Curso de Vaco

ndice

El vaco

Aplicaciones
Conceptos bsicos
Definiciones y frmulas
Componentes bsicos de un sistema de vaco

Definicin
Unidades de medida

Piezas de unin
Vlvulas
Filtros, etc

Bombas de vaco

Bombas de membrana
Bombas rotativas

Bombas de Pistn
Bombas Scroll
Bombas Roots
Bombas difusoras
Bombas Turbomolecular-Drag
Bombas de sublimacin de titanio
Bombas inicas
Bombas criognicas

Medidores de vaco

Medidores tipo Bourdon

Medidores capacitivos
Sensores tipo Pirani
Sensores de ctodo fro
Sensores de ctodo caliente

Deteccin de fugas

Mtodos de localizacin de fugas

Detectores de fugas de Helio
Detector de fugas HLT 260
Eleccin de un detector de fugas
Mtodos de deteccin. Casos prcticos

Espectrometra de masas Cuadrupolar

Ionizacin
Separacin
Deteccin
Tipo de espectros
Definicin de trminos

Procedimientos para verificar fugas

Volmenes pequeos sin detector de fugas de Helio

Volmenes grandes en sistemas de alto/ultra alto vaco
Espectrmetro de masas Cuadrupolar

Materiales y tratamientos de superficies

Materiales usados en cmaras de vaco

Ejercicios

Sistemas de evaporacin

El vaco

Definicin
Se define el vaco como un espacio o volumen en el que la
presin es menor que la presin atmosfrica.

Rangos de vaco
Rango de vaco

Presin (mbar)

Densidad de molculas/cm3

Vaco grueso

1013 - 1

1019 - 1016

Vaco medio

1 - 10-3

1016 - 1013

Alto vaco

10-3 - 10-7

1013 - 109

Ultra alto vaco

< 10-7

< 109

Unidades de medida del vaco

Pa-N/m2

bar

mbar

Torr
mm Hg

Micron
m.Torr

atm

Psi
lbf/inch2

Pa

1.10-5

1.10-2

7.5 10-3

7.5

9.87 106

1.45 10-4

bar

1 10-5

1 103

750

7.5 105

0.987

14.5

mbar

100

1 10-3

0.75

750

9.87 10-4 1.45 10-2

Torr

1.33 102

1.33 10-3

1.33

1000

1.32 10-3 1.93 10-2

Micron

0.133

1 10-3

1.32 10-6 1.93 10-5

Atm

1.01 105

1013

1013

760

7.6 105

14.7

Psi

6.89 103

6.89 10-2

68.9

51.71

5.17 104

6.8 10-2

1.33 10-6 1.33 10-3

Aplicaciones del Vaco

10

11

Procesos Industriales

Empaquetado de alimentos.
Evacuacin y secado de circuitos frigorficos.
Secado e impregnacin de transformadores.
Sistemas de soldadura por haz de electrones.
Hornos de fusin y tratamientos trmicos.
Crecimientos de capas finas (ptica, tratamientos duros, etc.)
Metalizacin de faros y espejos.
Industria de semiconductores.
Sistemas de deteccin de fugas de Helio.
Fabricantes de criostatos y tanques criognicos.
Sistemas de anlisis de gases por espectrometra de masas.

12

Investigacin

Crecimiento de capas en ptica y electrnica.

Sistemas de anlisis de superficie (XPS, SIMS, etc. )
Cmaras de simulacin espacial.
Reactores de fusin.
Grandes aceleradores de partculas.

13

Parmetros atmosfricos/altura
Altura
(Km)

PRESION
(mbar)

TEMPERATURA
(C)

DENSIDAD
(g/cm3)

N PARTICULAS
(N/ cm3)

1013

+15

1.2210-3

2.510+19

1.6

835

+5

1.2210-3

2.510+19

795

+2

1.2210-3

2.510+19

616

-11

1.2210-3

2.510+19

472

-24

1.2210-3

2.510+19

356

-37

1.2210-3

2.510+19

10

264

-50

4.110-4

8.610+18

12

193

-56.5

4.110-4

8.610+18

14

141

-56.5

4.110-4

8.610+18

18

103

-56.5

4.110-4

8.610+18

20

55

-56.5

8.910-5

1.8510+18

14

Parmetros atmosfricos/altura
Altura
(Km)

PRESION
(mbar)

TEMPERATURA
(C)

DENSIDAD
(g/cm3)

N PARTICULAS
(N/ cm3)

22

40

-54.5

8.910-5

1.8510+18

24

29

-52.5

8.910-5

1.8510+18

26

21

-50.5

8.910-5

1.8510+18

28

16

-48.5

8.910-5

1.8510+18

30

12

-46.5

1.810-5

3.710+18

31

10

-45.5

1.810-5

3.710+18

40

3.1

-13

410-6

8.310+16

50

0.9

-10

1.0810-6

2.310+16

60

0.3

-25

3.710-6

7.510+15

70

4.710-2

-95

9.410-8

1.9.610+15

80

6.710-3

-105

1.410-8

2.8410+14

Conceptos bsicos en
Tecnologa de Vaco

15

16

Presin: Es la fuerza ejercida por un gas sobre una superficie,

dividido por su rea.

Gas: Es un estado de la materia en el que la distancia media entre

molculas es mayor que su tamao y stas tienen libertad de
movimiento.
En tecnologa de vaco se designan gases permanentes a los que
no lican ni solidifican por incremento de presin a una
determinada temperatura de trabajo, mientras que el vapor puede
licuar o solidificar debido a un incremento de presin a una
temperatura superior a su temperatura crtica.

17

Curva Presin Vapor del agua

18

Recorrido libre medio (): Es la distancia que una molcula puede

recorrer entre dos colisiones sucesivas con otras molculas de gas.
Esta distancia puede variar en funcin de la presin, temperatura del
gas y el tamao de las molculas. La frmula que se aplica, para aire a
temperatura ambiente, es la siguiente:

0.665
=
( cm )
P( Pa )
Presin (mbar)
1013

Recorrido libre (cm)

6,6 x 10-6

1
1 x 10-3

6,6 x 10-3
6,6

1 x 10-6

6.600

19

Flujo viscoso turbulento: El recorrido libre de las molculas es

mucho menor que el dimetro (d), de la conduccin por la que se
mueven (<<d). Adems, las lneas de corriente de gas no son
paralelas, sino que aparecen remolinos. Este tipo de flujo se produce
cuando se comienza a evacuar una cmara de vaco.

20

Flujo viscoso laminar: Se diferencia del anterior, en que las lneas de

corriente son paralelas y el recorrido libre de las molculas es menor
que el dimetro de la seccin por la que se mueven ( < d). Este tipo
de flujo es el que se produce cuando se hace vaco grueso y medio.

21

Flujo molecular: Se produce cuando el recorrido libre medio de

cualquier molcula es mayor que el dimetro de la conduccin por
la que se mueve ( > d). Este flujo se genera cuando se alcanza
en el sistema condiciones de alto y ultra alto vaco.

22

Desorcin: Es la liberacin de molculas atrapadas en la

superficie de una cmara de vaco. La liberacin puede ser
espontnea (gasificacin) o acelerada a travs de algn proceso
fsico, como el calentamiento de las paredes (desgasificacin).
Permeacin: Se define como el transporte de un gas a travs de
las paredes de un slido o lquido de un determinado espesor.
ndice de compresin: Es el cociente entre la presin parcial de
un gas a la salida-expulsin de una determinada bomba de vaco
con respecto a su boca de entrada-succin, sin flujo de gas.
Este valor vara para cada gas, siendo mayor en molculas
pesadas.

23

Presin final alcanzable: Se define como la presin ms

baja que se puede conseguir con una bomba de vaco.
Este vaco final es el equilibrio que se establece entre el
flujo de gas arrastrado por la bomba y el reflujo producido
por fugas, desorciones, vapores de aceite, etc.
Velocidad de bombeo: Es el volumen de gas desplazado
en la unidad de tiempo, a una determinada presin en la
boca de succin de la bomba de vaco.
Conductancia : Volumen que deja fluir una conduccin
debido a la diferencia de presin entre sus extremos

Definiciones - Frmulas

24

25

Conductancia para rgimen laminar

4

r Pm 3
C = 7750
(m / h)
l
Siendo :

C:

Conductancia

r:

Radio canalizacin (cm)

Pm :

Presin media (mbar)

longitud canalizacin (cm)

Camara + brida
)
2

26

Conductancia para rgimen

molecular

r
3
C = 340 ( m / h )
l

27

Conductancias en paralelo
La conductancia total es la suma de las parciales

CT = C1 + C2 + C3 + C4

28

Conductancias en serie

CT =

1
1
1
1
1
+
+
+
C1 C2 C3 C4

29

Capacidad Bombeo efectiva (Seff)

Seff
Siendo :

CS
=
C+S

C:

Conductancia

S:

Capacidad de bombeo en la brida de la bomba

Seff :

Capacidad de bombeo en la entrada de la cmara

30

Tiempo de bombeo en cmara

sin fuga y sin degasificacin
V
P1
t=
Ln
Seff
P2
Siendo :

V:

Volumen de la cmara

P1 :

Presin inicial

P2 :

Presin final

Seff :

Capacidad de bombeo efectiva

31

Tiempo de bombeo en cmara

con fuga
S eff P1 Q
V

t=
Ln
S eff S eff P2 Q
Siendo :

V:

Volumen de la cmara

P1 :

Presin inicial

P2 :

Presin final

Seff :

Capacidad de bombeo efectiva

Q:

Valor de fuga

Bombas de Vaco

32

33

Rangos de trabajo
VACIO GRUESO

VACIO MEDIO

ALTO VACIO

ULTRA ALTO VACIO

DIAFRAGMA
ROTATORIA
PISTON

RANGO TRABAJO

ROOTS
TURBOMOLECULARES
TURBOMOLECULAR-DRAG
DIFUSORAS
EXPANSION POSIBLE

ADSORCION

RANGO TRABAJO

SUBLIMACION
IONICAS
CRIOGENICAS

103

10

10

-3

10

-7

10

-12

Bombas de membrana

34

35

Detalle de la bomba

Etapas de
bombeo

36

Principio Funcionamiento

Se basa en el cambio continuo de volumen de una pequea

cmara de bombeo como consecuencia de la expansin y
compresin que sufre su membrana. En la etapa de expansin
se produce la toma de gas y en la de compresin su expulsin.
Suelen tener tres-cuatro etapas de bombeo para llegar a un
vaco final de aprox. 2 mbar.

37

38

Mantenimiento requerido

Cambio membranas
Cambio vlvulas

Eje
excntrico

Membrana
Cmara de
expansin

Vlvulas

39

Ventajas / Desventajas
Desventajas

Ventajas

Bomba totalmente seca,

utilizada como previa de
turbo molecular-drag
Utilizada en procesos
qumicos, sustituyendo su
elastmero PTFE-

No alcanza un gran vaco

Pequea capacidad de
bombeo

40

Bombas rotativas

41

42

Tipos de bombas rotativas

Etapa simple, con un solo

cuerpo de bombeo y presin
total final < 5x10-2 mbar

PAC LINE

Doble etapa, con dos

cuerpos de bombeo y
presin total final < 5x10-3
mbar

DUO LINE

43

Principio Funcionamiento

44

Rotor

Estator

Paletas

45

Vlvula de salida
Estator
Punto de contacto

Paletas
Aceite

Rotor

46

Etapas del proceso de bombeo

Aislamiento

Aspiracin

Expulsin

Compresin

47

Bomba rotativa de 2 etapas

48

Aceite

Funciones de sellado y lubricacin

Baja presin de vapor a la temperatura de trabajo

No reactivo
Mantener la viscosidad
Buenas propiedades lubricantes

Tipos

Aceites minerales para bombeo de gases inertes

Aceites sintticos para procesos especiales ( corrosivos, alta
temperatura, etc)

49

Aceites sintticos

Utilizados generalmente en aplicaciones extremas en

las que los aceite minerales no son adecuados :

Polialfaolefinas (PAO) excelente estabilidad a la oxidacin

y trmica
Esteres tambin con excelentes propiedades de estabilidad
trmica y al craqueo se utilizan generalmente en
aplicaciones a altas temperaturas
Perfluorpolieteres Utilizados por su excelente resistencia
qumica ante agentes agresivos y corrosivos y su estabilidad
trmica excelente en aplicaciones con corrosivos ( 02, SF6,
F2, etc)

50

51

Gas ballast

El gas ballast (lastre de aire) sirve para evitar que

haya condensaciones en el cuerpo de la bomba, en
procesos en los que se tiene que bombear gran
cantidad de vapor de agua. A travs de la vlvula de
gas ballast se admite una cantidad controlada de
aire en la etapa de compresin de la bomba y de
esta forma se consigue que la nueva mezcla gasvapor alcance la presin de expulsin antes de
producirse la condensacin.

52

Filtros

Funciones

Funcin de proteccin de la bomba

Evitan la retrodifusin de vapores de aceite a
la cmara de vaco

Tipos

Separacin de partculas
Absorcin de vapores de aceite
Retencin de contaminantes

53

Mantenimiento requerido

Control del nivel de aceite

Cambio aceite antes de su

degradacin

54

Riesgo para la bomba; por

degradacin del aceite P3

55

Ventajas / Desventajas
Ventajas

Alto ndice de compresin

(106 )
Efectiva desde presin
atmosfrica
Bajo mantenimiento. Muy
robusta

Desventajas

Retrodifusin de vapores de
aceite al sistema
Arrastre de aceite en
expulsin. Contamina
Proteccin en determinados
procesos

56

Bombas rotativas de Pistn

57

58

Principio de funcionamiento

59

Ventajas / Desventajas
Ventajas

Exenta de aceite
Exenta de partculas
Ideal como bomba primaria
de Bombas turbo
moleculares o Grupos Roots
Poco mantenimiento

Desventajas

Ruidosa

60

Bombas Scroll

61

62

Principio funcionamiento

Bombas Roots

63

64

Principio Funcionamiento
3
1

2/3
2

65

Etapas de bombeo
p1

p2

66

Ventajas / Desventajas
Ventajas

Alta capacidad de bombeo

Exenta de aceite
Coste funcionamiento bajo

Desventajas

Necesita bomba de apoyo

Tolerancias crticas
Ruidosa

67

Bombas difusoras

68

69

70

71

Principio funcionamiento

Una vez conseguido una P<0,1 mbar con la bomba primaria, se

conecta la resistencia calefactora y el fluido se calienta y llega
hasta la ebullicin producindose un aumento de presin
(aprox. 3 mbar) en el interior de la chimenea. En este momento,
el chorro de vapor generado es expulsado desde el interior a
travs de las toberas con gran velocidad. Este chorro llega a las
paredes refrigeradas de la bomba y condensa, volviendo el
fluido a la base de la chimenea donde se calienta de nuevo. El
chorro de vapor atrapa las molculas y las arrastra, en etapas
sucesivas, hasta su expulsin en la boca de conexin de la
bomba primaria.
Si aumenta la presin en el vaco primario (P> 0,1-0,5 mbar),
las molculas de gas atrapadas se retrodifunden a travs del
chorro de vapor y la bomba difusora deja de ser efectiva.

72

Para evitar la retrodifusin de vapores de aceite al sistema, se

suele colocar una cabeza fra alrededor de la tobera superior.
Se consigue as retener gran cantidad de vapores (hasta el
90%) pero se pierde eficiencia de bombeo.

73

Aceites utilizados

Caractersticas
Muy baja presin de vapor
No reactivos con los componentes del proceso
Buena estabilidad a la oxidacin
Caractersticas tcnicas

Aceite
mineral

Aceite
sinttico

Aceite
Silicona

Pentafenil ter

Presin de vapor (20 C)

5 x 10-7

2 x 10-8

2 x 10-8

1 x 10-10

Resistencia qumica

Buena

Buena

Mejor

Muy buena

Viscosidad (20 C)

171

25

39

1000

Resistencia a oxidacin

Buena

Buena

Mejor

Muy buena

Vaco final con trampa de

LN2
Vaco final con trampa de
agua a 20 C

< 6 x 10-8

< 6 x 10-9

< 6 x 10-9

< 6 x 10-9

< 4 x 10-6

< 4 x 10-7

< 6 x 10-8

< 3 x 10-8

74

Contaminacin por aceite

75

Ventajas / Desventajas
Ventajas

Altas velocidades de
bombeo
Sistema robusto
Desplaza altas cargas de
gas

Desventajas

Contaminacin de cmara
Dificultad de manejo
Gran
capacidad
de
accesorios

Bombas Turbomoleculares

76

77

Brida

Rotor
Estator

Etapa molecular
rtor

Conexin vaco
previo
Etapa molecular
esttor

Motor

Rodamientos
cermicos
Mecha
lubricacin

78
Partculas

Alabe en movimiento
con velocidad v

79

Principio funcionamiento
Se basan en la direccin y velocidad que adquieren
las molculas de gas al chocar con una superficie
mvil a gran velocidad

Integracin de dos bombas en una ( turbomolecular y

drag)
Compuesta por unos labes en movimiento ( rotor ) y
otros en estado estacionario ( estator ), con las aspas
orientadas de forma inversa
Cada canal rotor - estator supone una etapa de
bombeo

80

Las etapas mayores tienen como funcin succionar el

mayor nmero de molculas posibles
Las etapas menores tienen la misin de comprimir las
molculas hasta su descarga ( Presin mxima
descarga 0.1 mbar )
Para descargar a presiones ms altas , en el rango de
10 mbar, se ha acoplado una bomba molecular, con
varias etapas de bombeo Holweck

La gran ventaja de estas bombas es que permiten

usar como bomba primaria las de membrana (
vaco limpio) logrndose eficiencia similares a las
de bombas rotativas

81

Mantenimiento requerido

Cambio
de
rodamientos cada
aos

Cambiar la mecha de
lubricacin cada ao

los
dos

82

Gases residuales en cmaras de

vaco

Bomba Turbomolecular

Bomba Turbomolecular + Placa fra

Bomba Turbomolecular + Placa fra

+ Bomba sublimacin Titanio

83

Ventajas / Desventajas
Desventajas

Ventajas

Vaco limpio, sin aceite

Fcil manejo, sin vlvulas
Mxima eficiencia de
bombeo en tiempo corto

No admite golpes
Sensible a flujos grandes de
entrada de gas

Bombas sublimacin de titanio

84

85

86

Principio funcionamiento
Se basan en las propiedades de efecto getter que
tiene el titanio cuando sublima

Un filamento de Ti-Mo se calienta hasta que el Ti

evapora y se dirige a paredes laterales formando una
capa
Las partculas de gas al incidir sobre la capa getter
quedan quimisorbidas formando compuestos estables
de Ti, con presiones de vapor muy bajas

Las bombas de sublimacin de Ti se usan como

complemento de las inicas o turbomoleculares

Bombas Inicas

87

88

89

Principio funcionamiento
Bombas tipo diodo

Compuesta de 2 ctodos y un nodo con varios cilindros en

posicin intermedia
Imn permanente rodeando el cuerpo de la bomba
Cuando se produce la descarga, los electrones se dirigen
hacia el nodo y tienen un movimiento helicoidal alrededor
de las lneas del campo magntico
Los electrones ionizan molculas de gas que aparecen en
su larga trayectoria.
Los iones positivos producidos bombardean los ctodos y
arrancan las molculas de Ti que posteriormente forman las
pelculas getter sobre las superficies del nodo.

Estas bombas tienen muy poca capacidad de bombeo

para gases nobles

90

Bombas tipo Trodo

Se aaden dos electrodos exteriores auxiliares para

bombear mejor los gases nobles.
El rango de trabajo de estas bombas es 10-2 - 10-11 mbar
aunque se consigue su mxima velocidad de bombeo
entre 10-6 y 10-8 mbar
La vida media de los ctodos variar dependiendo de la
presin de trabajo. Por ejemplo, a 10-5 la vida media ser
de 2.000-5000 horas y a 10-7 mbar puede alcanzar las
200.000 horas.

91

Ventajas / Desventajas
Desventajas

Ventajas

Sin ruidos ni vibraciones

Vaco lmite de 10-11 mbar
Vaco muy limpio, sin apoyo
de bomba previa

Capacidad de bombeo varia

con la presin y tipo de gas
Puesta en funcionamiento a
vacos muy bajos
Muy pesada, contiene
imanes

Bombas criognicas

92

93

94

Principio de funcionamiento
El nitrgeno o helio lquido al expansionarse generan una
superficie fra en la que condensan los gases y vapores del
sistema

La bomba esta compuesta por una cabeza fra de dos etapas y

un compresor que hace circular el helio en un circuito cerrado.
Para evitar sobrecargas por radiacin, estas bombas van
equipadas con una pantalla y un deflector que en algunos casos
se refrigera con LN2
La superficie fra est recubierta interiormente de una capa de
carbn activo.

95

En la zona del deflector, que es opaco para

reflejar la radiacin, se alcanza una
temperatura de aprox. 80 K y se produce la
condensacin del vapor de agua. En la
superficie de la cabeza fra se alcanzan
entre 10-20K y a esta temperatura se
consigue la condensacin de O2, Ar, N2 y
otros gases (ver tabla).
En la capa de carbn activo se absorben el
hidrgeno, el nen y el helio.

96

Ventajas / Desventajas
Desventajas

Ventajas

Alta capacidad de bombeo

para H2O
Desplaza gran flujo de gas
Vaco limpio

Largo tiempo en conseguir

los 20K
Necesita regeneracin
Genera vibraciones en
sistema
Mantenimiento costoso

Medidores de vaco

97

98

Medicin de vaco
Atm

100

10

10-1

10-3

10-5

10-7

10-9

10-11

Bourdon
Capacitivo de membrana
Pirani
Ionizacin de ctodo fro (Penning)
Ionizacin de ctodo caliente/ Bayard-Alpert
Espectrmetro de masas cuadrupolo

Medidor tipo Bourdon

99

100

El rango de medida es entre 1000 10 mbar con una

tolerancia de +/- 10 mbar

101

Principio funcionamiento

Se compone de un tubo en forma de arco,

cerrado por un extremo mientras que el otro
se conecta al sistema de vaco donde se va
a medir la presin. Al hacer vaco al tubo
este se arquear con mayor o menor
amplitud en funcin del vaco conseguido y
por medio de un juego de engranajes se
mover una flecha que se desplaza sobre
una escala calibrada

Medidor Capacitivo

102

103

Dependiendo del espesor de la membrana se medirn diferentes

intervalos de presin, que oscilar entre 1000 10-4 mbar

104

Principio funcionamiento

Est compuesto por un volumen dividido en dos

cavidades independientes separadas por una
membrana metlica. Una de las cavidades se
conecta al sistema de vaco, mientras que la otra, con
una presin determinada, contiene un electrodo que
est muy cerca de la membrana. Al hacer vaco se
deformar la membrana, variando la medida de la
capacidad elctrica del electrodo. La seal obtenida
se procesar y amplificar para obtener una salida de
tensin continua que da la medida de la presin
Las membranas pueden ser de material cermico,
inconel o acero inoxidable

Sensores tipo Pirani

105

106

Entre ciertos rangos de presin, los gases conducen

trmicamente. Los sensores Pirani utilizan este fenmeno
fsico para medida de la presin

El rango de medida de estos sensores es de 1000-5x10-4 mbar.

La mayor precisin se obtiene entre 100 10-2 mbar

107

Tipos de sensores Pirani

Sensores de resistencia
variable

El filamento forma parte de

un puente de Wheatstone y
es alimentado con una
intensidad constante. Al
variar la presin, vara la
temperatura del filamento y
por tanto su resistencia,
midindose la variacin del
conjunto
con
un
galvanmetro

Sensores de resistencia
constante

el filamento se alimenta con

una intensidad variable para
mantener
constante
la
temperatura del sensor a
diferentes
rangos
de
presin.

108

Verificacin sensor Pirani

Empleo de un sensor patrn de referencia

Se conectan el sensor patrn y el Pirani a comprobar en una
cmara de vaco que alcance una P<10-4 mbar
Se ajusta el potencimetro Atm en el medidor del sensor
Pirani a comprobar, hasta que el medidor muestre 1000 mbar
Se hace vaco en la cmara hasta P<110-3 mbar. Vaco medido
con el sensor patrn
Si el sensor Pirani a comprobar est contaminado indicar
P>110-3 mbar
Se intenta ajustar con el potencimetro Vac, para comprobar
si la ganancia permite alcanzar P<10-3 mbar
Si nos e consigue P<10-3 mbar, el sensor est contaminado y
hay que limpiarlo o sustituirlo

109

Procedimiento de limpieza del

sensor Pirani

Retirar y limpiar el filtro

Limpiar la cmara de medida con un disolvente (p.e.benceno),
manteniendo el disolvente un tiempo para que sea ms efectivo
Eliminar el disolvente
Aadir alcohol isoproplico para eliminar los restos de
disolvente. Repetir la operacin varias veces
Secar a 70 C
Aadir filtro
Verificar nuevamente la medida. Si no se alcanza el vaco final
hay que sustituir el sensor

Sensores de ctodo fro

110

111

Son sensores muy robustos y su rango de medida es desde 10-2 a 10-9 mbar

112

Principio de funcionamiento

Se aplica un voltaje en el ctodo que genera una

descarga ( con Presin en la cmara < 10-2 mbar)
Los electrones producidos se dirigen al nodo siguiendo
trayectorias curvas, debido al campo magntico aplicado
paralelo al eje del nodo
Los electrones ionizan molculas de gas en su
trayectoria, generando a su vez nuevos electrones e
iones, mantenindose la descarga hasta presiones muy
bajas (10-9 mbar)
La medida de la seal de los iones producidos nos indica
el vaco de la cmara
En caso de contaminacin del electrodo y sus paredes se
regenera fcilmente con una simple limpieza

113

114

Verificacin sensor Penning

Se emplea un sensor patrn de referencia

Se conectan sensor patrn y sensor Penning a comprobar en
una cmara de vaco que alcance una P<10-6 mbar
Se verifican los valores de medida de ambos sensores
Si el sensor Penning esta contaminado mostrar un valor de
medida menor que el sensor patrn

115

Procedimiento de limpieza del

sensor Penning

Seguir manual de instrucciones para retirar las partes que nos

permita acceder a la cmara de medida
Limpiar cmara de medida y electrodo con unas lija de
granulometra fina
Aclarar con los restos de suciedad con alcohol isoproplico y
secar a 40 C
Reemplazar el igniter ( iniciador de la descarga )
Montar nuevamente todas las partes y verificar la medida del
sensor
Si el sensor est muy contaminado, hay que sustituirlo

Sensores de ctodo caliente

Sensores Bayard-Alpert

116

117

El rango de medida de estos manmetros es de 10-3 10-8 mbar

118

Principio de funcionamiento

El ctodo caliente emite electrones que son acelerados

por un campo elctrico, ionizando en su trayectoria
molculas de gas
Los iones positivos se recogen en el nodo, -colector
de iones
La relacin entre la corriente de iones producidos y la
corriente elctrica emitida por el filamento da una
lectura de presin

P=

I S

Siendo S la sensibilidad del manmetro para cada gas

119

Limites de deteccin

El lmite de deteccin del detector disminuye, debido al

ruido de seal generados por los Rayos X
El sensor Bayard-Alpert se desarrollo para extender el
lmite de medida de los sensores de ionizacin a
presiones ms bajas
El diseo de la fuente de ionizacin ha variado para
disminuir la posibilidad de generacin de Rayos X, con
una rejilla intermedia entre el filamento y el colector de
iones Se reduce a 10 3 la cantidad producida
llegndose a medir presiones de 10-11 mbar

Deteccin de fugas
Detectores de Helio

120

121

Definicin
Se define fuga como un diminuto orificio en un
recipiente o conducto, a travs del cual los gases,
vapores o incluso lquidos fluyen desde una zona
donde la presin es mayor hacia otra en donde la
presin es menor

P V
Q=
T

Q: ndice de fuga
P: Variacin de presin
V: Volumen
T: Tiempo

122

Unidades de medida de fuga

3

Pa m3 /s W

mbar/ls

Torr l/s

Atm cm /s

cm.

Mol/s

Pa m3 /s W

10

7.5

9.87

592

4.41 10-4

mbar/ls

0.1

0.75

0.987

59.2

4.41 10-5

Torr l/s

0.133

1.33

1.32

78.9

5.85 10-5

Atm cm3/s

0.101

1.01

0.76

59.8

4.45 10-5

cm.

1.69 10-3

1.69 10-2

1.27 10-2

1.67 10-2

7.45 10-7

Mol/s

2.27 103

2.27 104

1.7 104

2.24 104

1.34 106

Mtodos de localizacin de
fugas

123

124

Recipientes con sobrepresin

Prdida de presin

Test de burbujas

Mtodo sniffer con QualyTest

10

10-1

10-2

10-4

mbar l/s

10-6

TM

10-8

10-10

10-12

125

Sistemas de vaco

Aumento de presin

Dependencia del gas. Pirani

Test de fuga de He con QualyTest

10

10-1

10-2

10-4

mbar l/s

10-6

10-8

TM

10-10

10-12

Detectores de fugas de Helio

126

127

Principio de medida

Basado en la Espectrometra de Masas

Las molculas de He sufren los siguientes procesos

Ionizacin por bombardeo electrnico

He + 1e-

He+ + 2e-

Separacin, en el filtro de masas

Deteccin de los iones en un detector Faraday

Espectrmetro de masas
3

1 Ctodo 1
2 nodo
3 Ctodo 2
4 Barrera
5 Extractor
6 Barrera
7 Campo Magntico
8 Supressor
9 Barrera
10 Copa Faraday
11 Pre amplificador

11

10

M < 4

7
M = 4

M > 4

129

Ventajas del uso del He

Abunda en pequea concentracin en la

atmsfera (< 5ppm)
Por su pequeo volumen, puede atravesar
orificios diminutos
Es un gas noble INERTE
No presenta interferencias en el espectro
con otras molculas presentes en la
atmsfera

Detector de fugas HLT 260

130

1
1
2
3
4
5
6
7
8

Brida de conexin
Presin en la entrada
Fuga calibrada
Conexin para sniffer o
para aireacin
Bomba previa
Presin en el previo
Bomba turbo especial
Espectrmetro de masas

P2

V5

V4

3
7

V3

V1

V6

V2

P1

Vaco primario
Objeto a
testear
P2 > 15 mbar

P2

V4

V5

V3

V6

V1

P1

V2

Medida Counter flow

Objeto a testear
P2 < 15 mbar
P2 > 5 mbar
P2

V4

V5

V3

V6

V1

P1

V2

Medida "Twin-Flow low"

Objeto a
testear
P2 < 5 mbar
P2 > 0.5 mbar
P2

V4

V5

V3

V6

V1

P1

V2

Medida "Twin-Flow high"

Objeto a
testear
P2 < 0,5 mbar

P2

V4

V5

V3

V6

V1

P1

V2

Sniffer Twin-Flow low

P2

V4

V5

V3

V6

V1

P1

V2

Calibracin

P2

V4

V5

V3

V6

V1

P1

V2

138

Eleccin de un detector de fugas

de Helio
Caractersticas
Lmite de deteccin

Aplicacin
En sistemas de ultra alto vaco
Cliente :CERN

Respuesta rpida

Testeo de componentes en
sobrepresin de Helio
Cliente :Industria de refrigeracin

Posibilidades de testeo a latas

presiones ( 10 mbar)

Grandes volmenes evacuados en

bombas primarias
Cliente :Tanques criognicos

Alta velocidad de bombeo para Helio.

Rpida recuperacin del detector en
casos de saturacin con Helio del
sistema. Mnimo tiempo de espera

Criostatos
Cliente :CERN

Mtodos con sniffer

VACUUM

VACUUM

Test gas

Integral

Test gas

Local

VACUUM

VACUUM

Mtodos de deteccin integral

Objeto a testear presurizado
Cmara de chequeo en vaco

Objeto a testear en vaco

Cmara de chequeo presurizada

VACUUM

Test gas

Test gas

VACUUM

VACUUM

VACUUM

Mtodo de deteccin local

Objeto a testear en vaco

Test gas

VACUUM

VACUUM

Mtodo de deteccin en vaco :

Grandes volmenes
Pieza a testear en vaco Grandes volmenes

Qreal = Qdet

Test gas

Cmara
De
vaco

Sdet + Saux
Sdet

VACUUM

VACUUM

Espectrometra de Masas
Cuadrupolar

143

144

Fundamento de la Espectrometra de
Masas Cuadrupolar

Un compuesto en fase gas es ionizado,

acelerado, separado de acuerdo a la relacin
masa/carga y detectado
El proceso de ionizacin rompe el compuesto
en fragmentos, cada uno de ellos con su
propia relacin (m/e)
El patrn de fragmentos detectados es el
espectro de masas del compuesto y puede
ser utilizado para su identificacin

145

Fuente Ionizacin
eFilamento

Cuadrupolo
Filtro Masas

Detector

146
Atomos y Molculas

Fuente de Ionizacin

Electrones
Iones

Filamento
Entrada
de Gas

Salida Iones

10-05

10-04
Presin
(mbar)

10-03

10

147

Ionizacin

Atomo
12

C + 1e-

In
12

C+ + 2e-

148

Ionizacin
m/e=6

Ionizacin
1 e- +

12C++

12C

Fragmentacin - Ionizacin

+ 3e-

H
m/e=17

1 e- +

18H2O

1 e- +

17OH

1 e- +

17OH

17OH+

+2 e-

149

Fuentes de Ionizacin

150

Algunos Fragmentos Inicos

Fragmentos
probables

Masas adicionales
In Molecular(s)
N (m/e)

C++
C++
C++

CO
CO2
CxHy

12, 28, 29
12, 28, 44
12, 13, 14, 26, 27 etc.

12

C+
C+
C+
N+
N+
CH2+
CO++
O+
O+
CH4+
NH2+
OH+
NH3+
H2O+

CO
CO2
CxHy
N2
NH3
CxHy
CO
O2
H2O
CH4
NH3
H2O
NH3
H2O

28, 29

(m/e)

14

16

17
18

28, 29, 44
13, 14, 26, 27 etc.
28, 29
15, 16, 17
12, 13, 26, 27 etc.
28, 29
32, 34
17, 18
12, 13, 14, 15
14, 15, 17
16, 18
14, 15, 16
16, 17

151

Probabilidades relativas de ionizacin

a 100 feb referidas al N2
He

0.15

Ne

0.30

D2

0.35

C2H6

2.6

H2

0.44

C3H8

3.7

Aire

1.0

C4H10

4.9

N2

1.0

N-C5H12

6.0

02

1.0

C6H14

6.6

H2O

1.0

C6H6

5.9

CO

1.05

C6H5Cl

7.0

Ar

1.2

C6H5CH3

6.8

NO

1.2

C6H4(CH3)2

7.8

NH3

1.3

CH3OH

1.8

HF

1.4

CH3Cl

3.1

CO2

1.4

CH2Cl2

3.7

HCl

1.6

CHCl3

4.8

N2O

1.7

CCl4

6.0

Kr

1.0

CCl2F2

2.7

SO2

2.1

C2H5OH

3.6

SF6

2.3

C2H5Cl

4.0

Xe

2.4

CH4

1.6

152

Patrn de fragmentacin de CO2

153

Espectro de fragmentacin de
diferentes especies a 90 feb

154

Cuadrupolo -Filtro de masas

Barras cilndricas de
acero inoxidable o
Molibdeno
La alineacin es crtica
y no es ajustable

+
U + V cos wt

155

Principio Funcionamiento
Filtro Masas

156

Espectros con diferentes

valores de resolucin

157

Filtro de masas

158

Detector Faraday
Ii
e-

I i ~ 10-15....10-9 A
= Iones positivos

Los iones chocan contra el detector y pierden su carga. Un

convertidor de corriente en voltaje transforma la seal, que es
proporcional a la corriente de iones.
Rango de seal detectable 10-15 -10-9 A

159

Detector SEM/Channeltron
Ganancia de seal ~ 100 - 106
Dependiendo del Voltaje aplicado

FILTRO DE MASAS

Los iones chocan contra la superficie

arrancando iones secundarios y,
amplificando la seal de salida hasta
106

Presin de trabajo < 10

e-

Voltaje 0-3500 V

Ii
e-

mbar

I i ~ 10-14....10-5 A

160

Detectores SEM y Channeltron

Tipos de espectros

161

162

Espectro Analgico

1-100 uma

1-200 uma

1-300 uma

163

Espectro de Barras

164

Deteccin de Concentraciones
mltiples

165

Deteccin de Iones Mltiples

18
44

Seleccin de hasta 64 masas

(evolucin en continuo)

Definiciones trminos

166

167

Resolucin
m
R=
m '
Se define como la relacin entre la masa m, y la distancia en
unidades de masa, m.
m es la masa en la que se determina la resolucin,
m hay dos definiciones

168

Resolucin al 10 % del valle

Significa que dos masas contiguas, m y m+m, con

similar altura del pico se encuentran resueltas de forma
que la seal del valle entre los picos es el 10% con
respecto a la altura del pico.

Resolucin con respecto anchura del pico

Dos masas contiguas con similar altura de pico son poco

frecuentes, por lo cual seria mejor definir la resolucin
con respecto a la anchura del pico al 10% 50% de su
altura.

169

170

Sensibilidad
La sensibilidad (S) del espectrmetro de masas, para un
determinado gas, es la relacin entre la corriente de iones
(1+) recogida en el detector con respecto a la presin
parcial (Pp) del mismo en la fuente de ionizacin.

S Ar

1 + Ar
=
PPAr

Para determinar la sensibilidad es necesario especificar la

corriente de emisin del filamento, la energa electrnica y el
valor de resolucin

171

Presin Parcial mnima detectable

Se define como la presin que origina una seal cuyo valor
es dos veces mayor que la seal generada por el ruido

21
Pm =
S

Procedimientos prcticos de
verificacin de fugas en
cmaras de vaco

172

173

Volmenes pequeos, P>10-3 mbar

sin detector de fugas de Helio
Cuando no conseguimos la presin final esperada en un
sistema de vaco y siempre que tengamos una vlvula de
aislamiento entre bomba y cmara, debemos proceder
como sigue :

Comprobar que el sensor Pirani no est contaminado

Colocar el sensor en la boca de aspiracin de la bomba y
comprobar que llega a su vaco final
Hacer vaco al sistema, cerrar la vlvula y comprobar el
aumento de presin durante un tiempo de t> 30 min.

174

Degasificacin
+
Fuga

Presin

Degasificacin

Tiempo

Si hay fuga, se debe rociar con alcohol cada una

de las uniones y soldaduras. Cuando se produzca
una variacin de presin en el sensor Pirani, nos
indicar el punto de fuga

175

Volmenes grandes, P>10-3 mbar

Detector de fugas de Helio
Sistemas de alto y ultra alto vaco
Proceder de forma similar a la mencionada anteriormente. Si
la prueba de P demuestra que existe fuga se debe
proceder :

Adaptar la conexin del detector de fugas entre bomba rotativa y

cmara
Comenzar a hacer vaco al sistema hasta llegar a P<25 mbar, se
conecta el detector de fugas y con una pequea botella de Helio se
comienza a rociar de arriba hacia abajo todas las uniones y
soldaduras

176

Sistemas de alto-ultra alto vaco, P< 10 4 mbar

Espectrmetro de masas Cuadrupolar

Se conecta el Espectrmetro de Masas a una de las bridas de

la cmara de vaco
Se hace vaco a la cmara y si P> 104 mbar, se roca con
alcohol las uniones y soldaduras. Si se produce una variacin
en la medida del sensor, es indicador del punto de fuga
Si P<10-4 mbar, se pone en funcionamiento y se hace un
espectro de gases residuales
Si se sigue la relacin H20/N2 a una P= 5x10-6 mbar, se pueden
tomar, como aproximados los siguientes valores de fugas
Valor de fuga

Relacin H2O / N2

0,35 x 10-4 mbar l/s

43

1 x 10-4 mbar l/s

27

8,0 x 10-4 mbar l/s

15

Materiales usados en cmaras

de vaco

177

178

Propiedades

Resistencia mecnica : Soportar, sin deformarse, la diferencia

de presiones a las que son sometidos
Impermeabilidad : En ningn caso deben pasar los gases
desde el exterior a la cmara de vaco
Inertes : No sufrir corrosin, ni reacciones a alta temperatura,
etc.
Baja presin de vapor
Alto ndice de degasificacin

179

Tratamientos superficiales
Se suelen tratar las paredes interiores de las cmaras
de vaco, para eliminar los componentes adheridos a
su superficie (aceites, grasas, xidos, partculas de
polvo, etc)
Alguno de los mtodos de limpieza son :

Pulido de la superficie, empleando lijas de pequea

granulometra y polvos de pulir.
Desengrasado: Inmersin del componente en cuba de
disolventes y tratamientos de ultrasonidos
Desengrasado con disolvente en fase vapor

180

Limpieza qumica: Hay que elegir los agentes apropiados

dependiendo del tratamiento. Las cmaras de ultra alto vaco
requieren tratamientos muy especiales
Aclarado: Se suele emplear agua desmineralizada.
Posteriormente se aade alcohol isoproplico para eliminar los
restos de agua
Secado

A las cmaras de vaco, una vez producida su limpieza, se

deben cerrar todas sus bocas y tocar con guantes la
superficie tratada

181

ndices de desorcin (Q)

Material

Caractersticas.

Acero nox.

sin tratar

limpia

Q mbar l
s.cm2
1 hora
2,7x10-7

Acero inox

pulida

limpia

2x10-8

4x10-9

2x10-10

Acero inox

caustic

Calentada 1 hora
con aire

1,4x10-9

2,8x10-10

1,4x10-10

Acero inox

granallada

Calentada 1 hora
con aire

3x10-10

6,5x10-11

4x10-11

Ni plateado

pulida

limpia

2x10-7

1,5x10-8

5x10-9

Cr plateado

pulida

limpia

1,3x10-8

2,2x10-9

1,2x10-9

oxidada

6x10-7

1,6x10-7

1x10-7

Superficie

Acero

Condicin

superficie

Q mbar l
s.cm2
4 hora
5,4x10-8

Q mbar l
s.cm2
10 hora
2,7x10-8

Acero

sin tratar

limpia

5x10-7

1x10-7

5x10-8

Acero

granallada

limpia

4x10-7

8x10-8

3,8x10-8

182

Material

Caractersticas.

Aluminio

limpia

Q mbar l
s.cm2
1 hora
6x10-8

Latn

limpia

1,6x10-6

5,6x10-7

4x10-7

Cobre

limpia

3,5x10-7

9,5x10-8

5,5x10-8

Vidrio

limpia

4,5x10-9

1,1x10-9

5,5x10-10

Neopreno

4x10-5

2,2x10-5

1,5x10-5

Perbunan

4x10-6

1,7x10-6

1,3x10-6

Vitn

1,2x10-6

3,6x10-7

2,2x10-7

Superficie

Condicin

superficie

Q mbar l
s.cm2
4 hora
1,7x10-8

Q mbar l
s.cm2
10 hora
1,1x10-8

Vitn

Calentado a
100C (4 h )

1,2x10-7

5x10-8

2,8x10-8

Vitn

Calentado a
150C (4 h )

1,2x10-9

3,3x10-10

2,5x10-10

Tefln

Desgasificado

8x10-7

2,3x10-7

1,5x10-7

Ejercicios

183

184

Ejercicio n 1
Calcular el tiempo de bombeo para alcanzar en una cmara de 14
litros una P= 5 x 10-2 mbar
300

200

24
70

100

Cmara de vaco 14 l

Medidor Pirani

Bomba de vaco rotativa de

10 m3/h de capacidad nominal

185

Clculos
1 Clculo de la conductancia

r 4 Pm
1.24 0.05
C = 7750
= 7750
= 47m 3 / h
l
17
2 Clculo de la capacidad de bombeo efectiva

Seff

C S 47 10
=
=
= 8,2m 3 / h
C + S 47 + 10

3 Clculo del tiempo de bombeo

V
P1 0.014 1000
t=
Ln
=
Ln
= 61s
Seff
P2
8.2
0.05

186

Ejercicio n 2
Mismas condiciones que en el ejercicio 1 pero introduciendo
conducciones , vlvulas y codos
2

100

750

Vlvula
70
24

3
200

Cmara de vaco 14 l

Medidor Pirani

Bomba de vaco rotativa de

300

10 m3/h de capacidad nominal

187

Clculos
1 Clculo de la conductancia

r 4 Pm
1.24 0.05
C = 7750
= 7750
= 6.9m 3 / h
l
116
2 Clculo de la capacidad de bombeo efectiva

Seff

C S 6.9 10
=
=
= 4m 3 / h
C + S 6.9 + 10

3 Clculo del tiempo de bombeo

V
P1 0.014 1000
t=
Ln
=
Ln
= 124 s
Seff
P2
4
0.05

188

Ejercicio n 3
El flujo de gas que desplaza una bomba turbomolecular con una
capacidad efectiva de bombeo de 70 l/s a una P=0.02 mbar
Qu Presin se alcanzar en el vaco primario, trabajando con
una bomba primaria seca de membrana de 1 m3 /h ?

189

Ejercicio n 4
Valor de fuga mximo considerando que conectamos un detector
HLT 260 en test port 2 a la boca de una bomba Roots de 4000
m3/h (WKP 4000)

SWKP 4000

4000
=
= 1.110l / s
3 .6

0.01 + 1.100
QR = QFD
0.01

Ejemplo 5
Indice de fuga en mbar l/s
Una rueda de bicicleta puede tener una prdida
mxima de presin de 1000 mbar en 175 das.
Volumen
=
1.5 litros
175 das
=
1.5x107 segundos

.
mbar * l 1000 * 15
4
LR =
.
=
=
x
mbarl / s
1
0
10
7
. x10
s
15

Sistemas de evaporacin

191

CVD ( Chemical Vapour Deposition )

193

Seccin de PE CVD

194

Evaporador con can de electrones

195

Esquema de un Sputtering

196

Ejemplo Cmara evaporacin

197

Ejemplo Espectrometra de masas