Microsistemas

Cuauhtmoc Carbajal

Microsistema
Un microsistema puede ser considerado cualquier
dispositivo o unidad hecho de un nmero de componentes
microconstruidos.
Ejemplo:
Acelermetro para bolsa de aire
Los microsistemas pueden ser construidos de componentes
producidos por diferentes tecnologas en diferentes
substratos (sistema hbrido) o ser construidos sobre un
mismo substrato usando slo una tecnologa (un sistema
monoltico).

Componentes de un microsistema

Microingeniera
La microingeniera se refiere a la tecnologa y prctica de
fabricar estructuras tridimensionales y dispositivos con
dimensiones del orden de micrmetros.
microelectrnica (circuitos electrnicos en chips de
silicio)
micromaquinado (tcnicas usadas para producir las
estructuras y partes mviles de los dispositivos
microconstruidos)
Ventajas:
bajo costo, fiabilidad y pequeo tamao

TCNICAS

Fotolitografa

Micromaquinado de silicio
Depsito de pelculas delgadas
Grabado hmedo
remocin de materiales mediante la inmersin
de la oblea en una solucin que contiene el
grabante qumico
Grabado Seco (RIE)
Lift off

 Depsito de pelculas delgadas

Materiales: dixido de silicio, nitruro de silicio,
silicio policristalino, aluminio
Tcnicas para definir patrones: fotolitografa y
grabado

 Grabado hmedo
Remocin de materiales mediante la inmersin de la
oblea en una solucin que contiene el grabante qumico.
Grabantes hmedos:
Isotrpicos
Materiales: xido, nitruro, aluminio, poly, oro y silicio
Solucin: cido fluorhdrico

anisotrpicos
Materiales: nitruro, xido
Solucin: hidrxido de potasio
Orientacin cristalina: 100

 Altas dosis de boro en silicio reducen la velocidad

de grabado en varios rdenes de magnitud.
Mscara de
xido grueso

Silicio dopado con boro

mediante difusin

 Grabado seco
Los iones son acelerados hacia los materiales a
ser grabados, y la reaccin grabante es
mejorada en la direccin de viaje del ion.
Es una tcnica de grabado anisotrpico, con la
que profundos canales y cavidades (mayores a
10um) de formas arbitrarias con paredes
verticales pueden ser fabricadas.
Materiales: silicio, xido y nitruro.
No est limitado por los planos cristalogrficos
del silicio.

 Lift off
Materiales: metales nobles
Procedimiento:
Mediante fotolitografa se define el
patrn deseado.
El xido es grabado con una solucin
hmeda (de manera que se elimine parte
del xido que est debajo del resist).
El metal se deposita mediante
evaporacin.
el patrn de metal es efectivamente
definido por las regiones sin resist.
La pelcula auxiliar es eliminada,
obteniendo el patrn de metal requerido.

Estructuras Bsicas
Canales o cavidades

 Diafragmas

Grosor: 50 micras o mayores

Grosor: 20 micras aprox.

 Puentes angostos o trampolines

Micromaquinado de superficie
Esta tcnica usa dos pelculas de diferentes materiales, un
material estructural y otro llamado de sacrificio.
Estos materiales son depositados y grabados (usando
tcnicas de grabado seco) en una secuencia establecida.
Finalmente, el material de sacrificio es removido (usando
un grabado hmedo) hasta obtener la estructura deseada.

 Una pelcula de xido de

sacrificio es depositada sobre la
superficie de la oblea.
Luego, una capa de polisilicio se
deposita, y se define un patrn
usando RIE.
La oblea es entonces introducida
en una solucin para remover el
xido bajo el trampoln.
En este proceso, la oblea es
sacada de la solucin antes de
que todo el xido sea removido.

Sellado de obleas

LIGA
metal

Solucin final A

plstico

Solucin final B

Microsensores: Sensores Trmicos

Termopar

V = ( Pa - Pb )( Ta - Tb )

Ecuacin (1)

Los materiales semiconductores a menudo presentan un mejor efecto

termoelctrico que los metales.

La alta conductividad trmica del silicio dificulta el mantener un gradiente

de temperartura grande (Ta-Tb). Por consiguiente, una aplicacin del
micromaquinado de silicio es el aislar trmicamente el elemento sensor del
substrato de silicio.

 Termistor

r R (1 aT bT )
2

Ecuacin (2)

Resistividad del material a una

temperatura de referencia (0 C)

Los termistores pueden ser formados de xidos metlicos o de

silicio.
Su costo de fabricacin es bajo y son fciles de integrar.
El coeficiente de temperatura resistivo para un termistor es
altamente no lineal y negativo, y depende de la potencia que
disipa el dispositivo.

 Sensores trmicos de flujo

Se puede medir la temperatura de un fluido conforme
pase por el sensor, y como aquel pasa sobre un resistor
"caliente" la diferencia en temperatura ser
proporcional a la razn msica del flujo.
Otra posibilidad es mantener el sensor a una
temperatura constante y medir la cantidad de potencia
requerida para mantener esa temperatura. De nueva
cuenta, la diferencia de temperatura ser proporcional a
la razn msica del flujo sobre el sensor.

Sensor de flujo

Sensores de radiacin
Fotodiodo y fototransistor

 CCD

ptica integrada

ptica integrada
Componentes pasivos:
dobladores,
acopladores,
espejos,
multiplexores divisores
de longitud de onda y
polarizadores.
Componentes activos:
diodos laser,
fotodiodos, e
interruptores pticos.

Sensores Magnticos
Efecto Hall

Un sensor de efecto Hall consiste de un material conductor, usualmente

semiconductor, y de una corriente elctrica que se hace pasar entre dos
electrodos, situados en lados opuestos del dispositivo. Dos contactos sensores
son colocados en los lados restantes del dispositivo (opuestos uno a otro y en
direccin perpendicular al flujo de corriente).
Los sensores de efecto Hall operan en el rango de 0.1 mT a 1 T (el campo
magntico de la tierra es aproximadamente 50 T). Los circuitos de efecto Hall
comerciales disponibles, proporcionan una respuesta del orden de 10 mV/mT.

Sensores Qumicos
ISFET

 Biosensor basado en enzimas

Las enzimas son altamente especficas en las reacciones que catalizan.

 Microelectrodos

a)

Son usados en estudios celulares.

b)

Tienen sitios de lectura a lo largo de un "tallo" delgado, el

cual es insertado en el tejido bajo investigacin.

c)

Son electrodos de regeneracin son colocados entre los

extremos de varios "tallos" perifricos (las fibras nerviosas
crecen o se regeneran por medio del dispositivo).

Sensores mecnicos
Acelermetros

 Sensores de presin

Un pequeo sensor construido en el MIT usa un diafragma de 600

micras de dimetro y contiene cuatro piezo-resistencias integradas
para convertir la presin en una seal elctrica
http://www.design.caltech.edu/micropropulsion/tr199910/index.html

Microactuadores
Un microactuador es requerido para controlar un sensor
resonante o para generar la respuesta mecnica de un
sistema en particular.
movimiento de microespejos para explorar el haz de un
laser,
control de microbombas y vlvulas en sistemas de
microanlisis o en microfludos,
microelectrodos para estimular tejido nervioso en
aplicaciones de prtesis.

Mtodos
La actuacin electrosttica es el ms comn y mejor
mtodo que se haya desarrollado (padece problemas de
adherencia).
Los actuadores magnticos usualmente requieren altas
corrientes (y alta potencia), y a escala microscpica el
mtodo de actuacin electrosttico ofrece mejor respuesta
por unidad de volumen.
Mientras que la actuacin trmica requiere grandes
cantidades de energa elctrica, y gran cantidad de calor es
disipado.
Los mtodos hidrulico y piezoelctrico son los ms
prometedores.

Actuador electrosttico

V
E C
2
2
V C
Fx
2 x

Motor de balanceo

Motor Wobble

Actuadores piezoelctrico

Actuador magntico

Actuador trmico

Actuador hidrulico

Tecnologa de MEMS: tendencias

Grfico log-log del nmero de transistores en
relacin al nmero de componentes mecnicos
Scientific American (Gabriel, 1995)

Tren de engranes
Se muestra un tren planar de engranes
operando a velocidades de trabajo variables

Motor rotativo
El video muestra el motor operando a
varias velocidades

Deflexin de un haz laser

Un espejo sube y baja lentamente para
mostrar la deflexin del haz
Sandia National Laboratories
http://www.mdl.sandia.gov/micromachine/movies.html