Geschftsbereich Multifunktionskeramik

Multifunctional Ceramics Division

Monolithische Vielschichtaktoren
Monolithic Multilayer Actuators

MF130034 DE/EN 1.000 1402 atio (3375) Printed in Germany

CeramTec GmbH
Multifunctional Ceramics Division
Luitpoldstrae 15
91207 Lauf, Germany
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T H E C E R A M I C E X P E R T S www.ceramtec.com T H E C E R A M I C E X P E R T S
The measured values mentioned before were determined for test samples and are applicable as standard values. The values were determined on the basis of DIN-/DIN-VDE standards and if
these were not available, on the basis of CeramTec standards. The values indicated must not be transferred to arbitrary formats, components or parts featuring different surface qualities.
They do not constitute a guarantee for certain properties. We expressly reserve the right to make technical changes.

Typ Zrich
75

Fllhhe 0 mm
Gesamtansicht auen
 Monolithische Vielschichtaktoren

Diese Broschre ist eine Ergnzung der Verf-

Allgemeine Eigen-
schaften: fentlichung Piezoelektrische Komponenten von
CeramTec mit detaillierten Beschreibungen einiger
Groe Bettigungs-
krfte Begriffe und Abhngigkeiten. Abkrzungen und

Extrem kurze
Symbole sind unten im Glossar erklrt.
Reaktionszeiten Die Funktionsweise monolithischer Vielschicht-
Fein einstellbare aktoren basiert auf dem piezoelektrischen Effekt.
Bettigungswege Ein piezoelektrisches Material dehnt sich beim An-
legen einer Spannung in Richtung des elektrischen
Feldes aus. Die zum Erreichen einer Deformation
von 1,5 bis 1,7 % erforderliche Feldstrke betrgt
ca. 2.000 V/mm. Die hier beschriebenen Aktoren
bestehen aus bis zu 500 Schichten keramischem
Material, die jeweils nur 0,1 mm stark sind und
unter Verwendung einer speziell entwickelten Sta-
pel- und Sintertechnologie hergestellt wurden. Mit
dieser Technologie kann eine maximale Dehnung
bei einer Spannung von nur 200 V erreicht werden.

hcirZ pyT
57

mm 0 ehhllF
neua thcisnatmaseG
Monolithic Multilayer Actuators

3
This brochure is a supplement to CeramTecs
General properties:
Piezoelectric Components publication, where a
High actuating forces number of terms and correlations are described in
Extremely short detail. Abbreviations and symbols are explained in
response times the glossary below.
Fine tunable The function of monolithic multilayer actuators
actuating stroke is based on the piezoelectric effect. A piezoceramic
material expands in the direction of the electrical
field when a voltage is applied to it. The required
field strength to achieve a deformation of 1.5 to
1.7% is approx. 2,000V/mm. The actuators de
scribed here consist of up to 500 layers of ceramic
material each only 0.1
mm thick, manufactured
using a specially developed stacking and sintering
technology. With this technology, maximum dis
placement can be achieved with a voltage of only
200V.
 Handhabung und Montage
4
In der praktischen Anwendung weisen piezo
elektrische Aktoren einige Eigenschaften auf, die sie
von anderen elektronischen Bauteilen unterschei
den. Diese Eigenschaften mssen stets berck
sichtigt werden. Whrend der Anwendungs-,
Entwicklungs- und Implementierungsphasen muss
geeignete technische Untersttzung stets zur Ver
fgung stehen.
Sicherheit
Aus elektrotechnischer Sicht ist ein Aktor ein
sehr leistungsfhiger Kondensator. Bei einer Ladung
von 200 Vp-p, kann versehentliches Berhren der
Kontakte eines groen Aktors mit einer Kapazitzt
von beispielsweise 7 F tdliche Folgen haben.
Bei der Arbeit mit Aktoren ist die Verwendung
von Anschlssen mit Berhrungsschutz zwingend
erforderlich. Andere Sicherheitsmanahmen wie die
Verwendung von Schutzbrillen werden nachdrck
lich empfohlen.
Piezokeramik
Monolithische Vielschichtaktoren enthalten
sprde piezokeramische Materialien. Sie drfen
nicht mit metallischen Werkzeugen berhrt und
mssen vor Sten und Schlgen geschtzt wer
den. In der Praxis knnen insbesondere die Stirn-
flchen an den Enden, die sehr glatt geschliffen
sind, extrem leicht splittern oder verkratzen.
Montage
Aktoren knnen Krfte von mehreren kN ent
wickeln und Dehnungen im m-Bereich bewirken.
Daher muss die Anbindung eines Aktors an die
angetriebene mechanische Baugruppe stabil und
ohne Spiel ausgefhrt werden.
Im Idealfall liegt die Stirnflche des Aktors direkt
auf einer geschliffenen Metalloberflche auf. Der
Auflagedruck sollte die Hlfte der Blockierkraft FB
des Aktors betragen.
Wenn als Kontaktflche keine geschliffene Me
talloberflche zur Verfgung steht, muss die ent
stehende Lcke mit einem Epoxidharz ausgefllt
werden, das nach dem Aushrten die Hrte von
Glas hat. In diesem Zusammenhang sollte der er
forderliche Betrag der mechanischen Vorspannung
sorgfltig betrachtet werden.
Aktive Oberflchen
Sorgfalt! Vorsicht!
Bei einem in Betrieb befindlichen Aktor kann auf Sicherheit!
seiner Oberflche eine groe Feldstrke von bis zu
Aktoren brechen leicht
2.000 V/mm vorhanden sein.
Da sich der Aktor verlngern soll (d. h. in Lngs Arbeitssicherheit ist
wichtig
richtung ausdehnen), ist seine Isolationsbeschich
tung sehr dnn. Diese Beschichtung ist zur Verhin Elektrische Isolierung
muss angebracht
derung von elektrischem Durchschlag ausreichend, werden
schtzt jedoch nicht vor den hohen internen Span
nungen oder mechanischen Beschdigungen.
Isolation
Ein Aktor muss stets von seinem Gehuse iso
liert werden, da nur seine Stirnflchen an den En
den durch Keramikschichten von ca. 1 mm Strke
auf zuverlssige Art und Weise elektrisch isoliert
sind. Wir empfehlen, bei der Montage des Aktors
ca. 1 mm Abstand zur Gehusewand vorzusehen.
Bei der Verwendung von Schrumpfschluchen,
Isolier-Klebeband oder Dichtmassen zur Isolierung
mssen die verwendeten Materialien sorgsam aus
gewhlt und extrem vorsichtig angebracht werden.
Jegliche unter diesen Materialien eingeschlossene
Verschmutzung kann frher oder spter zu elektri
schem Durchschlag fhren.
Bei der Montage ist darauf zu achten, dass die
Seiten und Kanten des Aktors nicht beschdigt
werden (metallische Werkzeuge drfen nicht ver
wendet werden und Berhrungen der Seiten des
Aktors sind zu vermeiden). Der Aktor darf nicht
mit elektrisch leitfhigen Substanzen verunreinigt
werden (z. B. Beschriftung, Fingerabdrcke, Metal
labriebpartikel, Flussmittel, Diesel, Hydraulikflssig
keiten etc.). Daher mssen smtliche Montaget
tigkeiten mit Handschuhen und unter Verwendung
von Kunststoffwerkzeugen durchgefhrt werden.
Montagevorschlag
Handling and Assembly
In practical use, piezoelectric actuators exhibit a
number of properties which distinguish them from
other electronic components. These properties have
to be carefully taken into account and appropriate
engineering support have to be provided throug
hout application, development and implementation
phases.
Safety
From an electrical point of view an actuator
resembles a very powerful capacitor. Charged to
200Vp-p, a large actuator with a capacitance of, say,
7F may be fatal if its terminals are inadvertently
touched.
In working with actuators, it is necessary to
provide terminals that are safe against accidental
contact. Other safety precautions, such as the use
of safety glasses are strongly recommended.
Piezoceramics
Monolithic multilayer actuators contain brittle
piezoceramic materials. They cannot be touched
with metal tools, and must be protected against
shock and impact loads. In practice the end faces,
which are ground to a high level of flatness, are
highly susceptible to chipping and scratching.
Assembly
Actuators may generate forces of several kN
and produce displacements in the m range. The
coupling of an actuator to the driven mechanical
assembly therefore must be rigid and backlash- abrasion particles, flux, diesel, hydraulic fluid, etc.)
free.
Ideally, the actuators end face should be in
direct contact with a ground metal surface. The
contact pressure should be equal to one-half of the
actuators blocking force FB.
If a ground metal surface is not available as a
mating contact area, it is necessary to fill the result
ing gap with an epoxy resin that cures to the hard
ness of glass. The necessary amount of mechanical
pre-stressing should be duly taken into account in
this context.
5
Active surfaces
Care! Caution! Safety!
When an actuator is in operation, a high field
strength of up to 2,000V/mm may be present on Actuators are sensitive
to fracture
its surface.
Since the actuator is expected to elongate (i.e., Labor safety
is important
expand longitudinally), its insulating coating is very
Electrical insulation
thin. This coating is sufficient to prevent electrical
must be provided
breakdown, however it does not protect against
the high internal voltages involved or against
mechanical damage.
Insulation
An actuator must be insulated from the hous
ing in which it is mounted, since only its end faces
are insulated in an electrically reliable manner by
ceramic layers measuring about 1mm in thickness.
We recommend that the actuator should be moun
ted with an air gap of approx. 1mm in between it
and its housing.
The use of shrinkable tubing, adhesive tapes or
sealing compounds for insulation purpose needs
care in selecting the materials and extreme care
for the mounting operations. Any contamination
trapped beneath those materials may cause electri
cal breakdown sooner or later.
During assembly, care must be taken not to
damage the actuators sides or edges (metal tools
must not be used and mechanical contact with the
actuators sides must be avoided). The actuator
must not be contaminated with electrically conduct
ing substances (e.g., lettering, fingerprints, metal
Therefore all assembly operations have to be perfor
med wearing gloves and using plastic tools.
Mounting suggestion
 Eigenschaften und Steuerung
6
Deformationseigenschaften
Aktoren zerkratzen
Die Ausdehnung eines Aktors in einem elektri
leicht
schen Feld liegt vor allem in der Tatsache begrn
Eine Oberflchen-
verschmutzung muss det, dass Domnen (kristalline Bereiche von gleicher
vermieden werden Polarisierungsrichtung) rotieren und sich aneinander
Anwendung von ausrichten. Dieses Verhalten ruft Nichtlinearitten
Vorspannung wird und Hystereseeffekte hervor.
empfohlen
Die Eigenschaften des Aktors im Betrieb knnen
durch mechanisches Vorspannen mit einer nahe-
zu konstanten Kraft verbessert werden. Mit Vor
spannwerten von 0,5 bis 1,0 FB wurden in der
Vergangenheit die besten Ergebnisse erzielt.
Der Bettigungsweg eines Aktors kann mit einem
Dehnungsmessstreifen und einer Regelung, die
die Betriebsspannung verndert, genau einge
stellt werden. Das Anlegen einer negativen elek
trischen Spannung von bis zu -50 V ist mglich
und erhht die Dehnung des Aktors. Dieser Be
triebsmodus kann fr dynamische Anwendungen
jedoch ungeeignet sein, da Polarisationsprozesse
im Material des Aktors zustzliche Energieverlus
te verursachen, was wiederum zum berhitzen
des Aktors fhren kann.
Kraftaufbau
Aktoren knnen in sehr kurzen Zeitrumen (we
nige s) sehr groe Krfte entwickeln (mehrere kN).
Die damit einhergehenden Beschleunigungsraten
knnen den Aktor zerstren. Daher reagiert ein
freiliegender geladener Aktor bei einem Kurzschluss
schneller, als seine Masse aufgrund der Trgheit fol
gen kann. Dies fhrt zur sofortigen Zerstrung des
Aktors.
Um den Aktor vor Zugspannung zu schtzen,
muss eine mechanische Vorspannvorrichtung
eingesetzt werden. Auch bei statischen Anwen
dungen wird eine Vorspannungskraft von ca.
0,5 FB dringend empfohlen, um die mechanische
Baugruppe zu stabilisieren.
Aktoren drfen nicht schneller betrieben werden,
als die Resonanzfrequenzen des Aktors und des
angetriebenen mechanischen Systems es zulas
sen. Tmin ~ 1/fr Krzere Impulse sind mglich, er
fordern jedoch eine gut abgestimmte Auslegung
des Steuersystems, des Aktors und der angetrie
benen mechanischen Baugruppe.
Kapazitt
In Bezug auf ihre elektrischen Eigenschaften
sind Aktoren groe Kondensatoren. Ihre Kapazi
tt hngt von der Temperatur und der angelegten
Spannung ab. Die bei 1 V und 100 Hz gemessene
Kapazitt bei geringer Spannung kann sich unter re
alen Betriebsbedingungen (120C, 200V) verdop
peln. Im Impulsbetrieb knnen Ladestrme von bis
zu 50 A auftreten. Elektronische Steuerschaltkreise
mssen entsprechend dieser Eigenschaften ausge
legt werden.
Characteristics and control
Deformation characteristics
Actuators are
sensitive to scratching
The fact that an actuator will expand in an
electrical field is primarily due to the resulting rota
Surface contamination
must be avoided tion and alignment of domains (i.e., crystal areas of
carefully identical polarization direction). This behavior-causes
Pre-stressing is non-linearities and hysteresis effects.
recommended
The operation of the actuator can be improved
by mechanical pre-stressing with a near-constant
force. Pre-stressing forces between 0.5 and 1.0FB
have been found to give ideal results.
An actuators stroke can be accurately adjusted
by using a strain gauge with a closed loop con
trol, adjusting the operating voltage. The applica
tion of a negative electrical voltage of up to -50V
is possible and will increase the displacement of
the actuator. However, this operating mode may
be unsuitable for dynamic applications because
polarization processes in the actuator material
will result in additional power losses, which in
turn can cause the actuator to over-heat.
Force buildup
Actuators can produce very high forces (several
kN) within a very short period of time (a few s).
The associated acceleration rates can destroy the
actuator. Thus, if an unrestrained charged actuator
is short-circuited, it will contract faster than its inert
mass is able to follow. The actuator will immediately
disintegrate.
7
A mechanical pre-stressing device must prevent
the actuator from being loaded with tensile
stress. Even in static applications, a pre-stressing
force of approx. 0.5FB is highly recommended to
stabilize the mechanical assembly.
Actuators must not operate faster than is permit
ted by the resonance frequency of the actuator
and the driven mechanical system. Tmin ~ 1/fr
Shorter control pulses are possible but will requi
re careful design of the control system, actuator,
and driven mechanical assembly.
Capacitance
In terms of electrical properties, actuators
resemble large capacitors. Their capacitance
depends on the temperature and on the applied
voltage. The low-signal capacitance measured
at 1
V and 100
Hz may double under real-life
operating conditions (120
C, 200
V). In pulse
mode, charging currents of up to 50A may be
encountered. Electronic control circuitry must be
designed to handle these characteristics.
 Steuerung und Betrieb
8
Verlustleistung
Die Bewegung von Domnen innerhalb des
elektrischen Feldes geht mit mechanischen und
elektrischen Verlusten einher. Aktoren werden im
Betrieb hei. Die Rate der Verlustleistung kann
30 % der aufgenommenen Leistung erreichen.
Die Oberflche eines Aktors darf eine Tempera
tur von 140C nicht berschreiten. Die Verlustleis
tung kann verringert werden durch
sinusfrmige Steuersignale (sofern mglich)
eine Minimierung der Eingangsfrequenz und
Spannung.
In vielen Fllen kann eine aktive Khlung nicht
vermieden werden. Es ist hufig aber ausreichend,
trockene Druckluft um den Aktor zirkulieren zu las
sen.
Resonanzmodus
Der Anteil der Verlustleistung kann durch den
Betrieb des Aktors in Resonanz mit der angetriebe
nen mechanischen Baugruppe erheblich reduziert
werden. In diesem Fall ergibt eine geringe Steuer
spannung eine groe Dehnung des Aktors.
Wenn die Konfiguration also einen mechani
schen Q-Faktor von 10 hat, der dem eines norma
len mechanischen Hebelsystems entspricht, kann
die Nenndehnung des Aktors mit gerade einmal
20 V erreicht werden. Die Verlustleistung bleibt in
diesem Fall auch bei hohen Frequenzen (mehrere
kHz) gering.
Wenn mechanische Kraft aus dem System ent
nommen wird, tritt eine Dmpfung auf. Dies be
wirkt eine verringerte Oszillations-Amplitude und
eine Vernderung der Resonanzfrequenz. Daher
ist die abgegebene Leistung solcher Systeme be
grenzt. Diese Betriebsart wird in vielen Anwendun
gen erfolgreich eingesetzt.
Ansteuerungsausrstung
Die Dehnung eines Aktors (s) folgt der aufge
nommenen Ladung (Q) mit hoher Linearitt. Daher
entspricht der Strom (I = dQ/dt) der Geschwindig
keit der Endplatten des Aktors (v = ds/dt). Die Flan
kensteilheit (Slew-Rate) der Stromschwankungen
Aktoren erzeugen
(dI/dt) entspricht dann der Beschleunigung der End Hitze
platten des Aktors (a = dv/dt). Spannungsgeregelte
Eine Khlung ist
Schaltverstrker zerstren Aktoren hufig durch hufig erforderlich
die Abgabe von Ladungsspitzen, die extrem hohe
A
 ktoren sind
Beschleunigungsraten verursachen. Wir empfehlen anfllig gegenber
die Verwendung von Verstrkern mit begrenzter Feuchtigkeit
Flankensteilheit oder zumindest einem streng be A
 ktoren haben eine
grenzten Ausgangsstrom. lange Lebensdauer
Feuchtigkeit
Das Anlegen von Gleichspannung an einen
Aktor ber lngere Zeitrume fhrt dazu, dass das
starke elektrische Feld Wassermolekle anzieht.
Diese Feuchtigkeit ist in der Lage, Polymerbeschich
tungen zu durchdringen. Sobald sie die Beschich
tung durchdrungen hat, erhht die Feuchtigkeit
(nach einigen Stunden) den Leckstrom und kann
letztendlich zum Ausfall des Aktors fhren.
Statisch betriebene Aktoren mssen in Metall
eingefasst oder in einem trockenen Luftstrom
installiert werden (<10% rH).
Wenn der Aktor eine Betriebstemperatur von
60
C erreicht, ist kein Feuchtigkeitsschutz
erforderlich.
Der Adsorptionseffekt ist umkehrbar, wenn die
Spannung nicht ber einen zu langen Zeitraum
angelegt wurde (ca. 10 Minuten bei 200 V).
Daher kann der Adsorptionseffekt durch den
Betrieb von Aktoren mit gepulstem Strom ver
mieden werden.
Jegliche Kondensation von Feuchtigkeit in der
Betriebsumgebung des Aktors muss vermieden
werden.
Feuchtigkeitsbestndige, hermetisch gekapselte Aktoren
Control and operation
Power dissipation
Domain movements within the electrical field
are associated with mechanical and electrical los
ses. Actuators will become hot in operation. The
power dissipation rate may reach 30% of the input
power level.
An actuators surface temperature must not
exceed 140C. The dissipation of power can be
reduced by
using sinusoidal control signals wherever
possible,
minimizing the input frequency and voltage.
In many cases active cooling cannot be avoided.
Often it will be sufficient to circulate dry compres
sed air around the actuator.
Resonant mode
The power dissipation rate can be significantly
reduced by operating the actuator in resonance
with the driven mechanical assembly. In this case, a
small control voltage will result in a high stroke
amplitude.
Thus, if the configuration has a mechanical
Q-factor of 10, which corresponds to that of a
normal mechanical lever system, the rated
actuator amplitude can be achieved with as little as
20V. Power dissipation will remain low even at
high frequencies (several kHz).
If mechanical power is drawn from the system,
damping will occur. This results in a reduced oscilla
tion amplitude and a shift in resonant frequency.
Therefore the power output of such systems is limi
ted. In many applications this operating mode is
used successfully.
9
Driving equipment
Actuators produce
The displacement (s) of an actuator follows the
heat
received charge (Q) with good linearity. Therefore
Often, cooling will
the current (I = dQ/dt) is equivalent to the velocity be necessary
of the actuator endplates (v = ds/dt). The steepness
Actuators are sensitive
(slewrate) of fluctuations in the current (dI/dt) is to moisture
then equivalent to the acceleration of the actuator
Actuators have
endplates (a = dv/dt). Voltage controlled switching a long product life
amplifiers often destroy actuators by sending bursts
of charge causing extremely high acceleration
rates. We recommend the use of slewrate control
led amplifiers or at least a strictly limited output
current.
Humidity
Applying a D.C. voltage to an actuator over
extended periods of time will cause it to attract
water molecules due to the strong electrical field.
This moisture is capable of diffusing through poly
mer coatings. Once underneath the coating, it will
increase the leakage current (after a few hours)
and, ultimately, may cause the actuator to fail.
Statically operated actuators must be encap-
sulated in metal or placed in a flow of dry air
(<10% rH).
If the actuator reaches an operating temperature
above of 60C, no moisture protection is necessary.
The adsorption effect is reversible if the voltage
has not been applied for too long (approx.
10 minutes at 200
V). Therefore driving an
actuator with pulsed current can avoid the
adsorption effect.
Moisture condensation in the actuators opera
ting environment must be avoided.
Moisture resistant hermetically sealed actuators
 Steuerung und Betrieb

10
Prfbedingungen Anwendungsbereiche
Die Lebensdauer eines Aktors hngt stark von Piezoelektrische Aktoren werden in vielen un
der jeweiligen Anwendung ab. Die Dauerlaufpr terschiedlichen Anwendungen eingesetzt, in de
fungen von CeramTec werden unter den folgenden nen blicherweise die hohe Stellgeschwindigkeit,
Bedingungen durchgefhrt: Steifigkeit, groe Energiedichte und kontrollierbare
Deformationseigenschaften von Aktoren genutzt
Vorspannung: 0.5FB werden.
Steuersignal: 200Vp-p, trapezfrmig, unipolar
Hochlauf: 140s Feinwerktechnik:
Verweilzeit: 1ms Servoantriebe
Rcklauf: 140s Schrittmotoren
Frequenz: 200Hz Positioniertische
Oberflchentemp.: 120C Bandschreiber-Antriebe

Unter diesen Bedingungen liegt die Lebensdau Maschinenbau:

er von CeramTec-Aktoren bei ber 10 Zyklen. Bei
9
Pneumatische und hydraulische Ventile
den lngsten Prfungen von CeramTec-Aktoren ha Vibrationsdmpfung
ben diese ber 6 x 10 Zyklen erreicht, was einem
9
Gravurkpfe fr Tiefdruck
permanenten Betrieb von ca. 2 Jahren entspricht. Dosierventile
Dieser Wert bersteigt die Lebensdauer der meis
ten elektrischen und mechanischen Komponenten Optik:
in Applikationsumgebungen. CCD-Kamerasysteme
Verbindungsvorrichtungen fr Lichtwellenleiter
Resonanzmodus Mikroskoptische
Im Resonanzmodus betriebene Aktoren errei Przisions-Einstellmechanismen
chen eine hhere Lebensdauer. Unter den folgen
den Bedingungen wurden 1011 Zyklen erreicht: Automobiltechnik:
Kraftstoff-Einspritzventile
Vorspannung: 0.5FB Anti-Blockier-Bremsventile
Steuersignal: 40Vp-p, Sinuswelle, unipolar Hilfsantriebe
Frequenz: 14kHz Gerusch-Unterdrckungssysteme
Oberflchentemp.: 60C
Luftfahrt:
Betrieb an Gleichstrom Rotorblatt-Steuerklappen
Bei Erregung mit Gleichstrom von 200 V kn Adaptive Flgelsysteme
nen Aktoren eine Lebensdauer von 3.000 Stunden Vibrationsdmpfung und Geruschunterdr-
erreichen, solange die relative Luftfeuchtigkeit 5% ckung
nicht bersteigt. Fr alle anderen Einsatzbereiche
(besonders in feuchten Umgebungen) sind gekap Akustik:
selte Aktoren notwendig. Akustische Sender
Vibrationsgeneratoren

Hermetisch gekapselte Aktoren

Control and operation

11
Test conditions Range of applications
The product life of an actuator is highly depen Piezoelectric actuators are used in a broad and
dent upon the individual application. CeramTecs diverse range of applications, which usually take
endurance tests are performed under the following advantage of their high actuating speed, stiffness,
conditions: high power density, and controllable deformation
characteristics.
Pre-stress: 0.5FB
Control signal: 200Vp-p, trapezoid, unipolar Precision mechanics:
Ramp up: 140s Servo drives
Dwell time: 1ms Stepper motors
Ramp down: 140s Positioning tables
Frequency: 200Hz Chart recorder drives
Surface temp.: 120C
Mechanical engineering:
Under these conditions, the product life of Pneumatic and hydraulic valves
CeramTec actuators exceed 10 cycles. The longest
9
Vibration damping
running tests using CeramTec actuators have Engraving heads for intaglio printing
reached over 6 x 10 cycles, corresponding to a
9
Proportioning valves
permanent operating time of approx. 2 years. This
value exceeds the product life of most electrical Optics:
and mechanical components in the application CCD camera systems
environment. Optical waveguide splicers
Microscope tables
Resonant mode Precision adjustment mechanisms
The product life of actuators operating in reso
nant mode is enhanced. 1011 cycles have been rea Automotive:
ched under the following conditions: Fuel injection valves
Anti-lock brake valves
Pre-stress: 0.5FB Auxiliary drives
Control signal: 40Vp-p, sine-wave, unipolar Noise suppression systems
Frequency: 14kHz
Surface temp.: 60C Aircraft:
Rotor blade control flaps
D.C. operation Adaptive wing systems
On D.C. excitation, actuators can reach a pro Vibration damping and noise
duct life of 3,000hrs. at 200V as long as the air suppression
humidity does not exceed 5% rH. For all other pur
poses (especially for high humidity environments), Acoustics:
hermetically sealed actuators are necessary. Sound emitters
Vibration generators

Hermetically sealed actuators

 Dehnung und Kraft
Displacement and force
Displacement and force
Displacement and force
Displacement and force
12
Displacement and force
Maximale Dehnung versus Spannung Dehnung versus Spannung
Maximum displacement versus voltage Displacement versus voltage
Maximum Displacement versus Voltage Displacement versus voltage
60 45
40
50
Dehnung/m | Displacement/m

Dehnung/m | Displacement/m
Maximum Displacement versus Voltage 35 Displacement versus voltage
4060 Maximum Displacement versus Voltage 45
30 Displacement versus voltage
60 40
25 45
3050
Maximum Displacement versus Voltage 35 40
Displacement versus voltage
20
50
2060
40 45
30
15 35
40 Aktorgre 7*7 mm2, 28 mm aktive Lnge 40
25 30
1050
30 10
actuator size 7*7mm 2, 28mm active length 35
205 25 actuator size 7*7mm 2, 28mm activeAktor
length
7 x 7 mm, 20 mm Lnge
30 harmonic puls 1 ms Actuator 7 x 7 mm, 20 mm length
40
020 30
15 20 Aktor 7 x 7 mm, 30 mm Lnge
0 Actuator 7 x 7 mm, 30 mm length
0 20 50 100 150 200 250 25
10 0
30
10 15 50 100 150 200
actuator size 7*7mm 2, 28mm active length 205 actuator size 7*7mm 2, 28mm active length
10 10 harmonic puls 1 ms
200 Spannung (V) | Voltage
actuator(V)
size 7*7mm , 28mm active length 2
150 5 Spannung (V) | Voltage (V)
actuator size 7*7mm 2, 28mm active length
harmonic puls 1 ms
0 0 50 100 150 200 250
10 10 0 0 50 100 150 200
0 50 1007*7mm 2, 28mm
actuator size 150active length 200 250 actuator size 7*7mm 2, 28mm active length
5 0 50 harmonic puls 1100
ms 150 200
0
0
0 50 100 150 200 250
0 50 100 150 200

Actuator force versus voltage Displacement, loss energy and capacitance

versus prestressing force
Aktorkraft versus Spannung Dehnung, Energieverlust und Kapazitt versus
5000 60 4,9
Actuator force versus voltage Vorspannkraft
Actuator force versus voltage Displacement, loss energy and capacitance
Displacement,
50 loss
versus energy and
prestressing forcecapacitance 4,7
4000 Actuator force versus voltage Displacement, loss energy and capacitance
5000 versus
60 Dehnungprestessing force 4,9
Displacement versus prestressing force
actuator size 10*10 mm 2, 28 mm active length 40 60 4,5 4,9
5000 Displacement, loss energy and capacitance
3000 Actuator force versus voltage 50 4,7
Displacement/m; Loss energy/mJ

4000 versus prestressing force

Dehnung/m; Energieverlust/mJ

Dehnung

Kapazitt/F | Capacitance/F
30 50 4,3 4,7
Aktorgre 10*10 mm2, 28 mm aktive Lnge 60 Displacement 4,9
5000 4000 40 Energieverlust
Dehnung 4,5
2000 actuator size 10*10 mm 2, 28 mm active length Loss energy
Kraft/N | Force/N

3000 Displacement
20 40 4,1 4,5
actuator size 10*10 mm 2, 28 mm active length 50 4,7
4000 3000 30 4,3
Dehnung
Energieverlust
1000
2000 10 Displacement
Loss energy
30 3,9 4,3
actuator size 10*10 mm 2, 28 mm active length 40 Aktorgre 7*7mm 2, 28 mm active length 4,5
20 Kapazitt Energieverlust 4,1
3000 2000 actuator size 7*7 mm 2, 28 mm active length Loss energy
Capacitance actuator size 7*7mm 2, 28 mm active length
0
1000 0 20 3,7 4,1
30 4,3
10 3,9
0 50 100 150 200 0
Energieverlust 200 400 600 800 1000
Aktorgre 7*7mm 2, 28 mm active length
1200
2000 1000 Aktorgre 7*7 mm2, 28 mm aktive Lnge Kapazitt
Loss energy
actuator size 7*7 mm 2, 28 mm active length 10
Capacitance actuator size 7*7mm 2, 28 mm active length 3,9
20 Aktorgre 7*7mm , 28 mm active length
2 4,1
0 0 Kapazitt 3,7
actuator size 7*7mm 2,1000
28 mm active1200
length
100 actuator size 7*7
150mm , 28 mm active
200 length
2
Capacitance 400
1000 0 50 0 200 600 800
0 0 3,7
10 3,9
0 50 100 150 200 Kapazitt
0 200 Aktorgre
400 7*7mm 2600
, 28 mm active length
800 1000 1200
Spannung (V) size
actuator | Voltage
7*7 mm 2, (V)
28 mm active length Capacitance actuator size 7*7mm 2, 28 mm active length
0 0 Vorspannkraft/N | Prestressing force/N 3,7
0 50 100 150 200 0 200 400 600 800 1000 1200

Operation chart
50
45 Operation chart
Betriebsdiagramm
4050 Operation chart
actuator size 7*7mm 2, 28 mm active length
Operation
3545 chart
50

3040 45 Operation chart

actuator size 7*7mm 2, 28 mm active length
35
2550 40
actuator size 7*7mm 2, 28 mm active length
30
2045 35
Dehnung/m | Displacement/m

100
Aktorgre 7*7 mm2, 28 mm aktive Lnge
25
1540 30V 150 V 200 V
actuator size 7*7mm 2, 28 mm active length
20
1035 25
100 V 150 V 200 V
15
30 20
5
100 V 150 V 200 V
10
25 15
0
205
0 10 500 1000 1500 2000 2500
100 V 150 V 200 V
150 5
0 500 1000 1500 2000 2500
10 0
5 0 500 1000 1500 2000 2500

0
0 500 1000 1500 2000 2500

Kraft/N | Force/N
Kapazitt und Energieverlust
Capacitance and loss energy
Capacitance and and
Capacitance lossloss
energy
energy

13
Kapazitt versus Spannung Energieverlust versus Spannung
Capacitance versus voltage Loss energy versus voltage
Capacitance versus Voltage Loss energy versus
Loss voltage
energy versus voltage
Capacitance versus Voltage
4,6 4,6 0,030 0,030

Energieverlust/mJ | Loss energy/mJ

4,5 4,5
Kapazitt/F | Capacitance/F

0,025 0,025
4,4 4,4

Capacitance and loss energy

4,3 0,020
Capacitance and loss energy
4,3 0,020
4,2 4,2
0,015 0,015
4,1 4,1
4,0 4,0 0,010 0,010
Aktorgre 7*7 mm2, 28 mm aktive Lnge
3,9 3,9
actuator size 7*7mmactuator
2, 28 mm active length
0,005
size 7*7mm 2, 28 mm active length
3,8 0,005
3,8 Aktorgre 7*7 mm2, 28 mm aktive Lnge
actuator size 7*7mm 2, 28 mm active2length
actuator size 7*7mm , 28 mm active length
3,7 3,7 0,000 0,000
0 50 0 10050 150100 200150 250
200 250
0,00 50,00
0,00 100,00
50,00 150,00
100,00 200,00
150,00 250,00
200,00 250,00

Spannung (V) | Voltage (V) Spannung (V) | Voltage (V)

CapacitanceCapacitance versus Voltage

versus Voltage Loss energy Loss energy
versus versus voltage
voltage
4,6 4,6 0,030
0,030
4,5 4,5
0,025 0,025
4,4 4,4

4,3 4,3 0,020

0,020
4,2 4,2
0,015 0,015

Temperature characteristics
4,1

Temperature characteristics
4,1
4,0 4,0 0,010
0,010
3,9 3,9
actuator size 7*7mm 2, 28 mm active length 0,005
3,8 actuator size 7*7mm 2, 28 mm active length 0,005
3,8 actuator size 7*7mm 2, 28 mm active length
3,7 actuator size 7*7mm 2, 28 mm active length
3,7 0,000 0,000
0 50 0 100 50 150 100 200150 250200 250
0,00 0,00
50,00 50,00
100,00 100,00
150,00 150,00
200,00 200,00
250,00 250,00

Displacement,Displacement, capacitance and

capacitance and
loss energy versus temperature DisplacementDisplacement versus charge
versus charge
loss energy versus temperature 50
50
140%
140% Kapazitt 45
Kapazitt 45
Capacitance
120% Capacitance 40
120% 40

Temperatureigenschaften 100%

80%
100%

80%
Dehnung
Displacement
Dehnung 35
Displacement
30
Energieverlust
35
30
-60 C
-60 C
25 -40 C

Temperature characteristics
20C Energieverlust 25
Loss energy -40 C
60% 20C Loss energy 10 C

Temperature characteristics
60% 20

Temperature characteristics
20 10 C
40 C
40% 15 40 C
40% 15 70 C
10 70 C
20% 110 C
10 110 C
20% 5 150 C
0% 5 150 C
0% 0
-50 0 50 100 150 0 200
0 0,0002 0,0004 0,0006 0,0008 0,001 0,0012
-50 0 50 100 150 200 0 0,0002 0,0004 0,0006 0,0008 0,001 0,0012
Dehnung, Kapazitt und Energieverlust versus Dehnung versus Ladung
Temperatur Displacement versus charge
Displacement, capacitance Displacement,
and loss energy
capacitance and
Displacement, capacitance and Displacement
versus temperature loss energy versus temperature Displacement versus charge versus charge
loss energy versus temperature 50
50
140%
140%
Dehnung/m | Displacement/m

Kapazitt 45
Kapazitt 45
Capacitance
120% Capacitance 40
120% 40
normaliesiert @ 20 C
normalized @ 20 C

100% 35
100% Dehnung35
Dehnung 30
Displacement
30 -60 C
80% Displacement -60 C
80% Energieverlust 25 -40 C
Energieverlust 25 -40 C
20C Loss energy
60% 20C Loss energy
20 10 C
60% 20 10 C
40 C
40% 15 40 C
40% 15 70 C
70 C
10 110 C
20% 10 110 C
20%
5 150 C
5 150 C
0%
0% 0
-50 0 50 100 150 0 200
-50 0 50 100 150 200 0 0,0002
0
0,0004
0,0002
0,0006
0,0004
0,0008
0,0006
0,001
0,0008
0,0012
0,001 0,0012

Temperatur/C | Temperature/C Ladung/AS | Charge/As

hermetisch gekapselte Aktoren 50125C | hermetically sealed actuators 50125 C
 Lebensdauer
Product life

Service life life

Service
14
Lebensdauerprfung Leckstrom versus Zeit
Lifetime test Leakage current versus time
Lifetime test Lifetime test Leakage current Leakage
versus time
current versus time
60 60 10,00 10,00
1,0E-01 1,0E-01
Dehnung/m | Displacement/m

9,00 9,00

Kapazitt/F | Capacitance/F
50 50 1,0E-02 1,0E-02
8,00 8,00
Dehnung 40 % rF | 40 % rH 40 % rF | 40 % rH
Dehnung

Strom/A | Current/A
Displacement Displacement 7,00 1,0E-03 7,00
40 1,0E-03
40
6,00 6,00
1,0E-04 1,0E-04
30 30 5,00 5,00

4,00 1,0E-05 1,0E-05

Kapazitt | Capacitance 4,00
Kapazitt | Capacitance
20 20 < 5 % rF | < 5 % rH < 5 % rF | < 5 % rH
Aktorgre 7*7 mm 2 , 28 mm aktive Lnge
Aktorgre 3,00 Lnge
7*7 mm 2 , 28 mm aktive 1,0E-06 3,00
1,0E-06
actuator size 7*7 mm 2, 28actuator
mm active
sizelength
7*7 mm 2, 28 mm active length
2,00 2,00
10 10 1,0E-07 1,0E-07
1,00 1,00 Aktorgre 7*7 mm 2 , 28 mm aktive Lnge
Aktorgre 7*7 mm 2 , 28 mm aktive Lnge
actuator size 7*7 mm 2, 28actuator
mm active
sizelength
7*7 mm 2, 28 mm active length
0 0 0,00 1,0E-08 0,00 1,0E-08
1E+00 1E+01 1E+02 1E+03
1E+00 1E+04
1E+01 1E+05
1E+02 1E+06
1E+03 1E+07
1E+04 1E+08
1E+05 1E+09
1E+06 1E+10
1E+07 1E+08 1E+09 0,1
1E+10 1 0,1 10 1 100 10 1000 100 10000 1000 10000

Arbeitszyklen | Operation cycles Zeit/h | Time/h

Leckstrom von typischen Aktoren mit Gehuse (>50% rH, RT)

Leakage current of housed actuators, typical (>50% rH, RT)

zum Vergleich: typische Aktoren ohne Gehuse | for reference: non housed actuators, typical
Strom/A | Current/A

Zeit/h | Time/h
 15

Hermetisch gekapselte Aktoren

Hermetically sealed actuators
 Glossar

16
Parameterumwandlung

Die Diagramme auf den vorigen Seiten beziehen sich jeweils auf eine bestimmte Komponente. Die
Parameter von Interesse knnen jedoch einfach umgewandelt werden, um die Gren der gewnschten
Komponente zu erhalten.

Folgendes gilt, wenn die elektrische und die mechanische Spannung gegeben ist:

Dehnung: hngt allein von der aktiven Lnge des Aktors ab.
Lactiv = Lgesamt Lpassiv (Lpassiv blicherweise = 2 mm)

Kraft: hngt allein von der Querschnittsflche des Aktors ab.

Aactiv = Agesamt 0,6mm x b (b = Breite des Aktors nach Datenblatt)

Kapazitt: hngt vom aktiven Volumen des Aktors ab.

Vactiv = Aactiv x Lactiv

Symbole, Einheiten und Erluterungen

UB Nennspannung V Dies ist die Spannung, auf die sich alle Angaben zu Kraft und
Stellweg beziehen. Bei Standard-Aktoren ist UB 200 V, was auch
die maximale Betriebsspannung darstellt.

S3 Dehnung m Deformation eines Aktors in Richtung des elektrischen Feldes

(Lngsachse L) an Nennspannung.

FB Blockierkraft N Maximale Stellkraft, die an Nennspannung erreicht wird, wenn

eine Ausdehnung des Aktors verhindert wird. Da in jedem Auf
bau eine begrenzte inhrente Steifigkeit vorhanden ist, ist FB nicht
direkt messbar.

FV Vorspannkraft N Konstante Kraft, die den Aktor vor Zugbelastungen schtzt. Die
Vorspannkraft wird blicherweise mit einer Feder aufgebracht.

C Kapazitt F Elektrische Kapazitt bei geringer Spannung (bei 1 V Messspan

nung). Die fr praktische Anwendungen relevante Kapazitt bei
hoher Spannung ist etwa doppelt so gro.

fS Resonanzfrequenz Hz Dies ist die Serienresonanzfrequenz des frei oszillierenden Aktors.

Wenn der Aktor in einer Anwendung verbaut ist, ist die resul
tierende Resonanzfrequenz fr der mechanischen Baugruppe stets
erheblich geringer.
Glossary

17
Parameter conversion

The charts on the foregoing pages each apply to a specific component, but the parameter of interest
can be easily converted to allow for the dimensions of the desired component.

For a given voltage and mechanical strain, the following applies:

Displacement: depends solely on the active actuator length.

Lactive = Ltotal Lpassive (Lpassive = 2mm in most cases)

Force: depends solely on the actuators active cross-sectional area.

Aactive = Atotal 0.6mm x b (b = width of the actuator according to data sheet)

Capacitance: depends on the active actuator volume.

Vactive = Aactive x Lactive

Symbols, units and explanations

UB Nominal voltage V This is the voltage to which all force and stroke data are related.
In standard actuators, UB is 200 volts which is also the maximum
operating voltage.

S3 Displacement m Deformation of an actuator in the direction of the electric field

(longitudinal axis L) at the nominal voltage.

FB Blocking force N Maximum actuator force achieved at the nominal voltage when
the actuator is prevented from expanding. Since each setup has a
finite inherent stiffness, FB is not directly measurable.

FV Pre-stressing force N Constant force protecting the actuator against tensile loads. The
pre-stressing force is normally generated by means of a spring.

C Capacitance F Electrical low-signal capacitance (at 1V measuring voltage). The

large-signal capacitance important for practical applications is
about two times as high.

fS Resonant frequency Hz This is the serial resonant frequency of the actuator in its freely
oscillating state. When the actuator is mounted in an application,
the resulting resonance frequency fr of the mechanical assembly
will always be significantly lower.
18
fr Resonanzfrequenz Hz Resonanzfrequenz der mechanischen Baugruppe.

c33 Steifigkeit N/m Inhrente Steifigkeit des Aktors. Bei der Berechnung der Eigen
schaften von Aktoren muss die Abhngigkeit der C33 von der
Feldstrke in Betracht gezogen werden.

Wel Elektrische Energie J Die beim Aufladen vom Aktor aufgenommene elektrische Ener
gie. Diese kann aus der Kapazitt und der endgltigen Ladespan
nung errechnet werden (Wel = CUB2).

Wel rev Elektrische Energie J Bei der Entladung vom Aktor abgegebene elektrische Energie.

el Elektrischer Verlustfaktor Bezieht sich auf den Quotienten aus Wel rev und Wel

Wmech Mechanische Energie J Vom Aktor abgegebene mechanische Energie. Wmech ist eine
Funktion der mechanischen Last des Aktors. Sie erreicht ihren
Maximalwert, wenn die Kraft am Arbeitspunkt der Hlfte der
Blockierkraft entspricht (Wmech = FBs3/4).

Wmech A Mechanische Energie J Vom Aktor durch seine inhrente Steifigkeit gespeicherte Energie.
Wmech A kann nicht in mechanische Leistung umgewandelt werden.
(Wmech A = c33 (s3/2)2).

Wtherm Thermische Energie J Vom Aktor abgestrahlte Wrmeenergie

(Wtherm = Wel - Wel rev - Wmech).

k Kopplungskoeffizient k2 ist das Verhltnis zwischen der gesamten gespeicherten Ener
gie und der aufgenommenen elektrischen Energie
(k2 = (Wmech A + Wmech)/Wel).

Energieeffizienz Verhltnis zwischen der abgegebenen mechanischen Energie und

der aufgenommenen elektrischen Energie ( = Wmech /Wel).

Wirkungsgrad Verhltnis zwischen der abgegebenen mechanischen Energie und

der verbrauchten elektrischen Energie. ( = Wmech /(Wel - Wel rev).
 19
fr Resonant frequency Hz Resonant frequency of the mechanical assembly.

c33 Stiffness N/m Inherent rigidity of the actuator. In calculating actuator proper
ties, the field strength dependence of c33 must be duly taken into
account.

Wel Electrical energy J Electrical energy absorbed by the actuator as it is charged. It can
be calculated from the capacitance and ultimate charging voltage
(Wel = CUB2).

Wel rev Electrical energy J Electrical energy supplied by the actuator during discharge.

el Electrical loss factor Refers to the quotient of Wel rev and Wel

Wmech Mechanical energy J Mechanical energy delivered by the actuator. Wmech is a function
of the mechanical actuator load. It reaches its maximum value
when the force at the operating point is equal to one-half the
blocking force (Wmech = FBs3/4).

Wmech A Mechanical energy J Mechanical energy stored by the actuator through its inherent
rigidity. Wmech A
cannot be converted into mechanical power
(Wmech A = c33 (s3/2)2).

Wtherm Thermal energy J Heat energy dissipated by the actuator

(Wtherm = Wel - Wel rev - Wmech).

k Coupling coefficient k2 is the ratio between the total mechanical energy stored and
the electrical energy absorbed (k2 = (Wmech A + Wmech)/Wel).

Power efficiency Ratio between the mechanical energy delivered and the electrical
energy absorbed ( = Wmech /Wel).

Efficiency Ratio between the mechanical energy delivered and the electrical
energy consumed. ( = Wmech /(Wel - Wel rev).
 Notizen
Notes

20
21
22
 Monolithische Vielschichtaktoren

Diese Broschre ist eine Ergnzung der Verf-

Allgemeine Eigen-
schaften: fentlichung Piezoelektrische Komponenten von
CeramTec mit detaillierten Beschreibungen einiger
Groe Bettigungs-
krfte Begriffe und Abhngigkeiten. Abkrzungen und

Extrem kurze
Symbole sind unten im Glossar erklrt.
Reaktionszeiten Die Funktionsweise monolithischer Vielschicht-
Fein einstellbare aktoren basiert auf dem piezoelektrischen Effekt.
Bettigungswege Ein piezoelektrisches Material dehnt sich beim An-
legen einer Spannung in Richtung des elektrischen
Feldes aus. Die zum Erreichen einer Deformation
von 1,5 bis 1,7 % erforderliche Feldstrke betrgt
ca. 2.000 V/mm. Die hier beschriebenen Aktoren
bestehen aus bis zu 500 Schichten keramischem
Material, die jeweils nur 0,1 mm stark sind und
unter Verwendung einer speziell entwickelten Sta-
pel- und Sintertechnologie hergestellt wurden. Mit
dieser Technologie kann eine maximale Dehnung
bei einer Spannung von nur 200 V erreicht werden.

hcirZ pyT
57

mm 0 ehhllF
neua thcisnatmaseG
 Geschftsbereich Multifunktionskeramik
Multifunctional Ceramics Division

Monolithische Vielschichtaktoren
Monolithic Multilayer Actuators

MF130034 DE/EN 1.000 1402 atio (3375) Printed in Germany

CeramTec GmbH
Multifunctional Ceramics Division
Luitpoldstrae 15
91207 Lauf, Germany
Phone: +49 9123 77-317 / 77-538
Fax: +49 9123 77-515
multifunctional_ceramics@ceramtec.de
T H E C E R A M I C E X P E R T S www.ceramtec.com T H E C E R A M I C E X P E R T S
The measured values mentioned before were determined for test samples and are applicable as standard values. The values were determined on the basis of DIN-/DIN-VDE standards and if
these were not available, on the basis of CeramTec standards. The values indicated must not be transferred to arbitrary formats, components or parts featuring different surface qualities.
They do not constitute a guarantee for certain properties. We expressly reserve the right to make technical changes.

Typ Zrich
75

Fllhhe 0 mm
Gesamtansicht auen