You are on page 1of 7

X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS)

BÁO CÁO SEMINAR


MÔN: QUANG PHỔ ỨNG DỤNG

Học viên: Tô Lâm Viễn Khoa


Khóa 19

X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY (XPS)

XPS là kĩ thuật phân tích tính chất trên bề mặt vật liệu thông qua phổ. Nó
thường được dùng để xác định thành phần cơ bản, trạng thái hóa học, trang thái
điện tử của các nguyên tố trên bề mặt của vật liệu.

Hình 1. Máy XPS

1. CƠ SỞ LÝ THUYẾT:
Dựa trên hiệu ứng quang điện:
• Khi chiếu một bức xạ tia X vào nguyên tử sẽ làm các điện tử ở các lớp bên
ngoài bị kích thích. Nếu số lượng nguyên tử nhiều thì các điện tử bên trong sẽ bị
kích thích trước. Nếu năng lượng kích thích đủ thì sẽ đưa các điện tử này thoát ra
ngoài và mang theo một động năng KE. Động năng này được tính bằng công
thức:

hν = KE + BE
X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS)

• Trong đó: hv là năng lượng bức xạ tia X chiếu vào


KE là động năng của điện tử thoát ra
BE là năng lượng liên kết, bao gồm cả công thoát của điện tử đó.
• Tuy nhiên, mỗi một mức năng lượng có tiết diện tán xạ (xác suất thoát ra)
khác nhau. Thông thường, các mức năng lượng ở bên trong có tiết diện tán xạ
lớn hơn nên số điện tử ở lớp này thoát ra là nhiều nhất.
• Mỗi điện tử ở một mức năng lượng khi thoát ra sẽ có một KE khác nhau. Nếu
ghi nhận được KE của các điện thoát ra, ta sẽ biết được các điện tử đó đến từ lớp
nào, của nguyên tố nào...

Hình 2. Cơ sở lý thuyết của XPS

2. CẤU TẠO:
Cấu tạo chính của XPS gồm các thành phần:
• Máy phóng tia X
• Mẫu
• Đầu nhận điện tử
• Ống dẫn điện tử
• Detector và máy tính
X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS)

Hình 3. Cấu tạo máy XPS

a.Máy phóng tia X


Tác dụng: phát ra tia X mang năng lượng cao đến đập vào mẫu.
Cấu tạo:
• Gồm 2 bản catot và anot. Khi tia catot phóng tới anot sẽ làm bức xạ ra tia X.
• Có 2 loại: Kα Al mang năng lượng 1486 eV hoặc Kα Mg mang năng lược
1256 eV.
b.Đầu nhận điện tử:
Tác dụng: đưa các electron thoát ra vào ống dẫn và giảm tốc của các electron
này.
Cấu tạo:
• Hình tròn, là một kính lọc điện tử (cho điện tử đi qua).
• Đầu nhận điện tử cũng giúp xác định vùng bề mặt mẫu đang được khảo sát.
c.Ống dẫn điện tử:
Tác dụng: dẫn điện tử đi đến detector.
Cấu tạo:
• Là 2 nửa bán cầu đồng tâm được ghép với nhau. Mỗi bản được tích điện trái
dấu tạo thành một điện trường đều cong.
• Khi các điện tử di chuyển trong ống, điện trường này sẽ biến đổi để dẫn các
điện tử đi theo ống. Một thiết bị nối với máy tính sẽ ghi nhận sự biến đổi này.
X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS)

Hình 4. Ống dẫn điện tử

d.Detector:
Tác dụng: ghi nhận năng lượng của các electron đập vào dưới dạng xung và
truyền dữ liệu đến máy tính để đưa ra phổ.

3. HOẠT ĐỘNG:
Chùm tia X khi đập vào mẫu sẽ đi sâu vào bên trong mẫu làm các điện tử ở
lớp trong thoát ra ngoài. Chỉ những nguyên tử ở các mức năng lượng có BE hơn
năng lượng tia X mới thoát ra được.
Điện tử thoát được ghi nhận ở kính lọc và sau đó được dẫn đến detector. Tại
đây, detector sẽ ghi nhận lại các xung năng lượng của điện tử, chuyển sang máy
tính xử lý để cho ra đồ thị (phổ) năng lượng theo KE. Sau đó ta sẽ chuyển sang BE
bằng công thức BE = hv - KE.
Trong quá trình này, sẽ có thể xảy ra những yếu tố gây nhiễu như:
• Các điện tử ở lớp trên nhảy xuống chiếm chỗ ở các lớp dưới và làm giảm
động năng của các điện tử thoát ra ngoài, làm xuất hiện một số đỉnh phổ ảo.
• Các điện tử khi thoát ra ngoài sẽ gặp cản trở của các điện tử lớp ngoài nên
sẽ bị lệch đi một góc khi thoát ra ngoài --> đầu tiếp nhận phải có dạng tròn và
mẫu phải đặt trên đế xoay được để có thu hết điện tử thoát ra.
• Tia X khi đập vào mẫu có thể làm mẫu bị nhiễm điện --> sử dụng súng Ar+
để trung hòa mẫu.
Thời gian phần tích mẫu: từ 1-10 phút nếu làm nhanh, 1-4 giờ nếu phân tích
kỹ ở các lớp sâu hơn.
X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS)

4. PHÂN TÍCH PHỔ:


• Phổ XPS có 2 trục: trục ngang là năng lượng BE, trục dọc là số lượng điện tử
mang năng lượng tương ứng.

Hình 5. Phổ của Pd


a.Phân tích nguyên tố:
• Chỉ cần so sánh năng lượng liên kết của electron lớp lõi với các giá trị có sẵn,
ta có thể xác định electron đó là của nguyên tố nào.
• - Từ vị trí các đỉnh, giá trị σ (xác suất electron thoát ra) và các điều kiện
khác của máy, người ta có thể xác định là có bao nhiên nguyên tử (electron)
trong mẫu.

Hình 6. Bảng năng lượng liên kết của một số chất.


b.Phân tích trạng thái hoá học:
Các nguyên tố khi liên kết trong những hợp chất hoá học khác nhau lại có
những mức năng lượng khác nhau. Các mức năng lượng này thường nằm lệch một
X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS)

chút so với mức chuẩn. Khi quan sát phổ, chỉ cần theo dõi sự dịch chuyển của các
đỉnh phổ so với chuẩn, sẽ biết được nguyên tố đang ở trong liên kết hóa học nào.

Hình 6. Đỉnh phổ của Al trong nhôm oxit lệch so với đỉnh phổ của nhôm kim loại.

5. ĐÁNH GIÁ:
a.Ứng dụng:
• Độ dày của 1 hay nhiều lớp mỏng của những vật liệu khác nhau.
• Tạp chất gì có trên bề mặt hoặc bên trong khối mẫu.
• Năng lượng kiên kết của trạng thái điện tử
• Trạng thái hóa học của nguyên tố trong mẫu
• Những nguyên tố nào và hàm lượng của những nguyên tố đó trong bề mặt
mẫu có kích thước ~10nm
b.Ưu điểm:
• Phân tích được nhiều vật liệu: các hợp chất vô cơ, hợp kim, chất bán dẫn,
polime, chất xúc tác, thủy tinh, ceramic, …. Bao gồm những vật liệu dẫn điện và
những vật liệu không dẫn điện
• Có khả năng phân tích trạng thái hóa học cao hơn, phân tích nguyên tố
chính xác hơn
X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS)

c.Hạn chế:
• XPS ghi nhận được tất cả các nguyên tố với Z từ 3 -> 103. Giới hạn này có
nghĩa là XPS không thực hiện được với H và He (vì chúng không có lớp lõi)
• Có thể gây ra phá hủy mẫu
• Tích điện cho chất cách điện
• Diện tích phân tích nhỏ nhất chỉ là 10nm
• Thời gian phân tích lâu

You might also like