.29. Ãn mòn di huong. Ãn mòn qua cua sô trên silic mát (100) (a);
qua cua sô trên silic mát (110)
Báng cách án mòn di huong silic dinh huong (100) qua mát na SiO
2
, có
thê chê tao hô hình chu V voi mép là các mát (111) duoi góc 54.7
o
so voi mát
(100). Nêu cua sô trên mát na oxide du rông và thoi gian án mòn ngán, có thê
nhân duoc hô án mòn hình chu U.
64
Chiêu rông bê mát dáy cua hô duoc xác dinh nhu sau:
W
b
=W
o
=2lcos54,7
0
Trong dó:
W
o
là chiêu rông hô trên mát phiên,
l là chiêu sâu hô án mòn .
b. Än mòn SiO
2
Su dung dung dich HF pha loãng (có thê có thêm NH
4
F)
SiO
2
+ 6HF = H
2
SiF
6
+ 2H
2
O
Tôc dô án mòn SiO
2
phu thuôc vào: Nông dô dung dich, viêc khuây và
nhiêt dô. Ngoài ra phu thuôc vào mât dô, dô xôp, vi câu trúc và su có mát tap
chât trong lop oxide.
c. Än mòn Al
Dung dich án mòn nhôm gôm:73% H
3
PO
4
, 4% HNO
3
, 3.5%
CH
3
COOH ,và 19.5% nuoc khu ion, o 30-80
o
C.
Quá trình xay ra: HNO
3
oxy hóa nhôm, sau dó H
3
PO
4
hòa tan nhôm
oxide. Tôc dô án mòn phu thuôc nông dô dung dich, nhiêt dô, khuây phiên và
tap chât hay hop kim trong màng nhôm.
Dê án mòn uot các màng cách diên và các màng kim loai nguoi ta
thuong dùng các hóa chât có kha náng hòa tan các vât liêu này o dang khôi và
chuyên chúng thành muôi hoác hop chât hòa tan. Nói chung vât liêu màng
mong bi án mòn nhiêu hon so voi vât liêu khôi. Ngoài ra, tôc dô án mòn cung
lon hon dôi voi nhung màng có vi câu trúc không hoàn hao, chua ung suât,
câu tao không hop hoác dã bi chiêu buc xa.
65
Môt sô dung dich án mòn cho vât liêu cách diên & vât liêu dân diên
Vât liêu Thành phân dung dich án mòn Tôc dô án mòn(nm/phút)
28ml HF
170ml H
2
O
113g NH
4
F
100
Si0
2
15ml HF
10ml HNO
3
300ml H
2
O
12
Si
3
N
4
28ml HF
170ml H
2
O
113g NH
4
F
0,5
H
3
PO
4
10 Al
4ml HNO
3
3,5ml CH
3
COOH
73ml H
3
PO
4
30
Au 4g KI 1000
Mo 1g I
2
40ml H
2
O
5ml H
3
PO
4
2ml HNO
3
4ml CH
3
COOH
150ml H
2
O
500
Pt 1ml HNO
3
7ml HCl
8ml H
2
O
50
W 34g KH
2
PO
4
66
13,4g KOH
33g K
3
Fe(CN)
6
H
2
O cho du 1 lit
160
3.4.2. Än mòn khô
Dê dat duoc dô chính xác cao cho viêc truyên hình anh tu lop cam
quang xuông lop màng vât liêu phía duoi, nhât là trong công nghê chê tao
mach ULSI, nguoi ta dã phát triên các phuong pháp án mòn khô.
Trong kÿ thuât án mòn khô, tâm silicon duoc dua vào trong buông chân
không, sau dó hôn hop khí dùng cho án mòn duoc dua vào trong buông phan
ung. O chân không thích hop, duoi tác dung cua nguôn cao tân, khí án mòn bi
ion hoá và chúng ta thu duoc hôn hop plasma cua khí nói trên bao gôm các
ion F
+
. Do dó SiO2 …bi án mòn và tao ra các san phâm phan ung tuong ung.
Ãn mòn khô là các kÿ thuât su dung plasma duoi dang phóng diên áp suât
thâp.
Các phuong pháp àn mòn khô:
- Ãn mòn plasma.
- Ãn mòn ion phan ung (RIE).
- Ãn mòn phún xa.
- Ãn mòn ion phan ung trong tu truong (MERIE).
- Ãn mòn plasma mât dô cao (HDP).
*Mçt sô kiên thuc co ban vê plasma.
Plasma là chât khí bi ion hóa hoàn toàn hoác bi ion hóa môt phân bao
gôm sô luong nhu nhau các diên tích duong, diên tích âm và môt sô phân tu
không bi ion hóa. Plasma hình thành khi môt diên truong du manh dát vào
chât gây ra hiên tuong dành thung và khí bi ion hóa.
Quá trình duoc khoi dông boi các diên tu tu do duoc cung câp tu môt
nguôn nào dó. Các diên tu tu do duoc gia tôc boi diên truong, va cham voi các
67
phân tu khí và mât náng luong. Náng luong truyên trong quá trình va cham
làm ion hóa phân tu khí, nghia là giai phóng diên tu. Các diên tu tu do lai
nhân dông náng tu diên truong và quá trình tiêp tuc. Nhu vây khi diên áp
ngoài dát vào lon hon diên áp dánh thung, plasma së duoc duy trì trong toàn
bô buông phan ung.
Än mòn Plasma
Co chê án mòn: xay ra theo 5 buoc:
1. Các tác nhân án mòn duoc hình thành trong plasma.
2. Các chât này khuêch tán qua lop khí u dong dên bê mát.
3. Các chât án mòn hâp thu trên bê mát.
4. Phan ung hóa hoc xay ra tao thành hop chât bay hoi.
5. Các chât này nha hâp khoi bê mát,khuêch tán vào dòng khí và duoc bom
hút boi hê chân không.
Hình 3.30. Các buoc co ban trong quá trình án mòn khô
Ãn mòn plasma dua trên viêc hình thành plasma trong chât khí o áp suât thâp.
68
Hai phuong pháp chu yêu duoc su dung là :
- Ãn mòn phún xa
- Ãn mòn thuân hóa hoc
- Än mòn phún xç (phuong pháp vçt lý): Các ion duong bán phá bê mát voi
tôc dô cao; môt luong nho ion âm hình thành trong plasma không dên duoc bê
mát và do dó không dóng vai trò truc tiêp trong án mòn.
Ãn mòn vât lý có tính di huong tôt nhung tính chon loc kém và gây sai hong
do bán phá vât liêu.
- Än mòn thuân hóa hçc(phuong pháp hóa hçc): Các chât phan ung hình
thành do plasma tác dung voi bê mát vât liêu tao ra các hop chât bay hoi.
Ãn mòn hóa hoc có tôc dô án mòn lon, tính chon loc tôt nhung lai là dáng
huong
3.5. Khuêch tán
Su dung kÿ thuât khuêch tán, các nguyên tu tap chât duoc dua vào
mang tinh thê bán dân, tao nên các vùng bán dãn có loai hat dân và nông dô
hat dân mong muôn. Su khuêch tán trong mang tinh thê là môt quá trình vât lý
duoc dác trung boi su xâm nhâp các nguyên tu tap chât vào mang tinh thê
trong diêu kiên nhiêt dô cao.
Co chê khuêch tán trong tinh thê:
- Su khuêch tán giua các nút mang: Nguyên tu tap chât dich chuyên trong
mang tinh thê báng cách nhay tu vi trí giua các nút mang này dên các vi trí
tiêp theo.
- Su khuêch tán thay thê: Do trong mang tinh thê có các sai hong diêm, su
khuêch tán xay ra khi nguyên tu tap chât dôi vi trí giua các sai hong diêm
trong mang tinh thê và thay thê các nguyên tu cua tinh thê tai vi trí nút mang.
- Su khuêch tán thay thê giua các nút mang: Trong co chê khuêch tán này
dông thoi có su tham gia cua các sai hong diêm. Nguyên tu tap tu vi trí nút
mang nhay ra vi trí giua các nút mang và tao nên lô hông.
69
Nhân thây ráng, có thê tôn tai dông thoi các co chê khuêch tán nhu dã
mô ta o trên hoác có su phôi hop giua các co chê khuêch tán.
Môt sô yêu câu cua môt hê khuêch tán:
- Quá trình khuêch tán không duoc làm hong bê mát phiên bán dân.
- Sau quá trình khuêch tán, vât liêu còn dong lai trên bê mát phiên phai duoc
tây môt cách dê dàng dê thuân loi cho các công doan sau.
- Hê khuêch tán phai cho cùng môt kêt qua dôi voi tât ca các phiên trong cùng
dây chuyên công nghê.
- Hê khuêch tán phai có kha náng khuêch tán cùng môt lúc môt sô phiên bán
dân.
- Nhiêt dô khuêch tán thuong su dung trong khoang tu 800 dên 1200
0
C.
Nguôn khuêch tán bao gôm: Nguôn rán, nguôn long và nguôn khí.
Hình 3.31. So dô hê khuêch tán tu nguôn rán.
3.6. Cây ion
3.6.1. Mo dâu
- Cây ion là phuong pháp dua tap chât vào phiên bán dân nhám tao ra các
vùng có các dang hat dân và nông dô hat dân xác dinh.
70
- Các nguyên tu tap chât duoc ion hóa, duoc gia tôc và dua dên bê mát phiên
bán dân sau dó các ion có náng luong cao di vào mang tinh thê va cham voi
các tinh thê silic và dung lai.
Hình 3.32. Cây ion
Uu diêm cua phuong pháp cây ion:
- Có thê không chê chính xác luong nguyên tu tap chât.
- Có phô rông dê chon các vât liêu làm mát na nhu ôxit,chât cam quang,poly-
Si, kim loai...
- Có thê cây ion qua lop ôxit.
- Không bi anh huong nhiêu tu các công doan làm sach bê mát phiên.
- Có dô dông dêu rât lý tuong liêu chiêu xa theo chiêu ngang.Ví du: Liêu
chiêu xa , hay luong tap chât chi thay dôi cõ 1% trên suôt duong kính cua
phiên Si 8”(20,32 cm).
- Có thê thuc hiên cây nhiêu loai nguyên tô khác nhau
- Viêc cây ion tap chât o diêu kiên chân không,nhiêt dô phòng vì vây không
anh huong toi su phân bô tap chât cua các công doan truoc.
Nhuçc diêm cua phuong pháp cây ion:
71
- Gây sai hong lon tai bê mát mâu do su bán phá cua chùm ion.
- Thiêt bi dát tiên, công kênh, dòi hoi các phu tro phuc tap.
3.6.2. Thiêt b| cây ion
Hình 3.33. So dô thiêt bi cây ion
- Nguôn ion chua các chât khí cua tap chât ví du PH
3
, B
2
H
6
hoác AsH
3
duoc
su dung dê tao plasma và duoc ion hóa.
- Nam châm së chon loc môt loai trong sô nhiêu loai ion duoc ion duoc ion
hóa và dua vào ông gia tôc.
- Ong gia tôc có nhiêm vu cung câp náng luong cân thiêt dê các ion chui sâu
vào lop bán dân.
- Chùm ion duoc diêu chinh quÿ dao vê phía bán dân thông qua hê thông láng
kính, ban lêch X, ban lêch Y. Vi trí bán dân duoc dát lêch so voi phuong nám
ngang sao cho chùm tia trung tính không diêu khiên duoc không di dên phiên
bán dân.
- Có thê dùng các ban lêch X và Y dê quét chùm tia ion dông dêu trên mát
phiên bán dân.
72
- Phiên dê (bia) duoc dát trong nông dô Faraday dê có thê dê dàng do sô ion
báng các do dòng ion và lây tông theo thoi gian cây.
3.6.3. M}t nç dùng cho cây ion
Dê tao chuyên tiêp P-N tai nhung vi trí chon loc trên dê bán dân cân
phai su dung mát na (mask) thích hop dôi voi quá trình cây ion.
Vât liêu tao mát na thuong là SiO2 và Si3N4
3.6.4. U nhiçt
Vì quá trình cây ion gây ra sai hong và mât trât tu nên nó làm giam
các thông sô bán dân nhu dô linh dông và thoi gian sông. ngoài ra phân lon
ion moi duoc cây vào không gian nám o vi trí thay thê. dê kích hoat các
ion moi cây và khôi phuc dô linh dông và các thông sô vât liêu khác, cân
phai u bán dân tai nhiêt dô trong khoang thoi gian thích hop
Muc dích:
- Tái kêt tinh vùng nhiêu sai hong, phuc hôi lai câu trúc tinh thê bán dân.
- Khiên cho các ion tap tiêp tuc khuêch tán và thê chô vào các nút khuyêt
cua mang tinh thê bán dân. táng chiêu dày lop khuêch tán.
3.7. Epitaxy
3.7.1. Mo dâu
Ki thuât epitaxy là môt quá trình mà qua dó lop vât liêu don tinh thê
duoc hình thành trên bê mát cua dê don tinh thê.
Trong quá trình epitaxy, dê don tinh thê dóng vai trò nhu mâm, mác dù
quá trình xay ra voi nhiêt dô rât thâp so voi nhiêt dô nóng chay. Khi lop
epitaxy duoc tao ra trên dê cua vât liêu cùng loai, quá trình duoc goi là dông
epitaxy. Su hình thành silic trên dê silic là ví du cua quá trình dông epitaxy.
Tuy nhiên, trong hiên tai, phân lon công viêc duoc thuc hiên voi quá
trình di epitaxy. Trong quá trình epitaxy, mác dù dê và vât liêu epitaxy không
giông nhau nhung hai câu trúc tinh thê phai rât giông nhau nêu muôn thu duoc
don tinh thê và tránh các sai hong tai bê mát chuyên tiêp giua epitaxy và dê.
73
Su hình thành nhung lop epitaxy cua hop kim ba thành phân AlGaAs trên dê
GaAs là ví du vê quá trình di epitaxy.
3.7.2. Làm sçch phiên và tây lóp Oxit tµ nhiên
Truoc khi cây lop epitaxy, dê cân phai duoc làm sach, cu thê là cân phai
tây lop oxide tu nhiên và moi tap chât và bui trên mát dê. Muc dích cua công
doan này là tao bê mát silic hoàn hao, không có tap chât và không có su thay
dôi vi trí cua các nguyên tu bê mát.Trên thuc tê, có thê tây bo hêt tap chât
nhung ko thê có bê mát hoàn hao vì ban thân bê mát chua các tap chât không
bão hòa.
Các tap chât tôn tai trên bê mát phiên bao gôm các hop chât huu co xuât
phát tu cam quang du hay vât liêu polimer kêt tua trong quá tình án mòn, các
hat kim loai và lop oixde mong. Quá trình tây bo tap chât duoc thuc hiên lân
luot theo các công doan, môi công doan kêt thúc báng tráng nuoc thu ion.
Các ion kim loai kiêm duoc tây bo trong dung dich chua Halogen.
Thông dung nhât là hôn hop H2O: HCl: H
2
O
2
duoc nung nóng dên 75-80°C.
Dê sây phiên sau khi rua, nguòi ta dùng khí N
2
nén hoác quay khô ly tâm.
Sau khi duoc làm sach báng phuong pháp hoá hoc nhu miêu ta o trên
dây, trên bê mát phiên thuong tôn tai môt lop oxide mong không chua tap kim
loai hoác huu co. Dê có thê cây lop epitaxy chât luong cao, cân phai tây bo
lop oxide này. Trong hâu hêt truong hop buoc dâu tiên truoc khi thuc hiên
epitaxy, nguoi ta tây lop oxide trong môi truong H
2
, hôn hop H
2
/HCl hoác
chân không, o nhiêt dô cao.
3.7.2. Nhiçt dçng hçc quá trình Epitaxy pha hoi
Mô hình don gian nhât có thê su dung dê miêu ta quá trình VPE
(Vapour Phase Epitaxy) là mô hình cua Deal. Mô hình này vê co ban giông
nhu mô hình cho quá trình oxy hóa. Mô hình Deal là mô hình bán dinh luong,
tuy nhiên quá trình cây epitaxy bi don gian hóa quá nhiêu. Không giông nhu
oxy hóa, các chât kêt tua và nguôn khí o dây không phai là môt. Nhiêu phan
ung hóa hoc có thê xay ra trong pha khí và trên mát phiên. Ngoài ra, nhiêu quá
74
trình xay ra dông thoi, có quá trình hô tro, có quá trình làm can tro viêc phát
triên cua lop epitaxy.Thí du trong hê Si-H-Cl, các phân tu chua silic trên bê
mát phiên có thê là SiCl
2
, SiCl
4
, SiH
2
hoác Si. Khi áp suât trong bình thâp
hoác khi dòng khí vào nho, viêc có mát các chât trên dây có thê han chê tôc dô
moc lop epitaxy. Các nguyên tu silic hâp phu trên bê mát và ca các nguyên tu
dêu có thê bi án mòn boi phan ung voi Cl. Mô hình Deal không tính dên diêu
này. O dây chúng ta së su dung phuong pháp tham sô hóa quá trình phuc tap.
Tuong tu ta xét mô hình chi tiêt cua quá trình moc lop epitaxy VPE
báng cách chia thành các buoc tuân tu, trong dó môi buoc dêu có anh huong
dên tôc dô moc. Các chât khí khi duoc di vào bình thì bi phân li môt phân tao
ra nhiêu chât còn phan ung manh hon. Các chât chua silic này phai di qua
bình cho dên khi chúng toi gân phiên. Tai dó chúng phai di qua lop trì trê dê
dên bê mát phiên. Trên mát phiên chúng bi hâp phu, khuêch tán tiêp tuc phân
ly thành silic nguyên tu và san phâm phan ung bay hoi, các san phâm phu này
bi nha hâp và duoc bom ra ngoài. Trong muc này, ta xét phan ung pha khí cua
môt sô quá trình epitaxy silic thông dung nhât.
Hê hóa hoc don gian nhât dê cây lop silic là nhiêt phân silane. Phan
ung tông thê là :
SiH
4
(g) -> Si(s) +2H
2
(g)
Phan ung này thuc chât là không thuân nghich và có thê xay ra o nhiêt
dô tuong dôi thâp là 600
o
C. Phan ung cung thuong duoc su dung dê kêt tua
silic da tinh thê. Tuy có thê dùng silane dê cây silic epitaxy o nhiêt dô thâp tu
600
o
C->800
o
C, nhung vì SiH
4
có xu huong phân ly dê tao hat trong pha khí
nên khó có thê nhân lop epitaxy chât luong cao, tru khi o áp suât thâp. Su tao
hat dông thê xay ra liên tuc trong pha khí o bât kì áp suât nào, tuy nhiên tôc dô
tao hat táng rât manh khi áp suât riêng phân silane táng. Do dó tai môt nhiêt
dô cho truoc áp suât SiH
4
không duoc lon hon môt giá tri nhât dinh.
Hâu nhu tât ca các hê epitaxy cây silic trong công nghê IC dêu su dung
phan ung khu SiH
x
Cl
4-x
voi x=0,1,2,3, duoc pha loãng trong H
2
. Sô nguyên tu
Cl trong phân tu clorosilane càng nho, nhiêt dô epitaxy cân thiêt dê dat tôc dô
75
cây cho truoc càng thâp. Truoc dây nguoi ta chu yêu dùng SiCl
4
, tuy nhiên dê
có tôc dô cây châp nhân duoc nhiêt dô dê phai lon hon 1150
o
C, nhu vây së
gây ra tái phân bô tap chât rât manh. Dân dân nguoi ta thay thê SiCl
4
báng
SiHCl
3
, SiH
2
Cl
2
, SiH
3
Cl. Hiên nay SiH
2
Cl
2
duoc dùng chu yêu.
3.7.3. Pha tçp
Trong quá trình cây epitaxy, tap chât có thê duoc dua vào có chu ý hoác
ngâu nhiên. Nguôn tap ngâu nhiên chính là khuêch tán pha tap rán tu dê và tu
pha tap pha khí. Khuêch tán pha rán không chê profile tap gân phân biên
epi/dê.
Dôi voi epitaxy silic, các nguôn tap dang khí thông dung nhât là
diborane(B
2
H
6
), arsine(A
s
H
3
) và phosphine(PH
3
). Nông dô tap trong lop
epitaxy duoc diêu khiên báng thông luong khí tap di vào bình phan ung.
Muôn có áp suât riêng phân thâp dê nhân lop pha tap nhe, khí chua tap thuong
duoc pha loãng trong hidro.
3.7.4. Khuyêt tçt trong lóp Epitaxy
Lop epitaxy có thê có khuyêt tât. Nêu nhung khuyêt tât nám trong vùng
tích cuc cua phiên, chúng có thê làm hong linh kiên. Linh kiên hong có thê
truc tiêp do các trang thái diên tu có liên quan dên khuyêt tât làm táng dáng kê
dòng rò. Cung có thê trong quá trình epitaxy khuyêt tât bát giu các tap chât
khác trên phiên tao nên các trang thái diên tu. Khuyêt tât cung có thê làm táng
khuêch tán, dân dên thay dôi câu trúc vât lý cua transistor.
Loai khuyêt tât phô biên nhât trong lop silic epitaxy là sai hong xêp. Sai
hong xêp là mát pháng nguyên tu thêm vào(thua) tinh thê hoác mát pháng
nguyên tu thiêu tinh thê. Sai hong xêp trong silic thuong xay ra theo huong
<111>.
Khuyêt tât có thê là nhung dâu nhon, chô nhô ra tu lop epitaxy, không
trùng voi huong tinh thê. Dây có thê là dâu hiêu cua su moc màng 3 chiêu(3-
D). Sai hong xêp và dâu nhon thuong có nguôn gôc tu khuyêt tât cua bê mát
phiên ban dâu. Các khuyêt tât ban dâu gôm tap oxi, kim loai, sai hong xêp do
76
oxi hóa gây ra trong phiên và các hat kêt tua trên bê mát phiên. Viêc làm sach
bê mát phiên 1 cách cân thân së làm giam dáng kê mát dô sai hong xêp trong
lop silic epitaxy.
Lêch mang cung tuong tu nhu sai hong xêp nhung là khuyêt tât 2-D.
Lêch mang khó phát hiên trên bê mát nhung vân anh huong nghiêm trong dên
chât luong lop epitaxy. Lêch mang có thê lan truyên tu dê, cung có thê duoc
hình thành trong lop epitaxy do biên dang dàn hôi, hâu qua cua phân bô nhiêt
không dêu và tôc dô moc quá lon. Nhung khuyêt tât tinh vi kiêu lêch mang
thuong duoc phát hiên báng án mòn chon loc.
Môt trong nhung lí do tai sao pha cây lop epitaxy dê giam diên tro nôi
tiêp hay diên tro kí sinh. Thuong viêc này duoc thuc hiên báng cách cây lop
epitaxy pha tap nhe trên bê mát phiên pha tap manh hoác lên trên vùng chôn
cuc bô pha tap manh. Transistor duoc chê tao trong lop epitaxy, còn vùng pha
tap manh thuc chât là tiêp xúc phía dáy cua transistor.
3.7.5. Epitaxy GaAs
Epitaxy GaAs duoc thuc hiên khác voi epitaxy Si. Nguôn khí As là
AsH
3
, môt chât ôn dinh nhung rât dôc. Tuy nhiên Ga lai không tao duoc hop
chât Clorohydride bên vung. Phân lon hop chât cua Ga voi clo là dang rán o
nhiêt dô phòng. O nhiêt dô cao GaCl và GaCl
3
có thê tro thành dang khí. Dây
chính là co so cho môt phuong pháp cây GaAs rât thành công, dó là phuong
pháp vân chuyên halogenua.
Trong phuong pháp này, nguôn Ga o dang rán duoc dôt nóng dên 700-
750
o
C. Hôn hop khí HCl pha loãng trong H
2
chay qua phía trên Ga hoác
GaAs nóng, tao thành GaCl. Khí mang vân chuyên GaCl dên bê mát phiên và
tai dó tao thành GaAs trên bê mát. Dê xây dung mô hình bê mát trong suôt
quá trình VPE nguoi ta thuong gia thiêt ráng các phan ung pha khí chi làm
phát sinh các chât tao màng, nhung chât này sau dó hâp thu trên bê mát phiên
phan ung rôi tro thành môt phân cua màng.
77
Có 2 tro ngai trong viêc su dung phuong pháp vân chuyên halogenua dê
cây GaAs. Thu nhât là do nhiêt dô dê cân thiêt dê cây lop GaAs chât luong có
thê chê tao linh kiên là khá cao, cho nên khó nhân duoc chuyên tiêp dôt ngôt.
Vân dê thu 2 là do ban chât quá trình khó không chê chiêu dày lop epitaxy voi
các câu trúc mong. Phuong pháp vân chuyên halogenua vân còn duoc su dung
dê chê tao quy mô lon các diot phát quang.
3.7.6. Epitaxy chùm phân tu
Epitaxy chùm phân tu (tiêng Anh: Molecular beam epitaxy, viêt tát là
MBE) là thuât ngu chi môt kÿ thuât chê tao màng mong báng cách su dung
các chùm phân tu láng dong trên dê don tinh thê trong chân không siêu cao, dê
thu duoc các màng mong don tinh thê có câu trúc tinh thê gân voi câu trúc cua
lop dê. Kÿ thuât này duoc phát minh vào nhung nám 60 cua thê ky 20 tai
Phòng thí nghiêm Bell (Bell Telephone Laboratories) boi J.R. Arthur và
Alfred Y. Cho.
Hình 3.34. So do hê epitaxy chùm phân tu
Môt trong nhung ki thuât dâu tiên dùng chê tao câu trúc di chât GaAs là
ki thuât epitaxy chùm phân tu. Ki thuât này cho phép chê tao các lop bán dân
78
chât luong cao, voi chiêu dày có thê không chê o muc nguyên tu. Hon nua,
nhiêt dô cây thâp hâu nhu loai tru viêc khuêch tán tap chât. Ki thuât MBE
cung dã duoc dùng dê cây silic.
Kÿ thuât MBE chi có thê thuc hiên duoc trong môi truong chân không
siêu cao (áp suât thâp hon 10
-9
Torr), do dó cho phép tao ra các màng mong
vât liêu có dô tinh khiêt rât cao. Diêm khác biêt co ban nhât cua MBE so voi
các ki thuât màng mong khác (ví du nhu phún xa, bôc bay nhiêt...) là các
màng mong don tinh thê duoc moc lên tu lop dê don tinh thê voi tôc dô cuc
thâp và có dô hoàn hao rât cao. Vì thê, kÿ thuât MBE cho phép tao ra các siêu
mong, thâm chí chi vài lop nguyên tu voi chât luong rât cao. Tuy nhiên, chât
luong màng cung nhu tôc dô tao màng phu thuôc nhiêu vào dô hoàn hao cua
môi truong chân không. Lop dê bên duoi là don tinh thê, có tác dung nhu môt
mâm dê lop màng phát triên lên trong quá trình ngung dong.
MBE có thê chê tao các màng hop chât hoác don chât tu các nguôn vât
liêu riêng biêt. Các vât liêu nguôn duoc dôt dên muc dô bay hoi nhung voi tôc
dô rât châm và duoc dân toi dê. O dó, nêu là màng hop chât, các chât së phan
ung voi nhau chi tai bê mát dê dê phát triên thành don tinh thê. Các chùm
nguyên tu, phân tu cua các vât liêu nguôn së không phan ung voi nhau cho
dên khi chúng kêt hop voi nhau trên dê do quãng duong tu do trung bình cua
chúng rât dài. Dây là lý do chính cua tên goi chùm phân tu.
Trong quá trình hình thành màng, nguoi ta thuong dùng kÿ thuât nhiêu
xa diên tu phan xa náng luong cao (RHEED) dê kiêm soát quá trình moc
màng thông qua phô nhiêu xa diên tu duoc ghi truc tiêp. Quá trình này cho
phép kiêm soát su phát triên cua màng voi dô chính xác tung lop nguyên tu.
Dông thoi, trong quá trình chê tao, dê cân duoc giu lanh.
Dê dat duoc môi truong chân không siêu cao, ban dâu buông chê tao
duoc hút chân không so câp (cõ 10
-3
Torr), sau dó su dung bom turbo dê tao
chân không cao toi 10
-7
Torr và tao chân không siêu cao báng bom iôn hoác
báng cryo-pump (bom chân không siêu cao, su dung các khí hóa long o nhiêt
79
dô thâp, ví du nhu nito long o 77
0
K..., dê bây khí nhám tao ra chân không
siêu cao). Vì thê, hê MBE vân hành khá phuc tap và tôn kém.
Dê dat duoc chân không ban dâu cao nhu vây, buông MBE bao gôm ca
các dêm cao su cân phai thiêt kê sao cho có thê duoc nung nóng dên 150-
>250
o
C. Viêc nung nóng o nhiêt dô cao làm táng áp suât hoi cua nuoc hâp thu
trên vách trong cua bình và mát trong cua các bô phân khác. Voi muc dích
này, thuong môi thiêt bi duoc cung câp môt tâm choàng dôt nóng. Khi dôt
nóng kéo dài cân dác biêt chú ý dên dô bên cua các cua sô quan sát. Các bô
phân này thuong kém chiu dung nhung chu trình nhiêt dô cao láp di láp lai.
Nhung bô phân quan trong nhu nguôn bay hoi có thê duoc nung o nhiêt dô
cao hon dê dam bao dô sach cao hon. Thoi gian dôt nóng phu thuôc muc dô
tiêp xúc không khí phía bên trong hê. Nêu phai mo toàn bô hê dê thay dôi
nguôn vât liêu, thuong mât dên ca tuân vua bom vua dôt nóng thì moi có thê
cây duoc lop màng chât luong cao dê chê tao linh kiên.
Có nhiêu loai bom có thê su dung dê duy trì trang thái chân không cao.
Các thiêt bi thê hê dâu su dung bom khuyêch tán, tuy nhiên khi dó cân hêt suc
chú ý dê tránh dâu bom nóng khuyêch tán nguoc vào bình phan ung. Môt sô
loai thiêt bi nho su dung bom hâp phu làm lanh báng Nito long. Nhung bom
này hoat dông trên co so hâp thu vât lý các khí trên bê mát rây phân tu hoác
vât liêu hâp phu khác nhu Al
2
O
3
hoat tính. Dây thuong là vât rán có diên tích
bê mát lon. Bom duoc làm lanh dên 77
0
K, sau dó duoc thông voi buông cân
hút chân không. Khi bom xong, bom duoc cách ly khoi buông, duoc dôt nóng
và duoc hút khí. Tôn tai nhiêu loai bom hâp thu, trong dó bom chân không
cao dùng cho hê MBE thông dung là bom nhiêt dô thâp. Các hê MBE moi
thuong su dung bom turbo phân tu dê tao chân không cao. Phuong án này dác
biêt hâp dân nêu phai su dung nguôn dôc hai, vì vât liêu tu nguôn này thuong
hay tích tu trong bom trong chu trình nhiêt dô.
Viêc dôt nóng dê thuong duoc thuc hiên thông qua dôt nóng giá dõ
phiên báng buc xa hoác báng soi dôt diên tro. Lò diên tro có thê là cuôn dây
báng kim loai khó nóng chay hoác là màng graphite duoc chê tao thành lò dôt.
80
Nhiêt dô phiên có thê do báng cáp nhiêt gán trên giá dõ. Cung có thê do nhiêt
dô phiên báng toa kê.
Có 3 loçi nguôn thuòng duçc su dµng cho hç MBE: Tê bào Knudsen,
nguôn chùm diên tu và nguôn khí. Trong tê bào Knudsen, chén có chua vât
liêu nguôn duoc dôt nóng báng lò dang lá. Cáp nhiêt duoc gán phía ngoài
chén dê diêu khiên nhiêt dô và do dó là diêu khiên dòng vât liêu. Thach anh
cung có thê dùng dê cây màng Silic. Dê có dòng vât liêu Silic du lon, cân
nhiêt dô khoang 1700ºC. O nhiêt dô này Silic nóng chay và hoat tính rât manh.
Kêt qua là mang së bi nhiêm bân tap chât tu chén nung. Muôn tránh hiên
tuong này phân lon các thiêt bi MBE silic dêu su dung nguôn chùm diên tu.
Dôi voi ca hai loai nguôn là tê bào Knudsen và nguôn chùm diên tu, dòng vât
liêu duoc xác dinh báng nhiêt dô, vì nhiêt dô quyêt dinh áp suât hoi. Vì môi
nguôn vât liêu có khôi nhiêt nhât dinh nên không thê ngát dòng môt cách tuc
thoi. Dê diêu khiên tát/mo trong quá trình cây, nguoi ta dùng lá chán. Tuy
nhiên, viêc su dung lá chán có nhuoc diêm là vât liêu kêt tua trên lá chán có
thê tái bay hoi, làm anh huong dên chât luong màng trên phiên. Dê tránh hiên
tuong này, dông thoi là dê cai thiên dô dông dêu và chât luong cua màng, các
thiêt bi MBE nhung nám gân dây su dung nguôn khí.
Môt trong nhung ki thuât hay duoc su dung nhât dê theo dõi truc tiêp
quá trình cây là nhiêu xa diên tu. Trong phuong pháp này, các diên tu náng
luong cao bi tán xa khoi bê mát vât liêu dang moc và duoc ghi trên màn anh o
phía dôi diên cua buông phan ung. Vì màng moc theo tung lop, cuong dô anh
lúc dâu táng, sau giam, rôi táng tro lai môi khi môt don lop duoc tao thành
tron ven.
Nguôn khuyêt tât chu yêu trong màng cây báng MBE là do các hat roi
tu lop kêt tua trên thành bình, lop này cung duoc hình thành trong quá trình
cây. Diêu này dác biêt nghiêm trong dôi voi lop epitaxy silic. Nguoi ta thây
ráng, nêu không làm lanh thành bình báng Nito long mà làm lanh báng nuoc
thì mât dô khuyêt tât giam dáng kê. Cung có thê su dung diên áp cao dát gân
nguôn bay hoi dê giu cho bui không vào chùm phân tu , lúc dó mât dô khuyêt
81
tât rât nho. Nguôn khuyêt tât quan trong khác trong màng nhân báng MBE là
tap kim loai. Các chât tap này làm giam thoi gian sông các hat tai không co
ban trong màng. Trong phân lon các hê Epitaxy pha hoi, nguoi ta su dung hop
chât chua clo dê phan ung voi kim loai làm sach bê mát.
Tôc dô cây lop MBE duoc xác dinh boi dòng nguyên tu xuât phát tu
nguôn và ti phân các nguyên tu dên duoc bê mát và bi giu lai trên bê mát
phiên.
3.8. Các phuong pháp tço màng mong: Bay hoi, phún xç
3.8.1. Mo dâu
Màng mong kim loai phu trên bê mát phiên bán dân nhám muc dích nôi
các vùng khuyêch tán P và N voi nhau. Màng kim loai duoc cách diên voi dê
silic báng lop oxide tru các vi trí tiêp xúc truc tiêp voi silic. Ngoài muc dích
làm các duong dân nôi hop mang, màng kim loai cung duoc dùng làm vùng
dêm dê hàn dây tu chip ra vo voi các mach phuc tap, có thê phai cân dên hai
hoác nhiêu hon lop dân diên kim loai.
Khi su dung làm dân nôi hop mang,màng mong kim loai cân dáp ung
nhung dòi hoi sau dây:
- Màng phai dân diên rât tôt.
- Màng phai tao tiêp xúc thuân tro tôt voi ca loai N và loai P.
- Màng phai dính bám tôt voi ca silic và lop oxide silic.
- Có thê tao hình dáng báng phuong pháp quang khác.
- Có thê hàn dây vào màng dê nôi voi chân ngoài cua IC.
- Dê tao màng và màng phai phu tôt các bâc thang oxide.
- Màng phai ôn dinh và không phan ung voi vât liêu vo và dây hàn.
- Màng phai chiu duoc mât dô dòng cao.
Truoc dây các màng mong kim loai dùng trong công nghê bán dân dêu
duoc chê tao báng bay hoi chân không. Tuy nhiên phuong pháp bay hoi dã
duoc thay thê báng phuong pháp phún xa trong phân lon công nghê silic do
82
hai nguyên nhân. Nguyên nhân dâu tiên là kha náng phu kín các bâc thang, kêt
qua là bê mát cân phu kim loai tro nên mâp mô hon. Kha náng các màng kim
loai nhân báng bay hoi phu lên câu trúc nhu vây rât kém nhiêu khi không bám
lên duoc các vách tháng dung. Ngoài ra, voi phuong pháp bay hoi cung khó
có thê chê tao màng mong hop kim có nhung tính náng cho truoc, mà nhung
màng mong này ngày càng duoc su dung nhiêu trong công nghê silic.
3.8.2. Bay hoi trong chân không
Thiêt bi bay hoi don gian duoc trình bay trên hình 3.35. Các phiên silic
duoc dua vào trong buông chân không cao nhân báng bom khuêch tán hoác
bom nhiêt dô thâp. Các hê bom khuêch tán thuong có bây lanh dê tránh hoi
dâu cua bom bay vào buông. Vât liêu cân kêt tua duoc tai vào chén nung.
Chén nung có thê duoc dôt nóng báng lò diên tro. Vât liêu duoc nung nóng
dên khi bay hoi. Vì áp suât trong buông chân không thuong cõ 10
-5
mmHg,
các nguyên tu vât liêu bay tháng lên dê và tích tu thành màng trên bê mát dê.
Các hê chân không có thê duoc trang bi 4 chén nung và cùng lúc có thê kêt tua
màng cho 24 phiên. Hon nua, nêu cân tao màng hop kim, có thê su dung nhiêu
chén nung cùng môt lúc. Dê khoi dông và kêt thúc quá trình bay hoi môt cách
tuc thoi, nguoi ta su dung lá chán co hoc bô trí o ngay trên chén nung.
83
Hình 3.35. So dô hê bay hoi su dung bom khuêch tán.
3.8.2.1. Thàng hoa và bay hoi
Khi nhiêt dô táng vât liêu bình thuong trai qua trang thái (pha) rán, long
và khí. O môi nhiêt dô tôn tai áp suât hoi bão hòa (cân báng) o trên mát vât
liêu. Khi kêt tua màng o nhiêt dô mâu thâp hon nhiêt dô nóng chay, quá trình
duoc goi là tháng hoa. Khi kêt tua màng o nhiêt dô nóng chay vât liêu thì dây
là quá trình bay hoi. Công nghê bán dân su dung bay hoi vì lúc dó áp suât hoi
cao hon và do dó tôc dô kêt tua cua màng là châp nhân duoc. Hình 3.36 chi ra
su phu thuôc áp suât hoi cân báng vào nhiêt dô cua các nguyên tô khác nhau.
Dê nhân duoc tôc dô kêt tua hop lí, áp suât hoi cua mâu phai có giá tri ít
nhât là 10mTorr.Tu hình vë ta thây ráng môt sô vât liêu phai duoc nung nóng
dên nhiêt dô cao hon nhiêu các vât liêu khác dê có cùng áp suât hoi. Các vât
liêu khó nóng chay nhu: Ta,W,Mo và Ti có nhiêt dô nóng chay rât cao và do
dó có áp suât hoi thây o nhiêt dô trung bình. Dê có áp suât hoi 10mTorr
Vonfram cân phai duoc nung nóng dên 3000
0
C; trong khi dó, nhôm có áp suât
hoi 10mTorr o nhiêt dô 1250
0
C.
Buông chân không
Phiên
Vât liêu bôc bay
Chén nung
Van xa khí
Bom so
câp
Bom co hoc
Bây lanh
Bom khuyêch tán
84
10
0
10
-1
10
-2
10
-3
10
-4
10
-5
10
-6
0
500 1000 1500 2000 2500 3000
Na
In
Ag Ga
An
NI
Cr
Pt
W
Mo
Ti
Al
Hình 3.36. Áp suât hoi cua môt sô vât liêu bay hoi thông dung.
3.8.2.2. Tôc dç kêt tua
Sô phân tu khí di qua môt mát pháng don vi trong môt don vi thoi gian
duoc cho boi:
J
n
=
kTM
P
π 2
2
Trong dó P là áp suât trong buông; M là nguyên tu luong. Phuong trình
trên có thê dùng dê miêu ta tôc dô mât mát nguyên tu tu nguôn bay hoi.
Nhân J
n
voi khôi luong phân tu cho ta biêu thuc Langmuir vê tôc dô bay hoi
khôi luong:
R
ME
=
e
P
kT
M
π 2
Trong dó P
e
là áp suât hoi cân báng cua vât liêu chén nung.
Tu dây ta có thê dê dàng tính tôc dô tôn hao (mât mát) khôi luong chén nung:
R
ML
=

e
P
kT
M
π 2
dA=
k
M
π 2

T
P
e
dA
85
Trong dó tích phân duoc lây theo bê mát cua khôi vât liêu bay hoi trong
chén. Biêu thuc trên có thê viêt lai nêu gia thiêt (góc mo) miêng chén có diên
tích không dôi A:
R
ML
=
k
M
π 2
T
P
e
A
Dê tìm tôc dô kêt tua trên bê mát phiên, ta cân xác dinh ty phân vât liêu
xuât phát tu chén nung tích tu trên mát phiên. Voi buông chân không siêu cao,
viêc xác dinh giá tri này tuong dôi dê dàng. Áp suât du thâp dê vât liêu bay
hoi tu chén bay tháng dên bê mát phiên dê. Nêu gia thiêt ráng toàn bô phân
vât liêu bay dên mát phiên dêu dính bám o lai trên phiên, tôc dô có thê tính
duoc tu các thông sô hình hoc.
Dê có tôc dô kêt tua lon cân phai nâng nhiêt dô cua nguôn(chén nung)
lên rât cao. Khi dó áp suât hoi o ngay trên bê mát chén du cao dê vùng này có
thê coi là o chê dô dòng nhot. Bay hoi o chê dô này có thê dân dên là vât liêu
bay hoi ngung tu thành giot. Nêu các giot này bay dên và dính bám vào mát
phiên, hình thành bê mát màng có thê rât xâu. Dê có dô dông dêu tôt nhât, cân
bay hoi o tôc dô thâp.
3.8.2.3. Phu bçc thang:
Môt trong nhung han chê cua phuong pháp bay hoi là kha náng phu bâc
thang. Hình 3.37 miêu ta hình dang cua màng kêt tua trên bâc thang. Bâc
thang o dây là cua sô tiêp xúc duoc án mòn trong lop cách diên cho dên dê
bán dân.Trong pham vi kích thuoc ~1 µ m có thê coi chùm vât liêu toi là song
song. Gia thiêt các nguyên tu vât liêu bât dông trên bê mát phiên, së có hiên
tuong bóng và màng thuong bi dut doan trên môt phía cua tiêp xúc nhu hình
3.37a. Dây là vân dê dác biêt hê trong vì khâu phu màng kim loai là nhung
giai doan cuôi cùng cua quy trình chê tao.
86
(a) (b)
Hình 3.37. Màng bay hoi trên bâc thang:
(a) Truong hop nhiêt dô dê thâp, (b) Nhiêt dô dê cao và quay dê.
Phuong pháp duoc su dung dê cai thiên dô phu bâc là quay phiên trong
quá trình bay hoi. Giá dõ phiên hình chom câu duoc thiêt kê sao cho có thê
quay phiên xung quanh dinh cua buông chân không. Tôc dô kêt tua trên vách
tuy vân nho hon tôc dô kêt tua trên mát pháng nhung dông dêu theo truc hình
3.37b. Môt thông sô quan trong là ti sô giua chiêu cao và chiêu rông bâc. Ti sô
này càng nho hon 1 thì dô dông dêu cua màng càng tôt.
3.8.2.4. Các kÿ thuçt dôt chén nung
Có 3 loai dôt chén nung: Hê diên tro, hê cam ung và chùm diên tu. Hê
dôt nóng báng diên tro là don gian nhât.
Voi buông chân không cao, có thê thiêt kê môt hê bay hoi don gian gôm
soi dôt nho. Vât liêu bay hoi có thê o dang thanh nho hoác dây gán dát trên soi
dôt nhu hình 3.38a.
87
Vât liêu bay hoi
Soi dôt
Vât liêu bay hoi thuyên
Hình 3.38.Nguôn bay hoi diên tro: (a) Soi dôt; (b) Thuyên.
Thuân tiên hon có thê dùng thuyên diên tro nhu hình 3.38b. Do soi dôt
hoác thuyên phai chiu nhiêt dô cao nên có vân dê dôi voi phuong pháp diên
tro là hiên tuong bay hoi và nha khí cua ban thân soi dôt hoác thuyên nung.
Nêu vât liêu cân bay hoi là nhôm, dê có áp suât hoi thích hop chi cân công
suât dôt vua phai.truong hop cân bay hoi vât liêu khó nóng chay, nhiêu khi
không thê có vât liêu làm soi dôt.
88
Hình 3.39. Chén nung báng cam ung.
Môt trong nhung phuong pháp dê dat nhiêt dô nguôn cao hon là su
dung chén nung dôt báng cam ung. Nhu duoc trình bày trên hình 3.39, vât liêu
cân bay hoi duoc cho vào chén nung thuong duoc làm báng Nitrit Bo (BN).
Soi dây kim loai duoc quân xung quanh chén và nguôn cao tân di qua cuôn
cam, tao ra dòng Phucô và dôt nóng vât liêu cân bay hoi. Dê tránh hiên tuong
bay hoi cuôn cam, có thê làm nguôi báng nuoc dê giu nhiêt dô cua nó duoi
100
0
C.
89
Hình 3.40. Nguôn bay hoi báng chùm tia diên tu.
Tuy ki thuât dôt nóng báng cam ung cho phép táng nhiêt dô chén nung
lên du cao dê có thê bay hoi các vât liêu khó nóng chay, viêc nhiêm bân vât
liêu bay hoi tu chính vât liêu làm chén vân là vân dê nan giai. Vân dê này có
thê khác phuc báng cách chi nung vât liêu bay hoi, còn làm nguôi chén. Dê
thuc hiên viêc này nguoi ta su dung ki thuât bay hoi báng chùm tia diên tu,
voi nguôn bay hoi thông dung duoc miêu ta nhu hình 3.40.
Môt sung diên tu o phía duoi chén nung phát ra chùm diên tu cuong dô
cao và náng luong cao. Viêc bô trí so dôt o phía duoi làm giam thiêu kêt tua
vât liêu soi dôt lên bê mát phiên. Tu truong manh lái chùm tia diên tu lêch
270
0
dê chiêu lên bê mát vât liêu bay hoi. Có thê quét chùm tia trên vât liêu dê
táng phân bay hoi.
Có kha náng kêt tua nhiêu loai vât liêu khác nhau. Các hê bay hoi báng
chùm tia diên tu cung duoc su dung nhiêu trong công nghê GaAs.
90
Kê ca trong phuong pháp bay hoi báng chùm tia diên tu, soi dôt vân là
nguôn nhiêm bân trong buông chân không, dác biêt khi chân không siêu cao.
Môt sô vân dê khác cung rât nghiêm trong trong công nghê silic, dó là sai
hong do buc xa. Buc xa o dây là do diên tu bi kích thích manh trong vât liêu
bay hoi khi tro vê trang thái co ban thì phát ra tia X. Vì các tia X së gây ra sai
hong trong dê và trong lop diên môi nên các hê bay hoi báng chùm tia diên tu
không thê su dung trong công nghê MOS và công nghê khác nhay cam dôi voi
loai sai hong này.
Thông thuong nên có nhiêu nguôn bay hoi trong môt hê, kê ca khi chi
dùng môt nguôn môi lân. Nhu vây có thê kêt tua các vât liêu khác nhau mà
không cân su dung buông chân không cao. Dôi voi hê diên tro, có thê su dung
hôp chuyên mach công suât, voi môi chén nung có cuôn dôt riêng. Các hê bay
hoi báng chùm diên tu rât thích hop voi ung dung này vì rât dê lái chùm diên
tu tu nguôn này sang nguôn khác nho thê tinh diên hoác báng tu truong. Mát
khác, có thê di chuyên các nguôn khác nhau dên vi trí chùm diên tu báng co
câu co hoc.
3.8.2.5. Màng mong da thành phân:
Có 3 phuong pháp chê tao màng mong hop kim. Don gian nhât là bay
hoi vât liêu có áp suât hoi tuong tu nhau ví du: Al và Au, tu nguôn hop kim
tuong ung trong môt sô ung dung, khi chê tao tiêp xúc Ohmic cho GaAs, áp
suât hoi cua thành phân hop kim là khá gân nhau và su thay dôi thành phân
hop kim là châp nhân duoc. Tuy nhiên, môt sô truong hop khác không phai
nhu vây ví du nhu: TiW. Khi nhiêt dô chén nung là 2500
0
C, áp suât hoi cua Ti
khoang 1 torr, trong khi dó áp suât hoi cua W chi có 3× 10
-6
torr. Lúc dâu gân
nhu chi có hoi cua Ti, sau dó do thành phân dung dich nóng chay thay dôi,
thành phân màng kêt tua cung thay dôi theo.
Vân dê co ban o dây là su khác nhau vê áp suât hoi cua các thành phân
khác nhau. Rât khó không chê chính xác thành phân cua hôn hop. Trong ki
thuât dông bay hoi, nhiêu nguôn hoat dông dông thoi dê kêt tua màng hop
kim.Thí du,dê kêt tua màng TiW nguoi ta su dung 2 chén nung,môt chén chua
91
W và môt chén chua Ti, o hai nhiêt dô khác nhau.Tuy làm nhu vây có thê cai
thiên dáng kê chât luong màng, áp suât hoi vân là bài toán khó và tôc dô kêt
tua vân là tôc dô kêt tua là vô cùng nhay cam voi nhiêt dô bay hoi. Dôi voi
màng don nguyên tô, tôc dô kêt tua tuyêt dôi không quan trong vì có thê su
dung dông hô do chiêu dày màng dê dóng mo lá chán.Trong quá trình dông
bay hoi dê dam bao thành phân màng, cân không chê chính xác nhiêt dô
nguôn bay hoi.
Môt phuong pháp chê tao màng da thành phân khác là kêt tua tung
lop.Viêc này có thê thuc hiên duoc trong nhiêu hê nguôn báng cách mo và
dóng lá chán. Nhiêu lop màng rât mong duoc kêt tua xen kë nhau.Sau khi kêt
thúc quá trình bay hoi ,có thê tao hop kim báng cách nâng nhiêt dô mâu dê các
thành phân khuêch tán vào nhau. Quá trình này dòi hoi phiên phai chiu dung
duoc công doan xu lý o nhiêt dô cao.
3.8.3. Phún xç
Phún xa là phuong pháp có thê thay thê phuong pháp bay hoi dê tao
màng kim loai trong công nghê vi diên tu.
3.8.3.1. Uu diêm cua phuong pháp phún xç
- Vân tôc láng dong cao nho các cathode hiên dai và bia duoc thiêt kê hop lý.
- Có kha náng tao màng hop kim có thành phân phuc tap.
- Có thê tao màng da kim loai có dô nóng chay và nhiêt dô nóng chay cao.
- Tao duoc màng duong kính lon (200mm), dông thoi kiêm soát duoc chính
xác dô dày cung nhu su dông dêu cua màng.
- Kha náng su dung hê da chuc náng nhu làm sach các tiêp xúc truoc khi tao
duong dân báng kim loai.
- Dê chê tao duong dân báng hop kim cua nhôm, và các tiêp xúc kim loai thì
không có ki thuât nào bao dam tât ca các uu diêm trên nên phuong pháp phún
xa vân duoc su dung hiêu qua nhât.
92
3.8.3.2. Hç phún xç don gian
Hình 3.41. Hê phún xa don gian
Hê bao gôm môt buông chân không chua lò phan ung Plasma ban cuc
song song, duoc thiêt kê sao cho các ion náng luong cao bán phá bia làm tu
vât liêu cân kêt tua.
Quy trình tço màng:
Thuong ban dâu nguoi ta hút chân không trong buông xuông cõ 10
-6
torr, sau dó tha khí tro (Ar) vào buông dên áp suât cõ 10
-1
-10
-2
torr.
Khí Ar bi ion hóa duoi tác dung cua diên truong cao, voi diên áp môt chiêu V
= 5KV hoác nguôn cao tân V ~ 1.5KV, tân sô 13,65MHZ.
Các ion Ar bán phá bia (duoc dát duoi môt diên áp âm – cathode), làm
cho vât liêu bia bay hoi và kêt tua trên bê mát phiên. Dê có thê thu gom duoc
càng nhiêu càng tôt các nguyên tu vât liêu bán tu bia, cathode và anode trong
93
thiêt bi phún xa don gian trên dây duoc dát rât gân nhau, thuong khoang cách
duoi 10cm.
3.8.3.3. Vçt lý quá trình phún xç.
Co so cua quá trình phún xa là tao ra và su dung Plasma tu khí Ar.
Plasma duoc tao ra báng cách dát diên áp lon trên khoang hep chua khí duoi
áp suât thâp.
Bang nàng luong ion hóa lan nhat và lan thu hai cua mot so khí
Nguyên tu Ion hóa I(eV) Ion hóa (eV)
Heli(He) 24,586 54,416
Nito(N) 14,534 29,601
Oxy(O) 13,618 35.116
Argon(Ar) 15,759 27,629
Môt khi Plasma hình thành, các ion trong plasma duoc gia tôc dên
cathode, chúng giai phóng diên tu thu câp, và các diên tu này nhanh chóng roi
khoi cathode. Nêu náng luong truyên nho hon náng luong ion hoá các phân tu
khí, nguyên tu có thê bi kích thích lên muc náng luong cao, khi tro vê muc lõi
thông qua chuyên muc quang së phát ánh sáng dác trung. Nêu náng luong
truyên lon hon náng luong ion hoá thì các nguyên tu bi ion hoá và gia tôc vê
phía cathode. Viêc bán phá Cathode luông ion này gây ra quá trình phún xa.
Khi các ion náng luong cao dâp vào bê mát vât liêu,có thê xay ra bôn
kha náng:
+ Các ion voi náng luong thâp hon bi bât ra khoi bê mát.
+ Voi náng luong nho hon khoang 10eV, ion có thê bi hâp thu trên bê
mát, nhuong náng luong cho phonon (nhiêt).
+ Voi náng luong lon hon 10KeV, ion chui sâu vào vât liêu (nhiêu lop
nguyên tu), nhuong phân lon náng luong o sâu trong dê, làm thay dôi
câu trúc vât lý.
94
+ Voi náng luong trong dai trung gian, xay ra hai co chê truyên náng
luong. Môt phân náng luong ion duoc giai phóng duoi dang nhiêt, phân
còn lai làm thay dôi câu trúc vât lý cua dê.
O dai náng luong này, co chê dung hat nhân trên bê mát rât hiêu qua.
Quá trình truyên náng luong chu yêu xay ra trong môt lop nguyên tu. Khi dó
các nguyên tu hoác dám nguyên tu së bi bán bât ra khoi bê mát dê.
Nhung nguyên tu này bât ra khoi bê mát cathode voi náng luong tu 10 -
50eV, tuc là gâp khoang 100 lân náng luong cua nguyên tu bay hoi do nhiêt.
Náng luong du giúp các nguyên tu phún xa có dô linh dông bê mát lon hon và
do dó phu bâc thang tôt hon so voi truong hop bay hoi. Thông thuong khoang
95%vât liêu duoc phún xa duoi dang nguyên tu. Nói chung vât lý quá trình
phún xa vât liêu khá phuc tap, nó bao gôm các hiêu ung kêt hop giua phá
hong liên kêt hoá hoc và dich chuyên vât lý.
Hình 3.42. Nguyên lý quá trình phún xa
Mô hình này bo qua hiêu ung hoá hoc và coi các nguyên tu dê nhu các
qua câu rán. Môt ion toi bê mát có thê chui sâu vào bia qua nhiêu lop nguyên
tu cho dên khi dâp vào nguyên tu voi thông sô va cham nho và bi lêch góc
lon. Diêu này cung có thê làm giai phóng nguyên tu bia voi moment lon
huong di lêch khoi pháp tuyên toi bê mát. Trong quá trình này, nhiêu liên kêt
95
trong lop bê mát bia bi be gây. Nhung va cham tiêp theo së làm but ra các
nguyên tu hoác các dám nguyên tu nho.
3.8.3.4. Tôc dç kêt tua và hiçu suât phún xç
Tôc dô kêt tua phún xa phu thuôc luông ion toi bia, xác suât ion toi but
duoc nguyên tu bia và su vân chuyên vât liêu phún xa qua plasma dên phiên.
Vât liêu bia thuong duoc chê tao duoi dang dia báng phuong pháp ép nóng.
Do phân lon công suât trong Plasma duoc toa ra duoi dang nhiêt trên bia, dê
tránh quá nóng, bia duoc làm nguôi báng nuoc (nuoc khu ion dê tránh châp
diên). Bia duoc gán voi giá giu hoác báng co khí.
3.8.3.5. Phún xç các vçt liçu d}c biçt
Phân lon các nghiên cuu dêu liên quan toi phún xa nhôm dê tao dê tiêp
xúc và duong dân trong IC silic. Tuy nhiên nhôm tinh khiêt dã duoc thay thê
báng các hop kim Nhôm – Si dê táng dô tin cây cua tiêp xúc Ohmic cho các
chuyên tiêp nông.
Dê có tôc dô phún xa lon, nguoi ta dùng chu yêu hê phún magnetron
planar môt chiêu. Vì màng là hop kim nên viêc không chê thành phân là vân
dê cân quan tâm. Nhu dã nói o trên, thành phân màng kêt tua thuong gân
giông thành phân vât liêu bia. O nhiêt dô dê vua phai khi có thê bo qua hiên
tuong tái bay hoi cua vât liêu kêt tua, thành phân chính xác cua màng duoc
không chê boi tính chât vân chuyên cua các phân tu câu thành trong Plasma.
Môt phuong pháp nua là su dung nhiêu bia. Báng cách chinh công suât
môi bia,có thê thay dôi thành phân màng.
Ngoài ra dê không chê thành phân màng mà không cân bô nguôn thu
hai là su dung bia ghép voi các vùng có nông dô khác nhau. Trong truong hop
don gian nhât, các manh vât liêu khác duoc gán lên bia. Thành phân màng
duoc xác dinh boi ti sô cua các vùng tiêp xúc voi Plasma.
Khi cân kêt tua màng hop chât trong dó các nguyên tô có hiêu suât phún
xa rât khác nhau, và môt trong sô dó có thê nhân duoc duoi dang khí, tôt nhât
nên su dung phuong pháp phún xa phan ung, là quá trinh trong dó khí phún xa
là khí tro duoc thay thê báng hôn hop khí tro khi phan ung. Thành phân màng
96
kêt tua có kiêm soát báng cách thay dôi áp suât riêng cua khí phan ung. Báng
phuong pháp phún xa phan ung có thê chê tao màng hop chât có thành phân
thay dôi trong môt dai rông. Vân dê còn lai là chon diêu kiên kêt tua và diêu
kiên u sau kêt tua dê có thành phân và pha mong muôn.
3.9. Kêt tua hóa hçc pha hoi CVD
3.9.1. Mo dâu
Kêt tua hóa pha phoi (Chemical Vapor Deposition-CVD) hiên duoc su
dung rông rãi dê tao màng cua nhiêu vât liêu khác nhau. Phuong pháp CVD
nhiêt cung là co so cua ki thuât cây cây epitaxy trong chê tao IC. Các biên thê
cua phuong pháp CVD nhiêt su dung môt sô nguôn náng luong nhu plasma
hoác kích thích quang dê diêu khiên các phan ung hóa hoc, cho phép kêt tua
màng o nhiêt dô thâp.
Ðinh nghia: Là phuong pháp công nghê tao màng chât rán có thành phân xác
dinh và không bi bay hoi trên bê mát dê báng phan ung hóa hoc cua các chât o
dang khí.
Khác voi Oxy hóa nhiêt là lop oxide duoc moc ra tu dê, dê tao lop SiO
2
báng phuong pháp CVD nguoi ta su dung các hop chât khó có chua Si hoác
các hop chât Silic và O
2
. Lop SiO
2
duoc tao thành trên bê mát dê theo các
phan ung hóa hoc. Các quá trình xay ra nhu sau:
- Vân chuyên hôn hop khí tu lôi vào dên gân phiên.
- Phan ung giua các khí dê tao phân tu con.
- Vân chuyên các chât phan ung dên bê mát phiên.
- Phan ung bê mát dê tao silic.
- Nha hâp các san phâm khí.
- Vân chuyên các san phâmr khí ra xa bê mát.
- Vân chuyên các san phâmr khí ra khoi lò.
3.9.2. Hç CVD don gian dê chê tço màng Si
Xét hê CVD don gian sau:
97
Hinh 3.43. So dô hê CVD don gian
Bình phan ung là ông có tiêt diên chu nhât. Thành ông duoc giu o nhiêt
dô Tw. Phiên silic duoc dát trên giá dõ o giua ông. Nhiêt dô giá là Ts. Thông
thuong Ts>>Tw. Ta xét môt quá trình don gian nhung cung rât dác trung là
phân ly khí silane (SiH4) dê tao màng silic da tinh thê. Gia thiêt dòng khí di
qua ông tu trái qua phai. Vì silane bát dâu phân ly khi dên giá giu phiên, nên
nông dô silane cung nhu tôc dô kêt tua së giam dân theo chiêu dài ông. Dê cai
thiên dô dông dêu cua màng kêt tua, nguoi ta thuong trôn khí silane voi môt
khí mang là khí tro. Môt chât khí hòa tan cho silane thuong dùng là hydro
phân tu (H
2
). Gia thiêt su dung hôn hop 1% SiH
4
trong H
2
, gia thiêt nhiêt dô
cua hôn hop khí khi vào ông cung là Tw. San phâm cua phan ung silane
không tham gia phan ung duoc dua ra khoi ông qua lôi thoát khí thai. Dòng
khí trong buông phan ung du thâp dê có thê coi áp suât trong buông dông
nhât. Phan ung xay ra nhu sau:
SiH
4
(K) ----->Si(R) + 2H
2
(K)
3.9.3. Chê tço màng diçn môi bàng CVD áp suât khí quyên
Môt sô hê CVD dâu tiên là hê CVD áp suât khí quyên (APCVD :
Atmospheric pessure CVD) vì chúng có tôc dô phan ung lon và thiêt bi don
gian, dác biêt don gian dê chê tao vât liêu diên môi. Màng silic kêt tua tu
siliane nhu dã xét o phân trên, thuc chât là nhân duoc áp suât khí quyên, có dô
98
dông dêu không tôt. Dê có dô dông dêu cao thì tôt nhât là su dung áp suât
thâp. Phuong pháp AOCVD chu yêu thích hop cho viêc nhân lop diên môi
dây, voi tôc dô kêt tua > 1000 A
o
/min. Có thê su dung bình phan ung loai
dung, hoác lò ông nám ngang nhu trong truong hop oxy hoá nhiêt, chi khác o
chô là su dung nhiêu khí khác nhau o dâu vào. Ngoài ra còn có câu hình lò
liên tuc, trong dó các phiên duoc dua vào và dua ra theo tung cassett, trên
báng chuyên nóng. Nhiêt dô phiên trong khoang 250 – 450
0
C. Khi ti sô giua
O
2
và SiH
4
ít nhât dat 3:1, ta nhân duoc SiO
2
theo phan ung:
SiH
4
(K) + O
2
(K) -> SiO
2
(R) + 2H
2
(K)
Vì các lý do khác nhau, nguoi ta thuong chê tao màng SiO
2
có chua tu
4 dên 12% phôt pho.Vât liêu thuy tinh phôt pho silicat (PSG) này hoá mêm và
chay o nhiêt dô không cao lám, làm cho bê mát phiên pháng hon, dông thoi có
tác dung hút, làm thu dông hoá nhiêu tap chât. Có thê nhân màng (PSG) báng
phuong pháp (APCVD) nêu thêm vào dòng khí PH3. Cùng voi phan ung trên
ta có:
4PH
3
(K) + 5O
2
(K) -> 2P
2
O
5
(R) + 6H
2
(K)
Nông dô phôt pho trong có thê diêu khiên báng cách thay dôi ti sô
PH3/SiH4. Nhiêt dô kêt tua cua phan ung SiH4 voi O2 làm cho phuong pháp
này rât thích hop khi cân phu màng oxide lên trên lop màng nhôm.
3.9.4. Chê tço màng diçn môi và bán dân bàng CVD áp suât thâp
Hê LPCVD có nhiêu câu hình khác nhau, môt trong nhung câu hình
thông dung miêu ta trên hình 3.44.
Có thê chia các hê LPCVD thành hai loai, loai có vách nóng và loai có
vách nguôi. Các hê vách nóng có uu diêm là nhiêt dô phân bô dông dêu và
hiêu ung dôi luu nho. Hê vách nguôi cho phép giam kêt tua trên vách. Khi xay
ra kêt tua trên vách ông, môt mát các khí bi nghèo, mát khác hình thành các
hat, các hat có thê bong khoi vách và roi xuông mát phiên. Kêt tua trên vách
ông còn có hiêu ung nho: vât liêu kêt tua trên vách truoc dó có thê kêt tua lai
trên phiên. Vì vây, hê LPCVD vách nóng cân duoc su dung cho môt loai vât
liêu nhât dinh.
99
Hê CVD trên hình 3.44 duoc su dung dê tao màng silic da tinh thê,
SiO2 và SiN
4
. Hê bao gôm ông thach anh duoc dôt nóng báng lò diên tro 3
vùng, khí duoc dua vào môt dâu ông và hút ra tu dâu ông kia. Áp suât trong
phan ung thuong tu 0,25 dên 2,0 torr; nhiêt dô trong khoang 300 dên 900 oC;
dòng khí trong khoang tu 100 dên 1000 sccm (cm
3
chuân trên phút). Phiên
duoc giu tháng dung, vuông góc voi dòng khí, trên giá thach anh. Môi me có
thê xu lý tu 50 dên 200 phiên voi dô dông dêu chiêu dày màng ± 5%. Sau khi
cho phiên vào lò, nguoi ta dóng náp có doáng kín. Nguoi ta tiên hành thôi
sach ông báng khí tro nhu N
2
rôi bom hút dên chân không trung bình. Khi
nhiêt dô lò dat nhiêt dô kêt tua, nguoi ta cho khí phan ung vào lò. Quá trình
tao màng duoc tiên hành trong khoang thoi gian xác dinh truoc, sau dó lò lai
duoc thôi sach báng khí N2, áp suât táng dên áp suât khí quyên, lúc dó có thê
lây phiên ra.
Hinh 3.44. So dô hê CVD vách nóng, áp suât thâp
3.9.6. Chê tço màng kim loçi bàng CVD
Môt trong nhung vân dê nghiêm trong nhât liên quan dên nhiêt dô phu
bâc thang là khi tao màng kim loai làm tiêp xúc. Dác biêt voi linh kiên kích
thuoc nho hon nhiêu micromet, ti sô chiêu cao chiêu rông táng, viêc phu bâc
báng kêt tua phún xa tro nên rât khó. Nguoi ta dã su dung CVD kim loai dê
100
khác phuc tình trang này. Kim loai duoc nghiên cuu nhiêu voi kêt qua tôt là
vonfram(W). Trong phân lon truong hop màng W duoc nhân báng CVD vách
nguôi. Nguôn W bao gôm WCl
6
, W(CO)
6
, và WF
6
, trong dó chi có WF
6

chât long o nhiêt dô phòng, sôi o 25
0
C. Hai chât kia là chât rán voi áp suât hoi
lon. Các hê CVD dê chê tao màng W chu yêu dùng WF
6
voi H
2
là khí mang.
Nhiêt dô kêt tua thuong nho hon 400
0
C. Tuy tôc dô kêt tua tuong dôi thâp,
màng W có dô phu bâc rât tôt nêu ta su dung WF
6
và H
2
. Phan ung tông cua
quá trình:
WF
6
+ H
2
<-> W + 6HF
Ngoài W, nguoi ta cung tao màng chán TiN và màng dân Cu. Có thê
nhân màng TiN báng phan ung giua NH3 và TiCl4:
6 TiCl
4
+ 8 NH
3
-> 6 TiN + 24 HCl + N
2
101
Chuong 4: MÇT SÓ HÇ VI MACH CO BAN
4.1. Phân loçi vi mçch
4.1.1. Theo chúc nàng
- Vi mach sô.
- Vi mach tuong tu.
4.1.2. Theo công nghç chê tço
- Vi mach bán dân.
- Vi mach màng.
- Vi mach lai.
4.1.3. Theo linh kiçn co ban
- Vi mach luõng cuc.
- Vi mach CMOS.
- Vi mach BiCMOS.
4.1.4. Theo múc dç tô hçp
- Muc dô tô hop thâp (SSI) < 30 linh kiên/chip.
- Muc dô tô hop trung bình (MSI) 30 – 10
3
linh kiên/chip.
- Muc dô tô hop lon (LSI) 10
3
– 10
5
linh kiên/chip.
- Muc dô tô hop rât lon (VLSI) 10
5
– 10
7
linh kiên/chip.
4.2. Các hç vi mçch sô
4.2.1. Tông quan
Xét vê co ban có hai loai thiêt bi bán dân là luõng cuc và don cuc. Dua
trên các thiêt bi này, các mach tích hop duoc hình thành.
Các mçch Logic luõng cµc
Các yêu tô chính cua IC luõng cuc là diên tro, diode và BJT. Các ho
logic luõng cuc nhu: Mach logic RTL, mach logic TTL, mach logic ECL...
Các mçch Logic don cµc
102
Các thiêt bi MOS là các thiêt bi don cuc và chi có các MOSFET duoc
vân hành trong các mach logic MOS. Các mach logic MOS nhu: PMOS,
NMOS,CMOS.
4.2.2. Các d}c trung cua các vi mçch sô
- Tôc dô hoat dông: Lê thuôc vào thoi gian trê truyên dat
Hình 4.1. Trê truyên dat
- Tôn hao công suât (mW): Xác dinh boi tích sô nguôn cung câp Vcc và dòng
Icc.
- Chi sô giá tri: Xác dinh boi tích sô tôc dô và công suât.
Chi sô giá tri (pJ) = thoi gian trê truyên dat x công suât (mW).
Chi sô giá tri càng nho càng tôt.
- Hê sô tai: Là sô công có thê vân hành boi môt công, hê sô tai càng cao càng
thuân loi.
- Các tham sô dòng áp:
+ Diên áp dâu vào o muc cao V
IH
: Diên áp tôi thiêu mà công có thê
nhân biêt muc 1.
+ Diên áp dâu vào o muc thâp V
IL
: Diên áp tôi da mà công có thê nhân
biêt muc 0.
+ Diên áp dâu ra o muc cao V
OH
: Diên áp tôi thiêu tai dâu ra tuong ung
voi muc 1.
+ Diên áp dâu ra o muc thâp V
OL
: Diên áp tôi da tai dâu ra tuong ung
muc 0.
+ Cuong dô dòng diên dâu vào muc cao I
IH
: Dòng tôi thiêu duoc cung
câp tuong ung voi muc 1.
103
+ Cuong dô dòng diên dâu vào muc thâp I
IL
: Dòng tôi da duoc cung câp
tuong ung voi muc 0.
- Nhiêu:
Hình 4.2. Nhiêu
- Miên nhiêt dô hoat dông: Tu 0-70
0
C cho các ung dung tiêu dùng và công
nghiêp; tu 55-125
0
C cho các muc dích quân su.
4.2.3. Hç RTL (Resistor-Transistor Logic)
Bao gôm các diên tro và transistor, dây là ho logic duoc tích hop som
nhât.
Ví du: Môt công NOR RTL:
Hình 4.3. Công NOR RTL
104
Các mach RTL có dác tính chung là cân dòng I
B
cho các BJT nên còn
duoc goi là mach thu dòng (current sinking), vì vây khi kêt nôi voi các mach
khác cân phai luu ý dê thoa mãn diêu kiên này, nêu không mach së không làm
viêc.
4.2.4. Hç DTL (Diode-Transistor Logic)
Bao gôm Diode o ngõ vào và transistor o ngõ ra.
Ví du: Công NAND DTL
Hình 4.4. Công NAND DTL
4.2.5. Hç TTL (Transistor-Transistor Logic)
Loai TTL som duoc thay thê boi mach TTL tuc Transistor o ngõ vào và
Transistor o ngõ ra.
Ví du: Công NAND TTL.
105
Hình 4.5. Công NAND TTL
Loat IC TTL chuân dâu tiên goi là seri 54/74, tùy theo hãng chê tao së
có thêm các tiên tô. VD: Texas Instruments có tiên tô SN, National
Semiconductor dùng DM, Signetic là S.
Seri 74 vân hành trong khoang diên thê 4.75V dên 5.25V và nhiêt dô
0
0
C dên 70
0
C.
Seri 54 châp nhân diên thê nguôn trong khoang 4.5V dên 5.5V và nhiêt
dô -55
0
C dên 125
0
C.
Muc diên thê cua Seri 74:
- Công suât tiêu hao trung bình môt công khoang 10mW.
- Thoi gian trê truyên trung bình 9ns.
- Dâu ra TTL chuân có thê kích thích 10 dâu vào TTL chuân.
106
4.2.6. Hç CMOS
Công nghê CMOS tung ra các san phâm có dác diêm hiêu suât ngày
càng tôt hon, cung câp không chi tât ca chuc náng logic có o TTL, mà còn
nhiêu chuc náng dác biêt không có o TTL.
Luu ý: Không bao gio duoc phép tha nôi các dâu vào CMOS không dùng dên,
tât ca dâu vào CMOS phai duoc nôi hoác voi muc diên thê cô dinh (0 hoác
V
DD
) hoác voi dâu vào khác. Lý do dâu vào CMOS tha nôi rât nhay voi tap âm
nhiêu và tinh diên vôn có thê dê dàng phân cuc MOSFET o trang thái dân
diên.
4.2.7. Mçt sô công
Tât ca các công trong bang duoi dây dêu thuôc loai tích hop SSI.
107
108
TÀI LIJU THAM KHAO
1. Công nghê chê tao mach vi diên tu, PGS.TS. Nguyên Duc Chiên, TS.
Nguyên Ván Hiêu, NXB Bách Khoa Hà Nôi.
2. Bài giang kv thuat vi diên tu, TS. Nguyên Ngoc Trung, DHBK Hà Nôi,
2003.

You're Reading a Free Preview

Tải về
scribd
/*********** DO NOT ALTER ANYTHING BELOW THIS LINE ! ************/ var s_code=s.t();if(s_code)document.write(s_code)//-->